CN110453179A - 一种蒸发源挡板 - Google Patents
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- 238000001704 evaporation Methods 0.000 title claims abstract description 24
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 title claims abstract description 24
- 230000006698 induction Effects 0.000 claims abstract description 32
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 28
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 28
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 2
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 2
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 2
- 238000003795 desorption Methods 0.000 description 2
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 2
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 2
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 2
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 2
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 238000011835 investigation Methods 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010025 steaming Methods 0.000 description 1
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 1
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-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
- C23C14/12—Organic material
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/24—Vacuum evaporation
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
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- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
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- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Magnetic Resonance Imaging Apparatus (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
本发明涉及高真空设备技术领域，特别涉及一种蒸发源挡板。所述一种蒸发源挡板，包括：载台、挡板、压力传感器、磁感应开关和金属片；第一挡板部与载台相向设置，第三挡板部与载台相向设置；金属片分别设置于第一挡板部与载台相对应的下端、及第三挡板部与载台相对应的下端；磁感应开关设置于载台上；金属片与磁感应开关相向设置；压力传感器设置于载台上，压力传感器设置于磁感应开关两侧。通过该装置当挡板没有发生形变时，金属片不会触碰到旁边的压力传感器，故而压力传感器不会感应到压力，而当挡板发生形变或没有摆放到正确的位置时，压力传感器就会感应到压力，侦测到异常，随后发出警报，告知操作人员发生错误，节省人力，提高效率。
Description
技术领域
本发明涉及高真空设备技术领域，特别涉及一种蒸发源挡板。
背景技术
在OLED蒸镀工艺中采用的小挡板(source shutter或small shutter)，它是蒸发源上部存在的一块不可或缺的挡板，经过加热源对装有有机材料的坩埚进行加热升温，当达到一定温度后，只有当小挡板打开，才会让有机材料蒸汽蒸发出来，被Crystal(石英晶振片)传感器检测到后显示为蒸发源的蒸发速率。而小挡板都是直接采用金属挡板经过加工后便投入使用，在真空镀膜作业过程中，蒸发源小挡板需要不断地进行开合运动或是受到蒸发源高温对其的影响，容易造成弯曲或偏移形变等问题，致使无法完成真空镀膜，而这种异常不能被设备所识别，就不会发出警报，需要操作人员逐一排查引起设备停止运行的原因，造成不必要时间的消耗和人力浪费。
发明内容
为此，需要提供一种蒸发源挡板，用以解决现有蒸发源挡板出现弯曲或形变，却无法被设备识别，需要人工逐一排查，造成时间和人力浪费的问题。具体技术方案如下：
一种蒸发源挡板，包括：载台、挡板、压力传感器、磁感应开关和金属片；所述挡板包括：第一挡板部、第二挡板部和第三挡板部；所述第二挡板部分别连接所述第一挡板部和所述第三挡板部，所述第二挡板部内凹用于遮盖蒸发源开口；所述第一挡板部与所述载台相向设置，所述第三挡板部与所述载台相向设置；所述金属片分别设置于所述第一挡板部与所述载台相对应的下端、及所述第三挡板部与所述载台相对应的下端；所述磁感应开关设置于所述载台上；所述金属片与所述磁感应开关相向设置；所述压力传感器设置于所述载台上，所述压力传感器设置于所述磁感应开关两侧。
进一步的，还包括：定位片；所述压力传感器通过定位片设置于所述载台上。
进一步的，所述金属片长度大小与所述磁感应开关长度大小相同，且所述金属片与所述磁感应开关正相向设置。
本发明的有益效果是：所述金属片分别设置于所述第一挡板部与所述载台相对应的下端、及所述第三挡板部与所述载台相对应的下端；所述磁感应开关设置于所述载台上；所述金属片与所述磁感应开关相向设置；则可通过控制磁感应开关的开与关，来控制对金属片的吸附与脱附，进而控制挡板的开闭，即如果通有磁场，挡板则会吸在载台上，相反，未有磁场时，挡板则不会被吸在载台上。所述压力传感器设置于所述载台上，所述压力传感器设置于所述磁感应开关两侧。当挡板没有发生形变时，金属片不会触碰到旁边的压力传感器，故而压力传感器不会感应到压力，而当挡板发生形变或没有摆放到正确的位置时，压力传感器就会感应到压力，侦测到异常，随后发出警报，告知操作人员发生错误，进而节省需要人为排查故障的时间，节省人力，提高效率。
附图说明
图1为具体实施方式所述现有技术蒸发源与挡板的位置示意图；
图2为具体实施方式所述现有技术挡板发生异常的示意图；
图3为具体实施方式所述一种蒸发源挡板的示意图；
图4为具体实施方式所述发出警报的示意图。
附图标记说明：
1、载台，
2、挡板，
3、压力传感器，
4、磁感应开关，
5、金属片，
6、第一挡板部，
7、第二挡板部，
8、第三挡板部。
具体实施方式
为详细说明技术方案的技术内容、构造特征、所实现目的及效果，以下结合具体实施例并配合附图详予说明。
请参阅图1至图4，在本实施方式中，一种蒸发源挡板的具体实施方式如下：
一种蒸发源挡板，包括：载台1、挡板2、压力传感器3、磁感应开关4和金属片5；所述挡板2包括：第一挡板部6、第二挡板部7和第三挡板部8；所述第二挡板部7分别连接所述第一挡板部6和所述第三挡板部8，所述第二挡板部7内凹用于遮盖蒸发源开口；所述第一挡板部6与所述载台1相向设置，所述第三挡板部8与所述载台1相向设置；所述金属片5分别设置于所述第一挡板部6与所述载台1相对应的下端、及所述第三挡板部8与所述载台1相对应的下端；所述磁感应开关4设置于所述载台1上；所述金属片5与所述磁感应开关4相向设置；所述压力传感器3设置于所述载台1上，所述压力传感器3设置于所述磁感应开关4两侧。
如图1所示，现有技术中挡板2与载台1的结构关系如图所示，如图2所示，挡板2在蒸膜作业中已发生形变导致错位或放置位置不正确，此时支持Pin已无法刚好穿过孔洞。
如图3所示，在本实施方式中，所述金属片5分别设置于所述第一挡板部6与所述载台1相对应的下端、及所述第三挡板部8与所述载台1相对应的下端；所述磁感应开关4设置于所述载台1上；所述金属片5与所述磁感应开关4相向设置；则可通过控制磁感应开关4的开与关，来控制对金属片5的吸附与脱附，进而控制挡板2的开闭，即如果通有磁场，挡板2则会吸在载台1上，相反，未有磁场时，挡板2则不会被吸在载台1上。所述压力传感器3设置于所述载台1上，所述压力传感器3设置于所述磁感应开关4两侧。当挡板2没有发生形变时，金属片5不会触碰到旁边的压力传感器3，故而压力传感器3不会感应到压力，而当挡板2发生形变或没有摆放到正确的位置时，压力传感器3就会感应到压力，侦测到异常，随后发出警报，告知操作人员发生错误，进而节省需要人为排查故障的时间，节省人力，提高效率。
请参阅图4，在本实施方式中，发出警报的过程大致如下：
首先压力传感器3的连接位点将压力信号传输至可编程序控制器(PLC)上，然后PLC将信号传送至可视化的GPCS上面(电脑显示器)，从而与GPCS连接的蜂鸣器就会发出警报声或是在电脑显示器上显示异常红字。
需要说明的是，在其它实施方式中，发出警报的方式有各种各样，在这边不做一一说明。
进一步的，在本实施方式中，优选地，所述压力传感器3通过定位片设置于所述载台1上。定位片不仅价格低，且结构简单安装方便。
进一步的，在本实施方式中，优选地，所述金属片5长度大小与所述磁感应开关4长度大小相同，且所述金属片5与所述磁感应开关4正相向设置。所谓正相向设置，即当通有磁场时，金属片5被吸附，其会正好被吸附在磁感应开关4上，不会触碰到旁边的压力传感器3。
需要说明的是，尽管在本文中已经对上述各实施例进行了描述，但并非因此限制本发明的专利保护范围。因此，基于本发明的创新理念，对本文所述实施例进行的变更和修改，或利用本发明说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，直接或间接地将以上技术方案运用在其他相关的技术领域，均包括在本发明的专利保护范围之内。
Claims (3)
1.一种蒸发源挡板，其特征在于，包括：载台、挡板、压力传感器、磁感应开关和金属片；
所述挡板包括：第一挡板部、第二挡板部和第三挡板部；
所述第二挡板部分别连接所述第一挡板部和所述第三挡板部，所述第二挡板部内凹用于遮盖蒸发源开口；
所述第一挡板部与所述载台相向设置，所述第三挡板部与所述载台相向设置；
所述金属片分别设置于所述第一挡板部与所述载台相对应的下端、及所述第三挡板部与所述载台相对应的下端；
所述磁感应开关设置于所述载台上；
所述金属片与所述磁感应开关相向设置；
所述压力传感器设置于所述载台上，所述压力传感器设置于所述磁感应开关两侧。
2.根据权利要求1所述的一种蒸发源挡板，其特征在于，还包括：定位片；
所述压力传感器通过定位片设置于所述载台上。
3.根据权利要求1所述的一种蒸发源挡板，其特征在于，
所述金属片长度大小与所述磁感应开关长度大小相同，且所述金属片与所述磁感应开关正相向设置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201910673869.5A CN110453179B (zh) | 2019-07-24 | 2019-07-24 | 一种蒸发源挡板 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201910673869.5A CN110453179B (zh) | 2019-07-24 | 2019-07-24 | 一种蒸发源挡板 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN110453179A true CN110453179A (zh) | 2019-11-15 |
| CN110453179B CN110453179B (zh) | 2024-04-16 |
Family
ID=68483327
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201910673869.5A Active CN110453179B (zh) | 2019-07-24 | 2019-07-24 | 一种蒸发源挡板 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN110453179B (zh) |
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|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |