CN110645408A - 一种电润湿驱动液滴微阀控制液体流通装置 - Google Patents

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Abstract

本发明公开一种电润湿驱动液滴微阀控制液体流通装置，包括阀体、进液口以及出液口，所述阀体设有阀腔，所述进液口与所述阀腔上端连通，所述出液口与所述阀腔下端连通；其特征在于，所述阀腔中部设有阻流支架、所述阻流支架与所述阀腔内壁之间设有连通口，所述连通口处设有用于控制所述连通口通断的微阀控制机构；其中，所述微阀控制机构包括设置在所述连通口下端用于关闭或打开所述连通口的弹性膜片以及驱动所述弹性膜片绕着所述阀腔侧壁摆动的电润湿驱动机构。该装置不仅可以精准地控制阀门的开启的大小，以达到控制不同大小的流量，控制灵活方便；另外，该装置还可以克服阀门磨损问题，具有控制精度高，结构简单，使用方便，适应性强的优点。

Description

一种电润湿驱动液滴微阀控制液体流通装置
技术领域
本发明涉及微流控技术领域，具体涉及一种电润湿驱动液滴微阀控制液体流通装置。
背景技术
随着微流控技术的应用越来越广阔，其微型阀简称微阀，在其电子工业，生物医疗等领域广泛应用，微流体器件适合各种流量控制系统的开发，其控制技术包括光、电、磁、热等。微流控芯片中微阀在微通道具有换向和开关功能，可用在医学检测方面，医生为患者进行试剂药物筛选测试时，便要进行多种药物的反应测试，从而筛选对病人最为有效的药物。这些方面促进了微流控集成及高通量处理技术的研究开发与应用。电润湿是指改变液滴与绝缘基板之间的电压，来改变液滴在基板上的润湿性，即改变接触角，使液滴发生形变、位移的现象。所谓润湿是指固体表面的一种流体被另一种流体所取代的过程。液体在固体表面能铺展，固液接触面有扩大的趋势，即液体对固体表面的附着力大于其内聚力，就是润湿。电浸润可以有效实现微米离子的精准定位、分离、收集、运输等。
现有的微阀中，通常采用电磁或者光驱动来控制微阀的打开与关闭，例如授权公告号为CN105715865B公开的发明专利公开了一种电磁微阀装置，涉及微流控技术领域，所述装置包括：样本试剂流道、由室温液态金属填充的第一液态金属螺旋线圈微流道、由室温液态金属填充的第二液态金属螺旋线圈微流道和柔性薄膜。本发明通过室温液态金属填充的液态金属螺旋线圈微流道之间的吸引力和排斥力来实现样本试剂流道的关闭和开启，能够快速实现控制流体流动的目的，且结构紧凑、灌注制作方便、成本低廉，并且易于集成，另外，由于填充于液态金属螺旋线圈微流道内的液态金属具有流动性和可变形性，在电磁驱动挤压关闭阀门和开启阀门的过程中，不会断裂，电连接稳定性好。例如授权公告号为CN107120474A的发明专利公开了一种基于光驱动液控换向微阀装置及其使用方法；该装置的阀体底部开有进气口，阀体顶部对称开有出气口I、出气口II，光敏液滴I、光敏液滴II、光敏液滴III位于阀体的通道内且光敏液滴I位于出气口I正下方、光敏液滴II位于进气口正上方、光敏液滴III位于出气口II正下方，由同一开关控制的光驱组I位于出气口I的两侧，由同一开关控制的光驱组II位于出气口II的两侧，由同一开关控制的光驱组III位于进气口的两侧，光驱I位于光敏液滴I的正下方，光驱II位于光敏液滴III的正下方。本发明解决了换向过程中控制精度低、动态响应特性差和流动效率低等问题。
但是，随着质量和要求的不断提升，上述微阀控制存在以下的不足：
1、现有技术中授权公告号为CN105715865B的发明专利通过电磁的吸引力和排斥力来达到开启和关闭通道，电磁调节精度受限，通常只有开关或者闭合两种状态，不能实现线性控制开关的开合程度，不具有多样化控制通道液体流速的作用，因此，通过电磁控制微阀，动态响应差，控制精度低，成本高，使用次数多会对阀体造成一定的损坏从而降低流动效率。
2、现有技术中授权公告号为CN107120474A公开的技术方案，通过光驱动液滴控制微阀方式，其光敏液滴对光的敏感度随温度的变化而变化，适用性差，对光照强度要求高，光敏液滴的材质的变形量选取范围小，多种因素导致其微阀的控制不精准。
发明内容
本发明的目的在于克服上述存在的问题，提供一种电润湿驱动液滴微阀控制液体流通装置，该装置不仅可以精准地控制阀门的开启的大小，以达到控制不同大小的流量，控制灵活方便；另外，该装置还可以克服阀门磨损问题，具有控制精度高，结构简单，使用方便，适应性强的优点。
本发明的目的通过以下技术方案实现：
一种电润湿驱动液滴微阀控制液体流通装置，包括阀体、位于阀体上端的进液口以及位于阀体下端的出液口，所述阀体设有阀腔，所述进液口与所述阀腔上端连通，所述出液口与所述阀腔下端连通；其特征在于，所述阀腔中部设有用于阻挡液体的阻流支架，所述阻流支架与所述阀腔内壁之间设有连通口，所述连通口处设有用于控制所述连通口通断的微阀控制机构；其中，
所述微阀控制机构包括设置在所述连通口下端用于关闭或打开所述连通口的弹性膜片以及驱动所述弹性膜片绕着所述阀腔侧壁摆动的电润湿驱动机构。
上述电润湿驱动液滴微阀控制液体流通装置的工作原理是：
工作时，首先液体从进液口流入阀体的阀腔中，阀腔内的液体经过阻流支架的阻挡，将阀腔内的液体引导至连通口，然后通过连通口流入阀腔底部，然后从出液口流出，控制连通口开启与关闭的具体过程为：
当需要关闭连通口时，将电润湿驱动机构通电驱动弹性膜片克服其弹力绕着阀腔侧壁向上转动，连通口的通径随着弹性膜片的转动逐渐减小，阀腔内液体的流速逐渐减慢，当弹性膜片继续向上转动，直到将弹性膜片末端抵紧在阻流支架上，将连通口关闭，从而达到阻断液体的流通。当需要开启时，电润湿驱动机构反向工作，弹性膜片在自身弹力和液体的压力下，沿着阀腔侧壁向下转动，连通口逐渐开启，逐渐增大阀腔的液体流速，最后弹性膜片复位，从而使得连通口完全开启，实现进液口与出液口的连通。
本发明的一个优选方案，其中，所述电润湿驱动机构包括设置在所述弹性膜片下方的液滴以及设置在所述阀腔底部用于驱动所述液滴运动的电润湿驱动电路，所述电润湿驱动电路上面设有一层疏水层，所述液滴在所述疏水层上运动。上述结构的工作原理为：当液体从进液口流入阀体的阀腔中，流经连通口进入出液口时，电润湿驱动电路接通电源，电润湿驱动电路与液滴之间产生电压，通过改变电润湿驱动电路接通的电压，从而改变了电润湿驱动电路与液滴之间的电压，进而改变液滴在电润湿驱动电路上的湿润性，即改变接触角，使液滴发生形变、位移的现象。当需要关闭连通口时，通过改变电润湿驱动电路与液滴之间的电压，液滴在疏水层上向着阻流支架的方向运动，然后液滴与弹性膜片接触，驱动弹性膜片向上转动，直到将弹性膜片末端抵紧在阻流支架上，将连通口关闭，从而达到阻断液体的流通；当需要开启时，改变电压，驱动液滴沿着相反的方向运动，弹性膜片在自身弹力下复位，连通口打开，实现连通口的连通。
本发明的一个优选方案，其中，所述阻流支架呈“T”字形，所述阻流支架的下端与所述阀腔底部固定连接；该阻流支架的两端与所述阀腔内壁之间分别形成两个所述连通口，每个所述连通口处均设有所述微阀控制机构；所述出液口为两个，且分别与两个所述连通口连通。通过设置两个连通口，分别通过微阀控制机构独立控制连通口的开启与闭合，提高了该装置的使用的灵活性。
优选地，所述“T”字型的阻流支架两侧末端均设有倾斜向下的倾斜部，其好处在于，当液体从进液口流入阀体内腔时，经过阻流支架将液体阻挡在阀体内腔，通过设置倾斜部，可以更好地将阀体内腔的液体引流到连通口处，提高液体的流速。
本发明的一个优选方案，其中，所述阀体两侧均设有将所述液滴的输送至所述疏水层上的输送通道，所述输送通道通过连通孔与所述阀腔连通。这样，当液滴在疏水层上来回移动或者在不工作状态时，会产生液滴的部分损失，通过液滴输送通道对液滴进行补充，使其能精准控制连通口的开启与关闭。
本发明的一个优选方案，其中，所述电润湿驱动电路为光栅轨道电极；其好处在于，通过设置光栅轨道电极，更好地调节每块光栅轨道电极与液滴之间的电压，并且液滴可以通过与光栅轨道电极之间产生的库仑力，在疏水层上移动。
优选地，所述光栅电极与所述疏水层之间设有一层防护膜，所述防护膜用于防止相邻电极之间发生击穿现象。
进一步地，所述防护膜为聚四氟乙烯(PTEF)膜，该聚四氟乙烯(PTEF)膜具有优良的化学稳定性、耐热、耐污、高绝缘和低介电常数。
进一步地，所述疏水层为聚全氟乙丙烯(FEP)膜，该聚全氟乙丙烯(FEP)膜具有不沾性，疏水，耐高低温性及耐化学稳定性。
优选地，所述阀体上端设有进液微通道，下端设有出液微通道，所述进液微通道与所述进液口连通，所述出液微通道与所述出液口连通。通过设置上述结构，有利于液体的在通道内的流通。
优选地，所述进液微通道、所述出液微通道均与所述阀体通过螺纹连接，其好处在于便于阀体的拆卸与安装。
本发明与现有技术相比具有以下有益效果：
1、本发明中通过设置电润湿驱动机构驱动弹性膜片实现连通口的开启与闭合，该装置能够精准地控制连通口的开启的大小，进而控制不同大小的流量，灵活性高。
2、本发明中通过电润湿驱动机构驱动弹性膜片实现连通口的开启与闭合，没有复杂的机械结构，结构设计简单，工作过程中不会造成各个部件的磨损，有效防止部件的损坏，从而提高了微阀的使用寿命，可靠性强。
3、本发明中，由于没有复杂的机械结构，对微阀的体积可以进一步缩小，能适用于更多对微阀体积要求较高的领域，适应性强，而且操作过程简单，便于实现。
附图说明
图1为本发明中一种电润湿驱动液滴微阀控制液体流通装置的第一种具体实施方式的立体结构示意图。
图2为图1中阀体内部结构的立体图。
图3为本发明中的电润湿驱动液滴微阀控制液体流通装置剖视图。
图4为图3中A处的局部放大图。
具体实施方式
为了使本领域的技术人员很好地理解本发明的技术方案，下面结合实施例和附图对本发明作进一步描述，但本发明的实施方式不仅限于此。
实施例1
参见图1-图4，一种电润湿驱动液滴微阀控制液体流通装置，包括阀体1、位于阀体1上端的进液口2以及位于阀体1下端的出液口3，所述阀体1设有阀腔1-1，所述进液口2与所述阀腔1-1上端连通，所述出液口3与所述阀腔1-1下端连通；其特征在于，所述阀腔1-1中部设有用于阻挡液体的阻流支架4，所述阻流支架4与所述阀腔1-1内壁之间设有连通口5，所述连通口5处设有用于控制所述连通口5打开或者关闭的微阀控制机构；其中，所述微阀控制机构包括设置在所述连通口5下端用于关闭或打开所述连通口5的弹性膜片6以及驱动所述弹性膜片6绕着所述阀腔1-1侧壁摆动的电润湿驱动机构7。
参见图1-图4，所述电润湿驱动机构7包括设置在所述弹性膜片6下方的液滴7-1以及设置在所述阀腔底部用于驱动所述液滴7-1运动的电润湿驱动电路7-2，所述电润湿驱动电路7-2上面设有一层疏水层7-3，所述液滴7-1在所述疏水层7-3上运动。上述结构的工作原理为：当液体从进液口2流入阀体1的阀腔1-1中，流经连通口5进入出液口3时，电润湿驱动电路7-2接通电源，电润湿驱动电路7-2与液滴7-1之间产生电压，通过改变电润湿驱动电路7-2接通的电压，从而改变了电润湿驱动电路7-2与液滴7-1之间的电压，进而改变液滴7-1在电润湿驱动电路7-2上的湿润性，即改变接触角，使液滴7-1发生形变、位移的现象。当需要关闭连通口5时，通过改变电润湿驱动电路7-2与液滴7-1之间的电压，液滴7-1在疏水层7-3上向着阻流支架4的方向运动，然后液滴7-1与弹性膜片6接触，驱动弹性膜片6向上转动，直到将弹性膜片6末端抵紧在阻流支架4上，将连通口5关闭，从而达到阻断液体的流通；当需要开启时，改变电压，驱动液滴7-1沿着相反的方向运动，弹性膜片6在自身弹力下复位，连通口5打开，实现连通口的连通。
参见图1-图4，所述阻流支架4呈“T”字形，所述阻流支架4的下端与所述阀腔1-1底部固定连接；该阻流支架4的两端与所述阀腔1-1内壁之间分别形成两个所述连通口5，每个所述连通口5处均设有所述微阀控制机构；所述出液口3为两个，且分别与两个所述连通口5连通。通过设置两个连通口5，分别通过微阀控制机构独立控制连通口5的开启与闭合，提高了该装置的使用的灵活性。
参见图1-图4，所述“T”字型的阻流支架4两侧末端均设有倾斜向下的倾斜部4-1，其好处在于，当液体从进液口2流入阀体1内腔时，经过阻流支架4将液体阻挡在阀体1内腔，通过设置倾斜部4-1，可以更好地将阀体1内腔的液体引流到连通口5处，提高液体的流速。
参见图1-图4，所述阀体1两侧均设有将所述液滴7-1的输送至所述疏水层7-3上的输送通道，所述输送通道通过连通孔与所述阀腔1-1连通。这样，当液滴7-1在疏水层7-3上来回移动或者在不工作状态时，会产生液滴7-1的部分损失，通过液滴7-1输送通道对液滴7-1进行补充，使其能精准控制连通口5的开启与关闭。
参见图1-图4，所述电润湿驱动电路7-2为光栅轨道电极；其好处在于，通过设置光栅轨道电极，更好地调节每块光栅轨道电极与液滴7-1之间的电压，并且液滴7-1可以通过与光栅轨道电极之间产生的库仑力，在疏水层7-3上移动。
参见图1-图4，所述光栅电极与所述疏水层7-3之间设有一层防护膜7-4，所述防护膜7-4用于防止相邻电极之间发生击穿现象。
参见图1-图4，所述防护膜7-4为聚四氟乙烯(PTEF)膜，该聚四氟乙烯(PTEF)膜具有优良的化学稳定性、耐热、耐污、高绝缘和低介电常数。
参见图1-图4，所述疏水层7-3为聚全氟乙丙烯(FEP)膜，该聚全氟乙丙烯(FEP)膜具有不沾性，疏水，耐高低温性及耐化学稳定性。
参见图1-图4，所述阀体1上端设有进液微通道8，下端设有出液微通道9，所述进液微通道8与所述进液口2连通，所述出液微通道9与所述出液口3连通。通过设置上述结构，有利于液体的在通道内的流通。
参见图1-图4，所述进液微通道8、所述出液微通道9均与所述阀体1通过螺纹连接，其好处在于便于阀体的拆卸与安装。
参见图1-图4，上述电润湿驱动液滴微阀控制液体流通装置的工作原理是：
工作时，首先液体从进液口2流入阀体1的阀腔1-1中，阀腔1-1内的液体经过阻流支架4的阻挡，将阀腔1-1内的液体引导至连通口5，然后通过连通口5流入阀腔1-1底部，然后从出液口3流出，控制连通口5开启与关闭的具体过程为：
当需要关闭连通口5时，将电润湿驱动机构7通电驱动弹性膜片6克服其弹力绕着阀腔1-1侧壁向上转动，连通口5的通径随着弹性膜片6的转动逐渐减小，阀腔1-1内液体的流速逐渐减慢，当弹性膜片6继续向上转动，直到将弹性膜片6末端抵紧在阻流支架4上，将连通口5关闭，从而达到阻断液体的流通。当需要开启时，电润湿驱动机构7反向工作，弹性膜片6在自身弹力以及液体的压力下，沿着阀腔1-1侧壁向下转动，连通口5逐渐开启，逐渐增大阀腔1-1的液体流速，最后弹性膜片6复位，从而使得连通口5完全开启，实现进液口2与出液口3之间的连通。
实施例2
本实施例的其它结构与实施例1相同，不同之处在于：所述阻流支架4为“个”字形，其好处在于，将阀腔1-1内的液体更快地引流到阀腔1-1两侧的连通口5处。
上述为本发明较佳的实施方式，但本发明的实施方式并不受上述内容的限制，其他的任何未背离本发明的精神实质与原理下所做的改变、修饰、替代、组合、简化，均应为等效的置换方式，都包含在本发明的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种电润湿驱动液滴微阀控制液体流通装置，包括阀体、位于阀体上端的进液口以及位于阀体下端的出液口，所述阀体设有阀腔，所述进液口与所述阀腔上端连通，所述出液口与所述阀腔下端连通；其特征在于，所述阀腔中部设有用于阻挡液体的阻流支架，所述阻流支架与所述阀腔内壁之间设有连通口，所述连通口处设有用于控制所述连通口通断的微阀控制机构；其中，
所述微阀控制机构包括设置在所述连通口下端用于关闭或打开所述连通口的弹性膜片以及驱动所述弹性膜片绕着所述阀腔侧壁摆动的电润湿驱动机构。
2.根据权利要求1所述的电润湿驱动液滴微阀控制液体流通装置，其特征在于，所述电润湿驱动机构包括设置在所述弹性膜片下方的液滴以及设置在所述阀腔底部用于驱动所述液滴运动的电润湿驱动电路，所述电润湿驱动电路上面设有一层疏水层，所述液滴在所述疏水层上运动。
3.根据权利要求2所述的电润湿驱动液滴微阀控制液体流通装置，其特征在于，所述阻流支架呈“T”字形，所述阻流支架的下端与所述阀腔底部固定连接；该阻流支架的两端与所述阀腔内壁之间分别形成两个所述连通口，每个所述连通口处均设有所述微阀控制机构；所述出液口为两个，且分别与两个所述连通口连通。
4.根据权利要求3所述的电润湿驱动液滴微阀控制液体流通装置，其特征在于，所述“T”字型的阻流支架两侧末端均设有倾斜向下的倾斜部。
5.根据权利要求4所述的电润湿驱动液滴微阀控制液体流通装置，其特征在于，所述阀体两侧均设有将所述液滴的输送至所述疏水层上的输送通道，所述输送通道通过连通孔与所述阀腔连通。
6.根据权利要求5所述的电润湿驱动液滴微阀控制液体流通装置，其特征在于，所述电润湿驱动电路为光栅轨道电极。
7.根据权利要求6所述的电润湿驱动液滴微阀控制液体流通装置，其特征在于，所述光栅电极与所述疏水层之间设有一层防护膜。
8.根据权利要求7所述的电润湿驱动液滴微阀控制液体流通装置，其特征在于，所述防护膜为聚四氟乙烯膜。
9.根据权利要求2-8任一项所述的电润湿驱动液滴微阀控制液体流通装置，其特征在于，所述疏水层为聚全氟乙丙烯膜。
10.根据权利要求1-8任一项所述的电润湿驱动液滴微阀控制液体流通装置，其特征在于，所述阀体上端设有进液微通道，下端设有出液微通道，所述进液微通道与所述进液口连通，所述出液微通道与所述出液口连通。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111669076A (zh) * 2020-06-11 2020-09-15 广州大学 一种基于电浸润的微型发动机
CN113090785A (zh) * 2021-03-29 2021-07-09 广州大学 一种基于介电润湿控制的四通道微阀
CN113811389A (zh) * 2020-02-28 2021-12-17 京东方科技集团股份有限公司 一种微流控芯片和微流控系统

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN112992817B (zh) * 2021-02-10 2023-06-02 西南电子技术研究所（中国电子科技集团公司第十研究所） 微流道自驱动内循环对流强化传热方法

Citations (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20020114715A1 (en) * 2001-02-20 2002-08-22 Korea Advanced Institute Of Science And Technology Micropump driven by movement of liquid drop induced by continuous electrowetting
WO2006064949A1 (ja) * 2004-12-17 2006-06-22 Brother Kogyo Kabushiki Kaisha キャピラリーエレクトロウェッティング現象を用いたバルブ及びアクチュエータ
CN1973237A (zh) * 2004-06-23 2007-05-30 皇家飞利浦电子股份有限公司 双稳态电浸润光学元件及其驱动方法
US20080212161A1 (en) * 2005-08-08 2008-09-04 Commissariat A L'energie Atomique Actuating Device Having a Flexible Diaphragm Controlled By Electrowetting
CN101663089A (zh) * 2007-04-04 2010-03-03 微点生物技术有限公司 微机械加工的电润湿微流体阀
US20100072414A1 (en) * 2008-09-23 2010-03-25 The Curators Of The University Of Missouri Microfluidic valve systems and methods
CN103295834A (zh) * 2013-03-11 2013-09-11 西南科技大学 一种基于电润湿的阈值可调水银微流体惯性开关
CN103386332A (zh) * 2013-07-09 2013-11-13 苏州大学 微流控芯片输运液滴的方法
CN103470852A (zh) * 2013-09-12 2013-12-25 东南大学 一种基于电润湿技术的微流体阀装置
US9194384B2 (en) * 2009-12-17 2015-11-24 The Charles Stark Draper Laboratory, Inc. MEMS electrostatic fluidic pumps and valves
CN105233887A (zh) * 2015-08-31 2016-01-13 中国科学院深圳先进技术研究院 一种基于介电润湿的微液滴驱动器件及其制备方法
CN107044559A (zh) * 2017-04-17 2017-08-15 昆明理工大学 一种基于磁驱液控微阀供气换向装置及其使用方法
CN107120474A (zh) * 2017-03-31 2017-09-01 昆明理工大学 一种基于光驱动液控换向微阀装置及其使用方法
CN109806803A (zh) * 2019-02-28 2019-05-28 南京理工大学 一种具有电润湿阈门的微流体混合装置及其控制方法

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2379212B1 (en) * 2008-12-16 2020-05-27 Koninklijke Philips N.V. Hydrophobic valve

Patent Citations (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20020114715A1 (en) * 2001-02-20 2002-08-22 Korea Advanced Institute Of Science And Technology Micropump driven by movement of liquid drop induced by continuous electrowetting
CN1973237A (zh) * 2004-06-23 2007-05-30 皇家飞利浦电子股份有限公司 双稳态电浸润光学元件及其驱动方法
WO2006064949A1 (ja) * 2004-12-17 2006-06-22 Brother Kogyo Kabushiki Kaisha キャピラリーエレクトロウェッティング現象を用いたバルブ及びアクチュエータ
US20080212161A1 (en) * 2005-08-08 2008-09-04 Commissariat A L'energie Atomique Actuating Device Having a Flexible Diaphragm Controlled By Electrowetting
CN101663089A (zh) * 2007-04-04 2010-03-03 微点生物技术有限公司 微机械加工的电润湿微流体阀
US20100072414A1 (en) * 2008-09-23 2010-03-25 The Curators Of The University Of Missouri Microfluidic valve systems and methods
US9194384B2 (en) * 2009-12-17 2015-11-24 The Charles Stark Draper Laboratory, Inc. MEMS electrostatic fluidic pumps and valves
CN103295834A (zh) * 2013-03-11 2013-09-11 西南科技大学 一种基于电润湿的阈值可调水银微流体惯性开关
CN103386332A (zh) * 2013-07-09 2013-11-13 苏州大学 微流控芯片输运液滴的方法
CN103470852A (zh) * 2013-09-12 2013-12-25 东南大学 一种基于电润湿技术的微流体阀装置
CN105233887A (zh) * 2015-08-31 2016-01-13 中国科学院深圳先进技术研究院 一种基于介电润湿的微液滴驱动器件及其制备方法
CN107120474A (zh) * 2017-03-31 2017-09-01 昆明理工大学 一种基于光驱动液控换向微阀装置及其使用方法
CN107044559A (zh) * 2017-04-17 2017-08-15 昆明理工大学 一种基于磁驱液控微阀供气换向装置及其使用方法
CN109806803A (zh) * 2019-02-28 2019-05-28 南京理工大学 一种具有电润湿阈门的微流体混合装置及其控制方法

Non-Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
凌明祥: "基于介电润湿效应的微液滴操控研究", 《中国优秀硕士学位论文全文数据库》 *
罗智杰等: "基于介电润湿的微流控液滴定位与反馈系统研究", 《现代电子技术》 *

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN113811389A (zh) * 2020-02-28 2021-12-17 京东方科技集团股份有限公司 一种微流控芯片和微流控系统
CN113811389B (zh) * 2020-02-28 2023-04-11 京东方科技集团股份有限公司 一种微流控芯片和微流控系统
CN111669076A (zh) * 2020-06-11 2020-09-15 广州大学 一种基于电浸润的微型发动机
CN111669076B (zh) * 2020-06-11 2022-03-22 广州大学 一种基于电浸润的微型发动机
CN113090785A (zh) * 2021-03-29 2021-07-09 广州大学 一种基于介电润湿控制的四通道微阀
CN113090785B (zh) * 2021-03-29 2022-12-09 广州大学 一种基于介电润湿控制的四通道微阀

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