CN110703428A - 调光镜及其制造方法、调光装置 - Google Patents

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陶永春
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Abstract

本申请公开一种调光镜及其制造方法、调光装置，属于光学领域。调光镜包括调光层，调光层包括多个调光单元，调光单元包括第一驱动结构、第二驱动结构和弹性支撑柱，第一驱动结构、第二驱动结构和弹性支撑柱围成调光腔，第一驱动结构和第二驱动结构被配置为通过调整调光腔的间隙宽度调整调光单元的调光角度，从而调整调光镜的响应波长，本申请有助于提高调光镜的灵活性。本申请用于调光镜。

Description

调光镜及其制造方法、调光装置
技术领域
本申请涉及光学技术领域，特别涉及一种调光镜及其制造方法、调光装置。
背景技术
调光镜是一种用于对光线进行调节的光学元件，常用的调光镜包括透镜、棱镜或反射镜等。菲涅尔透镜是一种典型的透镜，具有体积小、重量轻、结构紧凑、聚光性好和成像性好等优点，在国防、航空、工业生产和民用等各个领域获得了广泛的应用，大型、高精度的菲涅尔透镜的设计和制造成为目前国内外透镜的主要研究方向。
目前，通常采用有机材料或者玻璃，通过铸造成型技术制造菲涅尔透镜。但是通过铸造成型技术制造的菲涅尔透镜的响应波长是固定的，其灵活性较差。
发明内容
本申请提供一种调光镜及其制造方法、调光装置。所述技术方案如下：
第一方面，提供一种调光镜，包括：
衬底基板，以及，位于所述衬底基板上的调光层，所述调光层包括多个调光单元；
所述调光单元包括：相对的第一驱动结构和第二驱动结构，以及，位于所述第一驱动结构与所述第二驱动结构之间的弹性支撑柱，所述第一驱动结构、所述第二驱动结构和所述弹性支撑柱围成调光腔；
其中，所述第一驱动结构和所述第二驱动结构被配置为通过调整所述调光腔的间隙宽度调整所述调光单元的调光角度。
可选地，所述调光腔为空腔；或者，
所述调光腔内具有弹性折射介质。
可选地，所述第一驱动结构呈板状，所有所述调光单元的所述第一驱动结构为一体结构；
所述第二驱动结构呈块状，所述第二驱动结构的形状包括圆形或多边形中的至少一种。
可选地，所述调光单元还包括：承载膜，位于所述弹性支撑柱远离所述第一驱动结构的一侧，所述第二驱动结构位于所述承载膜远离所述第一驱动结构的一侧。
可选地，所有所述调光单元的所述承载膜为一体结构。
可选地，所述调光镜还包括：保护层，位于所述调光层远离所述衬底基板的一侧。
可选地，所述调光镜还包括：反射层，位于所述调光层远离所述衬底基板的一侧。
可选地，所述第一驱动结构和所述第二驱动结构均为驱动电极；或者，
所述第一驱动结构和所述第二驱动结构均为电磁驱动结构；或者，
所述第一驱动结构和所述第二驱动结构均为热膨胀驱动结构；或者，
所述第一驱动结构和所述第二驱动结构均为气压驱动结构。
可选地，所述多个调光单元阵列排布形成同心的调光圆和多个调光圆环，所述多个调光圆环沿远离所述调光圆的方向等间隔分布在所述调光圆的外侧；或者，
所述多个调光单元阵列排布形成相互平行的多个线性调光条，所述多个线性调光条等间隔排布；或者，
所述多个调光单元阵列排布形成多个弧形调光条，所述多个弧形调光条等间隔排布在同一扇形区域上且共圆心。
可选地，所述调光镜包括：双凸透镜、平凸透镜或平凹透镜中的任意一种。
第二方面，提供一种调光镜的制造方法，包括：
提供衬底基板；
在所述衬底基板上形成调光层，所述调光层包括多个调光单元，所述调光单元包括：相对的第一驱动结构和第二驱动结构，以及，位于所述第一驱动结构与所述第二驱动结构之间的弹性支撑柱，所述第一驱动结构、所述第二驱动结构和所述弹性支撑柱围成调光腔；
其中，所述第一驱动结构和所述第二驱动结构被配置为通过调整所述调光腔的间隙宽度调整所述调光单元的调光角度。
可选地，所述在所述衬底基板上形成调光层，包括：
在所述衬底基板上形成第一驱动层，所述第一驱动层包括第一驱动结构；
在所述第一驱动层远离所述衬底基板的一侧形成弹性支撑层，所述弹性支撑层包括多个弹性支撑柱；
在所述弹性支撑层远离所述衬底基板的一侧形成第二驱动层，所述第二驱动层包括多个第二驱动结构；
其中，所述第一驱动结构与每个所述第二驱动结构，以及位于所述第一驱动结构与所述每个所述第二驱动结构之间的所述弹性支撑柱围成所述调光腔。
可选地，在所述第一驱动层远离所述衬底基板的一侧形成弹性支撑层之后，所述方法还包括：在所述弹性支撑层远离所述衬底基板的一侧形成承载膜；
在所述弹性支撑层远离所述衬底基板的一侧形成第二驱动层，包括：在所述承载膜远离所述衬底基板的一侧形成所述第二驱动层。
可选地，所述在所述衬底基板上形成调光层，包括：
在所述衬底基板上形成第一驱动层，所述第一驱动层包括第一驱动结构；
在所述第一驱动层远离所述衬底基板的一侧形成弹性支撑层，所述弹性支撑层包括多个弹性支撑柱；
在承载基板上形成第二驱动层，所述第二驱动层包括多个第二驱动结构；
将形成有所述第二驱动层的所述承载基板与形成有所述第一驱动层和所述弹性支撑层的所述衬底基板键合，使所述第一驱动结构与每个所述第二驱动结构，以及位于所述第一驱动结构与所述每个所述第二驱动结构之间的所述弹性支撑柱围成所述调光腔；
剥离所述承载基板。
可选地，在所述承载基板上形成所述第二驱动层之后，所述方法还包括：在所述第二驱动层远离所述承载基板的一侧形成承载膜；
所述将形成有所述第二驱动层的所述承载基板与形成有所述第一驱动层和所述弹性支撑层的所述衬底基板键合，包括：将形成有所述第二驱动层和所述承载膜的所述承载基板与形成有所述第一驱动层和所述弹性支撑层的所述衬底基板键合。
可选地，所述方法还包括：在所述调光层远离所述衬底基板的一侧形成保护层。
可选地，所述方法还包括：在所述调光层远离所述衬底基板的一侧形成反射层。
第三方面，提供一种调光装置，包括第一方面任一所述的调光镜。
本申请提供的技术方案带来的有益效果是：
本申请实施例提供的调光镜及其制造方法、调光装置，由于调光镜包括调光层，调光层包括多个调光单元，调光单元包括第一驱动结构、第二驱动结构和弹性支撑柱，第一驱动结构、第二驱动结构和弹性支撑柱围成调光腔，可以通过第一驱动结构和第二驱动结构调整调光腔的间隙宽度，进而调整调光单元的调光角度，从而调整调光镜的响应波长，因此有助于提高调光镜的灵活性。
应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性的，并不能限制本申请。
附图说明
为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1是相关技术提供的一种菲涅尔透镜的正视图；
图2是相关技术提供的一种菲涅尔透镜的剖面图；
图3是本申请提供的一种调光镜的结构示意图；
图4是本申请实施例提供的一种调光镜的部分区域的放大图；
图5是本申请实施例提供的一种调光单元的正视图；
图6是本申请实施例提供的另一种调光镜的部分区域的放大图；
图7是本申请实施例提供的再一种调光镜的部分区域的放大图；
图8是本申请实施例提供的又一种调光镜的部分区域的放大图；
图9是本申请实施例提供的一种调光镜的正视图；
图10是本申请实施例提供的另一种调光镜的正视图；
图11是本申请实施例提供的再一种调光镜的正视图；
图12是图9所示的调光镜的剖面图；
图13是图12所示的调光镜的调光圆环的放大图；
图14是本申请实施例提供的一种调光镜的制造方法的方法流程图；
图15是本申请实施例提供的另一种调光镜的制造方法的方法流程图；
图16是本申请实施例提供的一种在衬底基板上形成第一驱动层后的示意图；
图17是本申请实施例提供的一种在第一驱动层远离衬底基板的一侧形成弹性支撑层后的示意图；
图18是本申请实施例提供的一种在弹性支撑层远离衬底基板的一侧形成承载膜后的示意图；
图19是本申请实施例提供的一种在承载膜远离衬底基板的一侧形成第二驱动层后的示意图；
图20是本申请实施例提供的再一种调光镜的制造方法的方法流程图；
图21是本申请实施例提供的一种在承载基板上形成第二驱动层后的示意图；
图22是本申请实施例提供的一种在第二驱动层远离承载基板的一侧形成承载膜后的示意图；
图23是本申请实施例提供的一种将承载基板与衬底基板键合后的示意图；
图24是本申请实施例提供的一种剥离承载基板后的示意图。
此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本申请的实施例，并与说明书一起用于解释本申请的原理。
具体实施方式
为了使本申请的原理、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本申请作进一步地详细描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本申请保护的范围。
菲涅尔透镜是一种典型的透镜，设计和制造菲涅尔透镜涉及到多个技术领域和多种制造工艺，该多个技术领域包括光学工程和高分子材料工程等，该多种制造工艺计算机数控(英文：Computerized Numerical Control；简称：CNC)技术机械加工工艺、金刚石车削工艺、镀镍工艺、模压工艺、注塑工艺和浇铸工艺等。图1是相关技术提供的一种菲涅尔透镜的正视图，图2是图1所示的菲涅尔透镜的剖面图，参见图1和图2，该菲涅尔透镜的一面为平面，另一面为聚焦面，该聚焦面为锯齿面，且该聚焦面包括圆心与该菲涅尔透镜的中心重合的聚焦圆001，以及位于该聚焦圆001外侧，与该聚焦圆001同心的多个聚焦圆环002，该多个聚焦圆环002沿远离聚焦圆001的方向排布在该聚焦圆001的外侧，该聚焦圆001以及该多个聚焦圆环002向同一面凸起，且该聚焦圆001的凸起面为圆弧面，聚焦圆环002的凸起面为弧面，该聚焦圆001的凸起面和聚焦圆环002的凸起面均具有一定的曲率，该菲涅尔透镜通过该聚焦圆001和该聚焦圆环002实现聚焦。
请参考图3和图4，图3示出了本申请提供的一种调光镜01的结构示意图，图4示出了本申请实施例提供的一种调光镜01的部分区域的放大图。参见图3和图4，该调光镜01包括：衬底基板011，以及，位于衬底基板011上的调光层012，该调光层012包括多个调光单元012A，参见图4，该调光单元012A包括：相对的第一驱动结构0121和第二驱动结构0122，以及，位于第一驱动结构0121与第二驱动结构0122之间的弹性支撑柱0123，第一驱动结构0121、第二驱动结构0122和弹性支撑柱013围成调光腔T。
其中，第一驱动结构0121和第二驱动结构0122被配置为通过调整调光腔T的间隙宽度d调整调光单元012A的调光角度，其中，调光腔T的间隙宽度d可以为第一驱动结构0121和第二驱动结构0122之间的最小距离。
综上所述，本申请实施例提供的调光镜，由于调光镜包括调光层，调光层包括多个调光单元，调光单元包括第一驱动结构、第二驱动结构和弹性支撑柱，第一驱动结构、第二驱动结构和弹性支撑柱围成调光腔，可以通过第一驱动结构和第二驱动结构调整调光腔的间隙宽度，进而调整调光单元的调光角度，从而调整调光镜的响应波长，因此有助于提高调光镜的灵活性。
可选地，调光腔T可以为空腔；或者，调光腔T内具有弹性折射介质。调光腔T为空腔也即是调光腔T内充填有空气介质。弹性折射介质可以充填在调光腔T内，该弹性折射介质可以为折射率与空气折射率不同的介质，例如，该弹性折射介质可以为胶体或者离子溶液等，该弹性折射介质可以改变调光腔T的折射率，容易理解，填充有不同折射率的弹性折射介质的调光腔T具有不同的折射率。示例地，如图4所示，本申请实施例以调光腔T为空腔进行说明。
可选地，第一驱动结构0121可以呈板状，所有调光单元012A的第一驱动结构0121可以为一体结构；第二驱动结构0122可以呈块状，第二驱动结构0122的形状可以包括圆形或多边形中的至少一种。或者，第一驱动结构0121和第二驱动结构0122均可以呈块状，第一驱动结构0121的形状和第二驱动结构0122的形状均可以包括圆形或多边形中的至少一种，且第一驱动结构0121的形状与第二驱动结构012的形状可以相同或不同。本领域技术人员容易理解，第一驱动结构0121和第二驱动结构0122均为立体结构，第一驱动结构0121的形状可以为第一驱动结构0121上与第二驱动结构0122相对的表面的形状，第二驱动结构0122的形状可以为第二驱动结构0122上与第一驱动结构0121相对的表面的形状，本申请实施例对此不做限定。示例地，请参考图5，其示出了本申请实施例提供的一种调光单元012A的正视图，如图5所示，第一驱动结构0121的形状与第二驱动结构0122的形状均为圆形，且第二驱动结构0122在第一驱动结构0121上的正投影位于第一驱动结构0121内。
可选地，请参考图6，其示出了本申请实施例提供的另一种调光镜01的部分区域的放大图，参见图6，在图3和图4的基础上，该调光单元012A还可以包括：位于弹性支撑柱0123远离第一驱动结构0121的一侧的承载膜0124，第二驱动结构0122位于承载膜0124远离第一驱动结构0121的一侧。
可选地，所有调光单元012A的承载膜0124可以为一体结构，或者，各个调光单元012A的承载膜0124彼此独立。示例地，如图6所示，本申请实施例以所有调光单元012A的承载膜0124可以为一体结构为例进行说明。其中，该承载膜0124可以对第二驱动结构0122进行承载，当所有调光单元012A的承载膜0124可以为一体结构，且第二驱动结构0122呈块状时，该承载膜0124可以便于第一驱动结构0121、第二驱动结构0122和弹性支撑柱013围成调光腔T可选地，承载膜0124的材料可以为透光材料，例如，承载膜0124的材料可以为氧化硅(SiOx)、氮化硅(SiNx)或氮氧化硅(SiOxNx)中的一种或者多种的组合。
可选地，请参考图7，其示出了本申请实施例提供的再一种调光镜01的部分区域的放大图，参见图7，在图6的基础上，该调光镜01还可以包括：位于调光层012远离衬底基板011的一侧的保护层013。该保护层013可以对调光层012进行保护，避免调光层012与外界直接接触，从而降低由于外界因素导致调光层012损坏的概率。可选地，该保护层013的材料可以为高折射率透光材料，例如，保护层013的材料可以为透光的有机材料。
可选地，请参考图8，其示出了本申请实施例提供的又一种调光镜01的部分区域的放大图，参见图8，在图7的基础上，该调光镜01还可以包括：位于调光层012远离衬底基板011的一侧的反射层014，保护层013位于该反射层014远离衬底基板011的一侧，也即是，反射层014位于保护层013和调光层012之间。其中，该反射层014可以对光线进行反射，从而该图8所示的调光镜01可以是反射式调光镜。可选地，该反射层014可以为金属薄膜，例如，反射层014可以为金属银薄膜。
可选地，该调光单元012A可以是电驱动调光单元，该第一驱动结构0121和该第二驱动结构0122均可以为驱动电极，可以在第一驱动结构0121和第二驱动结构0122上施加加异相电压使第一驱动结构0121和第二驱动结构0122相互吸引来调整调光腔T的间隙宽度d，从而调整调光单元012A的调光角度。或者，可选地，该调光单元012A可以是磁驱动调光单元，该第一驱动结构0121和该第二驱动结构0122均可以为电磁驱动结构，该第一驱动结构0121和该第二驱动结构0122均可以包括电磁线圈，可以向该电磁线圈施加电信号使得第一驱动结构0121和第二驱动结构0122发生电磁感应而相互吸引来调整调光腔T的间隙宽度d，从而调整调光单元012A的调光角度。或者，可选地，该调光单元012A可以是热膨胀调光单元，该第一驱动结构0121或该第二驱动结构0122中的至少一个可以为热膨胀驱动结构，可以加热第一驱动结构0121或第二驱动结构0122中的至少一个来改变第一驱动结构0121或第二驱动结构0122中的至少一个的温度，使第一驱动结构0121或第二驱动结构0122中的至少一个发生热膨胀来调整调光腔T的间隙宽度d，从而调整调光单元012A的调光角度。或者，可选地，该调光单元012A可以是气压调光单元，该第一驱动结构0121或第二驱动结构0122中的至少一个可以为气压驱动结构，可以向第一驱动结构0121或第二驱动结构0122中的至少一个施加气压，使第一驱动结构0121和第二驱动结构0122相互靠近调整调光腔T的间隙宽度d，从而调整调光单元012A的调光角度。
可选地，请参考图9，其示出了本申请实施例提供的一种调光镜01的正视图，参见图9，该调光镜01包括多个调光单元012A，该多个调光单元012A阵列排布形成同心的调光圆Y1和多个调光圆环，该多个调光圆环沿远离调光圆Y1的方向等间隔分布在调光圆Y1的外侧，每个调光圆环上分布有多个调光单元012A，每个调光圆环可以包括多个同心的子调光圆环，该多个子调光环可以相互接触，每个子调光圆环的宽度可以等于调光单元012A的宽度，当该调光单元012A为圆形时，调光单元012A的宽度也即是调光单元012A的直径。示例地，如图9所示，该多个调光圆环包括调光圆环Y2、调光圆环Y3、调光圆环Y4和调光圆环Y5，调光圆环Y2、调光圆环Y3、调光圆环Y4和调光圆环Y5沿远离调光圆Y1的方向等间隔分布在调光圆Y1的外侧。调光圆Y1上分布有多个调光单元012A，且调光圆环Y2、调光圆环Y3、调光圆环Y4和调光圆环Y5中的每个调光圆环上分布有多个调光单元012A，调光圆环Y2、调光圆环Y3、调光圆环Y4和调光圆环Y5中的每个调光圆环可以包括三个同心且相互接触的子调光圆环(图9中未标出)，每个子调光圆环的宽度可以等于调光单元012A的宽度，每个调光圆环的宽度可以是三个子调光圆环的宽度之和。
可选地，请参考图10，其示出了本申请实施例提供的另一种调光镜01的正视图，参见图10，该调光镜01包括多个调光单元012A，该多个调光单元012A阵列排布形成相互平行的多个线性调光条，该多个线性调光条等间隔排布。每个线性调光条上分布有多个调光单元012A，每个线性调光条可以包括一个或多个相互平行的子调光条(图10中未标出)，示例地，图10以每个线性调光条包括一个子调光条为例进行说明，该多个线性调光条包括等间隔分布的线性调光条L1、线性调光条L2、线性调光条L3、线性调光条L4、线性调光条L5和线性调光条L6，线性调光条L1、线性调光条L2、线性调光条L3、线性调光条L4、线性调光条L5和线性调光条L6中的每个线性调光条上分布有多个调光单元012A，每个线性调光条的宽度可以等于调光单元012A的宽度，当该调光单元012A为圆形时，调光单元012A的宽度也即是调光单元012A的直径。
可选地，请参考图11，其示出了本申请实施例提供的再一种调光镜01的正视图，参见图11，该调光镜01包括多个调光单元012A，该多个调光单元012A阵列排布形成多个弧形调光条，该多个弧形调光条共圆心，且该多个弧形调光条等间隔排布在同一扇形区域上。每个弧形调光条上分布有多个调光单元012A，每个弧形调光条可以包括多个同心的多个子调光条(图11中未标出)，该多个多个子调光条可以相互接触，每个子调光条的宽度可以等于调光单元012A的宽度，当该调光单元012A为圆形时，调光单元012A的宽度也即是调光单元012A的直径。示例地，如图11所示，该多个弧形调光条包括等间隔排布在同一扇形区域上的弧形调光条S1、弧形调光条S2和弧形调光条S3，该弧形调光条S1、弧形调光条S2和弧形调光条S3共圆心，该圆心可以是该弧形调光条S1、弧形调光条S2和弧形调光条S3所在扇形区域所在圆的圆心。弧形调光条S1、弧形调光条S2和弧形调光条S3中的每个弧形调光条分布有多个调光单元012A，弧形调光条S1、弧形调光条S2和弧形调光条S3中的每个弧形调光条可以包括两个相互接触的弧形子调光条(图11中未标出)，每个弧形子调光条的宽度可以等于调光单元012A的宽度，当该调光单元012A为圆形时，调光单元012A的宽度也即是调光单元012A的直径，每个弧形调光条的宽度可以是该弧形调光条中的两个弧形子调光条的宽度之和。
可选地，该调光镜01可以包括：双凸透镜、平凸透镜或平凹透镜中的任意一种。其中，双凸透镜指的是两面均是凸面的透镜，平凸透镜指的是一面是平面，另一面是凸面的透镜，平凹透镜指的是一面是平面，另一面是凹面的透镜。本领域技术人员容易理解，当该调光镜01包括反射层014时，该调光镜01也可以是反射镜，且该调光镜01可以是双凸反射镜、平凸反射镜或平凹反射镜中的任意一种，双凸反射镜指的是两面均是凸面的反射镜，平凸反射镜指的是一面是平面，另一面是凸面的反射镜，平凹反射镜指的是一面是平面，另一面是凹面的反射镜。
可选的，本申请实施例提供的调光镜01还可以包括控制组件，该控制组件可以对第一驱动结构0121和第二驱动结构0122进行控制，以调整调光腔T的间隙宽度。示例地，当第一驱动结构0121和第二驱动结构0122均为驱动电极时，该控制组件可以与第一驱动结构0121和第二驱动结构0122电连接，以向第一驱动结构0121和第二驱动结构0122施加电信号。当第一驱动结构0121和第二驱动结构0122均为电磁驱动结构时，该控制组件可以与第一驱动结构0121和第二驱动结构0122的电磁感应线圈电连接，以向第一驱动结构0121和第二驱动结构0122的电磁感应线圈施加电信号。当第一驱动结构0121和第二驱动结构0122均为热膨胀驱动结构时，该控制组件可以控制加热设备加热第一驱动结构0121或第二驱动结构0122中的至少一个来改变其温度。当第一驱动结构0121和第二驱动结构0122均为气压驱动结构时，该控制组件可以控制加压设备向第一驱动结构0121或第二驱动结构0122中的至少一个施加气压。
可选地，第一驱动结构0121和第二驱动电极0122的材料可以是透明导电材料，例如，第一驱动结构0121和第二驱动电极0122的材料可以为氧化铟锡(英文：Indium TinOxide；简称：ITO)、氧化铟锌(英文：Indium Zinc Oxide；简称：IZO)或掺铝氧化锌(英文：Aluminum-doped Zinc Oxide；简称：ZnO:Al)中的一种或者多种的组合，弹性支撑柱0123的材料可以为无机弹性材料，例如弹性支撑柱0123的材料可以为SiOx、SiNx或SiOxNx中的一种或者多种的组合，或者弹性支撑柱0123的材料可以为有机弹性材料，例如弹性支撑柱0123的材料可以为聚二甲基硅氧烷(英文：Polydimethylsiloxane；简称：PDMS)。
根据以上描述不难理解，在本申请实施例中，可以通过每个调光单元012A的第一驱动结构0121和第二驱动结构0122向该调光单元012A施加驱动力，来调整该调光单元012A的调光腔T的间隙宽度d，进而调整该调光单元012A的调光角度，从而调整调光镜01的响应波长，使得调光镜01可以具有不同的响应波长。本领域技术人员容易理解，在不向调光单元012A施加驱动力时，调光单元012A处于初始状态，调光腔T的间隙宽度d不发生变化，因此所有处于初始状态的调光单元012A的高度相等；在向任意两个调光单元012A施加相同的驱动力时，该两个调光单元012A的调光腔T的间隙宽度d均发生变化，且该两个调光单元012A的调光腔T的间隙宽度d的变化量相同，因此变化后该两个调光单元012A的高度仍然相等。其中，调光单元012A的高度可以是调光单元012A在垂直于衬底基板011的方向上的尺寸。当第一驱动结构0121和第二驱动结构0122均为驱动电极时，可以在第一驱动结构0121和第二驱动结构0122上加异相电压，以向调光单元012A施加驱动力。
下面结合图12和图13，对图9所示的调光镜的调光原理进行简单说明。
请参考图12，其示出了图9所示的调光镜01的剖面图，参见图12并结合图9，该调光镜01包括调光圆Y1以及等间距排布在该调光圆Y1外侧的调光圆环Y2、调光圆环Y3、调光圆环Y4和调光圆环Y5，图13是图12所示的调光镜01的调光圆环Y2的放大图，参见图12和图13，该调光圆环Y2包括三个子调光圆环，初始状态下，该三个子调光圆环中的所有调光单元012A的高度相等，可以向该调光圆环Y2中，处于同一子调光圆环中的调光单元012A施加相同的驱动力，处于不同子调光圆环中的调光单元012A施加不同的驱动力，使得处于同一子调光圆环的所有调光单元012A的高度相等，处于不同子调光圆环的调光单元012A的高度不相等，这样一来，可以使不同子调光圆环的高度存在差异，通过调整每个子调光圆环的高度调整该子调光圆环的调光角度，从而调整调光圆环Y2的调光角度，通过调整每个调光圆环的调光角度来调整调光镜01的响应波长。示例地，可以通过调整图9所示的调光镜01的调光角度，使得该调光镜01可以是双凸透镜、平凸透镜或平凹透镜。
示例地，本申请实施例以第一驱动结构0121和第一驱动结构0122均为驱动电极为例对调整调光圆环Y2的调光角度的过程进行说明，初始状态下，调光镜01所有的调光单元012A的高度相等，参见图12和图13，可以向调光圆环Y2的每个调光单元012A的第一驱动结构0121和第二驱动结构0122施加异相电压，使每个调光单元012A的第一驱动结构0121和第二驱动结构0122相互吸引，且第二驱动结构0122靠近第一驱动结构0121移动，每个调光单元012A的调光腔的间隙宽度d减小。示例地，在调光镜01中，所有调光单元012A的第一驱动结构0121可以为一体结构，如图13所示，可以向第一驱动结构0121施加电压v0，向该调光圆环Y2的三个子调光圆环中的调光单元012A的第二驱动结构0122分别施加电压v1、v2和v3，电压v1、v2和v3为同相电压，且电压v1、v2和v3与电压v0为异相电压，这样一来，每个调光单元012A的第一驱动结构0121和第二驱动结构0122相互吸引，且同一子调光圆环中的调光单元012A的第一驱动结构0121和第二驱动结构0122的吸引力相等，不同子调光圆环中的调光单元012A的第一驱动结构0121和第二驱动结构0122的吸引力不相等，调光圆环Y2的三个子调光圆环的高度可以如图13所示，因此该调光圆环Y2远离衬底基板011的一面具有一定的曲率。
综上所述，本申请实施例提供的调光镜，由于调光镜包括调光层，调光层包括多个调光单元，调光单元包括第一驱动结构、第二驱动结构和弹性支撑柱，第一驱动结构、第二驱动结构和弹性支撑柱围成调光腔，可以通过第一驱动结构和第二驱动结构调整调光腔的间隙宽度，进而调整调光单元的调光角度，从而调整调光镜的响应波长，因此有助于提高调光镜的灵活性。
请参考图14，其示出了本申请实施例提供的一种调光镜的制造方法的方法流程图，该方法可以用于制造图3、图4以及图6至图11任一所示的调光镜01。参见图14，该方法可以包括以下步骤：
在步骤601中，提供衬底基板。
在步骤602中，在衬底基板上形成调光层，调光层包括多个调光单元，调光单元包括相对的第一驱动结构和第二驱动结构，以及，位于第一驱动结构与第二驱动结构之间的弹性支撑柱，第一驱动结构、第二驱动结构和弹性支撑柱围成调光腔。
综上所述，本申请实施例提供的调光镜的制造方法，由于调光镜包括调光层，调光层包括多个调光单元，调光单元包括第一驱动结构、第二驱动结构和弹性支撑柱，第一驱动结构、第二驱动结构和弹性支撑柱围成调光腔，可以通过第一驱动结构和第二驱动结构调整调光腔的间隙宽度，进而调整调光单元的调光角度，从而调整调光镜的响应波长，因此有助于提高调光镜的灵活性。
请参考图15，其示出了本申请实施例提供的另一种调光镜的制造方法的方法流程图，该方法可以用于制造图3、图4以及图6至图11任一所示的调光镜01，本实施例以制造图7所示的调光镜01为例进行说明。参见图15，该方法可以包括以下步骤：
在步骤701中，提供衬底基板。
其中，衬底基板可以是透明基板，其可以是采用玻璃、石英或透明树脂等具有一定坚固性的导光且非金属材料制成的硬质基板。
在步骤702中，在衬底基板上形成第一驱动层，第一驱动层包括第一驱动结构。
请参考图16，其示出了本申请实施例提供的一种在衬底基板011上形成第一驱动层后的示意图，参见图16，该第一驱动层包括第一驱动结构0121，该第一驱动结构0121呈板状。可选地，第一驱动结构0121的材料可以为ITO、IZO或ZnO:Al中的一种或者多种的组合。示例地，可以通过沉积、涂敷或溅射等工艺中的任一种在衬底基板011上形成ITO材质层，通过一次构图工艺对ITO材质层进行处理得到第一驱动层。
需要说明的是，图16所示的第一驱动结构0121仅仅是示例性的，实际应用中，第一驱动层可以包括多个呈块状的第一驱动结构0121，该多个呈块状的第一驱动结构0121可以彼此独立，本申请实施例对此不做限定。
在步骤703中，在第一驱动层远离衬底基板的一侧形成弹性支撑层，弹性支撑层包括多个弹性支撑柱。
请参考图17，其示出了本申请实施例提供的一种在第一驱动层远离衬底基板011的一侧形成弹性支撑层后的示意图，参见图17，该弹性支撑层包括多个弹性支撑柱0123。可选地，弹性支撑柱0123的材料可以为无机弹性材料或有机弹性材料，例如，无机弹性材料可以为SiOx、SiNx或SiOxNx中的一种或者多种的组合，有机弹性材料可以为PDMS。示例地，可以通过沉积、涂敷或溅射等工艺中的任一种在第一驱动层远离衬底基板011的一侧形成PDMS材质层，通过一次构图工艺对PDMS材质层进行处理得到弹性支撑层。
在步骤704中，在弹性支撑层远离衬底基板的一侧形成承载膜。
请参考图18，其示出了本申请实施例提供的一种在弹性支撑层远离衬底基板011的一侧形成承载膜0124后的示意图，该承载膜0124可以是透光膜，可选地，可以采用光学胶将承载膜0124贴附在弹性支撑层远离衬底基板011的一侧。示例地，可以在每个弹性支撑柱0123远离衬底基板011的一侧涂覆光学胶，然后将承载膜0124与每个弹性支撑柱0123粘接。
在步骤705中，在承载膜远离衬底基板的一侧形成第二驱动层，第二驱动层包括多个第二驱动结构，第一驱动结构与每个第二驱动结构，以及位于第一驱动结构与每个第二驱动结构之间的弹性支撑柱围成调光腔。
请参考图19，其示出了本申请实施例提供的一种在承载膜0124远离衬底基板011的一侧形成第二驱动层后的示意图，参见图19，第二驱动层包括多个第二驱动结构0122，第一驱动结构0121与每个第二驱动结构0122，以及位于第一驱动结构0121与每个第二驱动结构0122之间的弹性支撑柱0123围成调光腔T，第一驱动结构0121、第二驱动结构0122，位于第一驱动结构0121与第二驱动结构0122之间的弹性支撑柱0123，以及由第一驱动结构0121、第二驱动结构0122和弹性支撑柱0123围成调光腔T组成调光单元0121A，多个调光单元0121A组成调光层012。
可选地，第二驱动结构0122的材料可以为ITO、IZO或ZnO:Al中的一种或者多种的组合。示例地，可以通过沉积、涂敷或溅射等工艺中的任一种在承载膜0124远离衬底基板011的一侧形成ITO材质层，通过一次构图工艺对ITO材质层进行处理得到第二驱动层。
在步骤706中，在调光层远离衬底基板的一侧形成保护层。
在调光层远离衬底基板011的一侧形成保护层013后的示意图可以如图7所示，保护层013可以保护调光单元012A。可选地，保护层013的材料可以为高折射率透光材料，例如，保护层013的材料可以为透光的有机材料。示例地，可以通过沉积、涂敷或溅射等工艺中的任一种在调光层012远离衬底基板011的一侧形成有机材质层，通过一次构图工艺对有机材质层进行处理得到保护层013；或者，可以在调光层012远离衬底基板011的一侧贴附保护膜作为保护层013。
需要说明的是，本申请实施例是以制造图7所示的调光镜01为例进行说明的，当制造图8所示的反射式调光镜01时，在步骤706之前，该方法还可以包括：在调光层012远离衬底基板011的一侧形成反射层014。相应地，该步骤706可以包括：在反射层014远离衬底基板011的一侧形成保护层013。可选地，可以在调光层012远离衬底基板011的一侧贴附反射膜或者涂镀反射材料以形成反射层014。
综上所述，本申请实施例提供的调光镜的制造方法，由于调光镜包括调光层，调光层包括多个调光单元，调光单元包括第一驱动结构、第二驱动结构和弹性支撑柱，第一驱动结构、第二驱动结构和弹性支撑柱围成调光腔，可以通过第一驱动结构和第二驱动结构调整调光腔的间隙宽度，进而调整调光单元的调光角度，从而调整调光镜的响应波长，因此有助于提高调光镜的灵活性。
请参考图20，其示出了本申请实施例提供的再一种调光镜的制造方法的方法流程图，该方法可以用于制造图3、图4以及图6至图11任一所示的调光镜01，本实施例以制造图7所示的调光镜01为例进行说明。参见图20，该方法可以包括以下步骤：
在步骤801中，提供衬底基板。
在步骤802中，在衬底基板上形成第一驱动层，第一驱动层包括第一驱动结构。
在步骤803中，在第一驱动层远离衬底基板的一侧形成弹性支撑层，弹性支撑层包括多个弹性支撑柱。
步骤801至步骤803的实现方式可以参考图15所示实施例的步骤701至步骤703以及图16至图17，本申请实施例在此不再赘述。
在步骤804中，在承载基板上形成第二驱动层，第二驱动层包括多个第二驱动结构。
请参考图21，其示出了本申请实施例提供的一种在承载基板C上形成第二驱动层后的示意图，参见图21，第二驱动层包括多个第二驱动结构0122。可选地，第二驱动结构0122的材料可以为ITO、IZO或ZnO:Al中的一种或者多种的组合，可以通过沉积、涂敷或溅射等工艺中的任一种在承载基板C上形成ITO材质层，通过一次构图工艺对ITO材质层进行处理得到第二驱动层。
在步骤805中，在第二驱动层远离承载基板的一侧形成承载膜。
请参考图22，其示出了本申请实施例提供的一种在第二驱动层远离承载基板C的一侧形成承载膜0124后的示意图，该步骤805的实现过程可以参考图15所示实施例中的步骤704，本申请实施例在此不再赘述。
在步骤806中，将形成有第二驱动层和承载膜的承载基板与形成有第一驱动层和弹性支撑层的衬底基板键合，使第一驱动结构与每个第二驱动结构，以及位于第一驱动结构与每个第二驱动结构之间的弹性支撑柱围成调光腔。
请参考图23，其示出了本申请实施例提供的一种将形成有第二驱动层和承载膜0124的承载基板C与形成有第一驱动层和弹性支撑层的衬底基板011键合后的示意图，参见图23，第一驱动结构0121与每个第二驱动结构0122，以及位于第一驱动结构0121与每个第二驱动结构0122之间的弹性支撑柱0123围成调光腔T。可选地，可以将承载基板C和衬底基板011对位，使第二驱动结构0122与弹性支撑柱0123进行对位，任意相邻的两个第二驱动结构0122对应一个第二驱动结构0122，然后通过键合工艺将形成有第二驱动层和承载膜0124的承载基板C与形成有第一驱动层和弹性支撑层的衬底基板011键合。示例地，可以通过粘结的方式将承载膜0124与第二驱动结构0122键合。
在步骤807中，剥离承载基板。
请参考图24，其示出了本申请实施例提供的一种剥离承载基板C后的示意图。可选地，可以采用激光剥离工艺剥离该承载基板C。
在步骤808中，在调光层远离衬底基板的一侧形成保护层。
步骤808的实现过程可以参考图15所示实施例的步骤706，本申请实施例在此不再赘述。
需要说明的是，本申请实施例是以制造图7所示的调光镜01为例进行说明的，当制造图8所示的反射式调光镜01时，在步骤808之前，该方法还可以包括：在调光层012远离衬底基板011的一侧形成反射层014。相应地，该步骤808可以包括：在反射层014远离衬底基板011的一侧形成保护层013。或者，在承载基板上形成第二驱动层之前，可以先在承载基板上形成反射层014，本申请实施例对此做限定。
综上所述，本申请实施例提供的调光镜的制造方法，由于调光镜包括调光层，调光层包括多个调光单元，调光单元包括第一驱动结构、第二驱动结构和弹性支撑柱，第一驱动结构、第二驱动结构和弹性支撑柱围成调光腔，可以通过第一驱动结构和第二驱动结构调整调光腔的间隙宽度，进而调整调光单元的调光角度，从而调整调光镜的响应波长，因此有助于提高调光镜的灵活性。
本申请实施例提供的调光镜的制造方法步骤的先后顺序可以进行适当调整，步骤也可以根据情况进行相应增减，任何熟悉本技术领域的技术人员在本申请揭露的技术范围内，可轻易想到变化的方法，都应涵盖在本申请的保护范围之内，因此不再赘述。
本申请实施例提供的调光镜的制造方法中，所涉及的一次构图工艺包括光刻胶涂覆、曝光、显影、刻蚀和光刻胶剥离，通过一次构图工艺对材质层(例如ITO材质层)进行处理包括：首先，在材质层(例如ITO材质层)上涂覆一层光刻胶形成光刻胶层，接着，采用掩膜版对光刻胶层进行曝光，使得光刻胶层形成完全曝光区和非曝光区，然后，采用显影工艺处理，使完全曝光区的光刻胶被完全去除，非曝光区的光刻胶全部保留，之后，采用刻蚀工艺对材质层(例如ITO材质层)上完全曝光区对应的区域进行刻蚀，最后，剥离非曝光区的光刻胶得到相应的结构(例如第一驱动层)。这里是以光刻胶为正性光刻胶为例进行说明的，当光刻胶为负性光刻胶时，一次构图工艺的过程可以参考本段的描述，本申请实施例在此不再赘述。
基于同样的发明构思，本申请实施例还提供了一种调光装置，该显示装置包括上述实施例提供的调光镜，该显示装置可以为各类镜头或显微镜等光学设备，例如，该显示装置可以为手机、相机、安防监控设备、增强现实(英文：Augmented Reality；简称：AR)设备或虚拟现实(英文：Virtual Reality；简称：VR)设备等任何具有调光功能的产品或部件。
本申请实施例中术语“和/或”，仅仅是一种描述关联对象的关联关系，表示可以存在三种关系，例如，A和/或B，可以表示：单独存在A，同时存在A和B，单独存在B这三种情况。另外，本文中字符“/”，一般表示前后关联对象是一种“或者”的关系。
本申请中术语“A或B的至少一种”，仅仅是一种描述关联对象的关联关系，表示可以存在三种关系，例如，A或B的至少一种，可以表示：单独存在A，同时存在A和B，单独存在B这三种情况。
以上所述仅为本申请的可选实施例，并不用以限制本申请，凡在本申请的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本申请的保护范围之内。

Claims (15)

1.一种调光镜，其特征在于，包括：
衬底基板，以及，位于所述衬底基板上的调光层，所述调光层包括多个调光单元；
所述调光单元包括：相对的第一驱动结构和第二驱动结构，以及，位于所述第一驱动结构与所述第二驱动结构之间的弹性支撑柱，所述第一驱动结构、所述第二驱动结构和所述弹性支撑柱围成调光腔；
其中，所述第一驱动结构和所述第二驱动结构被配置为通过调整所述调光腔的间隙宽度调整所述调光单元的调光角度。
2.根据权利要求1所述的调光镜，其特征在于，
所述调光腔为空腔；或者，
所述调光腔内具有弹性折射介质。
3.根据权利要求1所述的调光镜，其特征在于，
所述第一驱动结构呈板状，所有所述调光单元的所述第一驱动结构为一体结构；
所述第二驱动结构呈块状，所述第二驱动结构的形状包括圆形或多边形中的至少一种。
4.根据权利要求1所述的调光镜，其特征在于，所述调光单元还包括：
承载膜，位于所述弹性支撑柱远离所述第一驱动结构的一侧，所述第二驱动结构位于所述承载膜远离所述第一驱动结构的一侧。
5.根据权利要求1所述的调光镜，其特征在于，所述调光镜还包括：
保护层，位于所述调光层远离所述衬底基板的一侧。
6.根据权利要求1至5任一项所述的调光镜，其特征在于，
所述第一驱动结构和所述第二驱动结构均为驱动电极；或者，
所述第一驱动结构和所述第二驱动结构均为电磁驱动结构；或者，
所述第一驱动结构和所述第二驱动结构均为热膨胀驱动结构；或者，
所述第一驱动结构和所述第二驱动结构均为气压驱动结构。
7.根据权利要求1至5任一项所述的调光镜，其特征在于，
所述多个调光单元阵列排布形成同心的调光圆和多个调光圆环，所述多个调光圆环沿远离所述调光圆的方向等间隔分布在所述调光圆的外侧；或者，
所述多个调光单元阵列排布形成相互平行的多个线性调光条，所述多个线性调光条等间隔排布；或者，
所述多个调光单元阵列排布形成多个弧形调光条，所述多个弧形调光条等间隔排布在同一扇形区域上且共圆心。
8.根据权利要求1至5任一项所述的调光镜，其特征在于，
所述调光镜包括：双凸透镜、平凸透镜或平凹透镜中的任意一种。
9.一种调光镜的制造方法，其特征在于，包括：
提供衬底基板；
在所述衬底基板上形成调光层，所述调光层包括多个调光单元，所述调光单元包括：相对的第一驱动结构和第二驱动结构，以及，位于所述第一驱动结构与所述第二驱动结构之间的弹性支撑柱，所述第一驱动结构、所述第二驱动结构和所述弹性支撑柱围成调光腔；
其中，所述第一驱动结构和所述第二驱动结构被配置为通过调整所述调光腔的间隙宽度调整所述调光单元的调光角度。
10.根据权利要求9所述的方法，其特征在于，
所述在所述衬底基板上形成调光层，包括：
在所述衬底基板上形成第一驱动层，所述第一驱动层包括第一驱动结构；
在所述第一驱动层远离所述衬底基板的一侧形成弹性支撑层，所述弹性支撑层包括多个弹性支撑柱；
在所述弹性支撑层远离所述衬底基板的一侧形成第二驱动层，所述第二驱动层包括多个第二驱动结构；
其中，所述第一驱动结构与每个第二驱动结构，以及位于所述第一驱动结构与所述每个第二驱动结构之间的所述弹性支撑柱围成所述调光腔。
11.根据权利要求10所述的方法，其特征在于，
在所述第一驱动层远离所述衬底基板的一侧形成弹性支撑层之后，所述方法还包括：
在所述弹性支撑层远离所述衬底基板的一侧形成承载膜；
在所述弹性支撑层远离所述衬底基板的一侧形成第二驱动层，包括：
在所述承载膜远离所述衬底基板的一侧形成所述第二驱动层。
12.根据权利要求9所述的方法，其特征在于，
所述在所述衬底基板上形成调光层，包括：
在所述衬底基板上形成第一驱动层，所述第一驱动层包括第一驱动结构；
在所述第一驱动层远离所述衬底基板的一侧形成弹性支撑层，所述弹性支撑层包括多个弹性支撑柱；
在承载基板上形成第二驱动层，所述第二驱动层包括多个第二驱动结构；
将形成有所述第二驱动层的所述承载基板与形成有所述第一驱动层和所述弹性支撑层的所述衬底基板键合，使所述第一驱动结构与每个所述第二驱动结构，以及位于所述第一驱动结构与所述每个所述第二驱动结构之间的所述弹性支撑柱围成所述调光腔；
剥离所述承载基板。
13.根据权利要求12所述的方法，其特征在于，
在所述承载基板上形成所述第二驱动层之后，所述方法还包括：
在所述第二驱动层远离所述承载基板的一侧形成承载膜；
所述将形成有所述第二驱动层的所述承载基板与形成有所述第一驱动层和所述弹性支撑层的所述衬底基板键合，包括：
将形成有所述第二驱动层和所述承载膜的所述承载基板与形成有所述第一驱动层和所述弹性支撑层的所述衬底基板键合。
14.根据权利要求9至13任一所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：在所述调光层远离所述衬底基板的一侧形成保护层。
15.一种调光装置，其特征在于，包括权利要求1至8任一项所述的调光镜。
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