CN110504151A - 应用于刻蚀机台分气盘安装的安装件及分气盘的安装方法 - Google Patents

应用于刻蚀机台分气盘安装的安装件及分气盘的安装方法 Download PDF

Info

Publication number
CN110504151A
CN110504151A CN201910788114.XA CN201910788114A CN110504151A CN 110504151 A CN110504151 A CN 110504151A CN 201910788114 A CN201910788114 A CN 201910788114A CN 110504151 A CN110504151 A CN 110504151A
Authority
CN
China
Prior art keywords
air distribution
distribution disk
disk
installation
installation part
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN201910788114.XA
Other languages
English (en)
Other versions
CN110504151B (zh
Inventor
邓必文
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shanghai Huali Integrated Circuit Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Shanghai Huali Integrated Circuit Manufacturing Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shanghai Huali Integrated Circuit Manufacturing Co Ltd filed Critical Shanghai Huali Integrated Circuit Manufacturing Co Ltd
Priority to CN201910788114.XA priority Critical patent/CN110504151B/zh
Publication of CN110504151A publication Critical patent/CN110504151A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN110504151B publication Critical patent/CN110504151B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
    • H01J37/32431—Constructional details of the reactor
    • H01J37/3244—Gas supply means
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/67017—Apparatus for fluid treatment
    • H01L21/67063—Apparatus for fluid treatment for etching
    • H01L21/67069—Apparatus for fluid treatment for etching for drying etching
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
    • H01J2237/32—Processing objects by plasma generation
    • H01J2237/33—Processing objects by plasma generation characterised by the type of processing
    • H01J2237/334—Etching
    • H01J2237/3341—Reactive etching

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Drying Of Semiconductors (AREA)

Abstract

本发明涉及应用于刻蚀机台分气盘安装的安装件及分气盘的安装方法，涉及半导体生产设备，通过设计一安装件，安装件的上环部的内侧壁上包括多个定位部件，安装时将定位部分与分气盘上靠近分气盘外围的螺丝孔一一对应，并与分气盘固定盘上的螺丝孔一一对应，而将分气盘上的螺丝孔精确对准分气盘固定盘上的螺丝孔，并在安装分气盘之前先放好安装件，然后根据定位部件直接放入分气盘可快速安装，预计时间可以节省50分钟；并安装分气盘时，分气盘与外围UGR之间的间隙已经被安装件填满，因此分气盘不会上下左右移动，确保螺丝孔对齐，成功率可高达100％，并能节约保养时间，提高保养效率，并可减少晶圆的缺陷，延长腔体维护周期，增加FAB产能。

Description

应用于刻蚀机台分气盘安装的安装件及分气盘的安装方法
技术领域
本发明涉及半导体生产设备，尤其涉及一种应用于刻蚀机台分气盘安装的安装件及分气盘的安装方法。
背景技术
刻蚀机台如氧化膜刻蚀机台是晶圆加工的重要工艺机台。中微DRIE系列是中微公司推出的用于氧化膜刻蚀的主力机台，是晶圆加工的重要工艺机台。请参阅图1，图1为中微DRIE系列氧化膜刻蚀机台的DRIE腔体结构示意图，如图1所示，DRIE腔体结构设计精密复杂，在12寸及以上晶圆加工技术中，随着晶圆面积增大，为了更好的控制刻蚀均匀度，上腔体使用到了分气盘。上腔体结构由气体挡板(gas baffle)101、隔离环(isolation ring)102、分气盘103、UGR104、盖环(cover ring)105、聚焦环(focus ring)106、上接地环(topground ring)107、FEIS环108、中间接地环(middle ground ring)109和绝缘环(insulatorring)110等组成中，工艺气体通过分气盘均匀地作用于晶圆。一般，分气盘103上有16个螺丝孔，可参阅图2，图2为分气盘的示意图。上腔体通过螺丝孔用铝质螺丝将分气盘103与上腔体中的分气盘固定盘200(图中未示出，其实际位于隔离环102内)固定连接，可参阅图3a和图3b，图3a为分气盘固定盘的背面示意图，图3b为分气盘固定盘的正面示意图，如图3a和3b所示，分气盘固定盘200上包括与分气盘103上的螺丝孔对应的螺丝孔。在安装过程中，请参阅图4a-4b，图4a-4b为分气盘的安装过程示意图，如图4a所示，先使用螺丝穿过分气盘固定盘200上的螺丝孔；然后，如图4b所示，将分气盘103上的螺丝孔大概位置对准分气盘固定盘200上的对应的螺丝孔，慢慢推入；然后，用手扶住分气盘103，详细调整以将分气盘103上的所有螺丝孔与分气盘固定盘200上所有的螺丝孔对应；然后，拧紧所有的螺丝，以固定分气盘103。另请参阅图5，图5为分气盘安装完成后标准示意图，如图5所示，分气盘103与UGR104之间包括间隙300，安装分气盘103时，因为是垂直安装，受重力影响，因此分气盘103始终是与UGR边缘接触，并且需要用手托住，费时费力。安装时，分气盘103上的螺丝孔1031与分气盘固定盘200螺丝孔位不能准确对齐，需要花最少2个小时时间，且如果螺丝孔未对齐，安装时螺丝会滑牙导致分气盘报废，延长保养时间，损失巨大。
发明内容
本发明的目的在于提供一种应用于刻蚀机台分气盘安装的安装件，可使分气盘快速安装，并提高成功率，因此能节约保养时间，提高保养效率，并可减少晶圆的缺陷，延长腔体维护周期，增加FAB产能。
本发明提供的应用于刻蚀机台分气盘安装的安装件，氧化膜刻蚀机台的分气盘包括多个螺丝孔，其中部分螺丝孔靠近分气盘的外围，在分气盘固定盘上对应分气盘上的靠近分气盘外围的螺丝孔的位置亦包括多个螺丝孔，多个螺丝穿过分气盘上的螺丝孔和分气盘固定盘上的螺丝孔以将分气盘固定至分气盘固定盘上，其中安装件包括：上环部、下环部和连接上环部与下环部的中间连接部，其中上环部、下环部和中间连接部均具有内侧壁和外侧壁而构成一中空结构，该中空结构包括中空部，该中空部用于容纳分气盘，且上环部的内侧壁上包括多个定位部件，其中定位部件的个数不大于分气盘上靠近分气盘的外围的螺丝孔的个数。
更进一步的，安装件的上环部的外径d1为333.4±0.5mm,上环部的侧壁厚度为2±0.2mm,高度为10±0.5mm。
更进一步的，安装件的下环部的外径d2为330±0.1mm,下环部的侧壁厚度为0.23±0.2mm,高度为5±0.5mm。
更进一步的，安装件的中间连接部的内径为330±0.1mm,外径为333.4±0.5mm,中间连接层厚度为0.5±0.2mm。
更进一步的，安装件的定位部件为位于上环部的内侧壁的凹陷缺口。
更进一步的，安装件的定位部件为定位标识。
更进一步的，安装件为特氟龙材质。
本发明还提供一种刻蚀机台的分气盘的安装方法，包括：S1：提供一氧化膜刻蚀机台，该氧化膜刻蚀机台中包括一分气盘固定盘，其中分气盘固定盘上包括多个螺丝孔，且部分螺丝孔靠近分气盘固定盘的外围；S2：提供一UGR，将UGR安装与分气盘固定盘上，其中UGR为环形；S3：提供一安装件，该安装件包括上环部、下环部和连接上环部与下环部的中间连接部，其中上环部、下环部和中间连接部均具有内侧壁和外侧壁而构成一中空结构，该中空结构包括中空部，且上环部的内侧壁上包括多个定位部件，其中定位部件的个数不大于分气盘上靠近分气盘的外围的螺丝孔的个数，将安装件组装于分气盘固定盘上，并使安装件上的每一定位部件的位置与靠近分气盘固定盘的外围的其中一螺丝孔的位置对准，并使安装件位于环形UGR的内侧；S4：将螺丝穿过分气盘固定盘上的螺丝孔；S5：提供一分气盘，分气盘包括多个螺丝孔，其中部分螺丝孔靠近分气盘的外围，且分气盘上靠近分气盘外围的螺丝孔的位置与分气盘固定盘上靠近分气盘固定盘外围的螺丝孔的位置对应，将安装件上的每一定位部件的位置与分气盘上靠近分气盘外围的一螺丝孔的位置对准，再慢慢推入分气盘，以使多个螺丝穿过分气盘上的螺丝孔，且使分气盘位于安装件的中空部内；S6：拧紧所有的螺丝，以将分气盘固定到分气盘固定盘上；以及S7：取下安装件，完成分气盘的安装。
更进一步的，上环部的外径d1为333.4±0.5mm,上环部的侧壁厚度为2±0.2mm,高度为10±0.5mm；安装件的下环部的外径d2为330±0.1mm,下环部的侧壁厚度为0.23±0.2mm,高度为5±0.5mm；安装件的中间连接部的内径为330±0.1mm,外径为333.4±0.5mm,中间连接层厚度为0.5±0.2mm。
更进一步的，安装件的定位部件为位于上环部的内侧壁的凹陷缺口。
更进一步的，安装件的定位部件为定位标识。
更进一步的，安装件为特氟龙材质。
更进一步的，安装件的中空部为环状中空部。
更进一步的，安装件的上环部的内侧壁上的定位部件的个数等于分气盘上靠近分气盘外围的螺丝孔的个数，并安装件的上环部的内侧壁上的定位部件的位置与分气盘上靠近分气盘外围的螺丝孔的位置一一对应。
更进一步的，安装件的上环部的内侧壁上的定位部件的个数等于分气盘固定盘上靠近分气盘固定盘外围的螺丝孔的个数，并等于分气盘上靠近分气盘外围的螺丝孔的个数，且安装件的上环部的内侧壁上的定位部件的位置与分气盘上靠近分气盘外围的螺丝孔的位置一一对应，并与分气盘固定盘上靠近分气盘固定盘外围的螺丝孔的位置一一对应。
更进一步的，安装件的上环部的内侧壁上的定位部件的个数小于分气盘固定盘上靠近分气盘固定盘外围的螺丝孔的个数，并小于分气盘上靠近分气盘外围的螺丝孔的个数，且安装件的上环部的内侧壁上的每一定位部件的位置与分气盘上靠近分气盘的外围的一螺丝孔的位置对应，并与分气盘固定盘上的一靠近分气盘固定盘外围的一螺丝孔的位置对应。
本发明提供的应用于刻蚀机台分气盘安装的安装件和刻蚀机台的分气盘的安装方法，通过设计一安装件，安装件的上环部的内侧壁上包括多个定位部件，安装时将定位部分与分气盘上靠近分气盘外围的螺丝孔一一对应，并与分气盘固定盘上的螺丝孔一一对应，而将分气盘上的螺丝孔精确对准分气盘固定盘上的螺丝孔，并在安装分气盘之前先放好安装件，然后根据定位部件直接放入分气盘可快速安装，预计时间可以节省50分钟；并安装分气盘时，分气盘与外围UGR之间的间隙已经被安装件填满，因此分气盘不会上下左右移动，确保螺丝孔对齐，成功率可高达100％，并能节约保养时间，提高保养效率，并可减少晶圆的缺陷，延长腔体维护周期，增加FAB产能。
附图说明
图1为中微DRIE系列氧化膜刻蚀机台的DRIE腔体结构示意图。
图2为分气盘的示意图。
图3a为分气盘固定盘的背面示意图。
图3b为分气盘固定盘的正面示意图。
图4a-4b为分气盘的安装过程示意图。
图5为分气盘安装完成后标准示意图。
图6为本发明第一实施例的应用于刻蚀机台分气盘安装的安装件的示意图。
对附图中所用到的标记解释如下：
400、中空结构；410、上环部；420、下环部；430、中间连接部；440、中空部；450、定位部件。
具体实施方式
下面将结合附图，对本发明中的技术方案进行清楚、完整的描述，显然，所描述的实施例是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在不做出创造性劳动的前提下所获得的所有其它实施例，都属于本发明保护的范围。
本发明第一实施例中，提供一应用于刻蚀机台分气盘安装的安装件，氧化膜刻蚀机台的分气盘包括多个螺丝孔1031，其中部分螺丝孔靠近分气盘的外围，在分气盘固定盘上对应分气盘上的靠近分气盘外围的螺丝孔的位置亦包括多个螺丝孔，多个螺丝穿过分气盘上的螺丝孔和分气盘固定盘上的螺丝孔以将分气盘固定至分气盘固定盘上。具体的，可参阅图6，图6为本发明第一实施例的应用于刻蚀机台分气盘安装的安装件的示意图，如图6所示，本发明提供的应用于刻蚀机台分气盘安装的安装件，包括上环部410、下环部420和连接上环部410与下环部420的中间连接部430，其中上环部410、下环部420和中间连接部430均具有内侧壁和外侧壁而构成一中空结构400，该中空结构400包括中空部440，该中空部440用于容纳分气盘，且上环部410的内侧壁上包括多个定位部件450，其中定位部件450的个数不大于分气盘上靠近分气盘的外围的螺丝孔的个数。
本发明第二实施例中，还提供一种刻蚀机台的分气盘的安装方法，具体的，本发明第二实施例的刻蚀机台的分气盘的安装方法包括：
S1：提供一氧化膜刻蚀机台，该氧化膜刻蚀机台中包括一分气盘固定盘，其中分气盘固定盘上包括多个螺丝孔210，且部分螺丝孔210靠近分气盘固定盘200的外围。
具体的，可参阅图3b，如图3b所示，分气盘固定盘200上包括多个螺丝孔210。更具体的，在本发明一实施例中，分气盘固定盘200上包括8个靠近分气盘固定盘200的外围的螺丝孔210。更进一步的，分气盘固定盘200上还包括8个靠近分气盘固定盘200的圆心部分的螺丝孔210。
S2：提供一UGR 104，将UGR安装与分气盘固定盘上，其中UGR为环形。
S3：提供一安装件，该安装件包括上环部410、下环部420和连接上环部410与下环部420的中间连接部430，其中上环部410、下环部420和中间连接部430均具有内侧壁和外侧壁而构成一中空结构400，该中空结构400包括中空部440，且上环部410的内侧壁上包括多个定位部件450，其中定位部件450的个数不大于分气盘上靠近分气盘的外围的螺丝孔的个数，将安装件组装于分气盘固定盘200上，并使安装件上的每一定位部件450的位置与靠近分气盘固定盘200的外围的其中一螺丝孔210的位置对准，并使安装件位于环形UGR的内侧。
S4：将螺丝穿过分气盘固定盘200上的螺丝孔210。
S5：提供一分气盘103，分气盘包括多个螺丝孔，其中部分螺丝孔靠近分气盘的外围，且分气盘上靠近分气盘外围的螺丝孔的位置与分气盘固定盘上靠近分气盘固定盘外围的螺丝孔的位置对应，将安装件上的每一定位部件450的位置与分气盘103上靠近分气盘103外围的一螺丝孔的位置对准，再慢慢推入分气盘103，以使多个螺丝穿过分气盘上的螺丝孔，且使分气盘位于安装件的中空部内。
S6：拧紧所有的螺丝，以将分气盘103固定到分气盘固定盘200上。
S7：取下安装件，完成分气盘的安装。
更进一步的，本发明第一实施例和第二实施例中提供的安装件的上环部的外径d1为333.4±0.5mm,上环部的侧壁厚度为2±0.2mm,高度为10±0.5mm。
更进一步的，本发明第一实施例和第二实施例中提供的安装件的下环部的外径d2为330±0.1mm,下环部的侧壁厚度为0.23±0.2mm,高度为5±0.5mm。
更进一步的，本发明第一实施例和第二实施例中提供的安装件的中间连接部的内径为330±0.1mm,外径为333.4±0.5mm,中间连接层厚度为0.5±0.2mm。
更进一步的，本发明第一实施例和第二实施例中提供的安装件的定位部件为位于上环部410的内侧壁的凹陷缺口。
更进一步的，本发明第一实施例和第二实施例中提供的安装件的定位部件为定位标识，如定位箭头。更进一步定位标识的高度为2mm,宽度为3mm。
更进一步的，本发明第一实施例和第二实施例中提供的安装件为特氟龙材质。特氟龙材质抗挤压，不易沾颗粒污染物的特征适用于氧化膜刻蚀机台中。
更进一步的，本发明第一实施例和第二实施例中提供的安装件的中空部为环状中空部。
更进一步的，本发明第一实施例和第二实施例中提供的安装件的上环部410的内侧壁上的定位部件450的个数等于分气盘上靠近分气盘外围的螺丝孔的个数，并安装件的上环部410的内侧壁上的定位部件450的位置与分气盘上靠近分气盘外围的螺丝孔的位置一一对应。更进一步的，安装件的上环部410的内侧壁上的定位部件450的个数等于分气盘固定盘上靠近分气盘固定盘外围的螺丝孔的个数，并等于分气盘上靠近分气盘外围的螺丝孔的个数，且安装件的上环部410的内侧壁上的定位部件450的位置与分气盘上靠近分气盘外围的螺丝孔的位置一一对应，并与分气盘固定盘上靠近分气盘固定盘外围的螺丝孔的位置一一对应。
更进一步的，如上所述安装件的上环部410的内侧壁上的定位部件450的个数小于分气盘固定盘上靠近分气盘固定盘外围的螺丝孔的个数，并小于分气盘上靠近分气盘外围的螺丝孔的个数，且安装件的上环部410的内侧壁上的每一定位部件450的位置与分气盘上靠近分气盘的外围的一螺丝孔的位置对应，并与分气盘固定盘上的一靠近分气盘固定盘外围的一螺丝孔的位置对应。也即并非每一分气盘上靠近分气盘外围的螺丝孔和分气盘固定盘上靠近分气盘固定盘外围的螺丝孔均对应一个定位部件450，本发明可通过在安装件的上环部410的内侧壁上设置部分对应分气盘上靠近分气盘外围的螺丝孔和分气盘固定盘上靠近分气盘固定盘外围的螺丝孔，而起到在安装分气盘的过程中定位分气盘的螺丝孔的位置的功能即可。
更进一步的，本发明实施例中的氧化膜刻蚀机台为中微DRIE系列。更进一步的，本发明实施例中的氧化膜刻蚀机台应用于12寸及以上晶圆加工技术中。
如上所述，通过安装件上的定位部件将分气盘上的螺丝孔与对应的分气盘固定盘上的螺丝孔一一对应，可将分气盘上的螺丝孔精确对准分气盘固定盘上的螺丝孔，可避免因螺丝孔未对齐，安装时铝质螺丝会滑牙导致分气盘报废，延长保养时间，损失巨大的问题；并在安装分气盘之前在UGR的内侧设置安装件，而将分气盘与UGR之间的间隙填充，可避免安装分气盘时因分气盘的重力的原因引起的费时费力的问题。
综上所述，通过设计一安装件，安装件的上环部的内侧壁上包括多个定位部件，安装时将定位部分与分气盘上靠近分气盘外围的螺丝孔一一对应，并与分气盘固定盘上的螺丝孔一一对应，而将分气盘上的螺丝孔精确对准分气盘固定盘上的螺丝孔，并在安装分气盘之前先放好安装件，然后根据定位部件直接放入分气盘可快速安装，预计时间可以节省50分钟；并安装分气盘时，分气盘与外围UGR之间的间隙已经被安装件填满，因此分气盘不会上下左右移动，确保螺丝孔对齐，成功率可高达100％，并能节约保养时间，提高保养效率，并可减少晶圆的缺陷，延长腔体维护周期，增加FAB产能。
最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的范围。

Claims (16)

1.一种应用于刻蚀机台分气盘安装的安装件，氧化膜刻蚀机台的分气盘包括多个螺丝孔，其中部分螺丝孔靠近分气盘的外围，在分气盘固定盘上对应分气盘上的靠近分气盘外围的螺丝孔的位置亦包括多个螺丝孔，多个螺丝穿过分气盘上的螺丝孔和分气盘固定盘上的螺丝孔以将分气盘固定至分气盘固定盘上，其特征在于，安装件包括：上环部、下环部和连接上环部与下环部的中间连接部，其中上环部、下环部和中间连接部均具有内侧壁和外侧壁而构成一中空结构，该中空结构包括中空部，该中空部用于容纳分气盘，且上环部的内侧壁上包括多个定位部件，其中定位部件的个数不大于分气盘上靠近分气盘的外围的螺丝孔的个数。
2.根据权利要求1的应用于刻蚀机台分气盘安装的安装件，其特征在于，安装件的上环部的外径d1为333.4±0.5mm,上环部的侧壁厚度为2±0.2mm,高度为10±0.5mm。
3.根据权利要求1的应用于刻蚀机台分气盘安装的安装件，其特征在于，安装件的下环部的外径d2为330±0.1mm,下环部的侧壁厚度为0.23±0.2mm,高度为5±0.5mm。
4.根据权利要求1的应用于刻蚀机台分气盘安装的安装件，其特征在于，安装件的中间连接部的内径为330±0.1mm,外径为333.4±0.5mm,中间连接层厚度为0.5±0.2mm。
5.根据权利要求1的应用于刻蚀机台分气盘安装的安装件，其特征在于，安装件的定位部件为位于上环部的内侧壁的凹陷缺口。
6.根据权利要求1的应用于刻蚀机台分气盘安装的安装件，其特征在于，安装件的定位部件为定位标识。
7.根据权利要求1的应用于刻蚀机台分气盘安装的安装件，其特征在于，安装件为特氟龙材质。
8.一种刻蚀机台的分气盘的安装方法，其特征在于，包括：
S1：提供一氧化膜刻蚀机台，该氧化膜刻蚀机台中包括一分气盘固定盘，其中分气盘固定盘上包括多个螺丝孔，且部分螺丝孔靠近分气盘固定盘的外围；
S2：提供一UGR，将UGR安装与分气盘固定盘上，其中UGR为环形；
S3：提供一安装件，该安装件包括上环部、下环部和连接上环部与下环部的中间连接部，其中上环部、下环部和中间连接部均具有内侧壁和外侧壁而构成一中空结构，该中空结构包括中空部，且上环部的内侧壁上包括多个定位部件，其中定位部件的个数不大于分气盘上靠近分气盘的外围的螺丝孔的个数，将安装件组装于分气盘固定盘上，并使安装件上的每一定位部件的位置与靠近分气盘固定盘的外围的其中一螺丝孔的位置对准，并使安装件位于环形UGR的内侧；
S4：将螺丝穿过分气盘固定盘上的螺丝孔；
S5：提供一分气盘，分气盘包括多个螺丝孔，其中部分螺丝孔靠近分气盘的外围，且分气盘上靠近分气盘外围的螺丝孔的位置与分气盘固定盘上靠近分气盘固定盘外围的螺丝孔的位置对应，将安装件上的每一定位部件的位置与分气盘上靠近分气盘外围的一螺丝孔的位置对准，再慢慢推入分气盘，以使多个螺丝穿过分气盘上的螺丝孔，且使分气盘位于安装件的中空部内；
S6：拧紧所有的螺丝，以将分气盘固定到分气盘固定盘上；以及
S7：取下安装件，完成分气盘的安装。
9.权利要求8所述的刻蚀机台的分气盘的安装方法，其特征在于，上环部的外径d1为333.4±0.5mm,上环部的侧壁厚度为2±0.2mm,高度为10±0.5mm；安装件的下环部的外径d2为330±0.1mm,下环部的侧壁厚度为0.23±0.2mm,高度为5±0.5mm；安装件的中间连接部的内径为330±0.1mm,外径为333.4±0.5mm,中间连接层厚度为0.5±0.2mm。
10.根据权利要求9所述的刻蚀机台的分气盘的安装方法，其特征在于，安装件的定位部件为位于上环部的内侧壁的凹陷缺口。
11.根据权利要求9所述的刻蚀机台的分气盘的安装方法，其特征在于，安装件的定位部件为定位标识。
12.根据权利要求9所述的刻蚀机台的分气盘的安装方法，其特征在于，安装件为特氟龙材质。
13.根据权利要求12所述的刻蚀机台的分气盘的安装方法，其特征在于，安装件的中空部为环状中空部。
14.根据权利要求9所述的刻蚀机台的分气盘的安装方法，其特征在于，安装件的上环部的内侧壁上的定位部件的个数等于分气盘上靠近分气盘外围的螺丝孔的个数，并安装件的上环部的内侧壁上的定位部件的位置与分气盘上靠近分气盘外围的螺丝孔的位置一一对应。
15.根据权利要求9所述的刻蚀机台的分气盘的安装方法，其特征在于，安装件的上环部的内侧壁上的定位部件的个数等于分气盘固定盘上靠近分气盘固定盘外围的螺丝孔的个数，并等于分气盘上靠近分气盘外围的螺丝孔的个数，且安装件的上环部的内侧壁上的定位部件的位置与分气盘上靠近分气盘外围的螺丝孔的位置一一对应，并与分气盘固定盘上靠近分气盘固定盘外围的螺丝孔的位置一一对应。
16.根据权利要求9所述的刻蚀机台的分气盘的安装方法，其特征在于，安装件的上环部的内侧壁上的定位部件的个数小于分气盘固定盘上靠近分气盘固定盘外围的螺丝孔的个数，并小于分气盘上靠近分气盘外围的螺丝孔的个数，且安装件的上环部的内侧壁上的每一定位部件的位置与分气盘上靠近分气盘的外围的一螺丝孔的位置对应，并与分气盘固定盘上的一靠近分气盘固定盘外围的一螺丝孔的位置对应。
CN201910788114.XA 2019-08-26 2019-08-26 应用于刻蚀机台分气盘安装的安装件及分气盘的安装方法 Active CN110504151B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201910788114.XA CN110504151B (zh) 2019-08-26 2019-08-26 应用于刻蚀机台分气盘安装的安装件及分气盘的安装方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201910788114.XA CN110504151B (zh) 2019-08-26 2019-08-26 应用于刻蚀机台分气盘安装的安装件及分气盘的安装方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN110504151A true CN110504151A (zh) 2019-11-26
CN110504151B CN110504151B (zh) 2022-02-01

Family

ID=68589416

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201910788114.XA Active CN110504151B (zh) 2019-08-26 2019-08-26 应用于刻蚀机台分气盘安装的安装件及分气盘的安装方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN110504151B (zh)

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1608305A (zh) * 2001-08-03 2005-04-20 应用材料公司 用于等离子室的悬挂式分气歧管
KR20070068514A (ko) * 2005-12-27 2007-07-02 삼성전자주식회사 반도체 장치 제조용 식각 장치.
KR20090041488A (ko) * 2007-10-24 2009-04-29 주성엔지니어링(주) 돔이 형성된 디퓨저커버를 포함하는 기판처리장치
US20160358794A1 (en) * 2015-06-02 2016-12-08 Tokyo Electron Limited Substrate processing apparatus and substrate processing method

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1608305A (zh) * 2001-08-03 2005-04-20 应用材料公司 用于等离子室的悬挂式分气歧管
KR20070068514A (ko) * 2005-12-27 2007-07-02 삼성전자주식회사 반도체 장치 제조용 식각 장치.
KR20090041488A (ko) * 2007-10-24 2009-04-29 주성엔지니어링(주) 돔이 형성된 디퓨저커버를 포함하는 기판처리장치
US20160358794A1 (en) * 2015-06-02 2016-12-08 Tokyo Electron Limited Substrate processing apparatus and substrate processing method

Also Published As

Publication number Publication date
CN110504151B (zh) 2022-02-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TW371752B (en) Optical disc having variable spare area rates and method for variably setting the rate of spare areas in the optical disc
US9084060B2 (en) Test device and test method for active noise reduction headphone
CN110504151A (zh) 应用于刻蚀机台分气盘安装的安装件及分气盘的安装方法
WO2003073791A3 (fr) Procédé et dispositif de pilotage d'un ensemble de restitution d'un champ acoustique
CN108627940A (zh) 分体式镜头和摄像模组
CN111010657B (zh) 数字anc自动仿真测试方法
CA1321613C (en) Reference and support system for flat crt tension mask
TWI700722B (zh) 一種多個反應腔室之間製程結果的匹配方法和裝置
Uchida et al. The CBC3 readout ASIC for CMS 2S-modules
US20050141107A1 (en) Optical device for optical semiconductor package and fabrication method
CN209676474U (zh) 一种同轴喇叭
KR101831048B1 (ko) 태양전지 pid 특성 시험용 시트 및 그의 제조방법
CN106712717A (zh) 一种太阳能电池性能测试系统及其测试方法
CN209133631U (zh) 精确筛选锂电池自放电装置
TWI686619B (zh) 定位的方法、裝置及設備
CN213969563U (zh) 激光切割载物台及激光切割设备
CN209272960U (zh) 一种用于圆周分度基阵架加工的夹具装置
CN208797023U (zh) 一种交联度样品制作工装
CN220961963U (zh) 鱼眼镜头预制组件及鱼眼镜头组件
CN213750460U (zh) 一种复眼防变形结构
CN204272044U (zh) 一种smd石英谐振器离子刻蚀调整频率的托盘载料装置
CN105088155A (zh) 磁控溅射环、磁控溅射环装置及磁控溅射反应器
CN208462008U (zh) 一种耳套组装结构
CN107331943B (zh) 一种馈电片定位环和高频辐射单元
JPH065499A (ja) アパーチャ絞り及びその製造方法ならびにこれを用いた荷電ビーム描画装置

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant