CN110567425B - 用于精密对准装调探测器模块与后准直器的装置及方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种用于精密对准装调探测器模块与后准直器的装置，该装置包括对齐基准块、金属安装架、调节架、用于调节探测器模块X轴Y轴位移的微调螺钉和弹簧柱塞、用于测量探测器模块X轴Y轴位移量的千分表。本发明还提供了一种精密对准装调探测器模块与后准直器的方法，即利用对齐基准块代替后准直器，并在对齐基准块的背面标有刻线标、纵向对齐基准、横向对齐基准，先将对齐基准块与探测器模块精密对准后，再将对齐基准块卸下，安装上后准直器。本发明的优点：在实现精密对准的同时，避免对探测器模块上的成像物理像素单元的损伤。

Description

用于精密对准装调探测器模块与后准直器的装置及方法

技术领域

本发明涉及一种用于精密对准装调CT机探测器模块与后准直器的装置及方法。

背景技术

在目前主流的CT机中，球管(即光源)和探测器模块是最主要的构成部件，球管发射 X射线，X射线全程覆盖要扫描的人体某一部位；探测器模块采集被扫描人体某一部位的投影数据，然后，CT机控制单元重建得到所需厚度的人体某一部位的断层图像。

为了准确地采集人体某一部位的投影数据，探测器模块需要与CT机准直器(又称后准直器)配合使用，后准直器的主要作用是减少散射效应对探测器模块上的成像物理像素单元成像时的影响，即由于散射使被探测信号偏离了X射线强度的真实测量结果，导致CT图像偏移或伪影。在实际使用过程中，需要将后准直器的防散射栅格与探测器模块上的成像物理像素单元对齐，对齐精度需要达到较高水平，否则会影响CT图像成像质量。

目前主要通过接触式瞄准或者非接触瞄准的方法使探测器模块上的成像物理像素单元和后准直器的防散射栅格对齐。接触式瞄准方法使用广泛，简单易用，即将两者的基准面物理对齐即可，其缺点是测量端面和被测量表面由于测量力引起的接触变形对瞄准精度会有影响，而且探测器模块上的成像物理像素单元的表面较脆弱，这种接触式瞄准方法有损环探测器模块上的成像物理像素单元的风险。非接触瞄准方法是通过电子放大镜，通过观察、瞄准探测器模块成像物理像素单元的基准刻线进行对齐，其瞄准精度受刻线的宽度及人眼分辨率的限制，调装精度在0.01-0.03mm范围内波动，对齐精度不高。

为降低接触式瞄准方法对探测器模块上的成像物理像素单元的损坏风险，以及进一步提高非接触瞄准方法的对齐精度，迫切需要一种非接触式的用于精密对准装调探测器模块与后准直器的装置及方法。

发明内容

鉴于上述原因，本发明的目的是提供一种非接触式的用于精密对准装调探测器模块与后准直器的装置及方法。

为实现上述目的，本发明采用以下技术方案：一种用于精密对准装调探测器模块与后准直器的装置，它包括对齐基准块、金属安装架、调节架、用于调节探测器模块X轴Y轴位移的微调螺钉和弹簧柱塞、用于测量探测器模块X轴Y轴位移量的千分表；

所述对齐基准块的背面设有一与后准直器安装基准面的形状、大小对应的凸块，在凸块上设有用于精密对准的水平刻线标，该水平刻线标作为精密对准时的测量基准线；在凸块上开有用于观察的显微镜可视孔，透过该显微镜可视孔可以观察到该水平刻线标；设定该凸块一端的纵向边缘为纵向对齐基准，与所述水平刻线标相对的凸块一侧横向边缘的两端为横向对齐基准，两端的横向对齐基准位于同一条直线上；

探测器模块固定在所述金属安装架上，在金属安装架的顶面、探测器模块成像物理像素单元的上方、垂直金属安装架顶面开有用于容置所述对齐基准块背面凸块的豁口，该豁口的大小、形状与所述对齐基准块背面凸块的大小、形状对应；

当探测器模块固定在所述金属安装架上后，将所述对齐基准块背面的凸块容置在所述金属安装架的豁口内时，所述对齐基准块与探测器模块的成像物理像素单元非接触设置，两者之间具有一定距离；透过所述显微镜可视孔可以观察到所述对齐基准块背面的水平刻线标、纵向对齐基准、横向对齐基准、以及探测器模块的成像物理像素单元的四周边缘；

所述调节架由前、后挡板和左、右端板构成，前、后挡板和左、右端板围成一凹槽，组装在一起的所述对齐基准块和金属安装架容置在该凹槽内；在所述调节架的一侧挡板上安装有若干个弹簧柱塞，与弹簧柱塞相对应，在调节架另一侧挡板上安装有若干个用于调节探测器模块X轴位移的微调螺钉；在调节架的一侧挡板上还安装有用于测量探测器模块X轴位移量的千分表；在调节架的一端端板上安装有若干个弹簧柱塞，与该弹簧柱塞相对应，在调节架另一端端板上安装有若干个用于调节探测器模块Y轴位移的微调螺钉；在调节架的一端端板上还安装有用于测量探测器模块Y轴位移量的千分表。

在本发明较佳实施例中，在所述对齐基准块背面凸块的两端分别设置预对齐基准点，与之相对应，在探测器模块上也设置预对齐基准点；当准备将对齐基准块放置在金属安装架上方时，先将所述对齐基准块上的预对齐基准点对准探测器模块上的预对齐基准点，然后，再通过紧固螺钉将所述对齐基准块与初步固定有探测器模块的所述金属安装架固定在一起。

在本发明较佳实施例中，在所述金属安装架的侧壁中间部位贯穿其前后璧开有一用于夹持探测器模块的水平槽；当探测器模块被放置在所述金属安装架的水平槽内后，通过左、右两个包含垫片的内六角螺钉固定在所述金属安装架的水平槽内。

在本发明较佳实施例中，所述微调螺钉为细牙螺纹螺钉。

本发明用于精密对准装调探测器模块与后准直器的装置还包括一工具测量显微镜。

利用本发明精密对准装调探测器模块与后准直器的方法如下：

S1：探测器模块的初步安装

将探测器模块的成像物理像素单元向上对着金属安装架的豁口，然后，将探测器模块放置在金属安装架中间部位的水平槽内，并将其初步固定在金属安装架的水平槽内，即将紧固螺钉轻轻拧上，但不上力矩；

S2：对齐基准块的安装

将对齐基准块背面凸块两端的预对齐基准点对准探测器模块上的预对齐基准点；然后，将对齐基准块背面凸块容置在金属安装架的豁口内，且，对齐基准块与固定在金属安装架上的探测器模块的成像物理像素单元不接触；通过紧固螺钉将对齐基准块与初步固定有探测器模块的金属安装架固定在一起；

S3：将组合好的金属安装架和对齐基准块放置在调节架凹槽内

将组装好的金属安装架和对齐基准块借助弹簧柱塞的推力固定在调节架的凹槽内；

S4：将内置有金属安装架和对齐基准块的调节架固定在测量平台上，使测量平台上的工具测量显微镜的镜头对准对齐基准块的显微镜可视孔；

S5：探测器模块上的成像物理像素单元与对齐基准块的预对齐及测量

S5.1：将工具测量显微镜的镜头对准对齐基准块上的显微镜可视孔，测量对齐基准块水平刻线标处，对齐基准块的纵向对齐基准、横向对齐基准与探测器模块成像物理像素单元的纵向边缘、横向边缘的距离Y1和X1、X2；

S5.2：计算这三个值与标准位置设计值的差值即所需调整的数值Δx1、Δx2、Δy1；

S6：对探测器模块进行位置的微调

S6.1：旋转调节架上的调节探测器模块Y轴位移的微调螺钉，通过千分表上的读数确定金属安装架的位移值，直到调整值达到所需调整的数值Δy1，使对齐基准块的纵向对齐基准与探测器模块成像物理像素单元的纵向边缘的距离达到标准位置设定值，然后拧紧与微调螺钉对应的弹簧柱塞，使探测器模块Y轴方向的位置固定；

S6.2：再旋转调整探测器模块X轴位移的两个微调螺钉，直到调整值达到所需调整的数值Δx1、Δx2，使对齐基准块的横向对齐基准与探测器模块成像物理像素单元的横向边缘的距离达到标准位置设定值，然后拧紧与微调螺钉对应的弹簧柱塞使探测器模块X轴方向的位置固定；

S6.3此时探测器模块上的成像物理像素单元与对齐基准块之间的位置已经根据设计要求对齐，拧紧固定探测器模块与金属安装架的紧固螺钉；

S7：将内置有金属安装架和对齐基准块的调节架从测量平台上卸下，拆除调节架，将对齐基准块拆除，将后准直器的安装基准面对准被拆除的对齐基准块凸块的位置处，将后准直器与金属安装架紧固在一起，至此就完成了探测器模块与后准直器精密对准装调全过程。

附图说明

图1是本发明用于精密对准装调探测器模块与后准直器的装置分解结构示意图；

图2是本发明用于精密对准装调探测器模块与后准直器的装置组装后的结构示意图；

图3是本发明用于精密对准装调探测器模块与后准直器的装置的主视图；

图4是本发明用于精密对准装调探测器模块与后准直器的装置的俯视图；

图5是构成本发明的对齐基准块后视立体图；

图6是构成本发明的对齐基准块后视平面图；

图7是安装有本发明的测量平台结构示意图；

图8是借助测量平台利用测量显微镜观察看到的示意图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本发明的结构及特征进行详细说明。需要说明的是，可以对此处公开的实施例做出各种修改，因此，说明书中公开的实施例不应该视为对本发明的限制，而仅是作为实施例的范例，其目的是使本发明的特征显而易见。

如图1-图4所示，本发明公开的用于精密对准装调探测器模块与后准直器的装置包括对齐基准块1、金属安装架2、调节架3、用于调节探测器模块X轴Y轴位移的微调螺钉4和弹簧柱塞5、用于测量探测器模块X轴Y轴位移量的千分表6。

如图1、图5、图6所示，构成本发明的对齐基准块1位于金属安装架2的上方，与设置在金属安装架上的探测器模块7的成像物理像素单元71非接触设置。在对齐基准块1的背面、探测器模块的成像物理像素单元71的上方设有一凸块11，该凸块11的形状、大小与后准直器的安装基准面的形状、大小对应，后准直器的安装基准面的位置与后准直器的防散射栅格的位置相对应。在凸块11上设有用于精密对准的水平刻线标111，该水平刻线标111作为精密对准时的测量基准线。

在凸块11上设有用于观察的显微镜可视孔112，透过该显微镜可视孔112可以观察到该水平刻线标111。

为精密对准探测器模块上的成像物理像素单元71，本发明设定对齐基准块1背面凸块11 一端的纵向边缘为纵向对齐基准113，与水平刻线标111相对的凸块一侧横向边缘的两端为横向对齐基准114和114ˊ，横向对齐基准114和114ˊ位于同一条直线上。由于本发明对齐基准块1与探测器模块7的成像物理像素单元71非接触设置，两者之间具有一定距离，故透过显微镜可视孔112可以观察到水平刻线标111、纵向对齐基准113和横向对齐基准114和114 ˊ以及凸块下面成像物理像素单元71的四周边缘。

如图5、图6所示，为大致准确地将对齐基准块1放置在金属安装架2上方，本发明在对齐基准块背面凸块11的两端分别设置了预对齐基准点115，与之相对应，在探测器模块上也设置预对齐基准点。当准备将对齐基准块1放置在金属安装架2上方时，先将对齐基准块1上的预对齐基准点115对准探测器模块上的预对齐基准点，然后，再通过紧固螺钉8将对齐基准块1与初步固定有探测器模块7的金属安装架2固定在一起。

在对齐基准块1上还设有若干个用于将对齐基准块1与金属安装架2连接固定的通孔12。

如图1所示，构成本发明的金属安装架2用于固定探测器模块7，在金属安装架2的侧壁中间部位贯穿其前后璧开有一用于夹持探测器模块7的水平槽21。当探测器模块7被放置在金属安装架的水平槽21内后，通过左、右两个包含垫片的内六角螺钉固定在金属安装架的水平槽内。

在金属安装架2的顶面、探测器模块成像物理像素单元71的上方，垂直于金属安装架2 的顶面开有用于容置对齐基准块背面凸块11的豁口22，该豁口22的大小、形状与对齐基准块背面凸块11的大小、形状大致相同。当探测器模块7被夹持在金属安装架2上后，先将对齐基准块1非接触地放置在金属安装架2的上面，且将对齐基准块1背面的预对齐基准点115 对准探测器模块上的预对齐基准点，然后，将对齐基准块背面的凸块11容置在金属安装架的豁口22内，最后，通过紧固螺钉8将对齐基准块1与初步固定有探测器模块7的金属安装架 2固定在一起。

如图1所示，构成本发明的调节架3由前、后挡板和左、右端板构成，前、后挡板和左、右端板围成一凹槽31，组装在一起的对齐基准块1和金属安装架2容置在该凹槽内。

在调节架的一侧挡板上安装有若干个弹簧柱塞5，与弹簧柱塞相对应，在调节架另一侧挡板上安装有若干个用于调节探测器模块X轴位移的微调螺钉4；同时，在调节架的一侧挡板上还安装有用于测量探测器模块X轴位移量的千分表6。

在调节架的一端端板上安装有若干个弹簧柱塞5，与该弹簧柱塞相对应，在调节架另一端端板上安装有若干个用于调节探测器模块Y轴位移的微调螺钉4；同时，在调节架的一端端板上还安装有用于测量探测器模块Y轴位移量的千分表6。

本发明借助弹簧柱塞5的推力将组合在一起的对齐基准块1和金属安装架2固定在调节架3中。通过调节设置在调节架3挡板和端板上的微调螺钉4使探测器模块沿X轴、Y轴位移。在调整微调螺钉4时，与之对应的弹簧栓塞5的弹簧一直对金属安装架2施加一定的推力，保持微调螺钉与探测器模块的接触。

在本发明的具体实施例中，所述微调螺钉为细牙螺纹螺钉。

当探测器模块7被放置在金属安装架2的水平槽21内后，通过左、右两个包含垫片的内六角螺钉初步固定在金属安装架的水平槽内，螺钉不施加力矩；再将对齐基准块1背面的预对齐基准点115对准探测器模块上的预对齐基准点，将对齐基准块背面的凸块11容置在金属安装架2的豁口22内，将对齐基准块1放置在金属安装架2上面，且，对齐基准块1与初步固定在金属安装架上的探测器模块的成像物理像素单元71不接触，最后，通过紧固螺钉8将对齐基准块1与初步固定有探测器模块7的金属安装架2固定在一起，然后，将固定在一起的对齐基准块1和金属安装架2放置在调节架3的凹槽31内，如图2所示。

为实现本发明的发明目的，本发明用于精密对准装调探测器模块与后准直器的装置还包括一工具测量显微镜9。

如图7所示，当本发明组装完毕后，将本发明平稳地安装在测量平台10上，移动工具测量显微镜9(工具测量显微镜是一种以光学(显微镜)瞄准和坐标(工作台)测量为基础的机械式光学仪器，可用于测量各种长度和距离)，将工具测量显微镜9的镜头对准对齐基准块1 上的显微镜可视孔112，如图8所示，测量对齐基准块水平刻线标111处，对齐基准块1的纵向对齐基准113、横向对齐基准114和114ˊ与探测器模块成像物理像素单元71的纵向边缘、横向边缘的距离Y1和X1、X2，并计算这三个值与标准位置设计值(设计值为 X1＝X2＝0.2mm，Y1＝0mm)的差值即所需调整的数值Δx1、Δx2、Δy1；然后，借助千分表6(读取位移量)通过旋转调节架上的微调螺钉4，调整探测器模块的位移Δx1、Δx2和Δy1，使对齐基准块1的纵向对齐基准113、横向对齐基准114和114ˊ与探测器模块成像物理像素单元71的纵向边缘、横向边缘的距离达到标准位置设定值，即实现对齐基准块1 背面的凸块11与探测器模块上的成像物理像素单元71的精密对准；最后，锁紧弹簧柱塞5 (将弹簧柱塞拧到头使弹簧柱塞的弹簧部分完全被压缩)，拧紧左、右两个包含垫片的内六角螺钉使探测器模块7与金属安装架2的相对位置固定住。

将本发明从图7所示的测量平台10上卸下，将紧固在一起的对齐基准块1和金属安装架2从调节架3中取出，拆除对齐基准块1，将后准直器的安装基准面对准被拆除的对齐基准块1凸块11的位置处，将后准直器与金属安装架紧固在一起，至此就完成了探测器模块与后准直器精密对准装调全过程。

本发明利用图1-图8公开的装置精密对准装调探测器模块与后准直器的方法如下：

S1：探测器模块的初步安装

将探测器模块的成像物理像素单元向上对着金属安装架的豁口，然后，将探测器模块放置在金属安装架中间部位的水平槽内，并将其初步固定在金属安装架的水平槽内，固定螺钉不施加力矩。

S2：对齐基准块的安装

将对齐基准块背面凸块两端的预对齐基准点对准探测器模块上的预对齐基准点；然后，将对齐基准块背面凸块容置在金属安装架的豁口内，且，对齐基准块与固定在金属安装架上的探测器模块的成像物理像素单元非接触；最后，通过紧固螺钉将对齐基准块与初步固定有探测器模块的金属安装架固定在一起。

S3：将组合好的金属安装架和对齐基准块放置在调节架凹槽内

将组装好的金属安装架和对齐基准块借助弹簧柱塞的推力固定在调节架的凹槽内。

S4：将内置有金属安装架和对齐基准块的调节架固定在测量平台上，使测量平台上的工具测量显微镜的镜头对准对齐基准块的显微镜可视孔。

S5：探测器模块上的成像物理像素单元与对齐基准块的预对齐及测量

S5.1：将工具测量显微镜的镜头通过对齐基准块上的显微镜可视孔，测量对齐基准块的水平刻线标处，对齐基准块的纵向对齐基准113、横向对齐基准114和114ˊ与探测器模块成像物理像素单元71的纵向边缘、横向边缘的距离Y1和X1、X2；

S5.2：计算这三个值与标准位置设计值(设计值为X1＝X2＝0.2mm，Y1＝0mm)的差值即所需调整的数值Δx1、Δx2、Δy1。

S6：对探测器模块进行位置的微调

S6.1：旋转调节架上的调节探测器模块Y轴位移的微调螺钉，通过千分表上的读数确定探测器模块的位移值，直到调整值达到所需调整的数值Δy1，使对齐基准块的纵向对齐基准 113与探测器模块成像物理像素单元71的纵向边缘的距离达到标准位置设定值，然后拧紧与微调螺钉对应的弹簧柱塞，使探测器模块Y轴方向的位置固定；

S6.2：再旋转调整探测器模块X轴位移的两个微调螺钉，直到调整值达到所需调整的数值Δx1、Δx2，使对齐基准块的横向对齐基准114和114ˊ与探测器模块成像物理像素单元 71的横向边缘的距离达到标准位置设定值，然后拧紧与微调螺钉对应的弹簧柱塞使探测器模块X轴方向的位置固定；

S6.3此时探测器模块上的成像物理像素单元与对齐基准块之间的位置已经根据设计要求对齐，拧紧固定探测器模块与金属安装架的紧固螺钉。

S7：将内置有金属安装架和对齐基准块的调节架从测量平台上卸下，拆除调节架，将对齐基准块拆除，将后准直器的安装基准面对准被拆除的对齐基准块1凸块11的位置处，将后准直器与金属安装架紧固在一起，至此就完成了探测器模块与后准直器精密对准装调全过程。

当对齐基准块背面凸块的安装对齐基准与夹持在金属安装架上的探测器模块成像物理像素单元的基准面对齐后，由于对齐基准块背面凸块与后准器的安装基准面部分一一对应，所以，理论上，如果对齐基准块背面的凸块与探测器模块的成像物理像素单元精密对齐，当用后准直器替换下对齐基准块后，我们就认为探测器模块与最后安装上的后准直器精密对准了。

本发明提出了一种基准面传递的思想，如果某基准面在安装及测量的时候，无法被直接的测出，或者有接触损坏的风险时，则可以将该基准面的位置通过和它精密连接的延伸装置进行传递。本发明利用工业测量显微镜的高精度测量数据以及千分表微米级的读数，以及与后准直器安装基准面对应的对齐基准块，使用工业测量显微镜高精度地测量安装在金属安装架水平槽内的探测器模块与对齐基准块水平刻线标的距离，计算测量值与标准位置设计值 (如X轴为0.2mm，Y轴为0mm)的差值，算出所需调整的数值Δx1、Δx2、Δy1；再通过旋转两个调整探测器模块X轴位移的微调螺钉，通过千分表上的读数确定探测器模块的位移值，直到调整值达到所需调整的数值Δx1、Δx2；然后旋转调整探测器模块Y轴位移的微调螺钉，直到调整值达到所需调整的数值Δy1；将探测器模块上的内六角螺钉上好相应力矩，使探测器模块与金属安装架的位置固定；最后，将安装好的组件解除夹具，取出调整架，将对齐基准块拆除，将后准直器的安装基准面安装到金属安装架的相应安装基准面(与对齐基准块使用相同的基准面)，此时就完成了探测器模块与后准直器精密对准装调的过程。

本发明的优点：

1)采用基准面传递的思想，结合非接触式瞄准及微米级的调整方式对探测器模块的位置进行对齐，达到高精度的要求，同时有效降低了探测器模块上的成像物理像素单元的物理磨损风险。

2)通过对齐基准块测量探测器模块与后准直器精密对准的位置偏差，根据工具测量显微镜提供精确数据，测量精度达到微米级别，提高了测量精度，并保证在调整完成后位置偏移值不大于0.01mm。

3)提升了不同型号间的通用性，同时有效的降低了成本。

在CT的实际应用中，各类CT在探测器模块及后准直器的设计上各有不同，目前没有专门的调整其位置精度的高精度设备，本发明只需要更换对齐基准块，就能够适用于不同型号CT机装调的需要。

最后应说明的是：以上所述的各实施例仅用于说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或全部技术特征进行等同替换；而这些修改或替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的范围。

Claims (6)

1.一种用于精密对准装调探测器模块与后准直器的装置，其特征在于：它包括对齐基准块、金属安装架、调节架、用于调节探测器模块X轴Y轴位移的微调螺钉和弹簧柱塞、用于测量探测器模块X轴Y轴位移量的千分表；

所述对齐基准块的背面设有一与后准直器安装基准面的形状、大小对应的凸块，在凸块上设有用于精密对准的水平刻线标，该水平刻线标作为精密对准时的测量基准线；在凸块上开有用于观察的显微镜可视孔，透过该显微镜可视孔可以观察到该水平刻线标；设定该凸块一端的纵向边缘为纵向对齐基准，与所述水平刻线标相对的凸块一侧横向边缘的两端为横向对齐基准，两端的横向对齐基准位于同一条直线上；

探测器模块固定在所述金属安装架上，在金属安装架的顶面、探测器模块成像物理像素单元的上方、垂直金属安装架顶面开有用于容置所述对齐基准块背面凸块的豁口，该豁口的大小、形状与所述对齐基准块背面凸块的大小、形状对应；

当探测器模块固定在所述金属安装架上后，将所述对齐基准块背面的凸块容置在所述金属安装架的豁口内时，所述对齐基准块与探测器模块的成像物理像素单元非接触设置，两者之间具有一定距离；透过所述显微镜可视孔可以观察到所述对齐基准块背面的水平刻线标、纵向对齐基准、横向对齐基准、以及探测器模块的成像物理像素单元的四周边缘；

所述调节架由前、后挡板和左、右端板构成，前、后挡板和左、右端板围成一凹槽，组装在一起的所述对齐基准块和金属安装架容置在该凹槽内；在所述调节架的一侧挡板上安装有若干个弹簧柱塞，与弹簧柱塞相对应，在调节架另一侧挡板上安装有若干个用于调节探测器模块X轴位移的微调螺钉；在调节架的一侧挡板上还安装有用于测量探测器模块X轴位移量的千分表；在调节架的一端端板上安装有若干个弹簧柱塞，与该弹簧柱塞相对应，在调节架另一端端板上安装有若干个用于调节探测器模块Y轴位移的微调螺钉；在调节架的一端端板上还安装有用于测量探测器模块Y轴位移量的千分表。

2.根据权利要求1所述的用于精密对准装调探测器模块与后准直器的装置，其特征在于：在所述对齐基准块背面凸块的两端分别设置预对齐基准点，与之相对应，在探测器模块上也设置预对齐基准点；

当准备将对齐基准块放置在金属安装架上方时，先将所述对齐基准块上的预对齐基准点对准探测器模块上的预对齐基准点，然后，再通过紧固螺钉将所述对齐基准块与初步固定有探测器模块的所述金属安装架固定在一起。

3.根据权利要求2所述的用于精密对准装调探测器模块与后准直器的装置，其特征在于：在所述金属安装架的侧壁中间部位贯穿其前后璧开有一用于夹持探测器模块的水平槽；

当探测器模块被放置在所述金属安装架的水平槽内后，通过左、右两个包含垫片的内六角螺钉固定在所述金属安装架的水平槽内。

4.根据权利要求3所述的用于精密对准装调探测器模块与后准直器的装置，其特征在于：所述微调螺钉为细牙螺纹螺钉。

5.根据权利要求4所述的用于精密对准装调探测器模块与后准直器的装置，其特征在于：它还包括一工具测量显微镜。

6.一种利用权利要求1-5所述装置精密对准装调探测器模块与后准直器的方法如下：

S1：探测器模块的初步安装

将探测器模块的成像物理像素单元向上对着金属安装架的豁口，然后，将探测器模块放置在金属安装架中间部位的水平槽内，并将其初步固定在金属安装架的水平槽内，即将紧固螺钉轻轻拧上，但不上力矩；

S2：对齐基准块的安装

将对齐基准块背面凸块两端的预对齐基准点对准探测器模块上的预对齐基准点；然后，将对齐基准块背面凸块容置在金属安装架的豁口内，且，对齐基准块与固定在金属安装架上的探测器模块的成像物理像素单元不接触；通过紧固螺钉将对齐基准块与初步固定有探测器模块的金属安装架固定在一起；

S3：将组合好的金属安装架和对齐基准块放置在调节架凹槽内

将组装好的金属安装架和对齐基准块借助弹簧柱塞的推力固定在调节架的凹槽内；

S4：将内置有金属安装架和对齐基准块的调节架固定在测量平台上，使测量平台上的工具测量显微镜的镜头对准对齐基准块的显微镜可视孔；

S5：探测器模块上的成像物理像素单元与对齐基准块的预对齐及测量

S5.1：将工具测量显微镜的镜头对准对齐基准块上的显微镜可视孔，测量对齐基准块水平刻线标处，对齐基准块的纵向对齐基准、横向对齐基准与探测器模块成像物理像素单元的纵向边缘、横向边缘的距离Y1和X1、X2；

S5.2：计算这三个值与标准位置设计值的差值即所需调整的数值Δx1、Δx2、Δy1；

S6：对探测器模块进行位置的微调

S6.1：旋转调节架上的调节探测器模块Y轴位移的微调螺钉，通过千分表上的读数确定金属安装架的位移值，直到调整值达到所需调整的数值Δy1，使对齐基准块的纵向对齐基准与探测器模块成像物理像素单元的纵向边缘的距离达到标准位置设定值，然后拧紧与微调螺钉对应的弹簧柱塞，使探测器模块Y轴方向的位置固定；

S6.2：再旋转调整探测器模块X轴位移的两个微调螺钉，直到调整值达到所需调整的数值Δx1、Δx2，使对齐基准块的横向对齐基准与探测器模块成像物理像素单元的横向边缘的距离达到标准位置设定值，然后拧紧与微调螺钉对应的弹簧柱塞使探测器模块X轴方向的位置固定；

S6.3此时探测器模块上的成像物理像素单元与对齐基准块之间的位置已经根据设计要求对齐，拧紧固定探测器模块与金属安装架的紧固螺钉；

S7：将内置有金属安装架和对齐基准块的调节架从测量平台上卸下，拆除调节架，将对齐基准块拆除，将后准直器的安装基准面对准被拆除的对齐基准块凸块的位置处，将后准直器与金属安装架紧固在一起，至此就完成了探测器模块与后准直器精密对准装调全过程。