CN110389295B - 一种基于vba语言的电性数据处理方法及存储介质 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种基于VBA语言的电性数据处理方法及存储介质，所述方法包括以下步骤：通过界面获取产品信息；根据产品信息中的数据路径载入产品的电性数据；判断载入的电性数据是否需要判断异常数据；若是，则进行数据异常判断，判断电性数据中的异常数据，并标出异常数据，将电性数据中的异常数据剔除后，进行计算得到电性数据的计算信息；若否，则直接对电性数据进行计算得到电性数据的计算信息；输出计算得到的电性数据的计算信息及根据电性数据绘制的图形，若电性数据中含有异常数据，则在绘制的图形中对应的位置标出异常数据。实现对电性数据中的异常数据的整理，同时节省人员数据处理的时间，实现直观地体现电性数据在产品位置上分布的关系。

Description

一种基于VBA语言的电性数据处理方法及存储介质

技术领域

本发明涉及电性数据分析技术领域，特别涉及一种基于VBA语言的电性数据处理方法及存储介质。

背景技术

当晶圆在完成所有制程工艺之后，需要对晶圆上各个测试结构进行电性测试获得电性数据，然后根据获得电性数据进行整理得到晶圆的数据报表，通常包含有晶圆各个项目的最大值、最小值、均值、标准差及良率等基本信息，而现有对于电性数据的整理主要是从工厂端制程数据统计系统中直接导出数据报表，而现有的制程数据统计系统无法提供异常数据判断的功能，及在数据处理过程中无法根据用户需求灵活更改规格值，同时无法直观体现制程特性数据在位置上的分布关系。

发明内容

为此，需要提供一种基于VBA语言的电性数据处理方法及存储介质，解决现有制程数据统计系统无法提供数据判断的功能。

为实现上述目的，发明人提供了一种基于VBA语言的电性数据处理方法，包括以下步骤：

通过界面获取产品信息，所述产品信息包括数据路径；

根据产品信息中的数据路径载入产品的电性数据；

判断载入的电性数据是否需要判断异常数据；

若是，则进行数据异常判断，判断电性数据中的异常数据，并标出异常数据，将电性数据中的异常数据剔除后，进行计算得到电性数据的计算信息；

若否，则直接对电性数据进行计算得到电性数据的计算信息；

输出计算得到的电性数据的计算信息及根据电性数据绘制的图形，若电性数据中含有异常数据，则在绘制的图形中对应的位置标出异常数据，所述计算信息包括最大值、最小值、均值、标准差及良率。

进一步优化，所述产品信息包括产品项目名称，所述“判断电性数据中的异常数据”具体包括以下步骤：

根据产品项目名称，将对应产品项目名称的电性数据逐一与规格信息进行比对，当电性数据超出规格信息的范围，则该电性数据为异常数据，所述规格信息包括上限值、下限值、项目单位及目标值。

进一步优化，所述“判断电性数据中的异常数据”具体包括以下步骤：

计算出电性数据中的最大值、最小值、平均值及标准差；

求出最大值与平均值的差值的绝对值及最小值与平均值的差值的绝对值确定离群标记值；

通过将离群标记值与平均值的差值的绝对值减去标准差，则得到离群标记值的残差值；

将得到的残差值与待查表中查表值进行比对，若残差值大于查表值，则该离群标记值为离群值；

将该离群值从电性数据中剔除，重新计算剔除该离群值后的电性数据中的离群值，直至计算得到电性数据中所有的离群值，所述离群值为异常数据。

进一步优化，所述产品信息包括置信度；

所述“将得到的残差值与待查表中查表值进行比对”具体包括：

将得到的残差值与置信度对应的待查表中的查表值进行比对。

进一步优化，所述“直至计算得到电性数据中所有的离群值”之后还包括以下步骤：

将计算得到的所有离群值从电性数据中剔除得到初步结果；

判断初步结果中最大值除以最小值的值是否在预设范围内；

若不在预设范围内，则将初步结果的最大值及最小值中与初步结果的平均值的绝对差值大的数据标记为离群值；

然后将离群值从初步结果中剔除，再次判断剔除离群值的初步结果中最大值除以最小值的值是否在预设范围内，直至初步结果中的所有数据都在预设范围内。

发明人还提供了另一个技术方案：一种存储介质，所述存储介质内存储有计算机程序，所述计算机程序被处理器运行时执行以下步骤：

通过界面获取产品信息，所述产品信息包括数据路径；

根据产品信息中的数据路径载入产品的电性数据；

判断载入的电性数据是否需要判断异常数据；

若是，则进行数据异常判断，判断电性数据中的异常数据，并标出异常数据，将电性数据中的异常数据剔除后，进行计算得到电性数据的计算信息；

若否，则直接对电性数据进行计算得到电性数据的计算信息；

输出计算得到的电性数据的计算信息及根据电性数据绘制的图形，若电性数据中含有异常数据，则在绘制的图形中对应的位置标出异常数据，所述计算信息包括最大值、最小值、均值、标准差及良率。

进一步优化，所述产品信息包括产品项目名称，所述处理器执行步骤“判断电性数据中的异常数据”时具体执行以下步骤：

根据产品项目名称，将对应产品项目名称的电性数据逐一与规格信息进行比对，当电性数据超出规格信息的范围，则该电性数据为异常数据，所述规格信息包括上限值、下限值、项目单位及目标值。

进一步优化，所述处理器执行步骤“判断电性数据中的异常数据”时具体执行以下步骤：

计算出电性数据中的最大值、最小值、平均值及标准差；

求出最大值与平均值的差值的绝对值及最小值与平均值的差值的绝对值确定离群标记值；

通过将离群标记值与平均值的差值的绝对值减去标准差，则得到离群标记值的残差值；

将得到的残差值与待查表中查表值进行比对，若残差值大于查表值，则该离群标记值为离群值；

将该离群值从电性数据中剔除，重新计算剔除该离群值后的电性数据中的离群值，直至计算得到电性数据中所有的离群值，所述离群值为异常数据。

进一步优化，所述产品信息包括置信度；

所述处理器执行步骤“将得到的残差值与待查表中查表值进行比对”具体执行：

将得到的残差值与置信度对应的待查表中的查表值进行比对。

进一步优化，所述处理器执行步骤“直至计算得到电性数据中所有的离群值”之后还执行以下步骤：

将计算得到的所有离群值从电性数据中剔除得到初步结果；

判断初步结果中最大值除以最小值的值是否在预设范围内；

若不在预设范围内，则将初步结果的最大值及最小值中与初步结果的平均值的绝对差值大的数据标记为离群值；

然后将离群值从初步结果中剔除，再次判断剔除离群值的初步结果中最大值除以最小值的值是否在预设范围内，直至初步结果中的所有数据都在预设范围内。

区别于现有技术，上述技术方案，通过界面获取用户输入的产品信息，其中产品信息包括数据路径，根据数据路径进行载入需要整理的电性数据，判断电性数据是否需要进行异常判断，当需要时，则对电性数据进行异常判断，得到电性数据中的异常数据，并标出异常数据，然后剔除电性数据中的异常数据后对电性数据进行计算整理得到数据报表，包括剔除异常数据的电性数据的最大值、最小值、均值及标准差等，完成数据整理，实现对电性数据中的异常数据的整理，同时节省人员数据处理的时间，同时根据电性数据进行图形绘制，并在绘制的图形对应的位置上标出异常数据，可以实现直观地体现电性数据在产品位置上分布的关系。

附图说明

图1为具体实施方式所述基于VBA语言的电性数据处理方法的一种流程示意图；

图2为具体实施方式所述用户在电子表格的指定位置输入的规格信息的一种示意图；

图3为具体实施方式所述项目A的原始电性数据的一种示意图；

图4为具体实施方式所述将原始电性数据中异常数据进行标出的一种示意图；

图5为具体实施方式所述数据报表的一种示意图；

图6为具体实施方式所述将判断为离群值在原始电性数据中标记出来的一种示意图；

图7为具体实施方式所述数据报表的另一种示意图；

如图8为具体实施方式所述置信度为90％时所对应的待查表的一种示意图；

图9为具体实施方式所述置信度为99％时所对应的待查表的一种示意图；

图10为具体实施方式所述置信度为99.5％时所对应的待查表的一种示意图；

图11为具体实施方式所述离群程度判断的一种流程示意图；

图12为具体实施方式所述基于VBA语言的电性数据处理方法的另一种流程示意图。图13为具体实施方式所述存储介质的一种结构示意图。

附图标记说明：

210、存储介质。

具体实施方式

为详细说明技术方案的技术内容、构造特征、所实现目的及效果，以下结合具体实施例并配合附图详予说明。

请参阅图1，本实施例提供一种基于VBA语言的电性数据处理方法，包括以下步骤：

步骤S110：通过界面获取产品信息，所述产品信息包括数据路径；用户可以在界面上输入产品的相关产品信息，产品信息包括有产品类型、数据路径、项目处理类型等信息，然后用户可以在界面上选择对电性数据处理的程序，如是否需要对电性数据进行异常判断，如对电性数据异常判断的方式，选择对电性数据进行规格判断还是离群判断。

步骤S120：根据产品信息中的数据路径载入产品的电性数据；当用户选择开始对电性数据进行整理后，根据用户输入的产品信息中的数据路径载入产品的电性数据，如产品的各个结构的电容值、电阻值等电性数据。

步骤S130：判断载入的电性数据是否需要判断异常数据；当载入电性数据后，判断是否需要对电性数据进行判断电性数据中是否有异常数据，其中判断的标准可以为用户之前在界面的选择进行判断。

若是，则进行数据异常判断，执行步骤S140：判断电性数据中的异常数据，并标出异常数据，将电性数据中的异常数据剔除后，进行计算得到电性数据的计算信息；当需要对电性数据进行判断时，对电性数据进行判断是否含有异常数据，当含有异常数据时，标出电性数据中的异常数据，并将异常数据从电性数据中剔除后，对剔除异常数据的电性数据进行计算得到计算信息，完成对电性数据的整理。

若否，则执行步骤S150：直接对电性数据进行计算得到电性数据的计算信息；而无需对电性数据进行异常判断，则直接对电性数据进行计算得到电性数据的计算信息，完成对电性数据的整理。

步骤S160：输出计算得到的电性数据的计算信息及根据电性数据绘制的图形，若电性数据中含有异常数据，则在绘制的图形中对应的位置标出异常数据，所述计算信息包括最大值、最小值、均值、标准差及良率。

实现根据用户需求进行对电性数据中的异常数据进行判断，同时用户可以根据需求在提供的界面上输入产品信息及规格信息，其中为了可以直观体现制程特征数据在位置上的分布，可以根据电性数据进行图形绘制并该图形，其中若电性数据中含有异常数据，则在绘制的图形中对应的位置标出该异常数据，可以直观体现电性数据在产品位置上分布关系。而且基于VBA语言，可以实现界面友好、功能灵活、可以根据用户需求而进行精准处理电性数据。而基于VBA语言，界面卡顿现象容易使用户造成系统瘫痪的错觉，在数据处理的过程中，可以根据数据处理的进度进行实时显示，达到实时告知用户数据处理进度的目的。

其中，当电性数据处于规格界定的情况下，可以对电性数据进行规格判断，所述产品信息包括产品项目名称，规格判断具体包括以下步骤：根据产品项目名称，将对应产品项目名称的电性数据逐一与规格信息进行比对，当电性数据超出规格信息的范围，则该电性数据为异常数据，所述规格信息包括上限值、下限值、项目单位及目标值。其中，用户在指定的位置上输入各项目的规格信息，如在电子表格的指定位置进行输入规格信息，同时用户可以根据处理的不同项目及不同数值对规格信心进行更改，当对电性数据进行规格判断时，将对应产品项目名称的电性数据逐一与规格信息进行比对，当电性数据超过规格信息时，即不在上限值及下限值之内时，则对应的数据为异常数据，对该异常数据进行标出。

为了具体说明对电性数据进行规格判断，如图2所示的用户在电子表格的指定位置输入的规格信息，其中USL为上限值，LSL为下限值，Unit为项目单位，Target为目标值，Item1为项目名称，如图3所示的项目A的原始电性数据，对项目A的原始电性数据进行规格判断，根据项目A所对应的规格信息对项目A的原始电性数据进行逐一比对，若超出规格信息的范围，则进行标记，如图4所示将原始电性数据中异常数据进行标出，然后将异常数据从原始电性数据中剔除后进行整理得到图5所示的数据报表，其中，02-Max为最大值、02-Min为最小值、02-Ave为均值、02-Stdev为标准差、Yield为良率。

而当产品处于开发阶段而暂无规格界定的情况下，需要对产品的电性数据进行异常数据剔除时，对电性数据进行离群程度判断，其中离群程度判断包括以下步骤：

计算出电性数据中的最大值、最小值、平均值及标准差；

求出最大值与平均值的差值的绝对值及最小值与平均值的差值的绝对值确定离群标记值；

通过将离群标记值与平均值的差值的绝对值减去标准差，则得到离群标记值的残差值；

将得到的残差值与待查表中查表值进行比对，若残差值大于查表值，则该离群标记值为离群值；

将该离群值从电性数据中剔除，重新计算剔除该离群值后的电性数据中的离群值，直至计算得到电性数据中所有的离群值，所述离群值为异常数据。

为了对离群程度判断进行说明，对图3所示的原始电性数据进行离群程度判断，首先，计算出当前原始电性数据中的最大值、最小值、均值及标准差，然后找出最大值和最小值中最偏离平均值的值，则该值存在离群的可能性在当前原始电性数据的所有数值中为最大，通过计算最大值减去平均值的差值的绝对值和最小值减去平均值的差值的绝对值，根据计算得到差值的绝对值的大小进行判断哪个值离群可能性最大，与差值的绝对值越大，则离群的可能性越大，将与平均值的差值的绝对值大的那个值确定为离群标记值，即若最小值与平均值的差值的绝对值大于最大值与平均值的差值的绝对值，则确定最小值为离群标记值，然后将离群标记值与平均值的差值的绝对值减去当前原始电性数据的标准差，得到该离群标记值的残差值，然后将残差值通过与待查表中的查表值进行比较，若当前离群标记值的残差值大于查表值，则说明该离群标记值存在较大的误差，则将该离群标记值标记为离群值，即异常数据，若当前离群标记值的残差值小于查表值，则说明该离群标记值不存在较大的误差，则认为该数据的合理性，当确定该离群标记值为离群值时，则将该离群标记值从原始电性数据中剔除，更新原始电性数据，然后重新计算剔除离群值的原始电性数据的最大值、最小值、平均值及标准差，重新判断新的数据中是否存在离群值，直至数据中没有离群值，即当计算到离群标记值小于查表值时，则表明该数据中数据为合理数值，不存在较大误差，则结束离群程度判断，如图6所示，将判断为离群值在原始电性数据中标记出来，然后将离群值剔除的原始电性数据进行整理输出如图7所示的数据报表。

本实施例中，为了根据用户的不同需要，实现对异常数据不同严格程度的判断，所述产品信息包括置信度；所述“将得到的残差值与待查表中查表值进行比对”具体包括：

将得到的残差值与置信度对应的待查表中的查表值进行比对。

用户在界面输入产品信息时，同时可以输入置信度，不同置信对应不同的待查表，如图8所示置信度为90％时所对应的待查表，图9所示的置信度为99％时所对应的待查表，图10所示的置信度为99.5％时所对应的待查表，其中残差比较值为查表值；根据产品信息中的置信度选择相应的待查表；当计算得到离群标记值的残差值后，进行将残差值与查表值进行比对，可以根据不同的用户选择不同的置信度选择不同的待查表，从而可以实现对异常数据的不同严格程度的判断。

具体的请参阅图11，当需要对电性数据进行离群程度判断时，首先根据用户在界面中输入产品信息中的置信度，进行判断置信度选择，如置信度包括95％、99％及99.5％，判断用户选择其中的哪一个置信度，其中置信度可以包括其他选择，然后根据用户所选择的置信度进行选择相应的待查表，进行确定对离群标记值的残差值进行比对的待查表，确定待查表后，计算出当前电性数据的最大值及最小值中的离群标记值所对应的残差值，然后将计算出的离群标记值的残差值与待查表中的查表值进行比对，若大于查表值，则标记当前的离群标记值为异常数据，然后将异常数据从相应的电性数据中剔除，然后重新进行对当前的电性数据中的最大值和最小值中的离群标记值所对应的残差值，再次与待查表中的查表值进行对比，直至离群标记值所对应的残差值小于待查表中的查表值，则确定当前电性数据中没有异常数据，则完成电性数据中的异常数据的标记及剔除。

在本实施例中，由于鉴于根据离群程度判断有不同严格程度的异常数据判断可能存在误判的问题，则需要对剔除离群值后的原始电性数据进行数据合理判断，所述“直至计算得到电性数据中所有的离群值”之后还包括以下步骤：

将计算得到的所有离群值从电性数据中剔除得到初步结果；

判断初步结果中最大值除以最小值的值是否在预设范围内；

若不在预设范围内，则将初步结果的最大值及最小值中与初步结果的平均值的绝对差值大的数据标记为离群值；

然后将离群值从初步结果中剔除，再次判断剔除离群值的初步结果中最大值除以最小值的值是否在预设范围内，直至初步结果中的所有数据都在预设范围内。

当原始电性数据经过离群程度判断后，剔除离群值，对剔除离群值的原始电性数据进行数据合理性判断，将根据离群程度判断得到的离群值从原始电性数据中剔除后得到初步结果，即剔除掉异常数据的电性数据，然后判断初步结果中的最大值除以最小值的商值是否在预设范围内，其中预设范围可以为用户根据其需要进行设置，而当计算得到的商值不在预设范围内，则计算初步结果的最大值与平均值的差值的绝对值及最小值与平均值的差值的绝对值，判断初步结果的最大值及最小值中与初步结果的平均值的绝对差值的大小，当最大值与平均值的差值的绝对值大于最小值与平均值的差值的绝对值，则将初步结果的最大值为离群值，则将离群值从初步结果中剔除，然后重复判断剔除离群值的初步结构的最大值和最小值的商值是否在预设范围内，直至初步结构中的所有数据都在预设范围内，即直至初步结果的数据分布符合用户的要求，减少由于不同严格程度判断异常数据造成误判的可能性。

其中，用户也可以通过手动进行对异常数据进行纠正，用户可以其判断可以将标记为异常数据的数值进行反标识，将原本需要被踢出的异常数据重新界定为正常数据，进而参加后续电性数据的计算和整理。

请参阅图12，通过界面获取用户输入的产品信息，其中产品信息包括产品类型、数据路径、项目处理类型及置信度等信息，同时获取用户在界面上选择数据异常判断的方式，及是否需要对电性数据进行异常判断；当获取到用户输入的产品信息后，根据产品信息中的数据路径，进行电性数据载入，电性数据载入后，判断是否需要进行数据异常判断，如不需要则直接对电性数据进行整理后输出最终结果，及根据电性数据进行绘制图形；若需要对电性数据进行数据异常判断，则根据用户的选择进行选择异常数据判断方式，若需要进行规格判断时，则对电性数据进行规格判断，然后标出异常数据，生成初步结果，若需要对电性数据进行离群程度判断，则对电性数据进行离群程度判断，标出异常数据，然后生成初步结果；生成初步结果后，对初步结果进行数据合理判断，判断初步结果中的数据是否合理，若合理则对初步结果进行整理后，输出最终结果，根据电性数据进行绘制图形；若判断不合理，则确定初步结果中的不合理数据，将初步结果中的不合理数据标记为异常数据，然后将该不合理数据中初步结果中剔除，然后重新对初步结果进行数据合理判断，直至初步结果中的数据合理，当初步结果中的数据合理后，对合理的初步结果进行整理后，输出最终结果，并进行对标记有异常数据的电性数据进行绘制图形。其中最终结果包括当前电性数据中的最大值、最小值、均值、标准差及良率等。其中，在输出最终结果之前，用户可以根据其自身的判断对标记为异常数据进行手动纠正，即若用户认为标记异常数据的数据合理，则将异常数据进行反标记，使得异常数据参与到数据整理中，然后输出最终结果及根据电性数据进行绘制图形。

上述提到对异常数据的剔除表示标记为异常数据的数据不再参与到后期对电性数据的计算。

请参阅图13，在另一个实施例中，一种存储介质210，所述存储介质210内存储有计算机程序，所述计算机程序被处理器运行时执行以下步骤：

通过界面获取产品信息，所述产品信息包括数据路径；用户可以在界面上输入产品的相关产品信息，产品信息包括有产品类型、数据路径、项目处理类型等信息，然后用户可以在界面上选择对电性数据处理的程序，如是否需要对电性数据进行异常判断，如对电性数据异常判断的方式，选择对电性数据进行规格判断还是离群判断。

根据产品信息中的数据路径载入产品的电性数据；当用户选择开始对电性数据进行整理后，根据用户输入的产品信息中的数据路径载入产品的电性数据，如产品的各个结构的电容值、电阻值等电性数据。

判断载入的电性数据是否需要判断异常数据；当载入电性数据后，判断是否需要对电性数据进行判断电性数据中是否有异常数据，其中判断的标准可以为用户之前在界面的选择进行判断。

若是，则进行数据异常判断，判断电性数据中的异常数据，并标出异常数据，将电性数据中的异常数据剔除后，进行计算得到电性数据的计算信息；当需要对电性数据进行判断时，对电性数据进行判断是否含有异常数据，当含有异常数据时，标出电性数据中的异常数据，并将异常数据从电性数据中剔除后，对剔除异常数据的电性数据进行计算得到计算信息，完成对电性数据的整理。

若否，则直接对电性数据进行计算得到电性数据的计算信息；而无需对电性数据进行异常判断，则直接对电性数据进行计算得到电性数据的计算信息，完成对电性数据的整理。

输出计算得到的电性数据的计算信息及根据电性数据绘制的图形，若电性数据中含有异常数据，则在绘制的图形中对应的位置标出异常数据，所述计算信息包括最大值、最小值、均值、标准差及良率。

实现根据用户需求进行对电性数据中的异常数据进行判断，同时用户可以根据需求在提供的界面上输入产品信息及规格信息，其中为了可以直观体现制程特征数据在位置上的分布，可以根据电性数据进行图形绘制并该图形，其中若电性数据中含有异常数据，则在绘制的图形中对应的位置标出该异常数据，可以直观体现电性数据在产品位置上分布关系。而且基于VBA语言，可以实现界面友好、功能灵活、可以根据用户需求而进行精准处理电性数据。而基于VBA语言，界面卡顿现象容易使用户造成系统瘫痪的错觉，在数据处理的过程中，可以根据数据处理的进度进行实时显示，达到实时告知用户数据处理进度的目的。

其中，当电性数据处于规格界定的情况下，可以对电性数据进行规格判断，所述产品信息包括产品项目名称，所述处理器执行步骤“判断电性数据中的异常数据”时具体执行以下步骤：

根据产品项目名称，将对应产品项目名称的电性数据逐一与规格信息进行比对，当电性数据超出规格信息的范围，则该电性数据为异常数据，所述规格信息包括上限值、下限值、项目单位及目标值。其中，用户在指定的位置上输入各项目的规格信息，如在电子表格的指定位置进行输入规格信息，同时用户可以根据处理的不同项目及不同数值对规格信心进行更改，当对电性数据进行规格判断时，将对应产品项目名称的电性数据逐一与规格信息进行比对，当电性数据超过规格信息时，即不在上限值及下限值之内时，则对应的数据为异常数据，对该异常数据进行标出。

为了具体说明对电性数据进行规格判断，如图2所示的用户在电子表格的指定位置输入的规格信息，其中USL为上限值，LSL为下限值，Unit为项目单位，Target为目标值，Item1为项目名称，如图3所示的项目A的原始电性数据，对项目A的原始电性数据进行规格判断，根据项目A所对应的规格信息对项目A的原始电性数据进行逐一比对，若超出规格信息的范围，则进行标记，如图4所示将原始电性数据中异常数据进行标出，然后将异常数据从原始电性数据中剔除后进行整理得到图5所示的数据报表，其中，02-Max为最大值、02-Min为最小值、02-Ave为均值、02-Stdev为标准差、Yield为良率。

而当产品处于开发阶段而暂无规格界定的情况下，需要对产品的电性数据进行异常数据剔除时，对电性数据进行离群程度判断，所述处理器执行步骤“判断电性数据中的异常数据”时具体执行以下步骤：

计算出电性数据中的最大值、最小值、平均值及标准差；

求出最大值与平均值的差值的绝对值及最小值与平均值的差值的绝对值确定离群标记值；

通过将离群标记值与平均值的差值的绝对值减去标准差，则得到离群标记值的残差值；

将得到的残差值与待查表中查表值进行比对，若残差值大于查表值，则该离群标记值为离群值；

将该离群值从电性数据中剔除，重新计算剔除该离群值后的电性数据中的离群值，直至计算得到电性数据中所有的离群值，所述离群值为异常数据。

为了对离群程度判断进行说明，对图3所示的原始电性数据进行离群程度判断，首先，计算出当前原始电性数据中的最大值、最小值、均值及标准差，然后找出最大值和最小值中最偏离平均值的值，则该值存在离群的可能性在当前原始电性数据的所有数值中为最大，通过计算最大值减去平均值的差值的绝对值和最小值减去平均值的差值的绝对值，根据计算得到差值的绝对值的大小进行判断哪个值离群可能性最大，与差值的绝对值越大，则离群的可能性越大，将与平均值的差值的绝对值大的那个值确定为离群标记值，即若最小值与平均值的差值的绝对值大于最大值与平均值的差值的绝对值，则确定最小值为离群标记值，然后将离群标记值与平均值的差值的绝对值减去当前原始电性数据的标准差，得到该离群标记值的残差值，然后将残差值通过与待查表中的查表值进行比较，若当前离群标记值的残差值大于查表值，则说明该离群标记值存在较大的误差，则将该离群标记值标记为离群值，即异常数据，若当前离群标记值的残差值小于查表值，则说明该离群标记值不存在较大的误差，则认为该数据的合理性，当确定该离群标记值为离群值时，则将该离群标记值从原始电性数据中剔除，更新原始电性数据，然后重新计算剔除离群值的原始电性数据的最大值、最小值、平均值及标准差，重新判断新的数据中是否存在离群值，直至数据中没有离群值，即当计算到离群标记值小于查表值时，则表明该数据中数据为合理数值，不存在较大误差，则结束离群程度判断，如图6所示，将判断为离群值在原始电性数据中标记出来，然后将离群值剔除的原始电性数据进行整理输出如图7所示的数据报表。

本实施例中，为了根据用户的不同需要，实现对异常数据不同严格程度的判断，所述产品信息包括置信度；所述处理器执行步骤“将得到的残差值与待查表中查表值进行比对”具体执行：

将得到的残差值与置信度对应的待查表中的查表值进行比对。

用户在界面输入产品信息时，同时可以输入置信度，不同置信对应不同的待查表，如图8所示置信度为90％时所对应的待查表，图9所示的置信度为99％时所对应的待查表，图10所示的置信度为99.5％时所对应的待查表；当计算得到离群标记值的残差值后，根据产品信息中的置信度选择相应的待查表进行将残差值与查表值进行比对，可以根据不同的用户选择不同的置信度选择不同的待查表，从而可以实现对异常数据的不同严格程度的判断。

在本实施例中，由于鉴于根据离群程度判断有不同严格程度的异常数据判断可能存在误判的问题，则需要对剔除离群值后的原始电性数据进行数据合理判断，所述处理器执行步骤“直至计算得到电性数据中所有的离群值”之后还执行以下步骤：

将计算得到的所有离群值从电性数据中剔除得到初步结果；

判断初步结果中最大值除以最小值的值是否在预设范围内；

若不在预设范围内，则将初步结果的最大值及最小值中与初步结果的平均值的绝对差值大的数据标记为离群值；

然后将离群值从初步结果中剔除，再次判断剔除离群值的初步结果中最大值除以最小值的值是否在预设范围内，直至初步结果中的所有数据都在预设范围内。

当原始电性数据经过离群程度判断后，剔除离群值，对剔除离群值的原始电性数据进行数据合理性判断，将根据离群程度判断得到的离群值从原始电性数据中剔除后得到初步结果，即剔除掉异常数据的电性数据，然后判断初步结果中的最大值除以最小值的商值是否在预设范围内，其中预设范围可以为用户根据其需要进行设置，而当计算得到的商值不在预设范围内，则计算初步结果的最大值与平均值的差值的绝对值及最小值与平均值的差值的绝对值，判断初步结果的最大值及最小值中与初步结果的平均值的绝对差值的大小，当最大值与平均值的差值的绝对值大于最小值与平均值的差值的绝对值，则将初步结果的最大值为离群值，则将离群值从初步结果中剔除，然后重复判断剔除离群值的初步结构的最大值和最小值的商值是否在预设范围内，直至初步结构中的所有数据都在预设范围内，即直至初步结果的数据分布符合用户的要求，减少由于不同严格程度判断异常数据造成误判的可能性。

其中，用户也可以通过手动进行对异常数据进行纠正，用户可以其判断可以将标记为异常数据的数值进行反标识，将原本需要被踢出的异常数据重新界定为正常数据，进而参加后续电性数据的计算和整理。

需要说明的是，尽管在本文中已经对上述各实施例进行了描述，但并非因此限制本发明的专利保护范围。因此，基于本发明的创新理念，对本文所述实施例进行的变更和修改，或利用本发明说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，直接或间接地将以上技术方案运用在其他相关的技术领域，均包括在本发明的专利保护范围之内。

Claims (10)

1.一种基于VBA语言的电性数据处理方法，其特征在于，包括以下步骤：

通过界面获取产品信息，所述产品信息包括数据路径，所述产品为晶圆；

根据产品信息中的数据路径载入产品的电性数据；

判断载入的电性数据是否需要判断异常数据；

若是，则进行数据异常判断，判断电性数据中的异常数据，并标出异常数据，将电性数据中的异常数据剔除后，进行计算得到电性数据的计算信息；

若否，则直接对电性数据进行计算得到电性数据的计算信息；

输出计算得到的电性数据的计算信息及根据电性数据绘制的图形，若电性数据中含有异常数据，则在绘制的图形中与产品位置对应的位置标出异常数据，所述计算信息包括最大值、最小值、均值、标准差及良率。

2.根据权利要求1所述基于VBA语言的电性数据处理方法，其特征在于，所述产品信息包括产品项目名称，所述“判断电性数据中的异常数据”具体包括以下步骤：

根据产品项目名称，将对应产品项目名称的电性数据逐一与规格信息进行比对，当电性数据超出规格信息的范围，则该电性数据为异常数据，所述规格信息包括上限值、下限值、项目单位及目标值。

3.根据权利要求1所述基于VBA语言的电性数据处理方法，其特征在于，所述“判断电性数据中的异常数据”具体包括以下步骤：

计算出电性数据中的最大值、最小值、平均值及标准差；

求出最大值与平均值的差值的绝对值及最小值与平均值的差值的绝对值确定离群标记值；

通过将离群标记值与平均值的差值的绝对值减去标准差，则得到离群标记值的残差值；

将得到的残差值与待查表中查表值进行比对，若残差值大于查表值，则该离群标记值为离群值；

将该离群值从电性数据中剔除，重新计算剔除该离群值后的电性数据中的离群值，直至计算得到电性数据中所有的离群值，所述离群值为异常数据。

4.根据权利要求3所述基于VBA语言的电性数据处理方法，其特征在于，所述产品信息包括置信度；

所述“将得到的残差值与待查表中查表值进行比对”具体包括：

将得到的残差值与置信度对应的待查表中的查表值进行比对。

5.根据权利要求4所述基于VBA语言的电性数据处理方法，其特征在于，所述“直至计算得到电性数据中所有的离群值”之后还包括以下步骤：

将计算得到的所有离群值从电性数据中剔除得到初步结果；

判断初步结果中最大值除以最小值的值是否在预设范围内；

若不在预设范围内，则将初步结果的最大值及最小值中与初步结果的平均值的绝对差值大的数据标记为离群值；

然后将离群值从初步结果中剔除，再次判断剔除离群值的初步结果中最大值除以最小值的值是否在预设范围内，直至初步结果中的所有数据都在预设范围内。

6.一种存储介质，所述存储介质内存储有计算机程序，其特征在于，所述计算机程序被处理器运行时执行以下步骤：

通过界面获取产品信息，所述产品信息包括数据路径，所述产品为晶圆；

根据产品信息中的数据路径载入产品的电性数据；

判断载入的电性数据是否需要判断异常数据；

若是，则进行数据异常判断，判断电性数据中的异常数据，并标出异常数据，将电性数据中的异常数据剔除后，进行计算得到电性数据的计算信息；

若否，则直接对电性数据进行计算得到电性数据的计算信息；

输出计算得到的电性数据的计算信息及根据电性数据绘制的图形，若电性数据中含有异常数据，则在绘制的图形中与产品位置对应的位置标出异常数据，所述计算信息包括最大值、最小值、均值、标准差及良率。

7.根据权利要求6所述存储介质，其特征在于，所述产品信息包括产品项目名称，所述处理器执行步骤“判断电性数据中的异常数据”时具体执行以下步骤：

根据产品项目名称，将对应产品项目名称的电性数据逐一与规格信息进行比对，当电性数据超出规格信息的范围，则该电性数据为异常数据，所述规格信息包括上限值、下限值、项目单位及目标值。

8.根据权利要求6所述存储介质，其特征在于，所述处理器执行步骤“判断电性数据中的异常数据”时具体执行以下步骤：

计算出电性数据中的最大值、最小值、平均值及标准差；

求出最大值与平均值的差值的绝对值及最小值与平均值的差值的绝对值确定离群标记值；

通过将离群标记值与平均值的差值的绝对值减去标准差，则得到离群标记值的残差值；

将得到的残差值与待查表中查表值进行比对，若残差值大于查表值，则该离群标记值为离群值；

将该离群值从电性数据中剔除，重新计算剔除该离群值后的电性数据中的离群值，直至计算得到电性数据中所有的离群值，所述离群值为异常数据。

9.根据权利要求8所述存储介质，其特征在于，所述产品信息包括置信度；

所述处理器执行步骤“将得到的残差值与待查表中查表值进行比对”具体执行：

将得到的残差值与置信度对应的待查表中的查表值进行比对。

10.根据权利要求9所述存储介质，其特征在于，所述处理器执行步骤“直至计算得到电性数据中所有的离群值”之后还执行以下步骤：

将计算得到的所有离群值从电性数据中剔除得到初步结果；

判断初步结果中最大值除以最小值的值是否在预设范围内；

若不在预设范围内，则将初步结果的最大值及最小值中与初步结果的平均值的绝对差值大的数据标记为离群值；

然后将离群值从初步结果中剔除，再次判断剔除离群值的初步结果中最大值除以最小值的值是否在预设范围内，直至初步结果中的所有数据都在预设范围内。

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