CN110531578B - 多画幅分幅成像方法、装置和设备 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及多画幅分幅成像方法、装置和设备,该多画幅分幅成像方法通过单孔将对应的目标光照射至光电阴极以生成对应的光电子图像,通过抽样分离器对光电子图像进行抽样以得到与光电子图像中不同位置所对应的抽样电子束,将各个抽样电子束分别通过电子光学系统进行聚焦处理以得到各自对应的聚焦电子束,将各个聚焦电子束分别通过电子束分离器进行偏转分离处理,生成各自的通道电子束,将各个通道电子束分别通过扫描电场进行扫描处理,以使经过扫描处理后得到的各个对应的目标电子束到达荧光屏并生成对应的条纹图像,根据各个条纹图像中同一时刻所对应的图像进行图像构建,以得到对应的原始目标图像,能够实现单一视角的多画幅分幅成像。
Description
技术领域
本发明涉及图像成像领域,尤其涉及一种多画幅分幅成像方法、装置和设备。
背景技术
基于光电技术的分幅相机在X射线超快诊断领域是一种不可或缺的分幅成像设备,其具有二维空间分辨能力和皮秒级时间分辨能力,在飞秒激光、等离子体辐射和核聚变等超快现象研究中具有重要的应用。
X射线不宜折射且穿透性极强,不能采用分光的办法对X光进行分幅成像,因此,目前主要采用针孔阵列(或KB显微镜)配X光行波选通分幅成像技术,然而该技术是一种非单一视角X射线分幅技术,这是因为针孔阵列中的针孔是按照一定间距分布的,导致每个针孔对应被测目标的不同方位角,于是各个画幅之间存在视角差异,造成观测目标中同一点发出的光会出现在不同画幅上的不同位置,因而该技术不能实现对目标的单一视角分幅成像。
发明内容
鉴于此,本发明提供一种多画幅分幅成像方法、装置和设备。
一种多画幅分幅成像方法,多画幅分幅成像方法包括:
通过单孔将对应的目标光照射至光电阴极以生成对应的光电子图像;
通过抽样分离器对光电子图像进行抽样以得到与光电子图像中不同位置所对应的抽样电子束;
将各个抽样电子束分别通过电子光学系统进行聚焦处理以得到各自对应的聚焦电子束;
将各个聚焦电子束分别通过电子束分离器进行偏转分离处理,生成各自对应的通道电子束;
将各个通道电子束分别通过扫描电场进行扫描处理,以使经过扫描处理后得到的各个对应的目标电子束到达荧光屏并生成对应的条纹图像;
根据各个条纹图像中同一时刻所对应的图像进行图像构建,以得到对应的原始目标图像。
在一个实施例中,电子束分离器包括准直狭缝阵列器件和多通道偏转分离器,“将各个聚焦电子束分别通过电子束分离器进行偏转分离处理,生成各自对应的通道电子束”的步骤包括:
将各个聚焦电子束分别通过准直狭缝阵列器件中各个准直狭缝以在傅里叶像面上对各个聚焦电子束进行过滤准直处理,生成各自对应的准直电子束;
将各个准直电子束分别通过多通道偏转分离器进行偏转分离以增大各个相邻准直电子束之间的间距并生成各自对应的通道电子束。
在一个实施例中,将各个抽样电子束分别通过电子光学系统进行聚焦处理以得到各自对应的聚焦电子束的步骤之前还包括:
将各个抽样电子束分别通过加速单元进行加速处理。
在一个实施例中,多通道偏转分离器设置有多对直流电极板,上述每对直流电极板的中心轴线均与对应的准直狭缝中心轴线相同以形成对应的偏转分离通道,“将各个准直电子束分别通过多通道偏转分离器进行偏转分离以增大各个相邻准直电子束之间的间距并生成各自对应的通道电子束的步骤包括:
将各个准直电子束分别通过各自对应的偏转分离通道进行偏转分离以增大各个相邻准直电子束之间的间距并生成各自对应的通道电子束。
此外,还提供一种多画幅分幅成像装置,多画幅分幅成像设装置包括处理器以及在空间位置上依次排列且均处于同一轴线上的光电阴极、抽样分离器、电子光学系统、电子束分离器、扫描电场装置和荧光屏;
光电阴极用于接收对应的目标光照射以生成对应的光电子图像;
抽样分离器用于对光电子图像进行抽样以得到与光电子图像中不同位置所对应的抽样电子束;
电子光学系统用于将各个抽样电子束分别进行聚焦处理以得到各自对应的聚焦电子束;
电子束分离器用于将各个聚焦电子束分别进行偏转分离处理,以生成各自对应的通道电子束;
扫描电场装置用于将各个通道电子束分别进行扫描处理,得到对应的目标电子束并发送至荧光屏;
荧光屏用于生成对应的条纹图像;
处理器用于根据各个条纹图像中同一时刻所对应的图像进行图像构建并得到对应的原始目标图像。
在一个实施例中,电子束分离器包括准直狭缝阵列器件和多通道偏转分离器;
准直狭缝阵列器件用于将各个聚焦电子束分别在傅里叶像面上对各个聚焦电子束进行过滤准直处理,生成各自对应的准直电子束;
多通道偏转分离器用于将各个准直电子束分别进行偏转分离以增大各个相邻准直电子束之间的间距,生成各自对应的通道电子束。
在一个实施例中,多画幅分幅成像装置还设置有加速单元,加速单元设置在光电阴极和抽样分离器之间;
加速单元用于将各个抽样电子束分别进行加速处理。
在一个实施例中,多通道偏转分离器设置有多对直流电极板,每对直流电极板的中心轴线均与对应的准直狭缝中心轴线相同以形成对应的偏转分离通道。
在一个实施例中,抽样分离器采用取样狭缝阵列器件,准直狭缝阵列器件中的准直狭缝数目与抽样分离器中的取样狭缝数目相同。
一种多画幅分幅成像设备,包括存储器以及处理器,存储器用于存储计算机程序,处理器运行计算机程序以使多画幅分幅成像设备执行上述多画幅分幅成像方法。
上述多画幅分幅成像方法,通过单孔将对应的目标光照射至光电阴极以生成对应的光电子图像,通过抽样分离器对光电子图像进行抽样以得到与光电子图像中不同位置所对应的抽样电子束,将各个抽样电子束分别通过电子光学系统进行聚焦处理以得到各自对应的聚焦电子束,将各个聚焦电子束分别通过电子束分离器进行偏转分离处理,生成各自对应的通道电子束,将各个通道电子束分别通过扫描电场进行扫描处理,以使经过扫描处理后得到的各个对应的目标电子束到达荧光屏并生成对应的条纹图像,根据各个条纹图像中同一时刻所对应的图像进行图像构建,以得到对应的原始目标图像,能够实现单一视角的多画幅分幅成像并能够进行图像构建得到对应的原始二维目标图像,克服了常规技术例如针孔阵列(或KB显微镜)配X光行波选通分幅成像技术的不能够实现单一视角的多画幅分幅成像的技术缺陷。
附图说明
为了更清楚地说明本发明的技术方案,下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍,应当理解,以下附图仅示出了本发明的某些实施例,因此不应被看作是对本发明保护范围的限定。在各个附图中,类似的构成部分采用类似的编号。
图1为一个实施例中一种多画幅分幅成像方法的流程示意图;
图2为一个实施例中生成通道电子束的方法流程示意图;
图3为另一个实施例中一种多画幅分幅成像方法的流程示意图;
图4为又一个实施例中一种多画幅分幅成像方法的流程示意图;
图5为一个实施例中一种多画幅分幅成像装置的结构框图;
图6为一个实施例中一种电子束分离器的结构示意图;
图7为另一个实施例中一种多画幅分幅成像装置的结构框图;
图8为一个实施例中一种抽样分离器的结构示意图。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。
通常在此处附图中描述和示出的本发明实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此,以下对在附图中提供的本发明的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本发明的范围,而是仅仅表示本发明的选定实施例。基于本发明的实施例,本领域技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。
在下文中,将更全面地描述本公开的各种实施例。本公开可具有各种实施例,并且可在其中做出调整和改变。然而,应理解:不存在将本公开的各种实施例限于在此公开的特定实施例的意图,而是应将本公开理解为涵盖落入本公开的各种实施例的精神和范围内的所有调整、等同物和/或可选方案。
在下文中,可在本发明的各种实施例中使用的术语“包括”、“具有”及其同源词仅意在表示特定特征、数字、步骤、操作、元件、组件或前述项的组合,并且不应被理解为首先排除一个或更多个其它特征、数字、步骤、操作、元件、组件或前述项的组合的存在或增加一个或更多个特征、数字、步骤、操作、元件、组件或前述项的组合的可能性。
此外,术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述,而不能理解为指示或暗示相对重要性。
除非另有限定,否则在这里使用的所有术语(包括技术术语和科学术语)具有与本发明的各种实施例所属领域普通技术人员通常理解的含义相同的含义。所述术语(诸如在一般使用的词典中限定的术语)将被解释为具有与在相关技术领域中的语境含义相同的含义并且将不被解释为具有理想化的含义或过于正式的含义,除非在本发明的各种实施例中被清楚地限定。
图1为一个实施例中一种多画幅分幅成像方法的流程示意图,该多画幅分幅成像方法通常采用条纹变像管实现,该多画幅分幅成像方法包括:
步骤S110,通过单孔将对应的目标光照射至光电阴极以生成对应的光电子图像。
其中,一般利用光照射目标场景,然后目标场景反射的回波光信号通过单孔入射并照射到光电阴极,从而生成对应的二维光电子图像,其中,得到的二维光电子图像的时序与上述入射光电阴极的对应的入射光信号的时序相同。
步骤S120,通过抽样分离器对二维光电子图像进行抽样以得到与光电子图像中不同位置所对应的抽样电子束。
其中,光电阴极生成对应的二维光电子图像后,进一步通过抽样分离器对上述二维光电子图像进行抽样分离,将上述二维光电子图像划分为多个不同位置的光电子束,进而得到与二维光电子图像中不同位置相对应的抽样电子束。
其中,抽样分离器通常采用抽样狭缝阵列器件。
步骤S130,将各个抽样电子束分别通过电子光学系统进行聚焦处理以得到各自对应的聚焦电子束。
其中,得到上述各个抽样电子束之后可能存在电子束较为分散的问题,因此,针对每个抽样电子束需要分别通过电子光学系统进行聚焦处理以得到各自对应的聚焦电子束。
步骤S140,将各个聚焦电子束分别通过电子束分离器进行偏转分离处理,生成各自对应的通道电子束。
其中,针对每个聚焦电子束,在通过后续扫描电场进行偏转前,还需要通过电子束分离器进行偏转分离处理,这是因为每个聚焦电子束之间在进入偏转电场前,如果各自之间的间距太小,容易导致后续荧光屏上成像的重叠,因此,将各个聚焦电子束分别通过电子束分离器进行偏转分离处理,以生成各自对应的通道电子束。
步骤S150,将各个通道电子束分别通过扫描电场进行扫描处理,以使经过扫描处理后得到的各个对应的目标电子束到达荧光屏并生成对应的条纹图像。
其中,在得到上述各个通道电子束之后,还需要将各个通道电子束分别通过扫描电场进行扫描处理,生成各自对应的目标电子束并到达荧光屏,从而将各个通道电子束中各自包含的时序信息转换为空间信息。
其中,上述扫描电场所加电压通常为斜坡电压。
步骤S160,根据各个条纹图像中同一时刻所对应的图像进行图像构建,以得到对应的原始目标图像。
其中,每个通道电子束在荧光屏上均对应有一组条纹图像,荧光屏上存在各个不同时刻的条纹图像,此时处理器通过提取各个条纹图像中同一时刻所对应的图像进行图像构建,能够得到对应的原始目标图像。
其中,上述原始目标图像通常为二维目标图像。
上述多画幅分幅成像方法,通过单孔将对应的目标光照射至光电阴极以生成对应的光电子图像,通过抽样分离器对光电子图像进行抽样以得到与光电子图像中不同位置所对应的抽样电子束,将各个抽样电子束分别通过电子光学系统进行聚焦处理以得到各自对应的聚焦电子束,将各个聚焦电子束分别通过电子束分离器进行偏转分离处理,生成各自对应的通道电子束,将各个通道电子束分别通过扫描电场进行扫描处理,以使经过扫描处理后得到的各个对应的目标电子束到达荧光屏并生成对应的条纹图像,根据各个条纹图像中同一时刻所对应的图像进行图像构建,以得到对应的原始目标图像,能够实现单一视角的多画幅分幅成像并能够进行图像构建得到对应的原始目标图像,克服了常规技术例如针孔阵列(或KB显微镜)配X光行波选通分幅成像技术的技术缺陷。
在一个实施例中,电子束分离器包括准直狭缝阵列器件和多通道偏转分离器,如图2所示,步骤S140包括:
步骤S142,将各个聚焦电子束分别通过准直狭缝阵列器件中各个准直狭缝以在傅里叶像面上对各个聚焦电子束进行过滤准直处理,生成各自对应的准直电子束。
其中,电子束分离器通常包括准直狭缝阵列器件和多通道偏转分离器,准直狭缝阵列器件通常设置有多个准直狭缝,各个聚焦电子束分别通过上述各自对应的准直狭缝,能够在傅里叶像面上对各个聚焦电子束进行过滤准直处理,生成各自对应的准直电子束,各个电子束更为集中和准直,为后续的处理过程奠定基础。
其中,上述准直狭缝阵列器件中的准直狭缝数目和上述抽样分离器中对应的抽样狭缝数目相同,且准直狭缝阵列器件中的准直狭缝与抽样分离器中的取样狭缝在空间位置上各自一一对应,以保证各个抽样电子束经过聚焦处理后能够进一步通过各自对应的准直狭缝进行处理。
步骤S144,将各个准直电子束分别通过多通道偏转分离器进行偏转分离以增大各个相邻准直电子束之间的间距并生成各自对应的通道电子束。
其中,多通道偏转分离器设置有多个偏转分离通道,能够初步增大各个相邻准直电子束之间的间距并生成各自对应的通道电子束,进而能够消除各个通道电子束之间的互相影响以实现多画幅分幅成像。
其中,各个准直狭缝之间的可设置为距离相等,同样地,各个偏转分离通道之间的距离也设置相等,每个偏转分离通道与对应的准直狭缝相对应,使得生成的各个准直电子束对应的时间量程相同,进而各个通道电子束之间的时序信息不会出现交叉,有利于后续目标图像的重建,否则容易造成图像时序信息的丢失。
其中,上述多通道偏转分离器所加电压通常为对应的直流电压。
在一个实施例中,步骤S130之前还包括:
步骤S170,将各个抽样电子束分别通过加速单元进行加速处理。
其中,为获得后续图像更高的亮度增益,通常采用加速栅网将各个抽样电子束分别通过加速单元进行加速处理。
其中,步骤S170可位于步骤S120之前,如图3所示;也可位于步骤S120之后,如图4所示。
在一个实施例中,多通道偏转分离器设置有多对直流电极板,上述每对直流电极板的中心轴线均与对应的准直狭缝中心轴线相同以形成对应的偏转分离通道,步骤S144包括:
将各个准直电子束分别通过各自对应的偏转分离通道进行偏转分离以增大各个相邻准直电子束之间的间距并生成各自对应的通道电子束。
其中,多通道偏转分离器设置有多对直流电极板,上述每对直流电极板的中心轴线均与对应的准直狭缝中心轴线相同以形成对应的偏转分离通道,这样以来,各个准直电子束分别通过各自对应的偏转分离通道进行偏转分离,从而增大各个相邻准直电子束之间的间距并生成各自对应的通道电子束。
此外,如图5所示,还提供一种多画幅分幅成像装置200,多画幅分幅成像设装置200包括处理器210以及在空间位置上依次排列且均处于同一轴线上的光电阴极220、抽样分离器230、电子光学系统240、电子束分离器250、扫描电场装置260和荧光屏270;
光电阴极220用于接收对应的目标光照射以生成对应的光电子图像;
抽样分离器230用于对光电子图像进行抽样以得到与光电子图像中不同位置所对应的抽样电子束;
电子光学系统240用于将各个抽样电子束分别进行聚焦处理以得到各自对应的聚焦电子束;
电子束分离器250用于将各个聚焦电子束分别进行偏转分离处理,以生成各自对应的通道电子束;
扫描电场装置260用于将各个通道电子束分别进行扫描处理,得到对应的目标电子束并发送至荧光屏;
荧光屏270用于生成对应的条纹图像;
处理器210用于根据各个条纹图像中同一时刻所对应的图像进行图像构建并得到对应的原始目标图像。
在一个实施例中,如图6所示,电子束分离器250包括准直狭缝阵列器件252和多通道偏转分离器254;
准直狭缝阵列器件252用于将各个聚焦电子束分别在傅里叶像面上对各个聚焦电子束进行过滤准直处理,生成各自对应的准直电子束;
多通道偏转分离器254用于将各个准直电子束分别进行偏转分离以增大各个相邻准直电子束之间的间距,生成各自对应的通道电子束。
在一个实施例中,如图7所示,多画幅分幅成像装置300还设置有加速单元280,加速单元280设置在光电阴极220和抽样分离器230之间;
加速单元280用于将各个抽样电子束分别进行加速处理。
其中,加速单元280设置抽样分离器230与电子光学系统240之间也可。
在一个实施例中,参考图6,多通道偏转分离器254设置有多对直流电极板,上述每对直流电极板的中心轴线均与对应的准直狭缝中心轴线相同以形成对应的偏转分离通道。
其中,每个准直狭缝中心轴线均与每对直流电极板的中心轴线相同以形成对应的偏转分离通道。
在一个实施例中,如图8所示,抽样分离器230采用取样狭缝阵列器件,准直狭缝阵列器件中的准直狭缝数目与抽样分离器中的取样狭缝数目相同,且准直狭缝阵列器件中的准直狭缝与抽样分离器中的取样狭缝在空间位置上各自一一对应。
此外,还提供一种多画幅分幅成像设备,包括存储器以及处理器,存储器用于存储计算机程序,处理器运行计算机程序以使上述多画幅分幅成像设备执行上述多画幅分幅成像方法。
一种计算机可读存储介质,计算机存储介质存储有上述多画幅分幅成像设备所使用的计算机程序。
在本申请所提供的几个实施例中,应该理解到,所揭露的装置和方法,也可以通过其它的方式实现。以上所描述的装置实施例仅仅是示意性的,例如,附图中的流程图和结构图显示了根据本发明的多个实施例的装置、方法和计算机程序产品的可能实现的体系架构、功能和操作。在这点上,流程图或框图中的每个方框可以代表一个模块、程序段或代码的一部分,所述模块、程序段或代码的一部分包含一个或多个用于实现规定的逻辑功能的可执行指令。也应当注意,在作为替换的实现方式中,方框中所标注的功能也可以以不同于附图中所标注的顺序发生。例如,两个连续的方框实际上可以基本并行地执行,它们有时也可以按相反的顺序执行,这依所涉及的功能而定。也要注意的是,结构图和/或流程图中的每个方框、以及结构图和/或流程图中的方框的组合,可以用执行规定的功能或动作的专用的基于硬件的系统来实现,或者可以用专用硬件与计算机指令的组合来实现。
另外,在本发明各个实施例中的各功能模块或单元可以集成在一起形成一个独立的部分,也可以是各个模块单独存在,也可以两个或更多个模块集成形成一个独立的部分。
所述功能如果以软件功能模块的形式实现并作为独立的产品销售或使用时,可以存储在一个计算机可读取存储介质中。基于这样的理解,本发明的技术方案本质上或者说对现有技术做出贡献的部分或者该技术方案的部分可以以软件产品的形式体现出来,该计算机软件产品存储在一个存储介质中,包括若干指令用以使得一台计算机设备(可以是智能手机、个人计算机、服务器、或者网络设备等)执行本发明各个实施例所述方法的全部或部分步骤。而前述的存储介质包括:U盘、移动硬盘、只读存储器(ROM,Read-Only Memory)、随机存取存储器(RAM,Random Access Memory)、磁碟或者光盘等各种可以存储程序代码的介质。
以上所述,仅为本发明的具体实施方式,但本发明的保护范围并不局限于此,任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内,可轻易想到变化或替换,都应涵盖在本发明的保护范围之内。
Claims (10)
1.一种多画幅分幅成像方法,其特征在于,所述多画幅分幅成像方法包括:
通过单孔将对应的目标光照射至光电阴极以生成对应的光电子图像;
通过抽样分离器对所述光电子图像进行抽样以得到与所述光电子图像中不同位置所对应的抽样电子束,其中,所述抽样分离器采用取样狭缝阵列器件;
将各个所述抽样电子束分别通过电子光学系统进行聚焦处理以得到各自对应的聚焦电子束;
将各个所述聚焦电子束分别通过电子束分离器进行偏转分离处理,生成各自对应的通道电子束,其中,所述电子束分离器包括准直狭缝阵列器件和多通道偏转分离器;
将各个所述通道电子束分别通过扫描电场进行扫描处理,以使经过所述扫描处理后得到的各个对应的目标电子束到达荧光屏并生成对应的条纹图像;
根据各个条纹图像中同一时刻所对应的图像进行图像构建,以得到对应的原始目标图像。
2.根据权利要求1所述的多画幅分幅成像方法,其特征在于,所述“将各个所述聚焦电子束分别通过电子束分离器进行偏转分离处理,生成各自对应的通道电子束”的步骤包括:
将各个所述聚焦电子束分别通过所述准直狭缝阵列器件中各个准直狭缝以在傅里叶像面上对各个所述聚焦电子束进行过滤准直处理,生成各自对应的准直电子束;
将各个所述准直电子束分别通过所述多通道偏转分离器进行偏转分离以增大各个相邻准直电子束之间的间距并生成各自对应的通道电子束。
3.根据权利要求1所述的多画幅分幅成像方法,其特征在于,所述将各个所述抽样电子束分别通过电子光学系统进行聚焦处理以得到各自对应的聚焦电子束的步骤之前还包括:
将各个所述抽样电子束分别通过加速单元进行加速处理。
4.根据权利要求2所述的多画幅分幅成像方法,其特征在于,所述多通道偏转分离器设置有多对直流电极板,每对直流电极板的中心轴线均与对应的准直狭缝中心轴线相同以形成对应的偏转分离通道,所述“将各个所述准直电子束分别通过所述多通道偏转分离器进行偏转分离以增大各个相邻准直电子束之间的间距并生成各自对应的通道电子束的步骤包括:
将各个所述准直电子束分别通过各自对应的所述偏转分离通道进行偏转分离以增大各个相邻准直电子束之间的间距并生成各自对应的通道电子束。
5.一种多画幅分幅成像装置,其特征在于,所述多画幅分幅成像设装置包括处理器以及在空间位置上依次排列且均处于同一轴线上的光电阴极、抽样分离器、电子光学系统、电子束分离器、扫描电场装置和荧光屏;
所述光电阴极用于通过单孔接收对应的目标光照射以生成对应的光电子图像;
所述抽样分离器用于对所述光电子图像进行抽样以得到与所述光电子图像中不同位置所对应的抽样电子束,其中,所述抽样分离器采用取样狭缝阵列器件;
所述电子光学系统用于将各个所述抽样电子束分别进行聚焦处理以得到各自对应的聚焦电子束;
所述电子束分离器用于将各个所述聚焦电子束分别进行偏转分离处理,以生成各自对应的通道电子束,其中,所述电子束分离器包括准直狭缝阵列器件和多通道偏转分离器;
所述扫描电场装置用于将各个所述通道电子束分别进行扫描处理,得到对应的目标电子束并发送至所述荧光屏;
所述荧光屏用于生成对应的条纹图像;
所述处理器用于根据各个条纹图像中同一时刻所对应的图像进行图像构建并得到对应的原始目标图像。
6.根据权利要求5所述的多画幅分幅成像装置,其特征在于,
所述准直狭缝阵列器件用于将各个所述聚焦电子束分别在傅里叶像面上对各个所述聚焦电子束进行过滤准直处理,生成各自对应的准直电子束;
所述多通道偏转分离器用于将各个所述准直电子束分别进行偏转分离以增大各个相邻准直电子束之间的间距,生成各自对应的通道电子束。
7.根据权利要求5所述的多画幅分幅成像装置,其特征在于,所述多画幅分幅成像装置还设置有加速单元,所述加速单元设置在所述光电阴极和所述抽样分离器之间;
所述加速单元用于将各个所述抽样电子束分别进行加速处理。
8.根据权利要求6所述的多画幅分幅成像装置,其特征在于,所述多通道偏转分离器设置有多对直流电极板,每对直流电极板的中心轴线均与对应的准直狭缝中心轴线相同以形成对应的偏转分离通道。
9.据权利要求6所述的多画幅分幅成像装置,其特征在于,所述准直狭缝阵列器件中的准直狭缝数目与所述抽样分离器中的取样狭缝数目相同。
10.一种多画幅分幅成像设备,其特征在于,包括存储器以及处理器,所述存储器用于存储计算机程序,所述处理器运行所述计算机程序以使所述多画幅分幅成像设备执行权利要求1至4中任一项所述的多画幅分幅成像方法。
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