CN110592655B - 极板的夹持机构、极板间距的调整结构及电解蚀刻设备 - Google Patents

Abstract

本发明公开一种极板的夹持机构、极板间距的调整结构及电解蚀刻设备，调整结构包括夹持机构，电解蚀刻设备包括调整结构。其中，夹持机构包括安装座，及设在安装座上的至少一个夹持部件，且夹持部件与安装座上未设置夹持部件的第一壁面相对布置以形成一端呈第一开口的夹持腔体。夹持机构在夹持极板时，极板的一端经第一开口嵌入夹持腔体内，通过夹持部件与第一壁面之间形成的夹紧力，及极板与夹持部件及安装座之间形成的摩擦力，来对极板进行夹持固定，进而阻碍极板从夹持机构中落下，不会对极板本身造成损伤。即便在极板上附着有金属壳、自重变大的情况下，极板不易因为自重被下拉至损坏，保障了极板自身的使用寿命。

Description

极板的夹持机构、极板间距的调整结构及电解蚀刻设备

技术领域

本发明涉及电解蚀刻的技术领域，具体涉及一种极板的夹持机构、极板的调整结构及电解蚀刻设备。

背景技术

电解蚀刻是指电解PCB板，具体做法是：将待蚀刻件作为阳极，将不锈钢或纯铜板作为阴极，将阳极板和阴极板都置于电解溶液中，令阳极板上的离子电解至溶液中，然后凝聚在阴极板上，例如铜离子的游离，形成附着在阴极板上的铜壳。

在电解蚀刻过程中，需要对阳极板上不同厚度的金属层进行蚀刻，为控制金属层被咬蚀的程度，在相同的蚀刻环境下，金属层的厚度不同，对应地阳极板与阴极板之间的距离不同。比如，阳极板上的金属层厚度比较厚时，需要阳极板与阴极板之间的距离相对小，加快对金属层的咬蚀速度；若阳极板上的金属层厚度比较薄时，需要阳极板与阴极板之间的距离相对大，减缓对金属层的咬蚀速度，因此，在电解蚀刻设备中，需要设置对阴极板与阳极板之间的距离可调的调整结构。

比如，中国专利文献CN104711643A公开了一种极板的调整装置，包括围板、底板、若干挂板，围板设置在电解池的顶部的池口上，围板上设有若干间隔布置且用于安放挂板的卡槽；底板固定在电解池的顶部上并位于围板的外侧，挂板的两端分别插接在围板上相对的卡槽内以横跨在池口上，挂板伸出围板的端部通过连接片与底板连接。

上述的调整结构，极板通过螺钉固定在挂板上，当需要调整极板的位置时，将挂板对应的连接片与底板拆卸，向上提取挂板，将挂板和阴极板从电解池内取出，之后将挂板水平移动到对应位置处的卡槽内，再次将挂板固定在底板上，以实现极板的位置可调。

同时，底板、连接片及挂板均采用导电材料制成，在电解时，外界电源给底板供电，进而经过连接片和挂板，将电传递给极板。由于挂板与极板之间通过螺钉连接固定，需要在极板上设安装孔供螺钉穿过，影响了阴极板的整体强度。在电化学反应过程中，极板上不断地吸附铜离子，形成逐渐变厚的铜壳，铜壳和极板的自重对极板施加了竖直向下的拉力，容易将安装孔拉至变形，影响阴极板的使用寿命。

为了解决上述技术问题，现有技术中也有采用导电夹来夹持挂板和极板，这样极板上就无需设安装孔，也无需穿设螺钉。现有的导电夹包括两个夹片，两夹片之间铰接相连并在夹片之间连接有复位弹簧。两个夹片的夹持端之间形成夹持腔体，上述的挂板和极板都被夹持在该夹持腔体内，复位弹簧的弹性力大小控制在一定值内，该弹性力的大小应当小于一个正常人能够施加给导电夹的最大力，否则导电夹不适于使用。而附着了金属壳的极板的自重明显大于常人能够施加出的力，因此常规导电夹难以满足可靠夹持极板的要求。挂板和极板很容易从导电夹的夹持腔体内脱落。

发明内容

因此，本发明所要解决的技术问题在于现有挂板与极板的夹持机构，在电解过程中，夹持力度小，导致挂板和极板容易从夹持腔体内脱落，难以实现挂板与极板的固定，固定的同时也不易影响被夹持件的表层结构。

为此，本发明提供一种极板的夹持机构，包括安装座，及设在所述安装座上的至少一个夹持部件，且所述夹持部件与安装座上未设置夹持部件的第一壁面相对布置以形成一端呈第一开口的夹持腔体。

可选地，上述的极板的夹持机构，所述夹持部件包括固定在所述安装座上的固定段，及设在所述固定段的一端部上的夹持段；所述夹持段相对于所述固定段可做朝向靠近或远离所述第一壁面一侧往复摆动。

可选地，上述的极板的夹持机构，至少所述夹持段采用弹性材料制成，所述夹持段固定在所述固定段上且所述夹持段的初始偏压力朝向第一壁面。

可选地，上述的极板的夹持机构，所述夹持部件还包括由所述固定段朝向所述夹持段方向倾斜的过渡段，所述固定段与所述夹持段之间通过所述过渡段连接。

可选地，上述的极板的夹持机构，所述夹持机构还包括在所述夹持部件朝向第一壁面方向上，可伸缩地设在所述安装座上且位于所述夹持腔体外的至少一个顶紧件；

所述顶紧件在伸出时，其朝向所述夹持部件的内侧端适于对所述夹持部件背向所述夹持腔体的一侧外壁面上施加顶紧力；所述内侧端在缩回时，适于解除对所述夹持部件的顶紧力。

可选地，上述的极板的夹持机构，所述安装座的一端上开设螺纹孔；所述顶紧件穿设并螺纹配合在所述螺纹孔内，所述顶紧件通过旋转以做所述伸缩运动。

可选地，上述的极板的夹持机构，所述夹持部件背向所述夹持腔体一侧的外壁面上设有向内凹陷的定位孔，所述顶紧件的内侧端通过顶在所述定位孔上以施加所述顶紧力。

可选地，上述的极板的夹持机构，所述安装座具有敞开口的容纳内腔；

所述容纳内腔的一侧内壁作为所述第一壁面，与所述第一壁面相对的另一侧内壁供所述夹持部件固定；所述安装座通过所述夹持腔体套设在被夹持件上，其中靠近所述第一壁面的被夹持件固定于所述第一壁面上。

可选地，上述的极板的夹持机构，所述第一侧壁的端部朝向第一壁面方向向内折弯形成折弯部，以供固定于所述第一壁面上的被夹持件的端部抵接。

可选地，上述的极板的夹持机构，所述安装座的纵向截面形状呈U型。

可选地，上述的极板的夹持机构，还包括与所述夹持机构相对设置的至少一个第一支撑座，所述第一支撑座设有与所述夹持腔体一一对应的安装槽，以供所述极板的两端分别安装在所述夹持腔体和所述安装槽内。

本发明提供一种极板间距的调整结构，用于调整阴阳极之间的距离使其达到预期位置。其包括

至少一个第一安装结构，用于悬挂阳极板和阴极板中的一个；

至少一个第二安装结构，与所述第一安装结构相对布置，用于悬挂阳极板和阴极板中的另一个；

其中，所述第一安装结构和/或所述第二安装结构为上述任一项所述的极板的夹持机构；

调节组件，适于与被夹持件连接，用于驱动该所述夹持机构做朝向靠近或远离另一个安装结构方向的往复移动。

可选地，极板间距的调整结构，所述调节组件包括

至少一个第二支撑座，所述第二支撑座的顶部上设有若干个由所述第一安装结构朝向所述第二安装结构方向间隔布置的卡槽；

任一所述卡槽供被夹持件避开所述夹持机构的位置卡接。

本发明提供一种电解蚀刻设备，通过调节阴阳极之间的间距来控制阳极板的蚀刻程度。其包括

槽体，具有顶部开口并设在机架上；

上述任一项所述的极板间距的调整结构，设在所述槽体内。

所述第一安装结构用于固定阳极板；

所述第二安装结构为两个，分别布置在所述第一安装结构的两侧且用于固定阴极板。

本发明的技术方案，具有如下优点：

1.本发明提供的极板的夹持机构，包括安装座，及设在安装座上的至少一个夹持部件，且夹持部件与安装座上未设置夹持部件的第一壁面相对布置以形成一端呈第一开口的夹持腔体。

此结构的夹持机构在夹持极板时，极板的一端经第一开口嵌入夹持腔体内，通过夹持部件与第一壁面之间形成的夹紧力，及极板与夹持部件及安装座之间形成的摩擦力，来对极板进行夹持固定，进而阻碍极板从夹持机构中落下，不会对极板本身造成损伤。即便在极板上附着有金属壳、自重变大的情况下，极板不易因为自重被下拉至损坏，保障了极板自身的使用寿命。

2.本发明提供的极板的夹持机构，夹持部件分为至少三段，弹性主要来自过渡段的倾斜结构、夹持段和材质自身的弹性，固定段的主要作用是将整个夹持部件固定在安装座上。夹持段将弹性力施加至被夹持的极板上，夹持部件的数量越多，施加给极板的夹持力越大，极板被夹持得越可靠。而且这种夹持机构，不需要另外再有弹性复位件，因此结构更简单可靠，故障率更低。

3.本发明提供的极板的夹持机构，还包括顶紧件，顶紧件用于抵接在夹持部件上，增大夹持部件抵接在极板上的力，将极板夹持得更紧。而本方案中顶紧件抵接于夹持部件上、通过夹持部件将夹持力传递至极板或导电排上，夹持部件数量越多，接触面积越大，相较于常规的导电夹，能够给待夹持件施加更大的夹持力，将阴极板等待夹持件夹持得更可靠。

4.本发明提供的极板的夹持机构，安装座的一端上设有螺纹孔，用于与顶紧件配合顶紧，与顶紧件之间螺纹配合，在装卸顶紧件的过程中，相较于内壁光滑的通孔，顶紧件不易从螺纹孔中脱落。

5.本发明提供的极板的夹持机构，第一侧壁的端部朝向第一壁面方向向内折弯形成折弯部，能够对落在安装座的夹持腔体内的导电排起到承托作用。

6.本发明提供的极板的夹持机构，还设有第一支撑座，第一支撑座上设有安装槽，安装槽和夹持腔体配合下，将极板、导电排的两端进行限位，令极板不易偏离竖直面。

7.本发明提供的极板间距的调整结构，包括第一安装结构和第二安装结构，第一安装结构和第二安装结构分别用于夹持阴极板或阳极板，第一安装结构和/或第二安装结构为上述的极板的夹持机构，使得在一个电解环境内，阴极板和阳极板来实现电解蚀刻的过程中，极板不会从夹持机构中落下，更不会对极板本身造成伤害，从而确保电解蚀刻的质量。

8.本发明提供的极板间距的调整结构，调整组件包括第二支撑座，通过第二支撑座顶部的卡槽与导电排配合，导电排落在卡槽内，由于卡槽有多个，因此导电排能够落在不同位置，而阳极板的位置是不变的，也就是说，与导电排相连的阴极板能够改变与阳极板之间的距离。

9.本发明提供的电解蚀刻设备，在电解蚀刻过程中，通过调节阴阳极板之间的距离，能够令阳极板上的蚀刻速度达到预期要求。

附图说明

为了更清楚地说明本发明具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍。显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明的第一种实施方式中提供的夹持机构应用在电解槽上的立体示意图；

图2为图1的A部放大图用于体现夹持机构与极板、导电排之间的连接关系的示意图；

图3为夹持机构的立体结构示意图；

图4为夹持机构的第一侧壁、第二侧壁的结构示意图；

图5为第二支撑座的结构示意图；

图6为图1中导电排、阴极板及夹持机构在槽体的顶部开口处的装配示意图；

图7为图6中槽体顶部开口处的局部放大示意图；

图8为图1中夹持机构与第一支撑座之间配合夹持极板的结构示意图；

附图标记说明：

1-夹持机构；2-阴极板；3-容纳内腔；4-第一支撑座；5-第一安装结构；6-第二安装结构；7-调节组件；8-槽体；9-机架；10-阳极板；11-安装座；12-夹持部件；13-顶紧件；111-螺纹孔；121-固定段；122-夹持段；123-过渡段；124-定位孔；31-第一侧壁；32-第二侧壁；33-顶壁；34-第一开口；311-折弯部；312-第一壁面；41-安装槽；71-第二支撑座；72-卡槽。

具体实施方式

下面将结合附图对本发明的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

此外，下面所描述的本发明不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。

实施例1

本实施例提供一种电解蚀刻设备，如图1所示，包括槽体8，槽体8内容纳有电解液，槽体8具有顶部开口，整个槽体8落在机架9上，比如金属机架，或者其他材质的机架均可。槽体8的电解液内浸泡有板状阴极，即阴极板，本实施例中采用不锈钢板或纯铜板作为阴极。在电解液内还浸没有待蚀刻的PCB板，PCB板与阳极的导电夹夹持相连，与阴极形成回流电路。为了便于调整阴极板2和阳极板10的结构，在槽体8的口部设有极板间距的调整结构，该调整结构包括一个第一安装结构5和两个第二安装结构6，第一安装结构5和第二安装结构6分别用于悬挂PCB板和位于PCB板两侧的阴极板2。优选地，第一安装结构5为导电夹，或者现有的其他夹持机构。

如图1和图2所示，第二安装结构6包括用于夹持阴极板2的夹持机构，如图3所示，夹持机构1包括安装座11，设置在安装座11上的至少一个夹持部件12。

如图3和图4所示，安装座11设置为纵向横截面为“U”型的壳体，本实施例中优选采用不锈钢制成。安装座11包括顶壁33、垂直于顶壁33两侧的第一侧壁31和第二侧壁32。第一侧壁31、第二侧壁32和顶壁33围成容纳内腔3。安装座11除了顶壁33、第一侧壁31和第二侧壁32之外的部分为敞口结构。安装座11用于夹持电解蚀刻环境中的阴极板2和导电排2-1，可选地，阴极板2为板状零件，导电排2-1为长条状立方体铜质零件，使用时，导电排2-1贴合在阴极板2顶部棱边处，两者同时落入容纳内腔3中。

如图3和图4所示，第一侧壁31面向容纳内腔3的一面为第一壁面312，导电排2-1即贴附在第一壁面312上。为了便于对导电排2-1的限位，第一侧壁31远离顶壁33的一条棱边向容纳内腔3翻折，形成折弯部311。导电排2-1安装时，从安装座11的敞口部分置入容纳内腔3中，再贴合第一壁面312，此时导电排2-1的底部就抵接在折弯部311上，受到折弯部311的限制。

如图3和图4所示，在容纳内腔3中，还设有至少一个夹持部件12。本实施例中一个安装座11内线性阵列若干个夹持部件12，每个夹持部件12包括固定在安装座11上的固定段121、从固定段121引出的指向顶壁33的过渡段123、位于过渡段123背离固定段121一端的夹持段122。其中，可选地，固定段121与安装座11之间焊接相连，固定段121、过渡段123和夹持段122为一体设置的弹性材料制成的折线形片状零件，本实施例中采用金属薄片。由于过渡段123为倾斜状，且倾斜一端指向第一侧壁31，因此夹持段122的初始偏压力朝向第一侧壁31。夹持段122在夹持过程中与阴极板2贴合。为了便于达到贴合阴极板2的目的，夹持段122设置为平行于第二侧壁32。当阴极板2和导电排2-1已经被安装至安装座11的容纳内腔3后，夹持段122就处于抵接在阴极板2上的状态。夹持段122和第一壁面312所形成的用于夹持阴极板2、导电排2-1的空间即为夹持腔体，夹持腔体的口部即为便于阴极板2伸入夹持腔体的第一开口34。

或者，作为变形，夹持部件还可以包括上述的固定段和夹持段，不设置上述的过渡段，当极板嵌入夹持腔体内后，夹持段与第一壁面之间也能够形成夹持力，同时，极板与夹持段及安装座之间形成的摩擦力，来对极板进行夹持固定，进而阻碍极板从夹持机构中落下，不会对极板本身造成损伤。即便在极板上附着有金属壳、自重变大的情况下，极板不易因为自重被下拉至损坏，保障了极板自身的使用寿命。

如图3和图4所示，在第二侧壁32上设置螺纹孔111，螺纹孔111的数量与夹持部件12的数量相等，且每一个螺纹孔111正好对应在夹持部件12的夹持段122中间位置。在螺纹孔111中穿设有顶紧件13，优先地，本实施例中的顶紧件13采用螺钉，转动螺钉使其伸入容纳内腔3时，螺钉端部与夹持段122之间的距离缩小，直至完全抵接在夹持段122上，若螺钉继续转动伸入，则对夹持段122继续施加顶紧力，夹持段122能够在原先就有夹持力的基础上对阴极板2和导电排2-1提供更大的夹持力。需要撤下阴极板2和导电排2-1时，反向转动螺钉，撤去对夹持部件12的顶紧力，由于夹持段122能够以固定段121为运动基准，在第一侧壁31和第二侧壁32之间往复摆动，因此阴极板2和导电排2-1能够在夹持段122向第二侧壁32摆动时取下。

如图2和图5所示，第二安装结构6夹持住阴极板2和导电排2-1后，被挂在槽体8的口部上，为了降低第一安装结构5和第二安装结构6窜动的可能性，在槽体8的口部设置调节组件7。

可选地，如图8所示，在槽体内，还包括与夹持机构相对设置的至少一个第一支撑座4，第一支撑座4设有与夹持腔体一一对应的安装槽41，以供极板的两端分别安装在夹持腔体和所述安装槽41内，极板的顶部被夹持机构夹持固定，极板的底部被安装槽限位，从而使极板被夹持住后，在竖向无晃动现象发生。比如，如图8所示，一个导电排2-1上对应设置两个阴极板2，两个阴极板2的顶部分别通过一个夹持机构1与导电排连接，每个阴极板的底部对应一个第一支撑座4的安装槽41。

可选地，槽体8的口部为矩形，如图1、图2、图5、图6及图7所示，沿槽体的口部的宽度方向，在槽体8内依次设置阴极板2、阳极板、阴极板2；则在槽体8的口部的长度方向上依次布置多个第二支撑座71(图中只示意出一个第二支撑座71)。每个第二支撑座71设置为顶部有若干个卡槽72的立方体。若干个卡槽72的分布由阴极板2指向阳极板10，也即，若干个卡槽72在槽体8的口部的宽度方向依次布置，当导电排卡在卡槽内时，导电排上的所有阴极板均悬空在槽体内腔中。

由于一根导电排2-1上固定有若干个夹持机构，相邻的夹持机构之间会露出一段导电排2-1，露出的这部分导电排2-1就落在卡槽72内。当导电排2-1落在不同的卡槽72内时，导电排2-1所在位置的阴极板2与阳极板10之间的距离就有所变化。在同一个槽体8的两条长边处各至少设置一个第二支撑座71，一条长边上的第二支撑座71对应于一个导电排2-1，第二支撑座71固定在槽体上。比如第二支撑座71的底部与槽体8的底部固定相连，顶部伸至槽体8的口部，与夹持机构使用时的高度齐平。第二支撑座71上的多个卡槽，就形成了用于调节阴极板2与阳极板10之间距离的调节组件7。

最佳地，如图6和图7所示，沿槽体8的口部的长度方向，槽体的口部的两端设有限位凹槽73，两个限位凹槽73之间的槽体的口部处设有第二支撑座71，位于边缘的两个夹持机构1的外侧端分别嵌入一个限位凹槽73内，也能对夹持机构1在槽体上的安装位置起到导向和限位作用，便于夹持机构1的安装。

调节阴极板2和阳极板10之间的距离时，提起夹持机构，将阴极板2和导电排2-1一起提起，从原先所在的卡槽72内移动至其他位置的卡槽72内，由于这些卡槽72与阳极板10之间的距离各不相同，因此阴极板2落在不同位置的卡槽72内，就能够达到与阳极板10之间的距离改变的目的。

第一安装结构5、第二安装结构6、调节组件7均位于槽体8在水平面上的投影范围之内。

作为可替换的实施方式，安装座11也能够采用绝缘材料制成，如陶瓷等。

作为可替换的实施方式，在夹持部件12的夹持段122上还设有定位孔124，定位孔124采用沉孔的结构。若定位孔124采用通孔，那么顶紧件13在转动顶紧的过程中，其端部就容易在阴极板2上钻磨，影响阴极板2局部的表面形状精度。且若顶紧件13贯穿夹持段122，那么主要是顶紧件13自身给阴极板2施加顶紧力；若顶紧件13是抵接在夹持段122上的，那么顶紧力作用面积更大，沉孔结构在能够限位顶紧件13的基础上，更便于夹持阴极板2和导电排2-1。

作为优化结构，在安装座11顶部还设有把手。

作为可替换的实施方式，顶紧件13还能够采用螺杆或丝杠等表面带有与螺纹孔啮合的螺纹结构。

作为可替换的实施方式，导电排2-1还能够采用钛包铜的结构，钛包铜结构的优点在于，既能保证铜材原有的导电性能，又利用钛覆盖保护了铜体不被腐蚀。

在使用夹持机构夹持阴极板2和导电排2-1时，导电排2-1贴在安装座11的第一壁面312上，阴极板2贴在导电排2-1上，此时夹持部件12的夹持段122抵接于阴极板2上，对阴极板2施加弹性形变产生的顶紧力；在将顶紧件13拧入螺纹孔111至抵接于夹持段122上后，顶紧件13施加的力增大了作用在阴极板2、导电排2-1上的夹持力。此时的夹持力包括了夹持段122的弹性夹持力、顶紧件13的顶紧力、夹持段122和阴极板2、导电排2-1与第一壁面312之间的摩擦阻力。且夹持部件12设置多个，接触面积越大，夹持力就越大，无需对阴极板2进行破坏性打孔，在后续阴极板2上吸附有自重较大的铜壳时，也不易因重力将阴极板2拉伤，延长了阴极板2的使用寿命。同时由于夹持部件12数量多、与阴极板2之间接触面积更大，相较于常规结构的导电夹来说夹持力更大，夹持效果更稳定可靠。

显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本发明创造的保护范围之中。

Claims (13)

1.一种极板的夹持机构，其特征在于，包括安装座(11)，及设在所述安装座(11)上的至少一个夹持部件(12)；且所述夹持部件(12)与安装座（11）上未设置夹持部件（12）的第一壁面相对布置以形成一端呈第一开口的夹持腔体；

所述安装座（11）包括顶壁（33）、垂直于顶壁（33）两侧的第一侧壁（31）和第二侧壁（32）；

所述夹持部件(12)包括固定在所述安装座(11)上的固定段(121)，及设在所述固定段(121)的一端部上的夹持段(122)；

所述夹持段(122)相对于所述固定段(121)可朝向靠近或远离所述第一壁面一侧做往复摆动；至少所述夹持段(122)采用弹性材料制成，所述夹持段(122)的初始偏压力朝向第一壁面。

2.根据权利要求1所述的极板的夹持机构，其特征在于，所述夹持部件(12)还包括所述固定段(121)朝向所述夹持段(122)方向倾斜的过渡段(123)，所述固定段(121)与所述夹持段(122)之间通过所述过渡段(123)连接。

3.根据权利要求1或2所述的极板的夹持机构，其特征在于，所述夹持机构还包括在所述夹持部件(12)朝向第一壁面方向上，可伸缩地设在所述安装座(11)上且位于所述夹持腔体外的至少一个顶紧件(13)；

所述顶紧件(13)在伸出时，其朝向所述夹持部件(12)的内侧端适于对所述夹持部件(12)背向所述夹持腔体的一侧外壁面上施加顶紧力；所述顶紧件的内侧端在缩回时，适于解除对所述夹持部件(12)的顶紧力。

4.根据权利要求3所述的极板的夹持机构，其特征在于，所述安装座(11)的一端上开设螺纹孔(111)；所述顶紧件(13)穿设并螺纹配合在所述螺纹孔(111)内，所述顶紧件(13)通过旋转以做伸缩运动。

5.根据权利要求4所述的极板的夹持机构，其特征在于，所述夹持部件(12)背向所述夹持腔体一侧的外壁面上设有向内凹陷的定位孔(124)，所述顶紧件(13)的内侧端通过顶在所述定位孔(124)上以施加所述顶紧力。

6.根据权利要求1或2所述的极板的夹持机构，其特征在于，所述安装座(11)具有敞开口的容纳内腔(3)；

所述容纳内腔的一侧内壁作为所述第一壁面（312），与所述第一壁面相对的另一侧内壁供所述夹持部件固定；所述安装座通过所述夹持腔体套设在被夹持件上，其中靠近所述第一壁面的被夹持件固定于所述第一壁面上。

7.根据权利要求6所述的极板的夹持机构，其特征在于，所述第一壁面所在的安装座的第一侧壁(31)的端部朝向第一壁面方向向内折弯形成折弯部(311)，以供固定于所述第一壁面上的被夹持件的端部抵接。

8.根据权利要求6所述的极板的夹持机构，其特征在于，所述安装座(11)的纵向截面形状呈U型。

9.根据权利要求1或2所述的极板的夹持机构，其特征在于，还包括与所述夹持机构相对设置的至少一个第一支撑座(4)，所述第一支撑座(4)设有与所述夹持腔体一一对应的安装槽(41)，以供极板的两端分别安装在所述夹持腔体和所述安装槽(41)内。

10.一种极板间距的调整结构，其特征在于，包括

至少一个第一安装结构(5)，用于悬挂阳极板和阴极板中的一个；

至少一个第二安装结构(6)，与所述第一安装结构(5)相对布置，用于悬挂阳极板和阴极板中的另一个；

其中，所述第一安装结构(5)或所述第二安装结构(6)为权利要求1-9中任意一项所述的极板的夹持机构；

调节组件，适于与被夹持件连接，用于驱动该所述夹持机构可朝向靠近或远离另一个安装结构方向做往复移动。

11.根据权利要求10所述的极板间距的调整结构，其特征在于，所述调节组件包括

至少一个第二支撑座（71），所述第二支撑座的顶部上设有若干个所述第一安装结构(5)朝向所述第二安装结构(6)方向间隔布置的卡槽；

任一所述卡槽供被夹持件避开所述夹持机构的位置卡接。

12.一种电解蚀刻设备，其特征在于，包括

槽体(8)，具有顶部开口并设在机架(9)上；

权利要求10或11所述的极板间距的调整结构，设在所述槽体(8)内。

13.根据权利要求12所述的电解蚀刻设备，其特征在于，所述第一安装结构(5)用于固定阳极板；

所述第二安装结构(6)为两个，分别布置在所述第一安装结构(5)的两侧且用于固定阴极板。