CN110494948A - 带电粒子束装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供在环境声音等干扰作用于装置而使试样台振动时，在维持使该试样台的振动降低的支撑部件的刚性的状态下赋予衰减的技术。本公开的带电粒子束装置具备能够移动试样的试样台、使该试样台的振动衰减的衰减部、以及容纳试样台和衰减部的试样室。在该带电粒子束装置中，试样台和衰减部水平配置。另外，试样台形成被夹在衰减部与箱体的第一侧面之间而被支撑的结构，在衰减部的箱体的内部填充有多个摩擦体(图2)。

Description

带电粒子束装置

技术领域

本发明涉及带电粒子束装置。

背景技术

通常，带电粒子束装置多载置于房间等的地板。在这样的设置环境中，若对带电粒子束装置作用地板振动、环境声音等干扰，则经由试样室，振动传递至试样台，产生图像抖动。为了降低该振动，考虑了各种方法。例如，专利文献1公开了介于载置试样的载物台与试样室壁之间的减震器。另外，专利文献2为在其它工业用机器上的利用摩擦降低振动的方法，但也公开了设置于建筑物与地基(地面)之间的隔震装置。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：国际公开第00/16371号

专利文献2：日本特开2006－242212号公报

发明内容

发明所要解决的课题

就试样台而言，从使用用途的观点出发，仅将单侧固定于试样室，容易从试样室抽出。因此，试样台为悬臂构造，设置试样的试样台前端容易振动。因此，从试样室向试样台前端伸出强度高的支撑部件进行支撑。

但是，根据专利文献1，填充高粘性流体，将减震器设置于试样台前端。该减震器封入有高粘性流体，因此在圆柱状的凸形部件与凹形部件之间夹着环状的橡胶部件，存在虽然附加了衰减，但是导致刚性大幅降低的问题。

另外，根据专利文献2，在橡胶和钢板沿铅垂方向层叠而成的层叠体内部设置空洞，在该内部填充有球体等摩擦体。由于为利用橡胶支撑的隔震构造，因此刚性低。因此，存在无法在维持试样台的支撑部件要求的那样高的刚性的状态下赋予衰减。

本公开鉴于这样的状况而做成，其提供一种技术，在环境声音等干扰作用于装置而使试样台振动时，在维持使该试样台的振动降低的支撑部件的刚性的状态下，赋予衰减。

用于解决课题的方案

本公开的带电粒子束装置具备能够移动试样的试样台、使该试样台的振动衰减的衰减部、以及容纳试样台和衰减部的试样室。在该带电粒子束装置中，试样台和衰减部水平配置。另外，试样台形成被夹在衰减部与试样室的第一侧面之间而被支撑的结构，在衰减部的箱体的内部填充有多个摩擦体。

根据本说明书的记载、附图，本公开相关的其它特征将变得明了。另外，本公开的方案通过要素及多种要素的组合以及以下的详细记载和附加的权利要求书的方案达成而实现。

本说明书的记载只是典型的事例，需要理解，并非在任意意义上限定本公开的权利要求书或应用例。

发明效果

根据本公开，能够在环境声音等干扰作用于装置而使试样台振动时，在维持使该试样台的振动降低的支撑部件的刚性的状态下，赋予衰减。

附图说明

图1是表示实施方式的带电粒子装置的概略剖面结构的图。

图2是表示第一实施方式的带电粒子装置的衰减部的剖面结构的图。

图3是表示第二实施方式的带电粒子装置的衰减部的剖面结构的图。

图4是表示第三实施方式的带电粒子装置的衰减部的剖面结构的图。

图5是表示第四实施方式的带电粒子装置的衰减部的剖面结构的图。

图6是表示第五实施方式的带电粒子装置的衰减部的剖面结构的图。

图7是表示第六实施方式的带电粒子装置的衰减部的剖面结构的图。

图8是表示第七实施方式的带电粒子装置的衰减部的剖面结构的图。

图9是表示第八实施方式的带电粒子装置的衰减部的剖面结构的图。

图10是表示第九实施方式的带电粒子装置的衰减部的剖面结构的图。

具体实施方式

以下，参照附图，对本公开的实施方式进行说明。附图中，有时用相同的编号表示功能上相同的要素。此外，附图示出了根据本公开的原理的具体的实施方式和安装例，但这是用于本公开的理解的示例，并非用于限定性地解释本公开。

本实施方式中，为了本领域技术人员实施本公开而十分详细地进行其说明，但也可以为其它的安装、形态，应当理解，在不脱离本公开的技术思想的范围和精神的情况下，可以进行结构、构造的变更、多种要素的置换。因此，不将以下的记述限定于此来解释。

本公开的带电粒子束装置中，试样台被夹在衰减部与试样室的第一侧面之间而支撑，与试样台水平配置的衰减部在其内部保持有多个摩擦体(填充有摩擦体)。这样的结构例如可应用于FIB(离子束加工装置)、SEM(扫描型电子显微镜)、TEM(透射型电子显微镜)等带电粒子束装置。

(1)第一实施方式

以下，使用图1及图2，对本公开的第一实施方式进行说明。

＜带电粒子束装置的整体结构＞

图1是表示本公开的实施方式的带电粒子束装置100的整体概略结构的图。本实施方式中，以带电粒子束装置中的SEM为例示出了装置的整体结构。但是，本公开的思想不限定于SEM，也能够应用于其它带电粒子束装置(FIB、TEM等)。

本实施方式的SEM100具备：输出电子束的柱筒1；对试样进行真空密封的试样室2；使试样移动至所需的位置以便能够从各种角度观察试样的试样室2；支撑柱筒1、试样室2以及试样室2的载荷板4；除振支撑载荷板4的除振支架5；以及从除振支架下方支撑的架台6。柱筒1设置于试样室上部或侧面，试样台3设置于试样室侧面。

进一步地，试样台3包括：用于使试样沿铅垂方向移动的Z工作台10；用于使试样绕与X轴平行的轴倾斜的Tilt底座11；用于使试样沿X方向移动的X工作台12；用于使试样沿Y方向移动的Y工作台13；用于使试样绕与铅垂轴平行的轴旋转的旋转工作台14；以及覆盖Z工作台10、X工作台12、Y工作台13、以及工作台Tilt底座11的一部分的载物台壳体15，它们依次被组装。进一步地，在试样台3的前端设置有承接衰减部18的衰减部承接板16，通过驱动器17，衰减部18推压衰减部承接板16。

此外，将向试样室2放入试样台3的方向设为X方向，将在水平面上与X方向成直角的方向设为Y方向，将铅垂方向设为Z方向。另外，本公开的带电粒子束装置的结构要素、组装构成载物台的各工作台的顺序、结构不限于此。

＜衰减部的结构＞

图2是表示本公开的第一实施方式的带电粒子束装置100的衰减部18的剖面结构的图(剖视图)。

衰减部18设置成被衰减部承接板16和驱动器17夹着。驱动器17的前端部分为杆，通过杆前端的螺纹部与衰减部18结合。另外，衰减部18只是被推压至在Y－Z平面扩展的衰减部承接板16，而不是通过螺纹件、焊接等结合要素与衰减部承接板16相连。

衰减部18由驱动器17和驱动器安装板25水平支撑于试样室2。驱动器安装板25水平支撑容纳由金属、陶瓷等的多个球体构成的摩擦体24的摩擦体密封壳体26。另外，摩擦体密封壳体26水平支撑具有前端销20及推压销22的压缩力调整螺钉21。而且，从衰减部承接板16侧朝向驱动器17，由金属构成前端销20、压缩力调整螺钉21、推压销22、推压板23、摩擦体24、以及驱动器安装板25，摩擦体24由金属或陶瓷构成，这些部件接触连结。

摩擦体24被推压板23和驱动器安装板25从水平方向的两侧夹着，而且周围被摩擦体密封壳体26包围。另外，在推压板23设有拉簧27，以在使推压销22向纸面的左侧移动时，使推压板23追随。该拉簧27的两端部分别固定于推压板23和摩擦体密封壳体26的内侧侧壁261，由此推压板23能够追随推压销22的移动。

如以上那样，衰减部18利用金属(例如，构成衰减部18的各部件)、陶瓷部件(例如，摩擦体24)的接触而被支撑，因此相比使用橡胶、树脂的情况，刚性更高。另外，由于未使用一般被用作衰减部件的橡胶这样的粘弹性材料，因此难以产生推压这样的部件时产生的漂移(推压部件时，推压力不变化，但粘弹性材料产生位移)。进一步地，由于具有多个接触部，因此可附加摩擦带来的衰减。

另外，在衰减部18中，从衰减部承接板16侧到驱动器17沿水平方向直列支撑的部件中的接触部分的多个摩擦体24的刚性最低，而且摩擦衰减最大。由此，摩擦体24的刚性及衰减决定了衰减部18的刚性及衰减。在此，上述的摩擦衰减是指以下现象：由于摩擦体24彼此的相对位移(因振动而产生相对位移)而产生的摩擦力变换成热能，由此动能被削减。

通过转动压缩力调整螺钉21，推压销22向水平方向的任一方向运动，使推压板23运动。通过推压板23运动，对摩擦体24作用的压缩力变化。在将摩擦体如图示地做成球体的情况下，对摩擦体作用的压缩力越高，摩擦体的接触部刚性就越高，另外，影响衰减的接触面积也越增加。由此，通过调整压缩力，能够调整摩擦体24的刚性及衰减，因此，能够调整衰减部刚性、衰减。但是，摩擦体(例如，球体)24彼此的摩擦量不一定随着摩擦体的接触面积越增加而越增加。因此，需要适当调整摩擦体24彼此的接触面积。

如图2所示，摩擦体24在由推压板23、驱动器安装板25以及摩擦体密封壳体26形成的空间内互相接触，通过在要素间的接触部位产生的相对位移而产生摩擦。摩擦体24的材料可以是金属、陶瓷，或者组合了它们的复合材料，材料的杨氏模量为20～500GPa的范围。另外，在本实施方式中，将摩擦体24的形状做成了球体，但不限于此，也可以为圆筒、圆柱、长方体、圆锥、圆锥台、三棱柱、五棱柱、六棱柱、或者将这些形状组合多个而成的形状、进一步地，也可以为砂粒那样的不规则的形状。填充的摩擦体24的个数可以为两个，优选为三个以上。另外，摩擦体24的尺寸无需均匀，可以适当填充不同尺寸的摩擦体24。另外，在对摩擦体24作用压缩力时，分成推压销22和推压板23，但只要是能够压缩摩擦体的构造，例如，也可以使推压销22和推压板23为一体构造等，不限于上述情况(该情况下，无需拉簧27)。另外，在本实施方式中，构成为通过驱动器17推压衰减部18，但也可以为手动推压的构造。

根据以上的结构，能够构成为，在环境声音等干扰作用于装置而使试样台振动时，能够在维持使该试样台的振动降低的衰减部的刚性的状态下，赋予衰减，另外，难以引起将衰减部推碰到试样台时发生的漂移。进一步地，能够根据载物台的差异调整刚性及衰减。

(2)第二实施方式

以下，使用图3说明本公开的第二实施方式。图3是表示本公开的第二实施方式的带电粒子束装置的衰减部18的剖面构造的图(剖视图)。此外，图3中，与图1或图2相同的符号表示相同的部件，省略对该部品的再次说明。

在第一实施方式中，将衰减部18设置于在试样室2的壁面所设置的驱动器17与衰减部承接板16之间，在第二实施方式中，使衰减部18内置于试样室2的壁面。也就是，在第一实施方式中，将驱动器17作为衰减部18的固定端，而在第二实施方式中，将后述的密封盖28作为固定端。

例如，以圆形对试样室2的内壁进行挖凿，在该圆形的孔中放入衰减部18。衰减部18由摩擦体密封壳体26和密封盖28覆盖。在衰减部18的内侧内置有摩擦体24、摩擦体通过筒29、载物台承接部件31、以及推压弹簧32。进一步地，从密封盖28向衰减部18内部拧入压缩力调整螺钉21。它们构成了衰减部，且从试样室2的外壁嵌入。在本实施方式使用的摩擦体通过筒29例如通过在金属制的筒状部件规则地形成多个孔而构成(是由所谓的冲孔金属构成的筒状部件)。

摩擦体密封壳体26为圆筒形状，且圆筒的单侧被中央具有孔的圆板堵住。密封盖28由尺寸比设于试样室2的内壁的孔大的圆板构成。在内壁容纳有摩擦体密封壳体26的试样室2通过密封盖28和设于试样室2的侧壁的O形环30而被真空密封。摩擦体密封壳体26的圆筒端部和密封盖28结合，内置有衰减部18的其它部件。

在摩擦体通过筒29形成有多个圆形的孔。摩擦体通过筒29嵌入设于摩擦体密封壳体26的圆板部分的槽(未图示)和设于密封盖28的槽(未图示)而被固定。而且，摩擦体24的一部分进入在摩擦体通过筒29开出的孔。摩擦体通过筒29的孔的大小设定为使该摩擦体24的一部分向摩擦体通过筒29的板的相反侧突出的程度。由此，摩擦体24和载物台承接部件31接触。

载物台承接部件31为圆柱形状，且单侧为球形承接部。由此，位于载物台保持件前端的球形销34能够一边结合试样台3的上下、左右的运动接触球形承接部的表面，一边移动。另外，载物台承接部件31内置于摩擦体通过筒29，且构成为外周与摩擦体24接触。而且，推压弹簧32配置为夹在载物台承接部件31与密封盖28之间，能够将载物台承接部件31向纸面左侧推挤，使载物台承接部件31返回到原来的位置。

试样台3也可以构成为，如用于TEM的试样台那样，形成将杆状的载物台保持件33插入试样室2的内部的结构，能够通过驱动器17在轴向、垂直于轴的方向上移动。

载物台保持件33的前端的球形销34经由载物台承接部件31及摩擦体24依次由摩擦体密封壳体26或密封盖28、试样室支撑。另外，摩擦体24及载物台承接部件31的压缩力能够通过压缩力调整螺钉21调整。也就是，与压缩力调整螺钉21推入的量相应地，摩擦体24的容纳空间变紧，因此摩擦体24间的摩擦量增加，通过该摩擦，能够控制吸收试样台3的振动的级别。另外，在通过作为压缩弹簧的推压弹簧32使试样台3在向纸面右侧移动后向纸面左侧移动时，被试样台3向纸面右侧按入的载物台承接部件31追随试样台3的移动向左侧移动。另外，在试样台3振动的情况下，该振动从载物台保持件33传递至载物台承接部件31，并从载物台承接部件31传递至摩擦体24。

根据以上的结构，也能够应用于推压用于TEM的杆状的载物台保持件33的载物台构造，另外，能够从外侧容易地调整对衰减部18的压缩力。进一步地，能够从外部放入，因此装卸性良好。

(3)第三实施方式

以下，使用图4对本公开的第三实施方式进行说明。图4是表示第三实施方式的带电粒子束装置的衰减部18的剖面结构的图(剖视图)。此外，在图4中，与图1及图2相同的符号表示相同的部件，因此省略对该部件的再次说明。另外，在此，将摩擦体24作为球体进行说明，但不限定于球体。

第三实施方式中，在摩擦体密封壳体26的内侧设有多个台阶。而且，该台阶的高度可以设为与向内部填充的球体的高度同程度。由此，容易以台阶为标记来调整高度。

在填充多个球体(摩擦体24)的情况下，如图4A所示，使摩擦体24填充于所有层。另一方面，在减少球体(摩擦体24)的填充的情况下，如图4B所示，改变摩擦体24的填充高度(减少层)，调整摩擦体24的填充量。这样，通过设置设于摩擦体密封壳体26的台阶来调整容纳的摩擦体24的个数，由此能够使衰减部18的刚性、摩擦衰减大幅变化。

根据以上的结构，即使在刚性不同的各种机型的载物台中，通过改变填充的摩擦体(球)24的数量，能够不大幅改变衰减部18的构造而调节衰减部18的刚性。此外，在本实施方式中设有台阶，但也可以设置成为标记的槽等。

(4)第四实施方式

以下，使用图5，对本公开的第四实施方式进行说明。图5是表示本公开的第四实施方式的带电粒子束装置的衰减部18的剖面结构的图(剖视图)。此外，图5A及B中，与图1及图2相同的符号表示相同的部件，省略对该部件的再次的说明。另外，在此，将摩擦体24作为球体来说明，但不限于球体。

如图5A所示，本实施方式中，在推压板23以预定间隔设有突起35(各突起间的配置无需为等间隔)。突起35只要是螺栓、杆等棒状部件即可。此时，优选突起35的截面比摩擦体的球体直径小。

如图5B所示，当载物台3沿垂直于轴的方向(Y轴方向或Z方向)位移而使推压板23沿垂直于轴的方向运动时，摩擦体24引起剪断变形，因此，推压板23与摩擦体24之间的距离越远，在摩擦体24与推压板23之间产生的相对位移越大。此时，通过设于推压板23的突起35，推压板23的变形作用于摩擦体24的内部。由此，摩擦体24与突起35之间的相对位移、也就是摩擦量变大，衰减效果提高。

此外，推压板23也可以形成为薄板构造。由此，试样台3的轴向(X轴方向)的位移使推压板23在轴向上变形，该变形通过突起35作用于摩擦体24的内部，摩擦量增加，衰减效果提高。

利用以上那样的结构，推压板23的振动通过突起35传递至整个摩擦体24，从而摩擦衰减变大。

(5)第五实施方式

以下，使用图6，对本公开的第五实施方式进行说明。图6是表示本公开的第五实施方式的带电粒子束装置的衰减部18的剖面结构的图(剖视图)。此外，图6中，与图1及图2相同的符号表示相同的部件，因此省略对该部件的再次的说明。另外，在此，将摩擦体24作为球体来说明，但不限于球体。

第一实施方式中仅将球体的摩擦体24填充于摩擦体密封壳体26，在本实施方式中，在摩擦体24与摩擦体24之间配置开有孔的垫板36，在该垫板36的孔(例如，孔的直径比球体的直径小)以嵌入的方式容纳作为球体的摩擦体24。例如，设置垫板36，然后排列一层摩擦体24，然后再设置垫板36，以嵌入该垫板36的孔的方式排列一层摩擦体24，以这样的方式交替设置垫板36及摩擦体24。

通过设置开有相同尺寸的孔的垫板36，在决定好的位置均等地排列摩擦体24，能够实现机器差异少的衰减部18的构造。进一步地，通过改变垫板36和摩擦体24的层数，能够对衰减部18的刚性和衰减进行可变调整。

根据以上的结构，防止摩擦体24的散乱，设于垫板36的孔的位置及尺寸固定，因此能够形成机器差异少，而且能够可变调整刚性、衰减的衰减部18。

(6)第六实施方式

以下，使用图7，对本公开的第六实施方式进行说明。图7是表示本公开的第六实施方式的带电粒子装置的衰减部18的剖面结构的图。此外，图7中，与图1及图2相同的符号表示相同的部件，因此省略对该部件的再次的说明。另外，在此，将摩擦体24作为球体来说明，但不限于球体。

在第一实施方式中，利用前端销20在一个点推碰衰减部承接板16(参照图2)，在第六实施方式中，在多个点(例如，图7中，三个点)支撑由前端销20推碰的部分(衰减部承接板16)。为了在多个点支撑衰减部承接板16，前端销20在板部中央具备压缩力调整螺钉21，在从板的中央分离的位置具备多个(例如，三个)销，且构成为，将各销推碰至衰减部承接板16来支撑衰减部承接板16。

通过采用以上的结构，利用前端销20对衰减部承接板16的支撑的稳定性提高。

(7)第七实施方式

以下，使用图8，对本公开的第七实施方式进行说明。图8是表示本公开的第七实施方式的带电粒子装置的衰减部18的剖面结构的图。此外，图8中，与图1及图2相同的符号表示相同的部件，因此省略对该部件的再次说明。另外，在此，将摩擦体24作为球体来说明，但不限于球体。

第六实施方式中，将压缩力调整螺钉21固定于前端销20，且设置于摩擦体密封壳体26端面(参照图7)，在第七实施方式中，将压缩力调整螺钉21设置于摩擦体密封壳体26的圆筒面。另外，构成为，在前端销20的板部件201设置多个突起35，且使它们通过在摩擦体密封壳体26的端面开出的孔而插入摩擦体24内部。进一步地，为了提高包括突起35的前端销20的稳定性，在前端销20的板部件201与摩擦体密封壳体26之间设有支撑弹簧45。支撑弹簧45例如能够通过粘接剂、焊接等固定于板部件201和摩擦体密封壳体26。

通过以上的结构，容易进行压缩力调整螺钉21的调整，另外，前端销20相对于衰减部承接板16的支撑的稳定性提高。

(8)第八实施方式

以下，使用图9对本公开的第八实施方式进行说明。图9是表示本公开的第八实施方式的带电粒子装置的衰减部18的剖面结构的图。此外，在图9中，与图1及图2相同的符号表示相同的部件，因此省略再次说明。另外，在此，将摩擦体24作为球体来说明，但不限于球体。

第七实施方式中，在前端销20的板部件201设置有突起(参照图8)，在第八实施方式中，在板部件201的中央安装杆47，将该杆47的一部分内置于摩擦体密封壳体26。杆47的杆径设定为比摩擦体密封壳体26小，且能够在杆47与摩擦体密封壳体26之间填充摩擦体24的大小。

另外，摩擦体密封壳体26构成为单侧被密封的圆筒，且构成为能够在密封侧设置驱动器17。另外，在摩擦体密封壳体26的内壁设置台阶48，使内壁的开口端侧宽而进深侧窄，且构成为能够在进深侧设置支撑弹簧45。支撑弹簧45例如通过粘接剂、焊接等而结合在安装于前端销20的杆47和摩擦体密封壳体26，且稳定地支撑前端销20。但是，前端销20主要由摩擦体24支撑杆47的侧面。另外，支撑弹簧45用于在填充摩擦体24前支撑前端销20。由此，容易组装衰减部18。此外，支撑弹簧45的刚性优选设定为由摩擦体24带来的支撑刚性的1/10以下。

进一步地，在摩擦体密封壳体26的开口部设置密封盖46，防止摩擦体24从摩擦体密封壳体26落下。另外，在密封盖46的中央设有孔，构成为能够供前端销20的杆47贯通。

通过以上的结构，容易调整压缩力调整螺钉21，另外，前端销20的支撑的稳定性提高，进一步地，容易组装衰减部18。

(9)第九实施方式

以下，使用图10，对本公开的第九实施方式进行说明。图10是本公开的第九实施方式的带电粒子束装置的衰减部18的剖视图。此外，图10中，与图1及图2相同的符号表示相同的部件，省略再次的说明。另外，在此，将摩擦体24作为球体来说明，但不限于球体。

在第九实施方式中，将密封摩擦体24的盖的固定部(摩擦体密封壳体26)形成为可动构造，而且为了在压缩力调整螺钉21与摩擦体24之间产生相对位移，构成为，在密封摩擦体24的壳体(摩擦体密封壳体26)与压缩力调整螺钉21之间具有间隙。

衰减部18例如具备：具有杆(在第一及第六实施方式中为螺纹构造(压缩力调整螺钉21)，在第九实施方式中不是螺纹构造，而是单纯的棒状部件)49的前端销20；形成圆板形状，在中央设有球形支点，且经由杆与前端销20结合的推压板23；压缩力缓冲部37；形成圆板形状，在中央设有球形支点，且与驱动器17结合的驱动器安装板25；以及衰减部支撑体38，该衰减部支撑体38为将单侧封闭的圆筒状的构造，在侧面中央附近设有螺纹孔，另外在圆筒的封闭的面的中央设有贯通孔，而且固定于试样室侧面。

在衰减部18中，由试样室2的侧壁支撑驱动器17和驱动器安装板25。另外，压缩力缓冲部37由驱动器安装板25支撑。通过压缩力缓冲部37支撑具有前端销20及推压板23的杆。这样，从衰减部承接板16到驱动器17的各部件被水平支撑。另外，通过将各部件由金属构成，从而保证了衰减部18的刚性。但是，为了提高衰减部18的支撑的稳定性，在推压板23与摩擦体密封壳体26之间，以及摩擦体密封壳体26与驱动器安装板25之间分别设置有支撑弹簧45。支撑弹簧45通过例如粘接剂、焊接等固定于推压板23和摩擦体密封壳体26、以及摩擦体密封壳体26和驱动器安装板25的每一个。

压缩力缓冲部37具备：位于衰减部支撑体38的内侧且在侧面两端及中央具有贯通孔的圆筒状的摩擦体密封壳体26；从摩擦体密封壳体26的两端密封摩擦体24，以嵌入摩擦体密封壳体26的侧面两端的孔的方式具有突起的圆板的密封盖40－1及40－2；摩擦体24；以及能够穿过摩擦体密封壳体26的侧面中央的孔41和衰减部支撑体侧面中央的孔42而拧入压缩力缓冲部37的内部的压缩力调整螺钉21。

摩擦体密封壳体26的侧面中央的孔41构成为比压缩力调整螺钉21的尺寸(径)大，通过孔41与压缩力调整螺钉21之间的间隙，在压缩力缓冲部37的摩擦体24与固定于衰减部支撑体38的压缩力调整螺钉21之间产生相对位移。通过该相对位移，摩擦体整体变形，产生衰减。

在压缩力缓冲部37中，在摩擦体密封壳体26的侧面两端的孔43嵌入有密封盖的突起44。另外，构成为，相比密封盖的突起44，摩擦体密封壳体26的侧面两端的孔43更大。由此，能够作为相对于向摩擦体密封壳体26的外侧的力的限位件发挥功能。

在摩擦体密封壳体26的内部填充有摩擦体24，以便密封盖的突起44能够始终与摩擦体密封壳体26的侧面两端的孔43接触。

通过具有上述的突起44与孔43之间的间隙，相对于从试样台3侧向摩擦体密封壳体26的内侧作用的力，试样台3侧的密封盖40－1不由摩擦体密封壳体26支撑。因此，来自试样台3的力由摩擦体24支撑。此外，摩擦体24依次由摩擦体密封壳体26的相反侧的密封盖40－2及驱动器安装板25支撑。

由于采用了以上的衰减部18的构造，因此当从试样台3向衰减部18作用力时，比推压板23、驱动器安装板25等固定部件刚性小的摩擦体24变形，密封盖40－1及40－2稍微向内侧被推入。由此，在摩擦体24产生衰减。另一方面，即使将压缩力调整螺钉21向压缩力缓冲部37推入，摩擦体24向纸面的左右被推出，密封盖40－1及40－2的突起44也被摩擦体密封壳体侧面两端的孔43的侧面推压而固定。因此，将压缩力施加给摩擦体24时的力不会直接作用于试样台3、驱动器17，因此，能够防止施加压缩力时试样台3漂移。

通过以上的结构，即使向压缩力缓冲部37内拧入压缩力调整螺钉21，通过密封盖40－1及40－2，摩擦体24的变形也不会传递至试样台3。

此外，在本实施方式中，通过压缩力调整螺钉21调整对压缩力缓冲部37内的摩擦体24的压缩力，但也可以在压缩力缓冲部37内内置压电元件等具有伸缩功能的部件，通过来自外部的信号进行伸缩而调整压缩力。另外，压缩力的调整也可以基于由设置于衰减部18的压电元件等传感器取得的振动数据。

(10)总结

本实施方式中，在带电粒子束装置中，试样台和使试样台的振动衰减的衰减部水平(与载置带电粒子束装置的地板面水平)配置。另外，试样台形成夹在带电粒子束装置的试样室的一侧面与衰减部之间而被支撑的构造。而且，在衰减部的箱体的内部填充有多个摩擦体。该摩擦体能够采用由金属或陶瓷构成的部件。由此，衰减部能够通过因从试样台传播来的振动而产生的各摩擦体的摩擦而使振动衰减。摩擦体具有一定的刚性，因此能够维持衰减部的刚性，由此，能够在将试样台推碰至衰减部时，难以产生漂移。

本实施方式(第一、以及第三～第六实施方式)中，衰减部还具备从衰减部向试样台延伸设置的可伸缩的调整螺钉。该调整螺钉的前端抵接于试样台而支撑试样台。另外，通过该调整螺钉，试样台的振动传递至填充于衰减部的摩擦体。该调整螺钉具有调整衰减部的衰减及刚性的功能。由此，试样台的振动容易传递至摩擦体，能够使振动有效衰减。另外，也可以如第六实施方式地，在调整螺钉的前端部设置多个支撑部，在多个点支撑试样台。由此，能够稳定地支撑试样台。

第二实施方式涉及例如TEM用试样台的情况能够采用的结构。TEM用试样台与第一实施方式等不同，具有插入至衰减部的内部的棒状部。而且，衰减部具有：具有供摩擦体嵌合的多个孔的筒状部件(例如，圆筒形的冲孔金属部件)；以及内置于该筒状部件，且承接棒状部的前端的载物台承接部件。另外，嵌合于筒状部件的多个孔的摩擦体与承接棒状部的前端的面以外的载物台承接部件的面接触。这样，通过在衰减部侧承接试样台侧的销(棒状部)，能够通过与第一实施方式同样的考虑方法衰减TEM用试样台的振动。此外，该情况下，也可以将衰减部埋入试样室的内部(与上述一侧面相反的一侧的侧面)。

在第三实施方式中，衰减部在保持摩擦体的内部空间具备台阶。此外，台阶的高度(层宽)优选形成为与摩擦体的直径大致相同的尺寸。由此，能够使填充的摩擦体的个数可变，能够通过摩擦体的个数调整因振动而产生的摩擦能的大小，因此能够调整衰减部的衰减功能。

在第四实施方式中，衰减部具备沿水平方向延伸设置的多个突起(例如，在抑止摩擦体的板部件，且在与摩擦体接触的面相反的面被上述调整螺钉的前端推压的板部件设有突起)。该多个突起与填充的多个摩擦体的数个接触。通过这样的突起，振动传递至摩擦体整体，因此能够使振动有效地衰减。

在第五实施方式中，在衰减部，在供多个摩擦体填充的空间配置有垫板，该垫板包含具有直径比摩擦体的直径小的多个孔。该情况下，摩擦体嵌合于垫板的多个孔而填充。由此，能够防止摩擦体的散乱，能够使机械差异少，且使衰减部的刚性、衰减功能可变。

在第七实施方式中，衰减部具备：在前端具有支撑试样台的支撑部的杆(未形成螺纹构造)；以及在衰减部的箱体的与安装有杆的面不同的面(参照图8)调整衰减部的衰减及刚性的调整螺钉。由此，能够容易地调整由调整螺钉赋予摩擦体的压缩力。

在第八实施方式中，在第七实施方式的结构(但是，杆采用直径尺寸比第七实施方式的各杆大的杆)中将摩擦体填充于杆的侧面与衰减部的箱体的内部侧面之间。通过这样的结构，也能够容易地调整由调整螺钉整赋予摩擦体的压缩力，另外，能够使试样台的支撑功能稳定。

在第九实施方式中，在第七实施方式的结构(图10中，杆为一个，但也可以使用多个杆，且采用直径尺寸比第七实施方式的各杆大的杆)的基础上，衰减部构成为在衰减部的箱体的内部具有保持摩擦体的摩擦体保持箱体。该情况下，摩擦体保持箱体具有使密封摩擦体的盖部件可动的构造，且以在调整螺钉与摩擦体之间产生相对位移的方式在调整螺钉与摩擦体保持箱体的供调整螺钉插入的孔之间设有间隙(参照图10)。由此，即使将调整螺钉拧入摩擦体群而使压缩力增大，盖部件的位移也被限制到预定的位置，因此摩擦体的变形不会传播至试样台，能够防止试样台的漂移。

符号说明

1—柱筒，2—试样室，3—试样台，4—载荷板，5—除振支架，6—架台，10—Z工作台，11—Tilt底座，12—X工作台，13—Y工作台，14—旋转载物台，15—载物台壳体，16—衰减部承接板，17—驱动器，18—衰减部，20—前端销，21—压缩力调整螺钉，22—推压销，23—推压板，24—摩擦体，25—驱动器安装板，26—摩擦体密封壳体，27—拉簧，28—密封盖，29—摩擦体通过筒，30—O形环，31—载物台承接部件，32—推压弹簧，33—载物台保持件，34—球形销，35—突起，36—垫板，37—压缩力缓冲部，38—衰减部支撑体，40—密封盖，41—摩擦体密封壳体侧面中央的孔，42—衰减部支撑体侧面中央附近的孔，43—摩擦体密封壳体侧面两端的孔，44—密封盖突起。

Claims (14)

1.一种带电粒子束装置，其特征在于，具备：

能够移动试样的试样台；

使该试样台的振动衰减的衰减部；以及

容纳上述试样台和上述衰减部的试样室，

上述试样台和上述衰减部水平配置，

上述试样台形成被夹在上述衰减部与上述试样室的第一侧面之间而被支撑的结构，

在上述衰减部的箱体的内部填充有多个摩擦体。

2.根据权利要求1所述的带电粒子束装置，其特征在于，

上述摩擦体是由金属或陶瓷构成的部件。

3.根据权利要求1所述的带电粒子束装置，其特征在于，

上述衰减部具备能够伸缩的调整螺钉，该调整螺钉从该衰减部朝向上述试样台延伸，通过该调整螺钉支撑上述试样台。

4.根据权利要求3所述的带电粒子束装置，其特征在于，

上述衰减部承接上述试样台的振动，通过上述多个摩擦体生成针对上述振动的衰减。

5.根据权利要求4所述的带电粒子束装置，其特征在于，

上述调整螺钉调整上述衰减部的衰减及刚性。

6.根据权利要求1所述的带电粒子束装置，其特征在于，

上述试样台具有插入上述衰减部的内部的棒状部，

上述衰减部具有：筒状部件，其具有供上述摩擦体嵌合的多个孔；以及载物台承接部件，其内置于该筒状部件且承接上述试样台的上述棒状部的前端，

嵌合于上述筒状部件的上述多个孔的上述摩擦体与上述载物台承接部件的承接上述棒状部的前端的面以外的面接触。

7.根据权利要求6所述的带电粒子束装置，其特征在于，

上述衰减部埋入于上述试样室的与上述第一侧面不同的第二侧面的内部。

8.根据权利要求5所述的带电粒子束装置，其特征在于，

上述衰减部在填充上述多个摩擦体的内部空间具备台阶，通过使所填充的上述多个摩擦体的个数可变，能够调整上述衰减部的衰减功能。

9.根据权利要求5所述的带电粒子束装置，其特征在于，

上述衰减部具备沿水平方向延伸的多个突起，该多个突起与所填充的上述多个摩擦体的数个接触。

10.根据权利要求5所述的带电粒子束装置，其特征在于，

上述衰减部在填充上述多个摩擦体的空间具备垫板，该垫板包含具有比上述摩擦体的直径小的直径的多个孔，

上述多个摩擦体嵌合于上述垫板的上述多个孔而填充于上述衰减部的内部。

11.根据权利要求5所述的带电粒子束装置，其特征在于，

上述调整螺钉具有支撑上述试样台的多个支撑部。

12.根据权利要求1所述的带电粒子束装置，其特征在于，

上述衰减部具备：杆，其在前端具有支撑上述试样台的支撑部；以及调整螺钉，其在上述衰减部的箱体的与安装有上述杆的面不同的面调整上述衰减部的衰减及刚性。

13.根据权利要求12所述的带电粒子束装置，其特征在于，

上述多个摩擦体填充于上述杆的侧面与上述衰减部的箱体的内部侧面之间，

由上述摩擦体支撑上述杆的侧面。

14.根据权利要求12所述的带电粒子束装置，其特征在于，

上述衰减部在上述衰减部的箱体的内部具有保持上述多个摩擦体的摩擦体保持箱体，

上述摩擦体保持箱体具有使密封上述摩擦体的盖部件可动的构造，

以在上述调整螺钉与上述摩擦体之间产生相对位移的方式，在上述调整螺钉与上述摩擦体保持箱体的供上述调整螺钉插入的孔之间设有间隙。