CN110459562B - 可折叠显示面板及其制作方法 - Google Patents
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Abstract
本申请提出了一种可折叠显示面板及其制作方法，包括折叠区和位于该折叠区两侧的非折叠区；该折叠区内设置有衬底和位于该衬底上的至少一第一薄膜晶体管层，该非折叠区内设置有衬底和位于该衬底上的至少一第二薄膜晶体管层；该第一薄膜晶体管层的弯曲强度大于该第二薄膜晶体管层的弯曲强度。本申请利用弯曲强度较高的材料制备该折叠区内的第一薄膜晶体管，使得折叠区内的耐弯折性优于非弯折区，避免了该可折叠显示面板驱动电路的失效，消除了产品显示画面异常的技术问题。
Description
技术领域
本申请涉及显示领域，特别涉及一种可折叠显示面板及其制作方法。
背景技术
随着科技的发展，移动电子设备的外观发生了巨大变化，其中，柔性屏以其独特的特性和巨大的潜力而备受关注。柔性屏相较于传统屏幕而言，具有柔韧性强和可弯曲的特点，能够减轻设备意外损伤的程度，耐用程度远高于其他屏幕。
可折叠显示面板包括折叠区，因此折叠区内的膜层结构需要具有一定耐弯折性。而现有小尺寸OLED显示面板的驱动TFT一般为LTPS较脆的硅系材料，弯曲强度较小，弯折后使折叠区内的TFT器件特性漂移或失效，导致产品显示画面异常。
因此，目前亟需一种可折叠显示面板以解决上述技术问题。
发明内容
本申请提供了一种可折叠显示面板及其制作方法，以满足现有可折叠显示面板耐弯折的性能。
为解决上述问题，本申请提供的技术方案如下：
本申请提出了一种可折叠显示面板，其包括折叠区和位于所述折叠区两侧的非折叠区；
所述折叠区内设置有衬底和位于所述衬底上的至少一第一薄膜晶体管，所述非折叠区内设置有衬底和位于所述衬底上的至少一第二薄膜晶体管；
其中，所述第一薄膜晶体管的弯曲强度大于所述第二薄膜晶体管的弯曲强度。
在本申请的可折叠显示面板中，
所述第一薄膜晶体包括位于所述衬底上的第一有源层，所述第二薄膜晶体管包括位于所述衬底上的第二有源层，所述第一有源层的弯曲强度大于所述第二有源层的弯曲强度。
在本申请的可折叠显示面板中，
所述第一有源层的材料至少包括金属金以及二硫化钼；
其中，所述金属金构成所述第一有源层的第一掺杂区中的至少部分材料，所述二硫化钼构成所述第一有源层的第一沟道区的至少部分材料。
在本申请的可折叠显示面板中，所述非折叠区包括靠近所述折叠区的过渡区和远离所述折叠区的非过渡区；
所述过渡区内设置有衬底和位于所述衬底上的第三薄膜晶体管；
所述过渡区内的所述第三薄膜晶体管的弯曲强度大于所述非过渡区内的所述第二薄膜晶体管的弯曲强度。
在本申请的可折叠显示面板中，所述可折叠显示面板还包括位于所述第一薄膜晶体管及所述第二薄膜晶体管上的平坦层；
所述折叠区内的所述平坦层的厚度大于所述非折叠区内的所述平坦层的厚度。
在本申请的可折叠显示面板中，所述非折叠区至所述折叠区的方向，所述平坦层的厚度逐渐增加。
本申请还提出了一种可折叠显示面板的制作方法，所述可折叠显示面板包括折叠区和位于所述折叠区两侧的非折叠区，其包括：
在所述折叠区的衬底上形成第一有源层；
在所述非折叠区的衬底上形成第二有源层；
在所述第一有源层、所述第二有源层上形成信号走线层；
在所述信号走线层形成平坦层；
其中，所述第一有源层的弯曲强度大于所述第二有源层的弯曲强度。
在本申请的制作方法中，所述折叠区内的所述平坦层的厚度大于所述非折叠区内的所述平坦层的厚度。
在本申请的制作方法中，在所述非折叠区至所述折叠区的方向，所述平坦层的厚度逐渐增加。
在本申请的制作方法中，所述非折叠区包括靠近所述折叠区的过渡区和远离所述折叠区的非过渡区；
在所述非折叠区的衬底上形成第二有源层的步骤包括：
在所述过渡区的衬底上形成第三有源层；
在所述非过渡区的衬底上形成第二有源层；
其中，所述第三有源层的弯曲强度大于所述第二有源层的弯曲强度。
有益效果：本申请利用弯曲强度较高的材料制备所述折叠区内的第一薄膜晶体管，使得折叠区内的耐弯折性优于非弯折区，避免了所述可折叠显示面板驱动电路的失效，消除了产品显示画面异常的技术问题。
附图说明
为了更清楚地说明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本申请可折叠显示面板的展开结构图；
图2为本申请可折叠显示面板的第一种膜层；
图3为本申请可折叠显示面板的第二种膜层；
图4为本申请可折叠显示面板的第三种膜层。
图5为本申请可折叠显示面板制作方法的步骤图；
图6A～6F为本申请可折叠显示面板制作方法工艺步骤图。
具体实施方式
以下各实施例的说明是参考附加的图示，用以例示本申请可用以实施的特定实施例。本申请所提到的方向用语，例如[上]、[下]、[前]、[后]、[左]、[右]、[内]、[外]、[侧面]等，仅是参考附加图式的方向。因此，使用的方向用语是用以说明及理解本申请，而非用以限制本申请。在图中，结构相似的单元是用以相同标号表示。
请参阅图1，图1为本申请可折叠显示面板的展开结构图。
所述可折叠显示面板100包括折叠区200和位于所述折叠区200两侧的非折叠区300。
在本实施例中，制备所述折叠区200内膜层结构的材料与制备所述非折叠区300内膜层结构的材料部分不相同。所述折叠区200内膜层结构的弯曲强度大于所述非折叠区300内膜层结构的弯曲强度。
请参阅图2，图2为本申请可折叠显示面板的第一种膜层。
所述折叠区200内设置有衬底10和位于所述衬底10上的至少一第一薄膜晶体管21，所述非折叠区300内设置有衬底10和位于所述衬底10上的至少一第二薄膜晶体管22。
在本实施例中，所述第一薄膜晶体管21的结构可以与所述第二薄膜晶体管22的结构不相同。
在本实施例中，所述第一薄膜晶体管21的弯曲强度大于所述第二薄膜晶体管22的弯曲强度。
所述衬底10的原材料可以为玻璃基板、石英基板、树脂基板等中的一种。当所述衬底10为柔性基板时，所述柔性基板的材料可以为PI(聚酰亚胺)。
在本实施例中，在所述折叠区200内的所述衬底10可以为柔性基板，所述非折叠区300内的所述衬底10可以为刚性基板或柔性基板。
在本实施例中，所述薄膜晶体管可以为蚀刻阻挡型、背沟道蚀刻型或顶栅薄膜晶体管型等，本实施例具体没有限制。
本申请以顶栅薄膜晶体管型为例进行说明，请参阅图2。
所述第一薄膜晶体管21包括位于所述衬底10上的阻挡层40、缓冲层50、第一有源层61、第一信号走线层71、以及平坦层80。
所述第二薄膜晶体管22包括位于所述衬底10上的阻挡层40、缓冲层50、第二有源层62、第二信号走线层72、以及平坦层80。
所述可折叠显示面板100包括位于所述平坦层80上的发光器件层(未画出)及封装层(未画出)。
所述阻挡层40位于所述衬底10上。
在本实施例中，所述阻挡层40的材料可以包括氧化硅。
所述缓冲层50形成于所述阻挡层40上，主要用于缓冲膜层质结构之间的压力，并且还可以具有一定阻水氧的功能。
在本实施例中，所述缓冲层50的材料包括氮化硅或氧化硅中的一种或一种以上的组合物。
所述第一信号走线层71可以包括位于所述第一有源层61上的双层第一栅绝缘层711、位于第一栅绝缘层711上的双层第一栅极层712、位于第一栅极层712上的第一间绝缘层713、及位于第一间绝缘层713上的第一源漏极层714。
所述第二信号走线层72可以包括位于所述第二有源层62上的第二栅绝缘层721、位于第二栅绝缘层721上的第二栅极层722、位于第二栅极层722上的第二间绝缘层723、及位于第二间绝缘层723上的第二源漏极层724。
所述第一信号走线层71和所述第二信号走线层72上的各膜层结构的原材料选择为现有常规材料，本申请不再赘述。
在本实施例中，所述第一有源层61的弯曲强度大于所述第二有源层62的弯曲强度。
在本实施例中，所述第一有源层61包括第一沟道区611和位于所述第一沟道区611两侧的第一掺杂区612。所述第一源漏极层714中的源极/漏极通过第一信号接触过孔715与所述第一掺杂区612电连接。
在本实施例中，所述第一沟道区611的材料可以是二硫化钼也可以是二硫化钼与金属氧化物的复合材料，例如，所述第一沟道区611的材料为二硫化钼与三氧化二铝的复合材料。所述第一掺杂区612的材料可以是金属，例如金属金、铝等、也可以是金属与二硫化钼的复合材料，具体的，所述第一掺杂区612的材料可以是金属金与二硫化钼的复合材料；当然，所述第一掺杂区612的材料也可以是金属与二硫化钼以及三氧化二氯组成的复合材料层，例如，是金属金与二硫化钼、三氧化二铝组成的复合材料。
在本实施例中，所述第二有源层62包括第二沟道区621和位于所述第二沟道区621两侧的第二掺杂区622。所述第二源漏极层724中的源极/漏极通过第二信号接触过孔725与所述第二掺杂区622电连接。
在本实施例中，所述第二沟道区621的材料可以由低温多晶硅构成。所述第二掺杂区622的材料可以由低温多晶硅经磷离子掺杂形成。
在本实施例中，二硫化钼为一种二维半导体材料，耐弯折性较好，并且电子在二硫化钼中的移动速率较快。本申请将二硫化钼作为第一沟道区611及第一掺杂区612的原材料，使得所述可折叠显示面板100在折叠时，所述第一有源层61不会因为显示面板折叠而导致损坏，使得位于所述折叠区200内的所述第一有源层61保持较高的电子迁移率，使得显示面板的信号正常传输。
请参阅图2，为了保证膜层的平整性，本申请所述第一间绝缘层713的膜层厚度大于所述第二间绝缘层723的膜层厚度。
请参阅图3，图3为本申请可折叠显示面板的第二种膜层。
所述折叠区200内的所述平坦层80的厚度大于所述非折叠区300内的所述平坦层80的厚度。
由于平坦层80由有机材料构成，具有一定的柔性。本申请在折叠区200内设置较厚的所述平坦层80，增加了折叠区200膜层结构的柔性，增加了该区域的弯曲强度。
请参阅图4，图4为本申请可折叠显示面板的第三种膜层。
所述非折叠区300包括靠近所述折叠区200的过渡区301和远离所述折叠区200的非过渡区302。所述过渡区301内设置有衬底10和位于所述衬底10上的第三薄膜晶体管23。
在本实施例中，所述过渡区301内的所述第三薄膜晶体管23的弯曲强度大于所述非过渡区302内的所述第二薄膜晶体管22的弯曲强度。
在本实施例中，所述第三薄膜晶体管23包括第三有源层6363。所述第三有源层63的结构及材料可以所述第一有源层61的结构及材料相同。
本申请的所述可折叠显示面板100在弯折时，靠近折叠区200的非折叠区300会受到折叠区200传递过来的一定弯曲应力，本申请将所述过渡区301内的所述第三薄膜晶体管23以耐弯折材料制备，使得显示面板在折叠时，不会因为突然的传递过来的弯曲应力而导致面板的过渡区301内的膜层结构失效。
在本实施例中，所述折叠区200内的所述平坦层80的厚度大于所述过渡区301内的所述平坦层80的厚度，所述过渡区301内的所述平坦层80的厚度大于所述非过渡区302内的所述平坦层80的厚度。
在本实施例中，所述非折叠区300至所述折叠区200的方向，所述平坦层80的厚度可以逐渐增加。
请参阅图5，图5为本申请可折叠显示面板制作方法的步骤图。
请参阅图6A～6F，图6A～6F为本申请可折叠显示面板制作方法工艺步骤图。
请参阅图1，所述可折叠显示面板100包括折叠区200和位于所述折叠区200两侧的非折叠区300，所述可折叠显示面板100的制作方法包括：
S10、在所述折叠区200的衬底10上形成第一有源层61；
请参阅图6A，所述衬底10的原材料可以为玻璃基板、石英基板、树脂基板等中的一种。当所述衬底10为柔性基板时，所述柔性基板的材料可以为PI(聚酰亚胺)。
在本实施例中，在所述折叠区200内的所述衬底10可以为柔性基板。
在本实施例中，所述衬底10与所述第一有源层61之间还设置有阻挡层40和缓冲层50。所述阻挡层40的材料可以包括氧化硅。
所述缓冲层50形成于所述阻挡层40上，主要用于缓冲膜层质结构之间的压力，并且还可以具有一定阻水氧的功能。
在本实施例中，所述缓冲层50的材料包括氮化硅或氧化硅中的一种或一种以上的组合物。
在本实施例中，所述第一有源层61包括第一沟道区611和位于所述第一沟道区611两侧的第一掺杂区612。
在本实施例中，所述第一沟道区611的材料可以是二硫化钼也可以是二硫化钼与金属氧化物的复合材料，例如，所述第一沟道区611的材料为二硫化钼与三氧化二铝的复合材料。所述第一掺杂区612的材料可以是金属，例如金属金、铝等、也可以是金属与二硫化钼的复合材料，具体的，所述第一掺杂区612的材料可以是金属金与二硫化钼的复合材料；当然，所述第一掺杂区612的材料也可以是金属与二硫化钼以及三氧化二氯组成的复合材料层，例如，是金属金与二硫化钼、三氧化二铝组成的复合材料
S20、在所述非折叠区300的衬底10上形成第二有源层62；
请参阅图6B，步骤S20与步骤S10相同，二者顺序可以互换。
在本实施例中，所述第二有源层62包括第二沟道区621和位于所述第二沟道区621两侧的第二掺杂区622。
在本实施例中，所述第二沟道区621的材料可以由低温多晶硅构成。所述第二掺杂区622的材料可以由低温多晶硅经磷离子掺杂形成。
在本实施例中，二硫化钼为一种二维半导体材料，耐弯折性较好，并且电子在二硫化钼中的移动速率较快。本申请将二硫化钼作为第一沟道区611及第一掺杂区612的原材料，使得所述可折叠显示面板100在折叠时，所述第一有源层61不会因为显示面板折叠而导致损坏，使得位于所述折叠区200内的所述第一有源层61保持较高的电子迁移率，使得显示面板的信号正常传输。
S30、在所述第一有源层61、所述第二有源层62上形成信号走线层；
本步骤主要形成位于所述第一有源层61上的第一信号走线层71、及位于所述第二有源层62上的第二信号走线层72。
本申请的薄膜晶体管可以为蚀刻阻挡型、背沟道蚀刻型或顶栅薄膜晶体管型等，本实施例具体没有限制。
本申请以顶栅薄膜晶体管型为例进行说明，请参阅图6C。
所述第一信号走线层71可以包括位于所述第一有源层61上的双层第一栅绝缘层711、位于第一栅绝缘层711上的双层第一栅极层712、位于第一栅极层712上的第一间绝缘层713、及位于第一间绝缘层713上的第一源漏极层714。
所述第二信号走线层72可以包括位于所述第二有源层62上的第二栅绝缘层721、位于第二栅绝缘层721上的第二栅极层722、位于第二栅极层722上的第二间绝缘层723、及位于第二间绝缘层723上的第二源漏极层724。
所述第一源漏极层714中的源极/漏极通过第一信号接触过孔715与所述第一掺杂区612电连接。所述第二源漏极层724中的源极/漏极通过第二信号接触过孔725与所述第二掺杂区622电连接。
所述第一信号走线层71和所述第二信号走线层72上的各膜层结构的原材料选择为现有常规材料，本申请不再赘述。
在本实施例中，所述第一有源层61的弯曲强度大于所述第二有源层62的弯曲强度。
请6C，为了保证膜层的平整性，本申请所述第一间绝缘层713的膜层厚度大于所述第二间绝缘层723的膜层厚度。
S40、在所述信号走线层形成平坦层80；
请参阅图6D，所述平坦层80覆盖所述第一信号走线层71及第二走线层。所述平坦层80由有机材料构成。
请参阅图6E，所述折叠区200内的所述平坦层80的厚度大于所述非折叠区300内的所述平坦层80的厚度。
由于平坦层80由有机材料构成，具有一定的柔性。本申请在折叠区200内设置较厚的所述平坦层80，增加了折叠区200膜层结构的柔性，增加了该区域的弯曲强度。
请参阅图6F，所述非折叠区300包括靠近所述折叠区200的过渡区301和远离所述折叠区200的非过渡区302，步骤S20可以包括：
S201、在所述过渡区301的衬底10上形成第三有源层63；
S202、在所述非过渡区302的衬底10上形成第二有源层62；
在本实施例中，所述第三有源层63的弯曲强度大于所述第二有源层62的弯曲强度。
在本实施例中，所述第三有源层63的结构及材料可以所述第一有源层61的结构及材料相同。
本申请的所述可折叠显示面板100在弯折时，靠近折叠区200的非折叠区300会受到折叠区200传递过来的一定弯曲应力，本申请将所述过渡区301内的所述第三薄膜晶体管23以耐弯折材料制备，使得显示面板在折叠时，不会因为突然的传递过来的弯曲应力而导致面板的过渡区301内的膜层结构失效。
在本实施例中，所述折叠区200内的所述平坦层80的厚度大于所述过渡区301内的所述平坦层80的厚度，所述过渡区301内的所述平坦层80的厚度大于所述非过渡区302内的所述平坦层80的厚度。
在本实施例中，所述非折叠区300至所述折叠区200的方向，所述平坦层80的厚度可以逐渐增加。
所述可折叠显示面板100包括位于所述平坦层80上的发光器件层(未画出)及封装层(未画出)。
本申请还提出了一种显示模组，所述显示模组包括上述可折叠显示面板。所述显示模组的工作原理与上述可折叠显示面板相同或相似，本申请不再赘述。
本申请提出了一种可折叠显示面板及其制作方法，包括折叠区和位于所述折叠区两侧的非折叠区；所述折叠区内设置有衬底和位于所述衬底上的至少一第一薄膜晶体管层，所述非折叠区内设置有衬底和位于所述衬底上的至少一第二薄膜晶体管层；所述第一薄膜晶体管层的弯曲强度大于所述第二薄膜晶体管层的弯曲强度。本申请利用弯曲强度较高的材料制备所述折叠区内的第一薄膜晶体管，使得折叠区内的耐弯折性优于非弯折区，避免了所述可折叠显示面板驱动电路的失效，消除了产品显示画面异常的技术问题。
综上所述，虽然本申请已以优选实施例揭露如上，但上述优选实施例并非用以限制本申请，本领域的普通技术人员，在不脱离本申请的精神和范围内，均可作各种更动与润饰，因此本申请的保护范围以权利要求界定的范围为准。
Claims (8)
1.一种可折叠显示面板，其特征在于，包括折叠区和位于所述折叠区两侧的非折叠区；
所述折叠区内设置有衬底和位于所述衬底上的至少一第一薄膜晶体管；
所述非折叠区包括靠近所述折叠区的过渡区和远离所述折叠区的非过渡区；
所述非过渡区内设置有衬底和位于所述衬底上的至少一第二薄膜晶体管，所述过渡区内设置有衬底和位于所述衬底上的第三薄膜晶体管，所述过渡区内的所述第三薄膜晶体管的弯曲强度大于所述非过渡区内的所述第二薄膜晶体管的弯曲强度；
其中，所述第一薄膜晶体管的弯曲强度大于所述第二薄膜晶体管的弯曲强度。
2.根据权利要求1所述的可折叠显示面板，其特征在于，
所述第一薄膜晶体包括位于所述衬底上的第一有源层，所述第二薄膜晶体管包括位于所述衬底上的第二有源层，所述第一有源层的弯曲强度大于所述第二有源层的弯曲强度。
3.根据权利要求2所述的可折叠显示面板，其特征在于，
所述第一有源层的材料至少包括金属金以及二硫化钼；
其中，所述金属金构成所述第一有源层的第一掺杂区中的至少部分材料，所述二硫化钼构成所述第一有源层的第一沟道区的至少部分材料。
4.根据权利要求1所述的可折叠显示面板，其特征在于，
所述可折叠显示面板还包括位于所述第一薄膜晶体管、所述第二薄膜晶体管及所述第三薄膜晶体管上的平坦层，所述折叠区内的所述平坦层的厚度大于所述非折叠区内的所述平坦层的厚度。
5.根据权利要求4所述的可折叠显示面板，其特征在于，
在所述非折叠区至所述折叠区的方向上，所述平坦层的厚度逐渐增加。
6.一种可折叠显示面板的制作方法，所述可折叠显示面板包括折叠区和位于所述折叠区两侧的非折叠区，所述非折叠区包括靠近所述折叠区的过渡区和远离所述折叠区的非过渡区，其特征在于，包括：
在所述折叠区的衬底上形成第一有源层；
在所述非过渡区的衬底上形成第二有源层；在所述过渡区的衬底上形成第三有源层；其中，所述第三有源层的弯曲强度大于所述第二有源层的弯曲强度；
在所述第一有源层、所述第二有源层及所述第三有源层上形成信号走线层；
在所述信号走线层上形成平坦层；
其中，所述第一有源层的弯曲强度大于所述第二有源层的弯曲强度。
7.根据权利要求6所述的制作方法，其特征在于，
所述折叠区内的所述平坦层的厚度大于所述非折叠区内的所述平坦层的厚度。
8.根据权利要求7所述的制作方法，其特征在于，在所述非折叠区至所述折叠区的方向，所述平坦层的厚度逐渐增加。
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