CN110672264A - 一种微机电系统压力传感器检测系统及其检测方法 - Google Patents

一种微机电系统压力传感器检测系统及其检测方法 Download PDF

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王小平
曹万
梁世豪
熊波
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    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L25/00—Testing or calibrating of apparatus for measuring force, torque, work, mechanical power, or mechanical efficiency
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
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Abstract

本发明涉及设备检测技术领域，尤其是一种微机电系统压力传感器检测系统，包括电压或电流式数显表，所述电压或电流式数显表与压力传感器之间电性连接，所述电压或电流式数显表还电性连接有中央控制器模块，所述中央控制器模块信号连接有数据对比模块，所述数据对比模块将数据进行对比后通过无线传输模块传输至数据存储模块中进行储存。本发明能够针对压力传感器的灵敏度以及内部的桥路进行检测，检测便捷快速的同时，能够将测得的数据通过计算后与标准量进行比对，从而能够快速的对压力传感器的灵敏度进行检测。

Description

一种微机电系统压力传感器检测系统及其检测方法
技术领域
本发明涉及设备检测技术领域，尤其涉及一种微机电系统压力传感器检测系统及其检测方法。
背景技术
压力传感器是能感受压力信号，并能按照一定的规律将压力信号转换成可用的输出的电信号的器件或装置。压力传感器通常由压力敏感元件和信号处理单元组成；
现有技术上在对压力传感器检测时，对压力传感器进行盲目的检测，无法对压力传感器的全部性能进行检测，从而造成检测时的误差较大，同时检测的效率不高。
发明内容
本发明的目的是为了解决现有技术中存在检测效率低，检测精度不高的缺点，而提出的一种微机电系统压力传感器检测系统及其检测方法。
为了实现上述目的，本发明采用了如下技术方案：
设计一种微机电系统压力传感器检测系统，包括电压或电流式数显表，所述电压或电流式数显表与压力传感器之间电性连接，所述电压或电流式数显表还电性连接有中央控制器模块，所述中央控制器模块信号连接有数据对比模块，所述数据对比模块将数据进行对比后通过无线传输模块传输至数据存储模块中进行储存
优选的，所述中央控制器模块内部分别设置有数学函数计算模块以及数据组合模块。
优选的，所述数据对比模块包括数据接收模块，数据接收模块将数据进行接收后，传递至数据转换器模块中进行转换，将压力信号按转换函数转换为电信号，同时数据转换器模块将数据传递至数据库比对模块中进行比对，比对后的数据通过数据压缩模块进行数据的压缩。
本发明还提供了一种微机电系统压力传感器检测系统的检测方法，具备包括如下步骤：
S1、断路的检测：对压力传感器供电，通过电压或电流式数显表对压力传感器的输入端以及输入端进行检测，在电压或电流式数显表上出现数据的显示，则表示压力传感器的内部桥路没有断开；
S2、在经过S1步骤后，对压力传感器进行加压检测；
S3、数据获取：通过电压或电流式数显表测得的压力传感器的数据，并将这些数据代入数学函数计算模块以及数据组合模块中进行对数据的初步计算；
S4、经过S3步骤后，将计算得到的数据传递至数据对比模块，通过已经测得的数据与标准量进行比较，取得与标准量之间的差值后，利用偏差法计算出该差值，从而能够根据该差值判断出压力传感器的性能。
优选的，所述加压检测具体包括如下：对压力传感器进行供电，用嘴吹压力传感器的导气孔，加压的同时利用电压或电流式数显表对压力传感器进行检测，并观察电压或电流式数显表的数据变化量，能够初步的对压力传感器的灵敏度有判断。
优选的，所述在整个测量的过程中，需要做到等精度测量。
优选的，所述等精度测量具体是指在进行检测的过程中，使用同样的方法，在同样的环境下，对同一被测量进行多次重复测量。
本发明提出的一种微机电系统压力传感器检测系统及其检测方法，有益效果在于：该微机电系统压力传感器检测系统及其检测方法能够针对压力传感器的灵敏度以及内部的桥路进行检测，检测便捷快速的同时，能够将测得的数据通过计算后与标准量进行比对，从而能够快速的对压力传感器的灵敏度进行检测。
附图说明
图1为本发明提出的一种微机电系统压力传感器检测系统及其检测方法的系统框图。
图2为本发明提出的一种微机电系统压力传感器检测系统及其检测方法的数据对比模块的系统框图。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。
参照图1-2，一种微机电系统压力传感器检测系统，包括电压或电流式数显表，电压或电流式数显表与压力传感器之间电性连接，电压或电流式数显表还电性连接有中央控制器模块，中央控制器模块信号连接有数据对比模块，数据对比模块将数据进行对比后通过无线传输模块传输至数据存储模块中进行储存，中央控制器模块内部分别设置有数学函数计算模块以及数据组合模块，通过数学函数计算模块以及数据组合模块，对测得数据进行快速的计算，从而有效的提高了检测过程的精度。
数据对比模块包括数据接收模块，数据接收模块将数据进行接收后，传递至数据转换器模块中进行转换，将压力信号按转换函数转换为电信号，同时数据转换器模块将数据传递至数据库比对模块中进行比对，比对后的数据通过数据压缩模块进行数据的压缩，改设计能够将测得的数据通过计算后与标准量进行比对，从而能够快速的对压力传感器的灵敏度进行检测。
本发明还提供了一种微机电系统压力传感器检测系统的检测方法，具备包括如下步骤：
S1、断路的检测：对压力传感器供电，通过电压或电流式数显表对压力传感器的输入端以及输入端进行检测，在电压或电流式数显表上出现数据的显示，则表示压力传感器的内部桥路没有断开；
S2、在经过S1步骤后，对压力传感器进行加压检测，加压检测具体包括如下：对压力传感器进行供电，用嘴吹压力传感器的导气孔，加压的同时利用电压或电流式数显表对压力传感器进行检测，并观察电压或电流式数显表的数据变化量，能够初步的对压力传感器的灵敏度有判断；
S3、数据获取：通过电压或电流式数显表测得的压力传感器的数据，并将这些数据代入数学函数计算模块以及数据组合模块中进行对数据的初步计算；
S4、经过S3步骤后，将计算得到的数据传递至数据对比模块，通过已经测得的数据与标准量进行比较，取得与标准量之间的差值后，利用偏差法计算出该差值，从而能够根据该差值判断出压力传感器的性能。
在整个测量的过程中，需要做到等精度测量，等精度测量具体是指在进行检测的过程中，使用同样的方法，在同样的环境下，对同一被测量进行多次重复测量，通过该方法，对压力传感器进行检测，实现了对压力传感器的基本数据进行快速的测量，并通过计算得到相应的数据，并将数据通过与标准量数据的对比，检测出压力传感器的灵敏度是否在正常的范围内。
以上所述，仅为本发明较佳的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，根据本发明的技术方案及其发明构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本发明的保护范围之内。

Claims (7)

1.一种微机电系统压力传感器检测系统，包括电压或电流式数显表，其特征在于，所述电压或电流式数显表与压力传感器之间电性连接，所述电压或电流式数显表还电性连接有中央控制器模块，所述中央控制器模块信号连接有数据对比模块，所述数据对比模块将数据进行对比后通过无线传输模块传输至数据存储模块中进行储存。
2.根据权利要求1所述的一种微机电系统压力传感器检测系统，其特征在于，所述中央控制器模块内部分别设置有数学函数计算模块以及数据组合模块。
3.根据权利要求1所述的一种微机电系统压力传感器检测系统，其特征在于，所述数据对比模块包括数据接收模块，数据接收模块将数据进行接收后，传递至数据转换器模块中进行转换，将压力信号按转换函数转换为电信号，同时数据转换器模块将数据传递至数据库比对模块中进行比对，比对后的数据通过数据压缩模块进行数据的压缩。
4.一种根据权利要求1-3所述微机电系统压力传感器检测系统的检测方法，其特征在于，具备包括如下步骤：
S1、断路的检测：对压力传感器供电，通过电压或电流式数显表对压力传感器的输入端以及输入端进行检测，在电压或电流式数显表上出现数据的显示，则表示压力传感器的内部桥路没有断开；
S2、在经过S1步骤后，对压力传感器进行加压检测；
S3、数据获取：通过电压或电流式数显表测得的压力传感器的数据，并将这些数据代入数学函数计算模块以及数据组合模块中进行对数据的初步计算；
S4、经过S3步骤后，将计算得到的数据传递至数据对比模块，通过已经测得的数据与标准量进行比较，取得与标准量之间的差值后，利用偏差法计算出该差值，从而能够根据该差值判断出压力传感器的性能。
5.根据权利要求4所述的一种微机电系统压力传感器检测系统的检测方法，其特征在于，所述加压检测具体包括如下：对压力传感器进行供电，用嘴吹压力传感器的导气孔，加压的同时利用电压或电流式数显表对压力传感器进行检测，并观察电压或电流式数显表的数据变化量，能够初步的对压力传感器的灵敏度有判断。
6.根据权利要求4所述的一种微机电系统压力传感器检测系统的检测方法，其特征在于，所述在整个测量的过程中，需要做到等精度测量。
7.根据权利要求6所述的一种微机电系统压力传感器检测系统的检测方法，其特征在于，所述等精度测量具体是指在进行检测的过程中，使用同样的方法，在同样的环境下，对同一被测量进行多次重复测量。
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