CN110676147A - 一种透射电子显微镜可动光阑的光阑片装置 - Google Patents

一种透射电子显微镜可动光阑的光阑片装置 Download PDF

Info

Publication number
CN110676147A
CN110676147A CN201911111805.2A CN201911111805A CN110676147A CN 110676147 A CN110676147 A CN 110676147A CN 201911111805 A CN201911111805 A CN 201911111805A CN 110676147 A CN110676147 A CN 110676147A
Authority
CN
China
Prior art keywords
diaphragm
electron microscope
movable
transmission electron
diaphragm plate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
CN201911111805.2A
Other languages
English (en)
Inventor
郭新勇
张康
杨艳娜
李盛
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Henan Heda Science And Technology Development Co Ltd
Original Assignee
Henan Heda Science And Technology Development Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Henan Heda Science And Technology Development Co Ltd filed Critical Henan Heda Science And Technology Development Co Ltd
Priority to CN201911111805.2A priority Critical patent/CN110676147A/zh
Publication of CN110676147A publication Critical patent/CN110676147A/zh
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02—Details
    • H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement, ion-optical arrangement
    • H01J37/09—Diaphragms; Shields associated with electron or ion-optical arrangements; Compensation of disturbing fields
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/26—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
    • H01J37/261—Details

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Electron Sources, Ion Sources (AREA)

Abstract

本发明涉及一种透射电子显微镜可动光阑的光阑片设计。本发明包括：光阑片材质（1），光阑片形状（2），光阑孔（3）。本发明适用于透射电子显微镜的聚光镜、物镜和投影镜中的可动光阑。光阑是电镜重要的成像部件之一，其主要作用是通过调节通过光束大小，获得明场像和暗场像，降低噪声干扰、降低球差、提高成像衬度。光阑的性能指标主要由光阑片决定，包括：光阑片材质、光阑片形状、光阑孔数量、光阑孔尺寸、可移动（倾转）范围、移动精度等。本发明使用Ni‑Si青铜系合金加工成透射电子显微镜可动光阑光阑片，具有易于加工、无磁性、耐电子束轰击、延展性和韧性适中、耐腐蚀、成本低廉等特点。

Description

一种透射电子显微镜可动光阑的光阑片装置
技术领域
本发明公开一种透射电子显微镜可动光阑的光阑片装置。
背景技术
透射电子显微镜(Transmission Electron Microscope,简称TEM)，其总体工作原理是：由电子枪发射出来的电子束，经阳极定向加速后在真空通道中沿着镜体光轴穿越聚光镜，通过聚光镜将之会聚成一束尖细、明亮而又均匀的电子束流，照射在样品室内的样品上；透过样品后的电子束携带有样品内部的结构信息，经过物镜的会聚调焦和初级放大后，电子束进入下级的中间透镜和第1、第2投影镜进行综合放大成像，最终被放大了的像通过信息接收装置转化为可肉眼观察的图像。目前，电子显微镜的可动光阑根据所处位置不同，主要分为：聚光镜光阑、物镜光阑和选区光阑，光阑的主要作用是限制通光量以提高图像衬度。在使用过程中，光阑需要在真空中承受高能量电子束的轰击，容易产生积碳等污染。当前光阑片材质一般为铂、钼等贵金属，价格十分昂贵、热加工困难、易污染而不易于清洗。本发明采用的Ni-Si青铜系合金材质的光阑片具有易于加工、无磁性、耐电子束轰击、延展性和韧性适中、耐腐蚀、成本低廉等特点，而且若有杂质附着不方便清洗时，可直接更换光阑片。
发明内容
本发明提供一种透射电子显微镜可动光阑的光阑片装置，本发明包括：光阑片材质（1），光阑片形状（2），光阑孔（3-1）、（3-2）、（3-3）、（3-4）。
优选的光阑片材质(1)其特征是采用Ni-Si青铜系合金，其型号是C64780，易加工、无磁性、耐电子束轰击、延展性和韧性适中、耐腐蚀、成本低廉。
优选的光阑片形状（2）为：光阑片形状长方形，尺寸为20 mm×10 mm，厚度为0.1mm。
优选的光阑孔（3）为：在光阑片上纵向同轴排列四个光阑孔（3-1）、（3-2）、（3-3）、（3-4），其尺寸从小到大依次为40μm、80μm、120μm、200μm。
附图说明
附图1为本发明结构示意图。
具体实施方式
当透射电镜观察的样品是晶体时，由于单一的金属或离子晶体的最小Bragg角对应的晶格间距近似于5埃，所以衍射角α通常是5×10-3弧度（rad）或更大。因此，由于几乎所有Bragg反射电子（即衍射波）被光阑阻挡，这时反差就产生了，这个像称之为“明场像”。另一方面，当光阑移动而阻挡透射波时，由衍射波成像，这种像称之为“暗场象”。这就是说，除晶体非常厚的情况以外，暗场的反差可由倒置亮视野的反差得到。
而当透射电镜观察的样品是非晶态时，散射电子被位于物镜后焦点平面附近的光阑所吸收，因此产生散射吸收反差。为了缩小球差，需要透镜的光阑直径非常小（约数十微米）。因此，如果散射大，大多数电子被光阑阻挡，从而形成像的黑暗部分。电子被散射的程度与样品的质量厚度成正比。因此，散射吸收反差提供了物质的存在和结构（图像）的信息。放入靠近物镜后焦点平面的光阑有两个重要的作用：①限制电子束孔径角以缩小的像差。②除去散射电子从而增强像的反差。因此，光阑孔直径的选择取决于所需的分辨本领和反差。只能选择使用大小适宜的光阑。
光阑必须精确地合轴在电子束光路上，随着光阑孔直径的缩小，电子束强度逐渐减弱，特别是非近轴杂散光会被光阑挡掉，所以减小了球差，像的反差逐渐增强。

Claims (4)

1.一种透射电子显微镜可动光阑的光阑片装置，该装置包括：光阑片材质（1），光阑片形状（2），光阑孔（3）。
2.根据权利要求书1所述的光阑片材质(1)，其特征是材质为Ni-Si青铜系合金，型号为C64780，易于加工、无磁性、耐电子束轰击、延展性和韧性适中、耐腐蚀、成本低廉。
3.根据权利要求书1所述的光阑片形状（2），受限于电子显微镜磁透镜和光路的空间，同时考虑光阑片在镜筒内移动的精度，光阑片形状长方形，尺寸为20 mm×10 mm，厚度为0.1 mm。
4.根据权利要求书1所述的光阑孔（3），在光阑片上纵向同轴排列四个光阑孔（3-1）、（3-2）、（3-3）、（3-4），其尺寸从小到大依次为40μm、80μm、120μm、200μm，满足不同样品的电子光学成像要求。
CN201911111805.2A 2019-11-14 2019-11-14 一种透射电子显微镜可动光阑的光阑片装置 Withdrawn CN110676147A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201911111805.2A CN110676147A (zh) 2019-11-14 2019-11-14 一种透射电子显微镜可动光阑的光阑片装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201911111805.2A CN110676147A (zh) 2019-11-14 2019-11-14 一种透射电子显微镜可动光阑的光阑片装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN110676147A true CN110676147A (zh) 2020-01-10

Family

ID=69087326

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201911111805.2A Withdrawn CN110676147A (zh) 2019-11-14 2019-11-14 一种透射电子显微镜可动光阑的光阑片装置

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN110676147A (zh)

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05182624A (ja) * 1992-01-07 1993-07-23 Jeol Ltd 対物絞り
JPH09167591A (ja) * 1995-12-15 1997-06-24 Hitachi Ltd 走査透過電子顕微鏡
CN106711003A (zh) * 2017-02-15 2017-05-24 聚束科技（北京）有限公司 一种电子源产生装置及电子束控制方法

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05182624A (ja) * 1992-01-07 1993-07-23 Jeol Ltd 対物絞り
JPH09167591A (ja) * 1995-12-15 1997-06-24 Hitachi Ltd 走査透過電子顕微鏡
CN106711003A (zh) * 2017-02-15 2017-05-24 聚束科技（北京）有限公司 一种电子源产生装置及电子束控制方法

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
孙振等: "光刻投影物镜可变光阑的结构设计与分析", 《中国光学》 *

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7741602B2 (en) Phase contrast electron microscope
US7372195B2 (en) Electron beam source having an extraction electrode provided with a magnetic disk element
CN108885961B (zh) 电子显微镜
CN110376229B (zh) 具备复合式探测系统的扫描电子显微镜和样品探测方法
US9455120B2 (en) Particle beam device and method for processing and/or analyzing a sample
US8664599B2 (en) Electron microscope
JP2000329664A (ja) 透過型電子顕微鏡の観察方法および保持治具
US8445846B2 (en) Beam optical component having a charged particle lens
JPWO2016174891A1 (ja) 荷電粒子ビーム用電磁レンズの球面収差補正装置
GB2161018A (en) Electron microscope lenses
CN110676147A (zh) 一种透射电子显微镜可动光阑的光阑片装置
CN106373848B (zh) 采用等离子体中和的电子显微镜装置
JP4896626B2 (ja) 走査電子顕微鏡
JPS6029186B2 (ja) 電子顕微鏡
JP2008234981A (ja) Ｘ線管
CN109585244B (zh) 高功率密度的电子束聚焦装置
EP1679733A2 (en) X-ray microscopic inspection apparatus
CN103198994B (zh) 透射电子显微镜物镜光阑
CN217740467U (zh) 一种光阑
Somu Yadav et al. Introduction to Electron Microscope
Yadav et al. Introduction to Electron Microscope
KAMŠEK Transmission Electron Microscopy
JP2005116365A (ja) 位相板と位相板用レンズ系を備えた透過電子顕微鏡
JP2001289752A (ja) 磁性材料の透過電子顕微鏡観察用試料作製方法
JP2005293884A (ja) Ｘ線発生装置

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
WW01 Invention patent application withdrawn after publication

Application publication date: 20200110

WW01 Invention patent application withdrawn after publication