CN110554252B

CN110554252B - 一种静电测试仪

Info

Publication number: CN110554252B
Application number: CN201910920385.6A
Authority: CN
Inventors: 周伟伟
Original assignee: Xiaoxian Zhongke Electromagnetic Testing Co ltd
Current assignee: Xiaoxian Zhongke Electromagnetic Testing Co ltd
Priority date: 2019-09-27
Filing date: 2019-09-27
Publication date: 2021-11-23
Anticipated expiration: 2039-09-27
Also published as: CN110554252A

Abstract

本发明提供了一种静电测试仪，包括检测仪本体，检测仪本体用于电路的连接和设备的持有，还包括：第一检测头，所述第一检测头固定设置在检测仪本体的顶端，第一检测头用于静电的非接触式检测；第二检测头，所述第二检测头活动设置在检测仪本体的顶端，第二检测头用于静电的接触式检测，第二检测头与第一检测头并列设置；环评测量环，所述环评测量环设置在第二检测头顶部环形位置，环评测量环用于测量环境参数；本发明可以在室内外使用，通过接触和非接触的方式、交流电和直流电的切换实现多场合的应用，并且记录环境参数，使测得的静电数据准确和具有参考价值。

Description

一种静电测试仪

技术领域

本发明涉及静电测量技术领域，尤其涉及一种静电测试仪。

背景技术

静电检测作为一种微电子的检测在高度的无静电的生产工作环境中尤为重要，尤其是在微观领域中，静电的存在会导致误差的增大，在生产生活中长采用接触式的静电测量方式和非接触的测量方式，理论上说接触式的静电测量方式相对于非接触式的测量方式更加的精确，但是都有误差的存在，在不同的环境下静电的大小也不相同，因此，在精确测量或者掌握的基础上需要添加环测的数据。

现有技术中，接触式的静电检测和环境检测的技术已经很成熟，在本申请中不做具体描述，但是不管哪种技术需要功能是单一的，并且使用的场景也是固定的，接触式的基本上是采用交流电作为电源检测静电的，而非接触式的主要以直流电为主，接触式的测量准确，非接触式的携带方便，但是不能兼备彼此的优点，在实际使用中通常需要采用两三个设备选择在不同的场合下使用，当然，环评设备也需要应用于静电的测量，单独的设备之间难以形成统一的指令，使测量的数据在同一点同时进行，达到对数据的精度超高要求，因此，如何改善现有静电检测仪的限制条件多，设备功能单一，检测时不能同步数据，导致静电检测的数据不能很精确是本发明需要解决的问题。

发明内容

本发明旨在提供一种克服上述问题或者至少部分地解决上述问题的一种静电测试仪及其检测系统，以解决静电检测仪功能单一，并且不能实时监测环境影响因素的问题。

为达到上述目的，本发明的技术方案具体是这样实现的：

本发明的提供了一种静电测试仪，包括检测仪本体，检测仪本体用于电路的连接和设备的持有，还包括：

第一检测头，所述第一检测头固定设置在检测仪本体的顶端，第一检测头用于静电的非接触式检测；

第二检测头，所述第二检测头活动设置在检测仪本体的顶端，第二检测头用于静电的接触式检测，第二检测头与第一检测头并列设置；

环评测量环，所述环评测量环设置在第二检测头顶部环形位置，环评测量环用于测量环境参数。

所述第一检测头为圆槽结构，第一检测头顶部设有活动的屏蔽板，屏蔽板用于阻断静电测试仪对物体的静电测量，第一检测头的内部设有感应板，感应板是导电材质，感应板与测量电线电性连接，测量电线上安装有检测电容。

所述第二检测头分成上触杆、中间杆和下凸台三段，所述上触杆伸出检测仪本体的外部，中间杆设有螺纹与插槽螺纹孔配合安装，下凸台设置在检测仪本体内部，下凸台上连接有电路线。

所述检测仪本体一端设有两个用于安装第一检测头和第二检测头的通孔，其中，安装第二检测头的通孔在检测仪本体内部设有空槽，空槽连接位置的通孔上设有插槽螺纹孔，插槽螺纹孔顶端至检测仪本体外部的一段为插槽圆孔。

所述空槽的深度大于第二检测头的长度，插槽圆孔的直径大于插槽螺纹孔的直径，插槽圆孔直径小于空槽的直径，空槽的直径大于插槽螺纹孔的直径。

一种静电测试仪的检测系统，包括：

环评模块，所述环评模块电性连接在环评测量环中，环评模块与直流电源模块连接，环评模块分别与接触测量模块和非接触测量模块连接；

接触测量模块，所述接触测量模块电性连接在第二检测头上，接触测量模块通过外接模块电性连接在交流电源模块上；

接触对比模块，所述接触对比模块电性连接在交流电源模块与接触测量模块，接触对比模块与接触测量模块并联；

非接触测量模块，所述非接触测量模块电性连接在第一检测头上，非接触测量模块与直流电源模块电性连接；

非接触对比模块；所述非接触对比模块电性连接在直流电源模块上，非接触对比模块与非接触测量模块并联。

所述直流电源模块与交流电源模块之间并联有微型的整流器和逆变器，整流器用于交流电源模块转化成直流电并对直流电源模块充电；逆变器用于直流电源模块转化成交流电。

本发明提供了一种静电测试仪及其检测系统，有益效果在于：本发明通过将接触式的静电检测与非接触的静电检测方式结合，使静电检测仪可以采用任一种方式或者两种方式同时使用对静电进行检测，同时，环评模块对静测量时的被测物周边的温度、湿度和空气质量等因素同时检测并显示在显示屏上，接触式的测量方式将检测头设置成可伸缩的结构，在不同测量的方式下采用不同的伸出长度，多种电源的组合，避免不方便携带或者只能食用交流电的问题，在室外也可以采用直流电转换成交流电对物体的静电进行测量，增加了检测仪的应用场合，提高了静电检测多种方式组合下的精确度，同时记录的环评信息对数据做支撑，便于后期的分析，以及在相同环境下的检测。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域的普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他附图。

图1为本发明实施例提供的整体结构示意图。

图2为本发明实施例提供的第一检测头结构示意图。

图3为本发明实施例提供的第二检测头结构示意图。

图4为本发明实施例提供的模块信息示意图。

图5为本发明实施例提供的非接触式测量电路示意图。

图中：1、检测仪本体；11、显示屏；12、按键；13、空槽；14、插槽圆孔；15、插槽螺纹孔；2、第一检测头；21、屏蔽板；22、感应板；23、测量电线；3、第二检测头；31、上触杆；32、中间杆；33、下凸台；4、环评测量环。

具体实施方式

下面将参照附图更详细地描述本公开的示例性实施例。虽然附图中显示了本公开的示例性实施例，然而应当理解，可以以各种形式实现本公开而不应被这里阐述的实施例所限制。相反，提供这些实施例是为了能够更透彻地理解本公开，并且能够将本公开的范围完整的传达给本领域的技术人员。

参见图1-图5所示，本发明实施例提供的一种静电测试仪，包括检测仪本体1，检测仪本体1用于电路的连接和设备的持有，检测仪本体1的上表面设有显示屏11和按键12，显示屏11用于可视化的静电数据，以及环评设备显示的环境参数，使静电在检测时同时记录测量时的环境数据，环境数据包括温度、湿度和空气质量等，避免在不同环境下测得静电数据不准确的弊端，还包括：第一检测头2和第二检测头3，第一检测头2固定设置在检测仪本体1的顶端，第一检测头2用于静电的非接触式检测；第二检测头3活动设置在检测仪本体1的顶端，第二检测头3用于静电的接触式检测，第二检测头3与第一检测头2并列设置；环评测量环4设置在第二检测头3顶部环形位置，环评测量环4用于测量环境参数。

如图2所示，第一检测头2为圆槽结构，第一检测头2顶部设有活动的屏蔽板21，屏蔽板21用于阻断静电测试仪对物体的静电测量，第一检测头2的内部设有感应板22，感应板22是导电材质，感应板22与测量电线23电性连接，测量电线23上安装有检测电容。

如图3所示，第二检测头3分成上触杆31、中间杆32和下凸台33三段，上触杆31伸出检测仪本体1的外部，中间杆32设有螺纹与插槽螺纹孔15配合安装，下凸台33设置在检测仪本体1内部，下凸台33上连接有电路线。

如图3所示，检测仪本体1一端设有两个用于安装第一检测头2和第二检测头3的通孔，其中，安装第二检测头3的通孔在检测仪本体1内部设有空槽13，空槽13连接位置的通孔上设有插槽螺纹孔15，插槽螺纹孔15顶端至检测仪本体1外部的一段为插槽圆孔14。空槽13的深度大于第二检测头3的长度，插槽圆孔14的直径大于插槽螺纹孔15的直径，插槽圆孔14直径小于空槽13的直径，空槽13的直径大于插槽螺纹孔15的直径。

如图4和图5所示，一种静电测试仪的检测系统，包括：

环评模块，所述环评模块电性连接在环评测量环4中，环评模块与直流电源模块连接，环评模块分别与接触测量模块和非接触测量模块连接；

接触测量模块，所述接触测量模块电性连接在第二检测头3上，接触测量模块通过外接模块电性连接在交流电源模块上；

非接触测量模块，所述非接触测量模块电性连接在第一检测头2上，非接触测量模块与直流电源模块电性连接；

一种静电测试仪及其检测系统的工作方式：本发明通过将接触式的静电检测与非接触的静电检测方式结合，使静电检测仪可以采用任一种方式或者两种方式同时使用对静电进行检测，同时，环评模块对静测量时的被测物周边的温度、湿度和空气质量等因素同时检测并显示在显示屏11上；一、采用接触式测量时，将非接触式的电源关闭，同时将屏蔽板21安装在第一检测头2的顶端，形成双重保护，将第二检测头3接触被测物表面，通过交流电的电源配置，测得静电结果与并联的接触对比模块的电量对比，形成差值即得静电电量数据，同时，环评模块将从环评测量环4上测得的环境数据在显示屏11上显示；二、采用非接触式测量时，关闭接触式测量电源，通过螺旋将第二检测头3旋至检测仪本体1中，只在检测仪本体1外部保留环评测量环4，环评测量环4长度小于第一检测头2，打开屏蔽板21，将第一检测头2与被测物接触，感应板22与第一检测头2顶端之间形成测量距离，测量电路如图5所示，同时，环评模块将从环评测量环4上测得的环境数据在显示屏11上显示；三、采用两种方式同时测量时，同时打开接触式和非接触式开关，将第二检测头3旋至与第一检测头2平齐位置，开始一和二的测量，同时，环评模块将从环评测量环4上测得的环境数据在显示屏11上显示。供电的方式可以是交流电源或者直流电源，也可以同时供电，一般选择一种供电方式，根据所测物体的位置决定，室内一般采用交流电源，室外采用直流电源。

以上仅为本申请的实施例而已，并不用于限制本申请。对于本领域技术人员来说，本申请可以有各种更改和变化。凡在本申请的精神和原理之内所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本申请的权利要求范围之内。

Claims

1.一种静电测试仪，包括检测仪本体（1），检测仪本体（1）用于电路的连接和设备的持有，其特征在于，还包括：

第一检测头（2），所述第一检测头（2）固定设置在检测仪本体（1）的顶端，第一检测头（2）用于静电的非接触式检测；

第二检测头（3），所述第二检测头（3）活动设置在检测仪本体（1）的顶端，第二检测头（3）用于静电的接触式检测，第二检测头（3）与第一检测头（2）并列设置；

环评测量环（4），所述环评测量环（4）设置在第二检测头（3）顶部环形位置，环评测量环（4）用于测量环境参数；

所述第一检测头（2）为圆槽结构，第一检测头（2）顶部设有活动的屏蔽板（21），屏蔽板（21）用于阻断静电测试仪对物体的静电测量，第一检测头（2）的内部设有感应板（22），感应板（22）是导电材质，感应板（22）与测量电线（23）电性连接，测量电线（23）上安装有检测电容；所述第二检测头（3）分成上触杆（31）、中间杆（32）和下凸台（33）三段，所述上触杆（31）伸出检测仪本体（1）的外部，中间杆（32）设有螺纹与插槽螺纹孔（15）配合安装，下凸台（33）设置在检测仪本体（1）内部，下凸台（33）上连接有电路线；所述检测仪本体（1）一端设有两个用于安装第一检测头（2）和第二检测头（3）的通孔，其中，安装第二检测头（3）的通孔在检测仪本体（1）内部设有空槽（13），空槽（13）连接位置的通孔上设有插槽螺纹孔（15），插槽螺纹孔（15）顶端至检测仪本体（1）外部的一段为插槽圆孔（14）。

2.根据权利要求1所述的静电测试仪，其特征在于，所述空槽（13）的深度大于第二检测头（3）的长度，插槽圆孔（14）的直径大于插槽螺纹孔（15）的直径，插槽圆孔（14）直径小于空槽（13）的直径，空槽（13）的直径大于插槽螺纹孔（15）的直径。

3.根据权利要求1所述的静电测试仪，其特征在于，还包括检测系统，所述检测系统包括：

环评模块，所述环评模块电性连接在环评测量环（4）中，环评模块与直流电源模块连接，环评模块分别与接触测量模块和非接触测量模块连接；

接触测量模块，所述接触测量模块电性连接在第二检测头（3）上，接触测量模块通过外接模块电性连接在交流电源模块上；

非接触测量模块，所述非接触测量模块电性连接在第一检测头（2）上，非接触测量模块与直流电源模块电性连接；

4.根据权利要求3所述的静电测试仪，其特征在于，所述直流电源模块与交流电源模块之间并联有微型的整流器和逆变器，整流器用于交流电源模块转化成直流电并对直流电源模块充电；逆变器用于直流电源模块转化成交流电。