CN110459946B - 一种基于高斯光束的平凹激光腔双光路对准装置及方法 - Google Patents
一种基于高斯光束的平凹激光腔双光路对准装置及方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN110459946B CN110459946B CN201910795925.2A CN201910795925A CN110459946B CN 110459946 B CN110459946 B CN 110459946B CN 201910795925 A CN201910795925 A CN 201910795925A CN 110459946 B CN110459946 B CN 110459946B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- concave
- cavity
- mirror
- alignment
- light
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 13
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 claims description 55
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 13
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 11
- 230000009977 dual effect Effects 0.000 claims description 7
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 claims description 3
- 239000007787 solid Substances 0.000 abstract description 8
- 230000007423 decrease Effects 0.000 abstract description 3
- 239000002131 composite material Substances 0.000 abstract description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 3
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 3
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 2
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 2
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 2
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- 238000005086 pumping Methods 0.000 description 2
- 238000011160 research Methods 0.000 description 2
- 238000001356 surgical procedure Methods 0.000 description 2
- 230000001427 coherent effect Effects 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 238000009795 derivation Methods 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 238000005553 drilling Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 230000008520 organization Effects 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
- G02B27/10—Beam splitting or combining systems
- G02B27/12—Beam splitting or combining systems operating by refraction only
- G02B27/126—The splitting element being a prism or prismatic array, including systems based on total internal reflection
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
- G02B27/30—Collimators
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/05—Construction or shape of optical resonators; Accommodation of active medium therein; Shape of active medium
- H01S3/08—Construction or shape of optical resonators or components thereof
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/10—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Lasers (AREA)
- Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
Abstract
本发明公开了一种基于高斯光束的平凹激光腔双光路对准装置及方法，属于固体激光器激光腔调节领域。设置双光路分先后对准具有不同屈光特性的凹面和平面腔镜；在凹面腔镜对准光路中设置焦点与凹面腔镜球心重合的正光焦度镜组；对于高斯光束，该镜组与凹面腔镜组成的复合系统和平板等效，以此来修正凹面腔镜的屈光特性，获得与平面腔镜相仿大小的对准斑，提高谐振腔的对准精度；对于不同凹面腔镜半径的谐振腔，只需满足正光焦度镜组焦点与凹面腔镜球心重合即可实现对准，对准精度稳定，不下降。
Description
技术领域
本发明涉及固体激光器激光腔调节的技术领域，特别是涉及一种基于高斯光束的平凹激光腔双光路对准装置及方法。
背景技术
固体激光器在民用、军事、加工、医疗和科学研究领域有着广泛用途。它常用于舞台灯光、测距、相干测量、打孔、切割和焊接、大气检测、光谱研究、外科和眼科手术等方面。固体激光技术在我国发展极为迅速,尤其在中小功率固体激光技术上,产业化道路已很成熟。但产线上固体激光器的制作流程大多依然遵循传统的单线模式，有严格的先后流程。通常在启动泵浦源的基础上再通过人工调试谐振腔。谐振腔的对准技术能在泵浦源缺位的情况下对准谐振腔，实现腔体模块与泵浦源模块分离。固体激光器的模块化设计能优化其产线组织形式，提高生产效率。同时，也能提高产品的互换性。
平凹谐振腔是固体激光器中常用的基本腔型。由于平面腔镜和凹面腔镜具有不同的屈光特征，对于同一对准光，经凹面和平面腔镜反射后，经过一定的传输距离，会产生大小不一的对准斑，使得谐振腔整体对准精度下降。光学精密工程第14卷第5期提供了“一种基于高斯光束的平凹激光腔对准方法”，通过在准直的高斯光束后加一透镜系统,调整准直高斯光束到一种非准直的状态，使由凹面腔镜和平面腔镜反射回来的光斑直径大小相仿，从而易于实现对准。
该现有技术在凹面腔镜曲率半径R＝50mm，平凹腔到对准屏间距L＝889mm时，基于优选的对准光路在对准屏上获得了来自于平、凹腔镜的直径分别为5.1mm、4.8mm的两个对准斑。设定两光斑与对准屏中心标记的对准误差δ＝0.8mm，获得了3.18′的腔镜对准精度。
该法实质是牺牲了平面腔镜的对准精度来平衡两腔镜对准精度。可以预见，随着凹面腔镜曲率半径的减小，由于平凹腔镜的屈光差异进一步增大，其平衡的难度会增大，对准精度会恶化。
发明内容
为了解决上述技术问题，本发明提供了一种基于高斯光束的平凹激光腔双光路对准装置及方法，相较现有技术，拥有更高的对准精度，对不同凹面半径的平凹谐振腔对准精度稳定，不下降。
本发明采用如下技术方案：一种基于高斯光束的平凹激光腔双光路对准装置，包括：高斯光源；立方分光棱镜一位于所述高斯光源前方，将出光分为两路；挡光装置一、反射镜一和正光焦度镜组，依次位于一光路中，所述反射镜一将光路转折90°；挡光装置二和反射镜二，依次位于另一光路中，所述反射镜二将光路转折90°；立方分光棱镜二，处于两光路交汇处，用于耦合两光路；对准屏相对所述反射镜一位于所述立方分光棱镜一的另一侧，用于接收两光路的折返光；连接体固定连接所述高斯光源、所述立方分光棱镜一、所述挡光装置一、所述反射镜一、所述正光焦度镜组、所述挡光装置二、所述反射镜二和所述立方分光棱镜二。
优选地，所述高斯光源输出准直高斯光束。
优选地，所述高斯光源输出波长在凹面腔镜和平面腔镜膜层反射带内。
优选地，所述立方分光棱镜一和所述立方棱镜二均对所述高斯光源波长半反半透分光。
优选地，所述正光焦度镜组为单片正透镜。
优选地，所述对准屏在光轴与其交点位置具有中心定位标记。
一种基于高斯光束的平凹激光腔双光路对准装置的对准方法，包括如下步骤：
1】点亮所述高斯光源：所述高斯光源发出的准直高斯光束通过所述立方分光棱镜一、所述挡光装置一、所述反射镜一、所述正光焦度镜组和所述立方分光棱镜二形成所述凹面腔镜检测光；通过所述立方分光棱镜一、所述挡光装置二、所述反射镜二和所述立方分光棱镜二形成所述平面腔镜检测光；
2】安装谐振腔定位装置：将与待对准平凹谐振腔其它参数一样，仅所述平面腔镜对所述高斯光源波长反射率减半的标准平凹谐振腔模块安装在所述谐振腔定位装置上，反复调校所述谐振腔定位装置相对对准装置位置，使得凹面腔镜球心与正光焦度镜组焦点重合，使得由所述凹面腔镜和所述平面腔镜在所述对准屏上的反射斑均与其中心标记重合，固定所述谐振腔定位装置相对对准装置位置，卸下标准平凹谐振腔；
3】所述挡光装置二挡光：使用所述挡光装置二对所述反射镜二和所述立方分光棱镜一之间的光路进行挡光；
4】安装待对准平凹谐振腔支架：将谐振腔连接件连带固定在其上的凹面腔镜调节装置和平面腔镜调节装置安装在所述谐振腔定位装置上；
5】安装所述凹面腔镜：将所述凹面腔镜以腔镜面朝向所述立方分光棱镜二的方式中心垂直于对准光路安装在所述凹面腔镜调节装置上，使所述凹面腔镜球心与所述正光焦度镜组焦点重合；
6】调试所述凹面腔镜：经所述凹面腔镜反射的检测光，经所述立方分光棱镜二、所述正光焦度镜组、所述反射镜一和所述立方分光棱镜一后在所述对准屏上形成对准斑；调节所述凹面腔镜调节装置，使得对准斑与所述对准屏中心标记重合；
7】所述挡光装置一挡光：使用所述挡光装置一对所述立方分光棱镜一与所述反射镜一之间的光路进行挡光；
8】取消所述挡光装置二挡光：将所述挡光装置二从所述反射镜二和所述立方分光棱镜一之间移开，取消挡光；
9】安装所述平面腔镜：将所述平面腔镜以腔镜面背对所述立方分光棱镜二的方式中心垂直于对准光路安装在所述平面腔镜调节装置上；
10】调试所述平面腔镜：经所述平面腔镜反射的检测光，经所述立方分光棱镜二、所述反射镜二和所述立方分光棱镜一后在所述对准屏上形成对准斑；调节所述平面腔镜调节装置，使得对准斑与所述对准屏中心标记重合；
11】取消所述挡光装置一挡光：将所述挡光装置一从所述立方分光棱镜一与所述反射镜一之间移开，取消挡光；
12】形成标准谐振腔模块：所述谐振腔连接件连带固定在其上的所述凹面腔镜调节装置、所述平面腔镜调节装置、所述凹面腔镜和所述平面腔镜形成标准谐振腔模块，从所述谐振腔定位装置中取下该标准谐振腔模块；
13】批量对准：反复重复步骤3】-12】，形成更多的标准谐振腔模块。
与现有技术相比，本发明具有的优点：
1】拥有更高的对准精度。本发明采用双光路分别对凹面腔镜和平面腔镜进行对准。在凹面腔镜对准光路中通过引入焦点与凹面腔镜球心重合的正光焦度镜组来减小凹面腔镜返回的对准斑，使之与平面腔镜返回的对准斑相仿，从而提高谐振腔对准精度。
本发明装置及方法和现有技术同样在凹面腔镜曲率半径R＝50mm，平凹腔到对准屏间距L＝889mm的条件下，取正光焦度镜组焦距f′＝25mm，凹面腔镜与正光焦度镜组间距75mm(实际中凹面腔镜与正光焦度镜组的间距应根据立方分光棱镜二的厚度加以修正，以使凹面腔镜球心与正光焦度镜组焦点重合)，高斯光源束腰为0.5mm、在正光焦度镜组上。经计算，由凹面腔镜和平面腔镜反射到对准屏上的光斑尺寸为0.62mm和0.63mm(计算模型中忽略了光路中立方分光棱镜一、二对光斑大小的微弱影响)。已有技术中设定直径分别为5.1mm、4.8mm的两个大对准斑与对准屏中心标记的对准误差δ＝0.8mm，按此比例，设定直径分别为0.62mm、0.63mm的两个小光斑对准误差为δ＝0.1mm，可获得单面腔镜对准精度(δ/2L)为0.2′，整个谐振腔的对准精度则为0.4′，达到现有技术的8倍。
现有技术通过破坏高斯光束准直性，牺牲平面镜的对准精度来平衡凹面镜的对准精度，随着L的增大，准直性被破坏的高斯光束在更长的传输距离下产生更大的对准斑，激光腔的对准精度有可能不增反降。本发明装置及方法基于准直的高斯光束，平、凹面镜的对准均不破坏其准直性，随着L的增大，其光斑增大并不明显，激光腔对准精度可获得进一步提高。
2】对不同凹面半径的平凹谐振腔对准精度稳定，不下降。
现有技术通过破坏高斯光束准直性，牺牲平面镜的对准精度来平衡凹面镜的对准精度。当平、凹面腔镜屈光特性差异增大，即凹面腔镜半径减小，平衡难度会增大，激光腔对准精度会下降。
本发明技术方案中正光焦度镜组焦点与凹面腔镜球心重合。高斯光束从正光焦度镜组入射，经凹面腔镜反射后又从正光焦度镜组出射，经推导，相当于经过了一个传播矩阵形式为
为使传播矩阵形式简介，在建模及推导过程略去了正光焦度镜组和凹面腔镜之间的立方分光棱镜二。立方分光棱镜二在光路中的作用相当于平板，不改变结论。
附图说明
图1是本发明的结构原理示意图。
图2是本发明的工作原理图。
附图标记说明:1、高斯光源，2、立方分光棱镜一，3、挡光装置一，4、反射镜一，5、正光焦度镜组，6、挡光装置二，7、反射镜二，8、立方分光棱镜二，9、对准屏，10、凹面腔镜，11、平面腔镜，12，凹面腔镜调节装置，13、平面腔镜调节装置，14、谐振腔连接件，15、谐振腔定位装置，16、正光焦度镜组焦点，17、凹面腔镜球心，18、连接体。
具体实施方式
下面结合附图对本发明的优选实施例进行详细阐述，以使本发明的优点和特征能更易于被本领域技术人员理解，从而对本发明的保护范围做出更为清楚明确的界定。
请参阅图1、图2，一种基于高斯光束的平凹激光腔双光路对准装置，包括：高斯光源1；立方分光棱镜一2位于所述高斯光源1前方，将出光分为两路；挡光装置一3、反射镜一4和正光焦度镜组5，依次位于一光路中，所述反射镜一4将光路转折90°；挡光装置二6和反射镜二7，依次位于另一光路中，所述反射镜二7将光路转折90°；立方分光棱镜二8，处于两光路交汇处，用于耦合两光路；对准屏9相对所述反射镜一4位于所述立方分光棱镜一2的另一侧，用于接收两光路的折返光；连接体18固定连接所述高斯光源1、所述立方分光棱镜一2、所述挡光装置一3、所述反射镜一4、所述正光焦度镜组5、所述挡光装置二6、所述反射镜二7和所述立方分光棱镜二8。
优选地，所述高斯光源1输出准直高斯光束。
优选地，所述高斯光源1输出波长在凹面腔镜10和平面腔镜11膜层反射带内。
优选地，所述立方分光棱镜一2和所述立方棱镜二8均对所述高斯光源1波长半反半透分光。
优选地，所述正光焦度镜组5为单片正透镜。
优选地，所述对准屏9在光轴与其交点位置具有中心定位标记。
一种基于高斯光束的平凹激光腔双光路对准装置的对准方法，包括如下步骤：
1】点亮所述高斯光源1：所述高斯光源1发出的准直高斯光束通过所述立方分光棱镜一2、所述挡光装置一3、所述反射镜一4、所述正光焦度镜组5和所述立方分光棱镜二8形成所述凹面腔镜10检测光；通过所述立方分光棱镜一2、所述挡光装置二6、所述反射镜二7和所述立方分光棱镜二8形成所述平面腔镜11检测光；
2】安装谐振腔定位装置15：将与待对准平凹谐振腔其它参数一样，仅所述平面腔镜11对所述高斯光源1波长反射率减半的标准平凹谐振腔模块安装在所述谐振腔定位装置15上，反复调校所述谐振腔定位装置15相对对准装置位置，使得凹面腔镜球心17与正光焦度镜组焦点16重合，使得由所述凹面腔镜10和所述平面腔镜11在所述对准屏9上的反射斑均与其中心标记重合，固定所述谐振腔定位装置15相对对准装置位置，卸下标准平凹谐振腔；
3】所述挡光装置二6挡光：使用所述挡光装置二6对所述反射镜二7和所述立方分光棱镜一2之间的光路进行挡光；
4】安装待对准平凹谐振腔支架：将谐振腔连接件14连带固定在其上的凹面腔镜调节装置12和平面腔镜调节装置13安装在所述谐振腔定位装置15上；
5】安装所述凹面腔镜10：将所述凹面腔镜10以腔镜面朝向所述立方分光棱镜二8的方式中心垂直于对准光路安装在所述凹面腔镜调节装置12上，使所述凹面腔镜球心17与所述正光焦度镜组焦点16重合；
6】调试所述凹面腔镜10：经所述凹面腔镜10反射的检测光，经所述立方分光棱镜二8、所述正光焦度镜组5、所述反射镜一4和所述立方分光棱镜一2后在所述对准屏9上形成对准斑；调节所述凹面腔镜调节装置12，使得对准斑与所述对准屏9中心标记重合；
7】所述挡光装置一3挡光：使用所述挡光装置一3对所述立方分光棱镜一2与所述反射镜一4之间的光路进行挡光；
8】取消所述挡光装置二6挡光：将所述挡光装置二6从所述反射镜二7和所述立方分光棱镜一2之间移开，取消挡光；
9】安装所述平面腔镜11：将所述平面腔镜11以腔镜面背对所述立方分光棱镜二8的方式中心垂直于对准光路安装在所述平面腔镜调节装置13上；
10】调试所述平面腔镜11：经所述平面腔镜11反射的检测光，经所述立方分光棱镜二8、所述反射镜二7和所述立方分光棱镜一2后在所述对准屏9上形成对准斑；调节所述平面腔镜调节装置13，使得对准斑与所述对准屏9中心标记重合；
11】取消所述挡光装置一3挡光：将所述挡光装置一3从所述立方分光棱镜一2与所述反射镜一4之间移开，取消挡光；
12】形成标准谐振腔模块：所述谐振腔连接件14连带固定在其上的所述凹面腔镜调节装置12、所述平面腔镜调节装置13、所述凹面腔镜10和所述平面腔镜11形成标准谐振腔模块，从所述谐振腔定位装置15中取下该标准谐振腔模块；
13】批量对准：反复重复步骤3】-12】，形成更多的标准谐振腔模块。
不局限于此，任何不经过创造性劳动想到的变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应该以权利要求书所限定的保护范围为准。
Claims (7)
1.一种基于高斯光束的平凹激光腔双光路对准装置，其特征在于，包括：高斯光源(1)；立方分光棱镜一(2)位于所述高斯光源(1)前方，将出光分为两路；挡光装置一(3)、反射镜一(4)和正光焦度镜组(5)，依次位于一光路中，所述反射镜一(4)将光路转折90°；挡光装置二(6)和反射镜二(7)，依次位于另一光路中，所述反射镜二(7)将光路转折90°；立方分光棱镜二(8)，处于两光路交汇处；对准屏(9)相对所述反射镜一(4)位于所述立方分光棱镜一(2)的另一侧；连接体(18)固定连接所述高斯光源(1)、所述立方分光棱镜一(2)、所述挡光装置一(3)、所述反射镜一(4)、所述正光焦度镜组(5)、所述挡光装置二(6)、所述反射镜二(7)和所述立方分光棱镜二(8)。
2.根据权利要求1所述的一种基于高斯光束的平凹激光腔双光路对准装置，其特征在于，所述高斯光源(1)输出准直高斯光束。
3.根据权利要求1所述的一种基于高斯光束的平凹激光腔双光路对准装置，其特征在于，所述高斯光源(1)输出波长在凹面腔镜(10)和平面腔镜(11)膜层反射带内。
4.根据权利要求1所述的一种基于高斯光束的平凹激光腔双光路对准装置，其特征在于，所述立方分光棱镜一(2)和所述立方分光棱镜二(8)均对所述高斯光源(1)波长半反半透分光。
5.根据权利要求1所述的一种基于高斯光束的平凹激光腔双光路对准装置，其特征在于，所述正光焦度镜组(5)为单片正透镜。
6.根据权利要求1所述的一种基于高斯光束的平凹激光腔双光路对准装置，其特征在于，所述对准屏(9)在光轴与其交点位置具有中心定位标记。
7.一种基于高斯光束的平凹激光腔双光路对准装置的对准方法，其特征在于，包括如下步骤：
1】点亮高斯光源(1)：所述高斯光源(1)发出的准直高斯光束通过立方分光棱镜一(2)、挡光装置一(3)、反射镜一(4)、正光焦度镜组(5)和立方分光棱镜二(8)形成凹面腔镜(10)检测光；通过所述立方分光棱镜一(2)、挡光装置二(6)、反射镜二(7)和所述立方分光棱镜二(8)形成平面腔镜(11)检测光；
2】安装谐振腔定位装置(15)：将与待对准平凹谐振腔其它参数一样，仅其平面腔镜对所述高斯光源(1)波长反射率减半的标准平凹谐振腔模块安装在所述谐振腔定位装置(15)上，反复调校所述谐振腔定位装置(15)相对对准装置位置，使得标准平凹谐振腔模块的凹面腔镜球心与正光焦度镜组焦点(16)重合，使得由标准平凹谐振腔模块的凹面腔镜和标准平凹谐振腔模块的平面腔镜在对准屏(9)上的反射斑均与其中心标记重合，固定所述谐振腔定位装置(15)相对对准装置位置，卸下标准平凹谐振腔；
3】所述挡光装置二(6)挡光：使用所述挡光装置二(6)对所述反射镜二(7)和所述立方分光棱镜一(2)之间的光路进行挡光；
4】安装待对准平凹谐振腔支架：将谐振腔连接件(14)连带固定在其上的凹面腔镜调节装置(12)和平面腔镜调节装置(13)安装在所述谐振腔定位装置(15)上；
5】安装所述凹面腔镜(10)：将所述凹面腔镜(10)以腔镜面朝向所述立方分光棱镜二(8)的方式中心垂直于对准光路安装在所述凹面腔镜调节装置(12)上，使凹面腔镜球心(17)与所述正光焦度镜组焦点(16)重合；
6】调试所述凹面腔镜(10)：经所述凹面腔镜(10)反射的检测光，经所述立方分光棱镜二(8)、所述正光焦度镜组(5)、所述反射镜一(4)和所述立方分光棱镜一(2)后在所述对准屏(9)上形成对准斑；调节所述凹面腔镜调节装置(12)，使得对准斑与所述对准屏(9)中心标记重合；
7】所述挡光装置一(3)挡光：使用所述挡光装置一(3)对所述立方分光棱镜一(2)与所述反射镜一(4)之间的光路进行挡光；
8】取消所述挡光装置二(6)挡光：将所述挡光装置二(6)从所述反射镜二(7)和所述立方分光棱镜一(2)之间移开，取消挡光；
9】安装所述平面腔镜(11)：将所述平面腔镜(11)以腔镜面背对所述立方分光棱镜二(8)的方式中心垂直于对准光路安装在所述平面腔镜调节装置(13)上；
10】调试所述平面腔镜(11)：经所述平面腔镜(11)反射的检测光，经所述立方分光棱镜二(8)、所述反射镜二(7)和所述立方分光棱镜一(2)后在所述对准屏(9)上形成对准斑；调节所述平面腔镜调节装置(13)，使得对准斑与所述对准屏(9)中心标记重合；
11】取消所述挡光装置一(3)挡光：将所述挡光装置一(3)从所述立方分光棱镜一(2)与所述反射镜一(4)之间移开，取消挡光；
12】形成标准谐振腔模块：所述谐振腔连接件(14)连带固定在其上的所述凹面腔镜调节装置(12)、所述平面腔镜调节装置(13)、所述凹面腔镜(10)和所述平面腔镜(11)形成标准谐振腔模块，从所述谐振腔定位装置(15)中取下该标准谐振腔模块；
13】批量对准：反复重复步骤3】-12】，形成更多的标准谐振腔模块。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201910795925.2A CN110459946B (zh) | 2019-08-27 | 2019-08-27 | 一种基于高斯光束的平凹激光腔双光路对准装置及方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201910795925.2A CN110459946B (zh) | 2019-08-27 | 2019-08-27 | 一种基于高斯光束的平凹激光腔双光路对准装置及方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN110459946A CN110459946A (zh) | 2019-11-15 |
| CN110459946B true CN110459946B (zh) | 2020-09-29 |
Family
ID=68489407
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201910795925.2A Expired - Fee Related CN110459946B (zh) | 2019-08-27 | 2019-08-27 | 一种基于高斯光束的平凹激光腔双光路对准装置及方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN110459946B (zh) |
Citations (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1721995A (zh) * | 2001-11-21 | 2006-01-18 | 株式会社阿迪泰克工程 | 光学放大率调节系统与投影曝光设备 |
| JP2008071866A (ja) * | 2006-09-13 | 2008-03-27 | Sumitomo Seika Chem Co Ltd | レーザ光照射反応装置および該装置を備えた同位体分離システム、ならびに反応方法 |
| WO2011150196A1 (en) * | 2010-05-26 | 2011-12-01 | Laser Energetics, Inc. | Diode pumped solid state green laser |
| CN102621694A (zh) * | 2012-03-21 | 2012-08-01 | 中国科学院光电技术研究所 | 一种条形像散光束整形与准直装置 |
| CN102916331A (zh) * | 2012-11-05 | 2013-02-06 | 大恒新纪元科技股份有限公司 | 一种激光折叠谐振腔的调试方法 |
| CN104111534A (zh) * | 2014-08-07 | 2014-10-22 | 张家港鹏博光电科技有限公司 | 一种对称式双远心投影光学系统的倍率调节方法 |
| CN204391490U (zh) * | 2015-03-13 | 2015-06-10 | 李斌 | 一种平凹腔被动调q激光器 |
| CN204536661U (zh) * | 2015-04-14 | 2015-08-05 | 赵智亮 | 快对准自准直激光平行光源 |
| CN107210577A (zh) * | 2015-03-25 | 2017-09-26 | 极光先进雷射株式会社 | 激光装置 |
| CN107331643A (zh) * | 2016-04-29 | 2017-11-07 | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 | 对准装置及其方法 |
| CN108279509A (zh) * | 2018-01-26 | 2018-07-13 | 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所 | 一种快速调整法布里-珀罗干涉仪的方法及装置 |
| CN109633921A (zh) * | 2019-01-07 | 2019-04-16 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 激光腔镜辅助装调装置及其使用方法 |
-
2019
- 2019-08-27 CN CN201910795925.2A patent/CN110459946B/zh not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1721995A (zh) * | 2001-11-21 | 2006-01-18 | 株式会社阿迪泰克工程 | 光学放大率调节系统与投影曝光设备 |
| JP2008071866A (ja) * | 2006-09-13 | 2008-03-27 | Sumitomo Seika Chem Co Ltd | レーザ光照射反応装置および該装置を備えた同位体分離システム、ならびに反応方法 |
| WO2011150196A1 (en) * | 2010-05-26 | 2011-12-01 | Laser Energetics, Inc. | Diode pumped solid state green laser |
| CN102621694A (zh) * | 2012-03-21 | 2012-08-01 | 中国科学院光电技术研究所 | 一种条形像散光束整形与准直装置 |
| CN102916331A (zh) * | 2012-11-05 | 2013-02-06 | 大恒新纪元科技股份有限公司 | 一种激光折叠谐振腔的调试方法 |
| CN104111534A (zh) * | 2014-08-07 | 2014-10-22 | 张家港鹏博光电科技有限公司 | 一种对称式双远心投影光学系统的倍率调节方法 |
| CN204391490U (zh) * | 2015-03-13 | 2015-06-10 | 李斌 | 一种平凹腔被动调q激光器 |
| CN107210577A (zh) * | 2015-03-25 | 2017-09-26 | 极光先进雷射株式会社 | 激光装置 |
| CN204536661U (zh) * | 2015-04-14 | 2015-08-05 | 赵智亮 | 快对准自准直激光平行光源 |
| CN107331643A (zh) * | 2016-04-29 | 2017-11-07 | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 | 对准装置及其方法 |
| CN108279509A (zh) * | 2018-01-26 | 2018-07-13 | 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所 | 一种快速调整法布里-珀罗干涉仪的方法及装置 |
| CN109633921A (zh) * | 2019-01-07 | 2019-04-16 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 激光腔镜辅助装调装置及其使用方法 |
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| 一种基于高斯光束的平凹激光腔对准方法;肖孟超;《光学精密工程》;20061031;第14卷(第5期);全文 * |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN110459946A (zh) | 2019-11-15 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN111912354B (zh) | 一种高功率激光集束远场组合焦斑测量方法及系统 | |
| CN101572378A (zh) | 相位锁定轴对称折迭组合二氧化碳激光器 | |
| CN102916331A (zh) | 一种激光折叠谐振腔的调试方法 | |
| CN110967794B (zh) | 多光束合束组件、发射光组件及光模块 | |
| CN110459946B (zh) | 一种基于高斯光束的平凹激光腔双光路对准装置及方法 | |
| CN110445003B (zh) | 一种基于高斯光束的平凹激光腔单光路对准装置及方法 | |
| WO2013053313A1 (zh) | 大口径反射镜及其制造方法 | |
| JP7296940B2 (ja) | ハイパワーファイバ照明源用分光フィルタ | |
| CN115597483B (zh) | 一种干涉仪扩束准直装置 | |
| US4947402A (en) | Two-mirror shaping of a non-circular optical pumping beam and lasers using same | |
| CN212011592U (zh) | 紧凑啁啾脉冲压缩器 | |
| CN111122121B (zh) | 一种小f数凸双曲面反射镜检测光路的搭建方法 | |
| CN100486063C (zh) | 高功率脉冲激光器抗失调谐振腔 | |
| CN209945555U (zh) | 基于柱面光栅的分光波导模块和集成光谱仪 | |
| CN1243399C (zh) | 一种新型的环行激光器 | |
| EP1685632A2 (en) | Optical bench for diode-pumped solid state lasers in field applications | |
| CN105680300A (zh) | 一种He-Ne精校准方法 | |
| CN215810474U (zh) | 一种端泵构型激光测照器 | |
| CN110459948B (zh) | 一种高精度平凹激光腔双光路对准装置及方法 | |
| CN212721990U (zh) | 一种激光晶体热焦距的测量装置 | |
| CN220659537U (zh) | 手持式焊接装置 | |
| CN211182790U (zh) | 用于紫外激光器的分光装置 | |
| CN110459947B (zh) | 一种高精度平凹激光腔单光路对准装置及方法 | |
| CN216979291U (zh) | 激光雷达的光学系统及激光雷达 | |
| CN215267057U (zh) | 一种新型固体激光放大器 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20200929 |