CN110609439A - 检查装置 - Google Patents

Abstract

检查装置20包括至少具有接收自多个像素(周期性检查对象物)PX有周期地并列地设置的主液晶面板(检查对象基板)10M的光的光接收元件25、以及用以在光接收元件25使光成像的成像部件26，并摄影与像素PX有关的图像的照相机(摄影部)21；经由将通过照相机21摄影的图像与参照图像进行比较，判定像素PX的好坏的判定部31；经由使光接收元件25与成像部件26相对位移，或者使主液晶面板10M与照相机21相对位移，将照相机21的光学分解能的数值调整成像素PX的周期的整数分之一的分解能调整部32。

Description

检查装置

技术领域

本发明涉及一种检查装置。

背景技术

以往，已知作为用以检查晶圆上的图案等的检查装置的例子在下述的专利文献1记载。此检查装置在将图案的设计数据与已取得的图像图案进行比较并检查在该被测量试样形成的图案的缺陷的方法与装置中，该被测量试样是所谓的光掩模，该图案的设计数据在使用制作光掩模时制作的设计图案，在通过与该取得图像进行比较而实行检查的过程，设计数据在通过实际地在晶圆上形成图案时使用的步进机而形成光掩模的图像(之后，称作晶圆图像)，以适当的方法变换，并同时将实际地被测量到的取得图像以适当的变换方法变换成晶圆图像，通过将其两者进行比较而检测缺陷。

现有技术文献

专利文件

专利文献1：日本公开专利公报“特开第2006-250845号公报”

发明内容

本发明所要解决的技术问题

根据上述的专利文献1记载的检查装置，通过从检查装置得到的图像制作晶圆上的图案，能够仅抽出在实际的晶圆上成为问题的缺陷并进行检查。然而，与用以取得图像图案的摄影部有关的分解能(optical resolution)与检查对象即图案的周期产生干扰，则生成称作莫尔纹的干涉条纹，有起因于此而产生缺陷的错误检测之虞。

本发明是基于如上所述的事情而完成，目的在于抑制缺陷的错误检测的生成。

解决问题的手段

(1)本发明的一实施方式是，一种检查装置包括至少具有接收自多个周期性检查对象物有周期地并列地设置的检查对象基板的光的光接收元件、用以在所述光接收元件使所述光成像的成像部件，并摄影与所述周期性检查对象物有关的图像的摄影部；经由将通过所述摄影部摄影的所述图像与参照图像进行比较；判定所述周期性检查对象物的好坏的判定部；经由使所述光接收元件与所述成像部件相对位移，或者使所述检查对象基板与所述摄影部相对位移，将所述摄影部的分解能的数值调整至所述周期性检查对象物的周期的整数分之一的分解能调整部。

这样的话，经由将自多个周期性检查对象物有周期地并列地设置的检查对象基板的光通过成像部件在光接收元件成像，而由光接收元件接收光。由此，摄影部能够摄影与周期性检查对象物有关的图像。判定部经由将通过摄影部摄影的图像与参照图像进行比较，判定周期性检查对象物的好坏。另外，参照图像可以是通过摄影部摄影成为比较对象的周期性检查对象物而得到的，也可以是基于周期性检查对象物的设计数据等预先设定的。在此，由于周期性检查对象物在检查对象基板中多个以周期性地并列地配置，当周期性检查对象物的周期与摄影部的分解能产生干扰，则生成称作莫尔纹的干涉条纹，从而有产生缺陷的错误检测的疑虑。这点，由于分解能调整部经由使光接收元件与成像部件相对位移，或者使检查对象基板与摄影部相对位移，能够将摄影部的分解能的数值调整成周期性检查对象物的周期的整数分之一，能够让周期性检查对象物的周期与摄影部的分解难以产生干扰。由此，抑制起因于莫尔纹的缺陷的错误检测的生成。

(2)又，本发明的实施方式是除了上述(1)的构成之外，所述成像部件由多个透镜构成；所述分解能调整部相对于所述光接收元件使所述多个透镜相对位移的检查装置。

(3)又，本发明的实施方式是除了上述(1)的构成之外，包括所述摄影部被安装且使所述摄影部相对于所述检查对象基板沿着一方向移动摄影移动部；所述分解能调整部相对于所述检查对象基板，使所述摄影移动部与所述摄影部一起在靠近远离的方向相对位移的检查装置。

(4)又，本发明的实施方式是除了上述(1)至(3)任一个的构成之外，包括所述摄影部被安装且使所述摄影部相对于所述检查对象基板沿着一方向移动的摄影移动部；以及经由使通过所述摄影移动部的所述摄影部的移动速度、与所述光接收元件的抽样速度的至少一者变动，而调整通过所述摄影部摄影的所述图像的分辨率的分辨率调整部的检查装置。

(5)又，本发明的实施方式是除了上述(1)至(4)任一个的构成之外，包括使所述摄影部被安装且使所述摄影部相对于所述检查对象基板沿着一方向移动的摄影移动部；以及经由使所述摄影部与所述检查对象基板相对位移，而调整通过所述摄影移动部的所述摄影部的移动方向与多个所述周期性检查对象物的排列方向之间可能发生的角度差的角度调整部的检查装置。

(6)又，本发明的实施方式是除了上述(5)的构成之外，所述角度调整部相对于所述摄影部，使所述检查对象基板在所述移动方向与相对于所述移动方向正交的方向分别相对位移的检查装置。

(7)又，本发明的实施方式是除了上述(1)至(6)任一个的构成之外，包括在所述检查对象基板被分割成每个配置了多个所述周期性检查对象物的多个检查对象区域且在多个所述检查对象区域分别设置位置调整指标部的情况下，将在所述检查对象区域配置的多个所述周期性检查对象物通过所述摄影部摄影之前，将与所述位置调整指标部有关的图像通过所述摄影部摄影，基于与所述位置调整指标部有关的图像进行所述检查对象基板的位置调整的位置调整部的检查装置。

发明效果

根据本发明，能够抑制缺陷的错误检测的生成。

附图说明

图1是与本发明实施方式1有关的液晶面板等的平面图。

图2是表示液晶面板的显示区域中的像素的排列的电路图。

图3是检查装置的平面图。

图4是检查装置的平面图。

图5是表示检查装置的电的构成的框图。

图6是表示构成检查装置的照相机与主液晶面板的概略的关系的图。

图7是表示使构成照相机的成像部件相对于光接收元件移动的状态的图。

图8是与表示本发明实施方式2有关的检查装置的电的构成的框图。

图9是检查装置的平面图。

图10是与本发明实施方式3有关的构成液晶面板的CF基板中的彩色滤光片的排列的平面图。

图11是用以说明配置间隔件的像素、照相机以及照相机移动部的位置关系的平面图。

图12是表示检查装置的电的构成的框图。

图13是检查装置的平面图。

图14是与表示本发明实施方式4有关的液晶面板的各端子部的构成的平面图。

图15是检查装置的平面图。

图16是表示检查装置的电的构成的框图。

具体实施方式

(实施方式1)

通过图1到图7说明本发明的实施方式1。在本实施方式中，对用以检查液晶面板(显示面板)10的检查装置20举例说明。此外，在各附图的一部分示出了X轴、Y轴和Z轴，各轴方向描绘为在各附图中表示的方向。又，对于上下方向设为以图1为基准，且以同图上侧为正面侧并且以同图的下侧为背面侧。

首先，对成为检查装置20的检查对象的液晶面板10的构成进行说明。液晶面板10是利用从不图示的背光源装置(照明装置)照射的照射光而显示图像。一般的液晶面板10是如图1所示的方形形状，其长边方向是X轴、短边方向是Y轴、与板厚方向是Z轴分别一致。液晶面板10相对于画面的中央侧部分设为显示图像的显示区域AA，画面中收进显示区域AA的边框状的外周侧部分设为不显示图像的非显示区域NAA。另外，在图1中通过虚线围起的范围是显示区域AA。液晶面板10在大致透明且具有优秀透光性的玻璃制的一对基板10A、10B之间，设为夹持包含随着施加电场而光学特性变化的物质即液晶分子的液晶层的构成。一对基板10A、10B中，在正面侧配置的是CF基板(对向基板)10A，在背面侧配置的是阵列基板(有源矩阵基板、TFT基板)10B。CF基板10A以及阵列基板10B设为在任一玻璃基板的内表面侧层叠形成各种的膜。其中的阵列基板10B具有长边尺寸比CF基板10A的相同尺寸大并且与CF基板10A不重叠的CF基板非重叠部10B1。CF基板非重叠部10B1的正面侧的板面不由CF基板10A覆盖而暴露于外部，并且实装接着描述的驱动器(面板驱动部件)11、柔性基板(信号传输部件)12等的部件。在CF基板非重叠部10B1中的驱动器11、柔性基板12等的实装区域中，形成有各种的端子类(在本实施方式不图示)。

驱动器11由在内部具有驱动电路的LSI芯片构成，如图1所示，对于非显示区域NAA即CF基板非重叠部10B1实装COG(Chip On Glass)。驱动器11相对于接着描述的柔性基板12对Y轴方向在靠近显示区域AA的位置配置，能够处理通过柔性基板12传输的各种信号。柔性基板12设为在由具有绝缘性以及可挠性的合成树脂材料(例如聚酰亚胺系树脂等)构成的基材上形成多条的配线图案(不图示)，其一端侧在阵列基板10B的CF基板非重叠部10B1，其他端侧在不图示的控制基板(信号供给源)分别连接。从控制基板供给的各种信号经由柔性基板12输送至液晶面板10，经过在非显示区域NAA中通过驱动器11的处理向显示区域AA输出。驱动器11以及柔性基板12对于CF基板非重叠部10B1经由不图示的各向异性导电膜(ACF：Anisotropic Conductive Film)电性地且机械性地连接。

在阵列基板10B的显示区域AA中的内表面侧，如图2所示，设置设为格子状的每多条的栅极配线(扫描配线)13以及源配线(信号配线、数据配线)14，在分别的相交部分附近设置开关元件即TFT15以及像素电极16。栅极配线13相对于以横剖显示区域AA的形式沿着X轴方向延伸在各TFT15的栅极电极连接，源配线14以纵剖显示区域AA的形式沿着Y轴方向延伸在各TFT15的源电极连接。相对于栅极配线13沿着Y轴方向多条隔着间隔且并排地配置，源配线14沿着X轴方向多条隔着间隔配置。TFT15以及像素电极16以每多个沿着X轴方向以及Y轴方向规则地并列地矩阵状地(行列状)平面配置，在TFT15的漏极电极连接像素电极16。TFT15基于供给至栅极配线13的扫描信号驱动，伴随著基于供给至源配线14的图像信号(信号、数据信号)的电位对像素电极16充电。与此相对，在CF基板10A的显示区域AA中的内侧面，虽然省略图示，但是设置有呈现以与各像素电极16重叠的形式配置的红色(R)、绿色(G)、蓝色(B)的三颜色的彩色滤光片、隔开相邻的彩色滤光片之间的遮光部(黑色矩阵)等。在此液晶面板10中，沿着X轴方向排列的R、G、B的彩色滤光片、与各彩色滤光片对向的三个像素电极16构成三颜色的像素(周期性检查对象物)PX。像素PX对X轴方向以及Y轴方向分别以维持规定的排列间距(周期)周期性地排列。又，在CF基板10A以及阵列基板10B的任一者，设置有由与像素电极16相同的透明电极材料构成，与像素电极16隔开间隔并重叠配置的共通电极(不图示)。液晶面板10基于在此共通电极与各像素电极16之间产生的电位差施加规定的电场，由此可在各像素PX进行规定的色调显示。

对液晶面板10的制造方法进行说明。液晶面板10在分别制造CF基板10A与阵列基板10B后，使液晶层介于这些基板10A、10B间并贴合而制造。更具体而言，在CF基板10A以及阵列基板10B的制造时，对于任一大型的主玻璃基板以通过已知的光刻法等将各种膜(金属膜、绝缘膜等)图案化的方式进行。此主玻璃基板设为在其板面内CF基板10A、阵列基板10B多个排列构成。并且，经由使液晶层介于具有多个CF基板10A的主玻璃基板与具有多个阵列基板10B的主玻璃基板间并贴合，制造图3所示的主液晶面板10M(检查对象基板)。已制造的主液晶面板10M在其面内液晶面板10为多个(在本实施方式中为九个)排列构成，而后通过分割装置分割为多个液晶面板10。另外，在图3中，在主液晶面板10M包含的多个液晶面板10中将各显示区域AA以方形的框架图示。如此制造的液晶面板10为了在制造过程中检测不良的有无而进行各种检查。以下，对用以在分割多个液晶面板10前的主液晶面板10M的检查的检查装置20详细地进行说明。

与本实施方式有关的检查装置20，如图3所示，是在主液晶面板10M自动地进行光学性的多个像素PX的点亮检查，亦即成为自动光学检查装置(AOI)。检查装置20具有用以摄影检查对象即主液晶面板10M的照相机(摄影部)21、用以使照相机21沿着Y轴方向移动的照相机移动部(摄影移动部)22、保持主液晶面板10M的面板保持部(基板保持部)23、使面板保持部23与主液晶面板10M一起沿着X轴方向移动的面板移动部(基板移动部)24。

照相机21，如图4所示，对于相对于主液晶面板10M的Z轴方向(主液晶面板10M的板面的法线方向)以相对于膜面(各种膜成膜的面)隔开间隔并对向的方式配置，可摄影主液晶面板10M的板面内的规定范围。更详细而言，照相机21，如图6所示，至少具有接收自主液晶面板10M的光的光接收元件25、用以使自主液晶面板10M的光在光接收元件25成像的成像部件26。光接收元件25对于相对于主液晶面板10M的Z轴方向成像部件26介于其间以对向状配置。成像部件26由以对于Z轴方向在光接收元件25与主液晶面板10M之间的空间中沿着Z轴方向排列的方式配置的至少两枚透镜26A、26B构成，在正面侧配置的第一透镜26例如设为两面凸透镜，在背面侧配置的第二透镜26B例如设为两面凹透镜。

照相机移动部22，如图3所示，沿着主液晶面板10M的板面的方向即沿着Y轴方向延伸并包括对于在检查装置20(面板移动部24)中的X方向固定配置在中央附近，用以使照相机21沿着本身的延伸方向即Y轴方向直线地移动的照相机移动机构(不图示)。此照相机移动机构可由导轨、滚珠螺杆与马达、线性马达、同步带与马达等组合而构成。面板保持部23以在主液晶面板10M中的四角的各角附近以吸附或者夹持等的方法保持的方式配置成多个。面板移动部24沿着液晶面板10M的板面的方向即沿着X轴方向延伸并横穿照相机移动部22。面板移动部24包括以主液晶面板10M对于Y轴方向从两侧夹住的方式一对地固定配置在检查装置20的两端附近，用以使面板保持部23沿着本身的延伸方向即X轴方向直线地移动的保持部移动机构(不图示)。保持部移动机构是与上述的照相机移动机构相同的构成。

检查装置20，如图5所示，具有对于主液晶面板10M反射检查用或者透射检查用的照明装置27、控制主液晶面板10M以及照明装置27的驱动并使检查用的图像显示在多个液晶面板10的各显示区域AA的检查用显示控制部28。此外，检查装置20具有记忆通过照相机21摄影的图像等的存储器29、控制照相机移动部22以及面板移动部24的驱动的移动控制部30、经由将通过照相机21摄影了的图像与参照图像从存储器29读出并将这些进行比较判定像素PX的好坏的判定部31、经由相对于光接收元件25使成像部件26移动而调整照相机21的光学分解能(分解能)的分解能调整部32、调整通过照相机21摄影的图像的分辨率的分辨率调整部33。另外，各控制部28、30、判定部31以及分解能调整部32也可以是单一的CPU等。又，虽然检查装置20省略图示，但具有经由主液晶面板10M对于Z轴方向从背面侧支撑且辅助通过面板移动部24的主液晶面板10M的移动的辅助面板移动部。

在此，成为检查装置20的点亮检查的对象的像素PX，相对于以对于X轴方向以及Y轴方向分别以固定的周期重复而排列的方式配置，摄影像素PX的照相机21是固定的尺寸的光接收元件规则地排列，在光接收元件成像的大小成为光学分解能。因此，若在像素PX的周期与照相机21的光学分解能产生干扰，则生成了称作莫尔纹的干涉条纹，起因于此而有产生缺陷的检测灵敏度降低、错误检测之虞。具体而言，当莫尔纹生成，则与特定的像素PX有关的亮度有比比较目标值高，或相反地低的情况，若如此与此像素PX为正常无关，可能通过判定部31做出产生缺陷的错误判定。又，为了避免前述理由的错误检出，若将判定是否为缺陷的基准即阈值设为大，则降低了性能(检测灵敏度)。在此，与本实施方式有关的检查装置20具有经由相对于光接收元件25使成像部件26移动而调整照相机21的光学分解能的光学分解能调整部32，通过此分解能调整部32能够将照相机21的光学分解能的数值调整成像素PX的周期的整数分之一。具体而言，分解能调整部32经由相对于构成照相机21的光接收元件25使成像部件26对于Z轴方向相对位移，将照相机21的光学分解能的数值调整成像素PX的周期的整数分之一。另外，在本实施方式中光接收元件25成为固定式。这样的话，在像素PX的周期与照相机21的光学分解能能够难以产生干扰，抑制起因于莫尔纹的缺陷的错误检测的生成。并且，由于分辨率调整部33能够经由使通过照相机移动部22的照相机21的移动速度、光接收元件25的抽样速度的至少一者变动而调整通过照相机21摄影的图像的分辨率，即使在假设与通过分解能调整部32的照相机21的光学分解能的调整无关，而有莫尔纹的生成的疑虑的情况下，若设为以通过分辨率调整部33使图像的分辨率降低的方式，则更适当地抑制起因于莫尔纹的缺陷的错误检测的生成。

与本实施方式有关的检查装置20为如以上的构造，接着对使用检查装置20的主液晶面板10M的检查方法进行说明。首先，如图3所示，使主液晶面板10M保持在各面板保持部23。在此状态中，经由通过面板移动部24使主液晶面板10M沿着X轴方向移动，并通过照相机移动部22使照相机21沿着Y轴方向移动，通过主液晶面板10M中的检查对象的像素PX进入照相机21的射界，在照相机21摄影图像。摄影的图像被记忆在存储部29。若与检查对象的像素PX有关的摄影结束，通过照相机移动部22使照相机21沿着Y轴方向移动，通过照相机21摄影接下来的检查对象的像素PX。经由重复进行这些，能够整体地摄影在主液晶面板10M沿着Y轴方向排列的像素PX列。若上述的像素PX列的摄影结束，通过面板移动部24使主液晶面板10M沿着X轴方向移动，经由设为以成为接下来的摄影对象的像素PX列进入照相机21的射界的方式后，通过照相机21摄影与上述相同地摄影像素PX列。经由重复进行这些，能够依序地摄影沿着X轴方向排列的多个像素PX列，进行配置在主液晶面板10M的整体的像素PX的摄影以及检查。

判定部31基于记忆在存储部29的图像判定像素PX的好坏。此时，判定部31从成为判定对象的像素PX的图像将亮度值抽出并从参照图像将亮度值抽出，计算这些亮度值的差。判定部31在得到的差比预先设定的阈值低的情况下判定成为判定对象的像素PX为良好，在差比阈值高的情况下，判定成为判定对象的像素PX为不良。另外，参照图像可以是通过照相机21摄影成为比较对象的像素PX而得到的，也可以是基于像素PX的设计数据等预先设定的。不论为何者，参照图像以及阈值是记忆在存储部29。

在本实施方式中，在如上述通过判定部31进行像素PX的判定之前，设为以通过分解能调整部32进行与照相机21的光学分解能有关的调整。分解能调整部32，如图6以及图7所示，经由基于像素PX的周期相对于光接收元件25使成像部件26沿着Z轴方向移动，将照相机21的光学分解能的数值以成为像素PX的周期的整数分之一的方式调整。当将图6与图7进行比较时，构成成像部件26的两枚透镜26A、26B中的第一透镜26A，相对于在图6中配置在光接收元件25的附近(远离第二透镜26B)，在图7中配置在远离光接收元件25(第二透镜26B的附近)。第二透镜26B，相对于在图6中配置在主液晶面板10M的附近(远离第一透镜26A)，在图7中配置在远离主液晶面板10M(第一透镜26A的附近)。经由使如此构成成像部件26的两枚透镜26A、26B对于Z轴方向移动并使与光接收元件25的位置关系变化，能够调整照相机21的光学分解能的数值。由此，能够将照相机21的光学分解能的数值设为像素PX的周期的整数分之一，所以像素PX的周期与照相机21的光学分解能能够难以产生干扰。因此，由于通过判定部31从成为判定对象的像素PX的图像抽出的亮度值难以受到莫尔纹的影响，能够适当地判定此像素PX。由以上，能够抑制起因于莫尔纹的缺陷的错误检测的生成。

经由如此通过分解能调整部32调整照相机21的光学分解能，虽然能够抑制莫尔纹的生成，也可能得到与根据检查条件等通过分解能调整部32的照相机21的光学分解能的调整无关，而有莫尔纹的生成的疑虑的情况。在如此的情况下，使通过分辨率调整部33通过照相机移动部22的照相机21的移动速度、光接收元件25的抽样速度的至少一者变动，以降低通过照相机21摄影的图象的分辨率的方式调整即可。这样的话，能够更适当地抑制起因于莫尔纹的缺陷的错误检测的生成。

以上说明的本实施方式的检查装置20包括至少具有接收自多个像素(周期性检查对象物)PX有周期地并列地设置的主液晶面板(检查对象基板)10M的光的光接收元件25、用以在光接收元件25使光成像的成像部件26，并摄影与像素PX有关的图像的照相机(摄影部)21，经由将通过照相机21摄影的图像与参照图像进行比较，判定像素PX的好坏的判定部31、经由使光接收元件25与成像部件26相对位移，将照相机21的光学分解能的数值调整成像素PX的周期的整数分之一的分解能调整部32。

这样的话，经由将自多个像素PX有周期地并列地设置的主液晶面板10M的光，通过成像部件26在光接收元件25成像，而由光接收元件25接收光。由此，照相机21能够摄影与像素PX有关的图像。判定部31经由将通过照相机21摄影的图像与参照图像进行比较，判定像素PX的好坏。另外，参照图像可以是通过照相机21摄影成为比较对象的像素PX而得到的，也可以是基于像素PX的设计数据等预先设定的。在此，因为像素PX有可能在主液晶面板10M中多个以周期性地并列地配置，当像素PX的周期与照相机21的光学分解能产生干扰，则生成称作莫尔纹的干涉条纹，有产生起因于此的缺陷的错误检测之虞。这点，分解能调整部32经由使光接收元件25与成像部件26相对位移，能够将照相机21的光学分解能的数值调整成像素PX的周期的整数分之一，因此在像素PX的周期与照相机21的光学分解能能够难以产生干扰。由此，抑制起因于莫尔纹的缺陷的错误检测的生成。

又，成像部件26由多个透镜26A、26B构成，分解能调整32部相对于光接收元件25使多个透镜26A、26B相对位移。这样的话，经由通过分解能调整部32构成成像部件26的多个透镜26A、26B相对于光接收元件25相对移动，照相机21的光学分解能的数值以成为像素PX的周期的整数分之一的方式调整。

又，包括照相机21被安装且使照相机21相对于主液晶面板10M沿着一方向移动的照相机移动部22、以及经由使通过照相机移动部22的照相机21的移动速度与光接收元件25的抽样速度的至少一者变动，而调整通过照相机21摄影的图像的分辨率的分辨率调整部33。这样的话，经由通过照相机移动部22使照相机21相对于主液晶面板10M沿着一方向移动且通过照相机21进行像素PX的摄影，能够连续地检查像素PX。由于分辨率调整部33能够经由使通过照相机移动部22的照相机21的移动速度、光接收元件25的抽样速度的至少一者变动而调整通过照相机21摄影的图像的分辨率，例如在有莫尔纹的疑虑的情况下，使图像的分辨率变化，能够更适当地抑制起因于莫尔纹的缺陷的错误检测的生成。

(实施方式2)

通过图8或图9说明本发明的实施方式2。在本实施方式2中，表示追加了第二照相机移动部34者。另外，对与上述的实施方式1相同的构造、作用以及效果省略重复的说明。

与本实施方式有关的检查装置，如图8所示，具有使照相机移动部122移动的第二照相机移动部34。第二照相机移动部34，如图9所示，能够使照相机121对于Y轴方向移动的照相机移动部122与照相机121一起对于Z轴方向(相对于主液晶面板110M靠近远离照相机21的方向)升降。随着通过第二照相机移动部34的照相机移动部122的移动，照相机121相对于主液晶面板110M以接近或者远离的方式变化位置关系。由此，成为以变化照相机121的光学分解能的方式。第二照相机移动部34，如图8所示，通过分解能调整部132控制驱动。换言之，经由分解能调整部132控制第二照相机移动部34的驱动，能够将照相机121的光学分解能以成为像素的周期的整数分之一的方式调整。另外，在图8中省略上述的实施方式1已说明的分辨率调整部33的图示。

以上说明的与本实施方式有关的检查装置包括至少具有接收自多个像素有周期地并列地设置的主液晶面板110M的光的光接收元件、用以在光接收元件使光成像的成像部件，并摄影与像素有关的图像的照相机121，经由将通过照相机121摄影的图像与参照图像进行比较，判定像素的好坏的判定部131、经由使主液晶面板110M与照相机26相对位移，将照相机121的光学分解能的数值调整成像素PX的周期的整数分之一的分解能调整部132。

这样的话，经由使自多个像素有周期地并列地设置的主液晶面板110M的光通过成像部件在光接收元件成像而由光接收元件接收光。由此，照相机121能够摄影与像素有关的图像。判定部131经由将通过照相机121摄影的图像与参照图像进行比较，判定像素的好坏。另外，参照图像可以是通过照相机121摄影成为比较对象的像素而得到的，也可以是基于像素的设计数据等预先设定的。在此，由于像素在主液晶面板110M中多个以周期性地并列地配置，当像素的周期与照相机121的光学分解能产生干扰，则生成称作莫尔纹的干涉条纹，有起因于此而产生缺陷的错误检测之虞。这点，分解能调整部132经由使主液晶面板110M与照相机121相对位移，能够将照相机21的光学分解能的数值调整成像素的周期的整数分之一，因此在像素的周期与照相机121的光学分解能能够难以产生干扰。由此，抑制起因于莫尔纹的缺陷的错误检测的生成。

又，包括安装照相机121且使照相机121相对于主液晶面板110M沿着一方向移动的照相机移动部122，分解能调整部132相对于主液晶面板110M使照相机移动部122与照相机121一起在接近远离的方向相对位移。这样的话，经由通过照相机移动部122将照相机121相对于主液晶面板110M沿着一方向移动且通过照相机121进行像素的摄影，能够连续地检查像素。经由通过分解能调整部132，照相机移动部122与照相机121一起相对于主液晶面板110M在靠近远离的方向相对移动，照相机121的光学分解能的数值以成为像素的周期的整数分之一的方式调整。

(实施方式3)

通过图10到图13说明本发明的实施方式3。在本实施方式3中，在上述实施方式1记载的构成，表示追加了第二面板移动部35以及角度调整部36者。另外，对与上述的实施方式1相同的构造、作用以及效果省略重复的说明。

与本实施方式有关的液晶面板，如图10所示，具有用以固定地保持一对基板之间的间隔(液晶层的厚度、单元间隙)的间隔件17。间隔件17在构成液晶面板的CF基板所具备的三颜色的彩色滤光片18中，以与特定的颜色(具体而言比绿色相对可见度低的蓝色)的彩色滤光片18重叠的方式配置。由于彩色滤光片18与阵列基板侧的像素电极一起构成像素PX，间隔件17成为与特定的颜色的像素PX重叠配置。间隔件17并不是在呈现蓝色的全部的像素PX重叠配置，以与成为固定的周期的蓝色的像素PX重叠的方式选择性地配置。由于此间隔件17由大致透明的树脂材料构成的，在一对基板之间以贯通液晶层的形式配置，而成为在像素PX中产生影子的原因。因此，在蓝色的像素PX中，即使在配置了间隔件17的像素PX与不配置间隔件17的像素PX中进行相同色调显示的情况下，有产生亮度的差的情况。具体而言，配置了间隔件17的像素PX有亮度变低的倾向。因此，当不区别地检查配置了间隔件17的像素PX与不配置间隔件17的像素PX，则有产生缺陷的错误检测之虞。

在此，在本实施方式中，以选择性地检查配置间隔件17的像素PX的方式进行。在此，由于配置间隔件17的像素PX的周期比像素PX的周期长，配置了成为摄影对象的间隔件17的像素PX之间有移动照相机222的距离变长的倾向。因此，起因于主液晶面板210M的制造误差等而配置了间隔件17的像素PX的排列方向，如图11所示，在相对于照相机移动部223的轴线(Y轴方向)倾斜角度θ的情况下，当沿着照相机移动部223的轴线使照相机222移动，则照相机222有错误地摄影不配置间隔件17的像素PX之虞。与此相对，与本实施方式有关的检查装置220，如图12所示，具有使主液晶面板210M对于Y轴方向(照相机222的移动方向)以及X轴方向(与照相机222的移动方向正交的方向)移动的第二面板移动部35、通过第二面板移动部35控制主液晶面板210M的移动并调整照相机221的移动方向与配置了间隔件17的像素PX的排列方向之间可能产生的角度差的角度调整部36。第二面板移动部35，如图13所示，可将在主液晶面板210M中的四角的各角部沿着X轴方向以及Y轴方向按压。第二面板移动部35在每个主液晶面板210M的各角部配置两个，经由将各角部以规定的时机沿着X轴方向、Y轴方向按压，可使主液晶面板210M对于X轴方向以及Y轴方向位移，作为结果使主液晶面板210M旋转。经由角度调整部36抑制通过上述的第二面板移动部35的主液晶面板210M的按压，调整主液晶面板210M的旋转角度，作为结果能够将照相机221的移动方向与配置了间隔件17的像素PX的排列方向之间产生的角度差缩小，根据情况可将角度差消除。由此，能够适当地抑制起因于上述的角度差的缺陷的错误检测的生成。另外，在图12中省略上述的实施方式1已说明的分辨率调整部33的图示。

根据以上说明的本实施方式，包括照相机221被安装且使照相机221相对于主液晶面板210M沿着一方向移动的照相机移动部222、经由使照相机221与主液晶面板210M相对位移，调整通过照相机移动部222的照相机221的移动方向与多个像素PX的排列方向之间可能产生的角度差的角度调整部36。这样的话，经由通过照相机移动部222使照相机221相对于主液晶面板210M沿着一方向移动且通过照相机221进行像素PX的摄影，能够连续地检查像素PX。在此，多个像素PX的周期变越长，通过照相机移动部222的照相机221的移动方向与多个像素PX的排列方向之间有越容易产生角度差的倾向。这点，即使角度调整部36在通过照相机移动部222的照相机221的移动方向与多个像素PX的排列方向之间产生角度差的情况下，由于经由使照相机221与主液晶面板210M相对位移而能够调整其角度差，能够适当地抑制起因于同角度差的缺陷的错误检测的生成。尤其，适合多个像素PX的周期变长的情况。

又，角度调整部36相对于照相机221，使主液晶面板210M在移动方向与相对于移动方向正交的方向分别相对位移。这样的话，相对于通过角度调整部36的照相机221，经由使主液晶面板210M在通过照相机移动部222的照相机221的移动方向与相对于移动方向正交的方向分别相对位移，能够调整通过照相机移动部222的照相机221的移动方向与多个像素PX的排列方向之间可能产生的角度差。

(实施方式4)

通过图14到图16说明本发明的实施方式4。在本实施方式4中，在上述实施方式1记载的构成，表示了追加的第二面板移动部335以及位置调整部37者。另外，对与上述的实施方式1相同的构造、作用以及效果省略重复的说明。

与本实施方式有关的液晶面板310，如图14所示，具有在驱动器311以及柔性基板312的实装区域中分别沿着X轴方向每多个周期性地排列配置的多个端子部19。端子部19包含对于配置在驱动器311的实装区域，对于驱动器311侧的端子连接的驱动器用端子部19A、对于配置在柔性基板312的实装区域，对于柔性基板312侧的端子连接的柔性基板用端子部19B。驱动器用端子部19A包含将信号输入至驱动器311的输入侧端子部19A1与接收自驱动器311的信号的输出的输出侧端子部19A2，后者比前者于大小及排列间距皆小。这些端子部19A1、19A2、19B为每个种类以不同的周期排列，且这些周期的任一个远比像素的周期大。因此，经由各端子部19A1、19A2、19B就每个种类通过检查装置320接受检查且在此时通过分解能调整部332调整照相机321的光学分解能，抑制对于显示区域起因于莫尔纹的缺陷的错误检测的生成(参照图15以及图16)。

然而，在端子部19的检查时，如图15所示，有经由将在主液晶面板310M所具备的多个液晶面板(检查对象区域)310之间通过照相机321摄影了端子部19的图像进行比较而进行检查的情况。在这个情况下，为了分别摄影在成为检查对象的液晶面板310所具备的端子部19、与在成为比较对象的液晶面板310所具备的端子部19，需要使照相机321、主液晶面板310M移动，其距离远比像素的周期、相同种类的端子部19的周期大。如此在使照相机321、主液晶面板310M长距离移动之间，有导致在主液晶面板310M的位置产生偏移的疑虑。因此，在本实施方式中，设为在主液晶面板310M所具备的多个液晶面板310个别地设置位置调整指标部40。位置调整指标部40，在本实施方式中，以数字的“5”作为例子并图示，但具体的位置调整指标部40的表示法当然也可以为其他数字、文字等。并且，检查装置320，如图16所示，包括使主液晶面板310M对于Y轴方向(照相机321的移动方向)以及X轴方向(与照相机321的移动方向正交的方向)移动的第二面板移动部335、通过照相机321摄影与位置调整指标部40有关的图像，并基于与位置调整指标部40有关的图像进行主液晶面板310M的位置调整的位置调整部37。第二面板移动部335与上述实施方式2记载的相同。位置调整部37基于通过照相机321摄影了的与位置调整指标部40有关的图像控制第二面板移动部335的驱动，由此能够对于X轴方向以及Y轴方向合理化主液晶面板310M的位置。位置调整部37以在每次进行与在各液晶面板310所具备的端子部19有关的检查之前的方式进行主液晶面板310M的位置调整，即使起因于由此成为比较对象的液晶面板310与成为检查对象的液晶面板310之间的距离而端子部19的周期变长，也能够适当地进行与端子部19有关的检查。由以上，能够适当地抑制起因于主液晶面板310M的位置偏移的缺陷的错误检测的生成。另外，在图15中省略上述的实施方式1已说明的分辨率调整部33的图示。

根据以上说明的本实施方式，包括在主液晶面板310M被分割成配置了多个端子部(周期性检查对象物)19的多个液晶面板(检查对象区域)310且在多个液晶面板310分别设置位置调整指标部40的情况下，将在液晶面板310配置的多个端子部19通过照相机321摄影之前，通过照相机321摄影与位置调整指标部40有关的图像，基于与位置调整指标部40有关的图像进行主液晶面板310M的位置调整的位置调整部37。在检查分割成配置了多个端子部19的多个液晶面板310的构成的主液晶面板310M时，有判定部331经由将与配置在某液晶面板310的端子部19有关的图像设为参照图像，将与配置在其他液晶面板310有关的端子部19的图像与上述的参照图像进行比较，判定端子部19的好坏的情况。此时，由于起因于成为比较对象的液晶面板310与成为检查对象的液晶面板310之间而端子部19的周期变长，在摄影配置在某液晶面板310的端子部19时、与摄影配置在其他液晶面板310的端子部19时，有在主液晶面板310M产生位置偏移的疑虑。这样，位置调整部37在检查配置在液晶调整310的多个端子部19之前能够读取位置调整指标部40并进行主液晶面板310M的位置调整，因此能够适当地抑制起因于主液晶面板310M的位置的缺陷的错误检测的生成。

(其他实施方式)

本发明不限定为根据上述的记载描述以及图面说明的实施方式，例如接下来的实施方式也包含在本发明的技术范围。

(1)在上述的各实施方式中，表示了检查对象基板为主液晶面板的情况，但也可以是分割了主液晶面板的液晶面板为检查对象。又，也可以是主液晶面板贴合前的主阵列基板、主CF基板为检查对象基板也没关系。

(2)在上述的各实施方式中，表示了在照相机移动部安装一个照相机的构成，但也可以是在照相机移动部安装多个照相机的构成。尤其如在实施方式2记载使照相机对于Z轴方向移动的构成中，由于随着对于Z轴方向的移动多个照相机的射界变化，这个情况优选为经由使多个照相机对于Y轴方向相对位移并调整照相机间的距离，合理化各照相机的射界。

(3)在上述的实施方式中，表示了构成在照相机所具备的成像部件的透镜设为两枚的情况，但具体的透镜的数量、种类以及配置(排列顺序)等为可变更。尤其，在使如实施方式1的透镜相对于光接收元件移动的构成中，透镜的移动方向通过透镜的配置，Z轴方向以外也可行。

(4)作为上述的实施方式2的变形例，也可以为对于照相机移动部是对于Z轴方向固定的、相对于照相机移动部使照相机对于Z轴方向移动的构成。

(5)作为上述的实施方式2的变形例，对于照相机移动部(照相机)是对于Z轴方向固定，也可以为使主液晶面板对于Z轴方向移动的构成。又，也可使照相机移动部(照相机)以及主液晶面板分别对于Z轴方向移动。

(6)作为上述的实施方式3的变形例，也可经由将主液晶面板通过吸附部件吸附并使吸附部件与主液晶面板一起旋转，进行角度差的调整。

(7)在上述的各实施方式中，表示了自相对于主液晶面板的背面侧(与照相机相反侧)照射了检查用背光源装置的光的情况，例如自相对于主液晶面板的正面侧(与照相机同侧)照射检查用光元的光，也可检查在像素是否存在异物等的缺陷。

(8)在上述的各实施方式以外，检查装置的具体构成等也可适当地变更。

(9)在上述的各实施方式中，举例说明了在液晶面板的制造时所使用的检查装置，也可以为在液晶面板以外的种类的显示面板(例如有机EL显示面板等)的制造时所使用的检查装置。

符号说明

10M、110M、210M、310M...主液晶面板(检查对象基板)；19...端子部(周期性检查对象物)；20、220、320...检查装置；21、121、221、321...照相机(摄影部)；22、122、222...照相机移动部(摄影移动部)；25...光接收元件；26...成像部件；26A、26B...透镜；31、131、331...判定部；32、132、332...分解能调整部；33...分辨率调整部；36...角度调整部；37...位置调整部；40...位置调整指标部；310...液晶面板(检查对象区域)；PX...像素(周期性检查对象物)。

Claims (7)

1.一种检查装置，其特征在于，

包括：

摄影部，至少具有接收自多个周期性检查对象物有周期地并列地设置的检查对象基板的光的光接收元件、以及用以在所述光接收元件使所述光成像的成像部件，并摄影与所述周期性检查对象物有关的图像；

判定部，经由将通过所述摄影部摄影的所述图像与参照图像进行比较，判定所述周期性检查对象物的好坏；以及

分解能调整部，经由使所述光接收元件与所述成像部件相对位移，或者使所述检查对象基板与所述摄影部相对位移，将所述摄影部的分解能的数值调整成所述周期性检查对象物的周期的整数分之一。

2.根据权利要求1所述的检查装置，其特征在于，

所述成像部件由多个透镜构成；

所述分解能调整部相对于所述光接收元件使所述多个透镜相对位移。

3.根据权利要求1所述的检查装置，其特征在于，

包括：

摄影移动部，所述摄影部被安装且使所述摄影部相对于所述检查对象基板沿着一方向移动；

所述分解能调整部相对于所述检查对象基板，使所述摄影移动部与所述摄影部一起在靠近远离的方向相对位移。

4.根据权利要求1至3任一项所述的检查装置，其特征在于，

包括：

摄影移动部，所述摄影部被安装且使所述摄影部相对于所述检查对象基板沿着一方向移动；以及

分辨率调整部，经由使通过所述摄影移动部的所述摄影部的移动速度、与所述光接收元件的抽样速度的至少一者变动，而调整通过所述摄影部摄影的所述图像的分辨率。

5.根据权利要求1至3任一项所述的检查装置，其特征在于，

包括：

摄影移动部，所述摄影部被安装且使所述摄影部相对于所述检查对象基板沿着一方向移动；以及

角度调整部，经由使所述摄影部与所述检查对象基板相对位移，而调整通过所述摄影移动部的所述摄影部的移动方向与多个所述周期性检查对象物的排列方向之间可能发生的角度差。

6.根据权利要求5所述的检查装置，其特征在于，

所述角度调整部相对于所述摄影部，使所述检查对象基板在所述移动方向与相对于所述移动方向正交的方向分别相对位移。

7.根据权利要求1、2、3、6任一项所述的检查装置，其特征在于，

包括：

位置调整部，在所述检查对象基板被分割成每个配置了多个所述周期性检查对象物的多个检查对象区域且在多个所述检查对象区域分别设置位置调整指标部的情况下，将在所述检查对象区域配置的多个所述周期性检查对象物通过所述摄影部摄影之前，将与所述位置调整指标部有关的图像通过所述摄影部摄影，基于与所述位置调整指标部有关的图像进行所述检查对象基板的位置调整。