CN110361613A - 一种测试静电泄放防护器件脉冲曲线的装置和方法 - Google Patents

Abstract

一种测试静电泄放防护器件脉冲曲线的装置和方法，包括脉冲发生器、衰减器、第一传输线、示波器衰减器、示波器和测试模块，脉冲发生器在每次测试时产生不同幅值的电压阶梯波；脉冲发生器产生的电压阶梯波经过衰减器和第一传输线后灌入被测静电泄放防护器件的阳极；示波器衰减器抓取被测静电泄放防护器件阳极的节电压和电流并传输到示波器，由示波器显示出被测静电泄放防护器件阳极的节电压和电流波形；测试模块在每次测试时选取示波器显示波形中的至少两个阶梯段，并计算每个阶梯段的平均电流电压值，根据每次测试得到的平均电流电压值最高的阶梯段得到静电泄放防护器件的脉冲开启曲线，根据剩余阶梯段得到静电泄放防护器件的脉冲关断曲线。

Description

一种测试静电泄放防护器件脉冲曲线的装置和方法

技术领域

本发明属于电子科学与技术领域，主要用于静电泄放(Electro StaticDischarge，简称为ESD)防护技术、测试技术。涉及一种测试静电泄放防护器件脉冲曲线的装置和方法。

背景技术

静电泄放ESD器件/电路的设计在集成电路(IC)设计中是非常重要的一环，而ESD防护器件则是防止芯片被外界ESD脉冲/浪涌损坏的重要保护器件。ESD器件/电路工作在瞬态，通常伴随有一次/多次回扫snapback现象。为了保证ESD器件/电路不变成闩锁电路，ESD器件的各项设计指标必须满足被保护电路的设计窗口。对于电源到地的保护(powerclamp)或I/O口的保护，ESD器件的维持电压(Vh)通常被要求大于电源电压VDD。然而，为了实现更强的ESD性能，很多的I/O口ESD防护不需要高的Vh。取而代之的是一种利用双回扫(double-snapback device)从而产生高维持电流Ih的器件，该器件不仅能够在更小的器件面积下实现更好的ESD性能，而且能够防止闩锁效应LU发生。

现有技术中在测试ESD器件脉冲特性的时候，都是用的传输线脉冲TLP。对于ESD器件中的某一个参数的测量时，传输线脉冲的测试有时候是可信的，但有时候是不可信的，而产生这个原因的机理目前也没有被发现，因此也没有人提出过替换传输线脉冲TLP的做法。而且，在判断双回扫器件double-snapback device的闩锁效应LU性能时，传输线脉冲TLP测试方法暴露出一个重大的缺陷。递增的TLP方波测试实际上是测试器件的脉冲开启曲线(turn-on curve)，在对于简单的无回扫器件时，TLP测试值一般能够满足需求，然而在double-snapback device的测试中，由于双回扫产生机理的复杂性，过分依赖TLP测试出的曲线将可能误导人们对LU的设计，从而造成不可估量的损失。根据研究发现，LU的发生实际上与脉冲开启曲线turn-on curve无关，而是跟脉冲关断曲线turn-off curve息息相关，虽然直流测试可以扫描器件的关断turn-off特性，但由于ESD器件在ESD应力下的关断是瞬态的，器件没有足够时间无法建立热平衡，因此直流扫描的turn-off曲线不具备参考性。而目前还没有能够测试ESD瞬态关断曲线的设备或方法。

发明内容

针对现有测试方法无法测试出静电泄放ESD防护器件关断曲线的不足之处，本发明提出一种测试静电泄放防护器件脉冲曲线的装置和方法，利用阶梯脉冲代替传统的传输线脉冲(TLP)，采用双/多阶梯取值法，能够得到ESD防护器件的脉冲开启turn-on曲线和脉冲关断turn-off曲线，实现全面的ESD防护器件特性测试；同时还给出了三种可行的阶梯脉冲产生器的架构。相比于传统TLP测试法，本发明提出的装置和方法对于判断复杂ESD防护器件/电路的闩锁效应(LU)具有更高的可信度。

本发明的技术方案为：

一种测试静电泄放防护器件脉冲曲线的装置，包括脉冲发生器、衰减器、第一传输线、示波器衰减器、示波器和测试模块，

所述脉冲发生器用于在每次测试时产生不同幅值的电压阶梯波；

所述脉冲发生器产生的电压阶梯波经过所述衰减器和第一传输线后灌入被测静电泄放防护器件的阳极；

所述示波器衰减器用于抓取所述被测静电泄放防护器件阳极的节电压和电流并传输到所述示波器，由所述示波器显示出所述被测静电泄放防护器件阳极的节电压和电流波形；

所述测试模块在每次测试时选取所述示波器显示的波形中的至少两个阶梯段，并计算每个阶梯段的平均电流电压值；

所述测试模块根据每次测试得到的平均电流电压值最高的阶梯段得到所述静电泄放防护器件的脉冲开启曲线，根据剩余阶梯段得到所述静电泄放防护器件的脉冲关断曲线。

具体的，所述脉冲发生器包括第三传输线、第四传输线、第一电阻、第一高压电源、第二单刀双掷开关、第一电感、第二电感、第二电阻、第三电阻和第一电容，其中第三传输线和第四传输线长度相等；

第三传输线一端空载，另一端通过第一电感后连接第二单刀双掷开关的开关连接端；

第四传输线一端空载，另一端连接第二电感的一端；

第一电阻的一端连接第一高压电源，另一端连接第二单刀双掷开关的第一接触端；

第二电阻一端接地，另一端连接第二电感的另一端、第三电阻的一端和第二单刀双掷开关的第二接触端；

第一电容的一端接地，另一端连接第三电阻的另一端并作为所述脉冲发生器的输出端。

具体的，所述脉冲发生器包括第五传输线、第六传输线、第二高压电源、第三高压电源、第四电阻、第五电阻、第一双刀双掷开关、第二电容、输出二极管、续流二极管、回流二极管和第三电感，其中第五传输线和第六传输线长度相等；

第五传输线和第六传输线的一端空载，另一端分别连接第一双刀双掷开关的输入两端；

第四电阻和第五电阻的一端分别连接第二高压电源和第三高压电源，另一端分别连接第一双刀双掷开关第一输出的两端；

第一双刀双掷开关第二输出的两端中，一端连接第二电容的一端，另一端连接续流二极管的阳极；

输出二极管的阳极连接第二电容的另一端、续流二极管的阴极和回流二极管的阴极，其阴极连接回流二极管的阳极并作为所述脉冲发生器的输出端；

第三电感的两端分别连接续流二极管的阳极和阴极。

具体的，所述脉冲发生器包括第七传输线、第八传输线、第六电阻、第七电阻、第四高压电源、第五高压电源、第二双刀双掷开关、加法器和放大器，其中第八传输线的长度为第七传输线的一半；

第七传输线和第八传输线的一端空载，另一端分别连接第二双刀双掷开关的输入两端；

第六电阻和第七电阻的一端分别连接第四高压电源和第五高压电源，另一端分别连接第二双刀双掷开关第一输出的两端；

第二双刀双掷开关第二输出的两端分别连接加法器的两个输入端，加法器的输出端通过放大器后连接所述脉冲发生器的输出端。

具体的，所述测试静电泄放防护器件脉冲曲线的装置还包括源表、第二传输线和第一单刀双掷开关，

第一单刀双掷开关的开关连接端通过第二传输线后连接被测静电泄放防护器件的阳极，其第一接触端连接所述第一传输线，其第二接触端连接源表；

当所述第一单刀双掷开关的开关连接端接通第一接触端时将经过所述衰减器和第一传输线的电压阶梯波灌入被测静电泄放防护器件的阳极；

当所述第一单刀双掷开关的开关连接端接通第二接触端时由所述源表测试所述被测静电泄放防护器件的漏电流。

一种测试静电泄放防护器件脉冲曲线的方法，包括如下步骤：

步骤一、将电压阶梯波通过衰减器和传输线后灌入被测静电泄放防护器件的阳极；

步骤二、获得被测静电泄放防护器件阳极的节电压和电流波形；

步骤三、选取步骤二得到的被测静电泄放防护器件阳极的节电压和电流波形中的至少两个阶梯段，计算每个阶梯段的平均电流电压值，根据计算得到的每个阶梯段的平均电流电压值在横纵坐标分别为电压和电流的坐标系上绘制每个阶梯段对应的点；

步骤四、改变电压阶梯波的幅值并返回步骤一，重复步骤一至步骤四完成多次采集和绘制；

步骤五、选取每次采集得到的所有点中平均电流电压值最高的阶梯段对应的点并连线得到所述静电泄放防护器件的脉冲开启曲线，将剩余点连线得到所述静电泄放防护器件的脉冲关断曲线。

具体的，所述步骤三中选取两个阶梯段。

本发明的有益效果为：本发明利用阶梯脉冲代替传统的传输线脉冲(TLP)，同时采用双/多阶梯取值法，能够得到ESD防护器件的脉冲开启曲线和脉冲关断曲线，实现全面的ESD防护器件特性测试；相比于传统TLP测试法，本发明提出的装置和方法对于判断复杂ESD防护器件/电路的闩锁效应(LU)具有更高的可信度。

附图说明

图1为本发明提出的一种测试静电泄放防护器件脉冲曲线的装置的框图架构。

图2为脉冲发生器产生的阶梯波的阶梯脉冲波形示意图与所获得的电压电流响应示意图。

图3为采用本发明的一种测试静电泄放防护器件脉冲曲线的装置和方法测出的I-V曲线示意图。

图4(a)为实施例中提出的第1种双传输线脉冲发生器的电路原理图；图4(b)为本实施例中提出的第1种双传输线脉冲发生器的电路仿真结果。

图5为被测件与被保护电路的结构示意图。

图6为模拟TLP测试法对被测件的仿真结果。

图7为实施例中采用本发明的一种测试静电泄放防护器件脉冲曲线的装置和方法对被测件的仿真结果。

图8为闩锁效应LU仿真的常规电路。

图9为闩锁效应LU仿真结果。

图10为实施例中提出的第2种单传输线脉冲发生器的电路原理图。

图11为实施例中提出的第2种单传输线脉冲发生器的仿真波形。

图12为实施例中提出的第3种有源脉冲发生器的电路原理图。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例详细描述本发明的技术方案。

如图1所示是本发明提出的一种测试静电泄放防护器件脉冲曲线的装置的框图架构，包括脉冲发生器01、衰减器02、第一传输线03、示波器衰减器04、示波器08和测试模块，脉冲发生器01为电压阶梯波发生器，用于在每次测试时产生不同幅值的电压阶梯波；脉冲发生器01产生的电压阶梯波经过衰减器02和第一传输线03后灌入被测静电泄放防护器件07的阳极；示波器衰减器04用于抓取被测静电泄放防护器件07阳极的节电压和电流并传输到示波器08，由示波器08显示出被测静电泄放防护器件07阳极的节电压和电流波形；测试模块在每次测试时选取示波器08显示的波形中的至少两个阶梯段，并计算每个阶梯段的平均电流电压值；测试模块根据每次测试得到的平均电流电压值最高的阶梯段得到静电泄放防护器件的脉冲开启曲线，根据剩余阶梯段得到静电泄放防护器件的脉冲关断曲线。测试模块为配套的新型计算机，计算机控制软件通过信号线控制脉冲发生器01产生的电压阶梯波的脉冲阶梯幅值大小，示波器08通过信号线向计算机传输测试波形并通过软件进行计算。

一些实施例中，为了判断被测静电泄放防护器件是否损坏，还设置了源表09用于提取被测静电泄放防护器件07的漏电流进行检测，如图1所示，测试静电泄放防护器件脉冲曲线的装置还包括源表09、第二传输线06和第一单刀双掷开关05，第一单刀双掷开关05的开关连接端通过第二传输线06后连接被测静电泄放防护器件07的阳极，其第一接触端连接第一传输线03，其第二接触端连接源表09；当第一单刀双掷开关的开关连接端接通第一接触端时，电压阶梯波发生器即脉冲发生器01发出的电压阶梯波通过衰减器02和第一传输线03再通过与第一传输线03相连的第一单刀双掷开关05灌入被测器件的阳极07；当第一单刀双掷开关的开关连接端接通第二接触端时由源表09测试被测静电泄放防护器件07的漏电流。

在以上的测试流程中，阶梯波发生器即脉冲发生器01在每次测试时需要产生如图2上图所示形状的波形，图2中上图是测试波形，下图是对应的电流响应曲线，图2下图中包括上升沿001、第一阶维持时间002、第一阶梯下降沿003、第二阶维持时间004与下降沿005。与此同时，示波器08将测出电压阶梯波形，电压阶梯波形与以上的电流响应相对应，图2上图中的电压阶梯波形包括不稳定响应110、第一阶稳定响应111、转折区112、第二阶稳定响应113和下降沿114。本实施例中以选取两个阶梯段为例进行说明，配套的计算机软件系统应该分别计算第一阶维持时间002与第一阶稳定响应111各自的平均电流电压值，与第二阶维持时间004与第二阶稳定响应113各自的平均电流电压值，并绘制一个I-V点。在随后的测试中依次提升电压阶梯波发生器01中高压电源HV的电压并重复测试，将会得到大量不同幅值的如图2所示的电压-电流响应曲线，通过计算所有第一阶维持时间002与第一阶稳定响应111内的电压电流平均值，将会得到一条与TLP相同的脉冲开启turn-on曲线。通过计算所有第二维持时间004与第二阶稳定响应113内的电压电流平均值，将会得到另一条独立的脉冲关断turn-off曲线，如图3所示。图3中的空心圆表示第一阶维持时间002与第一阶稳定响应111内的电压电流平均值绘制的I-V点，实心圆表示第二维持时间004与第二阶稳定响应113内的电压电流平均值绘制的I-V点，空心圆连线形成脉冲开启曲线，实心圆连线形成脉冲关断曲线。可以看出，随着测试脉冲幅度的增加，每一次测试的第二阶响应会逐点测试该脉冲速度下的瞬态关断响应曲线。若电压阶梯波发生器01产生两段以上的阶梯脉冲，则只取前两阶的脉冲结果进行计算即可。一些实施例中也可以取多段脉冲结果，其中最高阶用于形成脉冲开启曲线，其余阶用于形成脉冲关断曲线。

脉冲发生器01产生的电压阶梯波要完成传统传输线脉冲测试的功能，需要满足高速高压脉冲、阶梯的高低可控和波形上升沿可控三个条件，若采用传统阶梯波脉冲发生器产生的低压慢度的阶梯波脉冲，虽然形状一样，但是无法达到ESD测试的要求。因此本发明还提出三种架构的脉冲发生器，用于产生高速高压脉冲、阶梯的高低可控和波形上升沿可控的电压阶梯波。

如图4(a)所示是本发明提出的第一种能够产生多阶阶梯波的脉冲发生器，包括第三传输线11、第四传输线20、第一电阻12、第一高压电源13、第二单刀双掷开关14、第一电感15、第二电感16、第二电阻17、第三电阻19和第一电容18，其中第三传输线11和第四传输线20长度相等；第三传输线11一端空载，另一端通过第一电感15后连接第二单刀双掷开关14的开关连接端c端；第四传输线20一端空载，另一端连接第二电感16的一端；第一电阻12的一端连接第一高压电源13，另一端连接第二单刀双掷开关14的第一接触端a端；第二电阻17一端接地，另一端连接第二电感16的另一端、第三电阻19的一端和第二单刀双掷开关14的第二接触端b端；第一电容18的一端接地，另一端连接第三电阻19的另一端并作为脉冲发生器的输出端。第二单刀双掷开关14的开关连接端即c端分别连接其第一接触端a端或第二接触端b端。

第一电阻12为充电电阻，第一电感15为上补偿电感，第二电感16为下补偿电感，第二电阻17为负载电阻，第三电阻19和第一电容18构成积分器。该电路通过双传输线的反射原理，可以产生非常规则的且可控制的阶梯波脉冲。上补偿电感15和下补偿电感16用于补偿由于误差导致的传输线失配，负载电阻17用于调整反射系数Γ，积分器用于调整脉冲的上升沿。本实施例提出的脉冲发生器的ADS软件仿真结果如图4b所示，此时第一高压电源13的电压以500V为例。根据传输线理论，该系统的第一阶电压V1满足V1＝(1-Γ)*HV，此后的第n阶电压V_n(n>1)均满足V_n＝(1-2Γ)V_n-1，其中Γ为反射系数，HV为电压阶梯脉冲发生器01中第一高压电源13的电压。

如图10所示是本发明提出的第二种脉冲发生器的实现结构，脉冲发生器产生阶梯波除了采用传输线反射原理外，还可以通过设计一个新型的电桥以延迟输出的方式进行。本实施例中脉冲发生器包括第五传输线26、第六传输线27、第二高压电源28、第三高压电源29、第四电阻30、第五电阻31、第一双刀双掷开关21、第二电容22、输出二极管23、续流二极管24、回流二极管25和第三电感216，其中第五传输线26和第六传输线27长度相等；第五传输线26和第六传输线27的一端空载，另一端分别连接第一双刀双掷开关21的输入两端；第四电阻30和第五电阻31的一端分别连接第二高压电源28和第三高压电源29，另一端分别连接第一双刀双掷开关21第一输出的两端；第一双刀双掷开关21第二输出的两端中，一端连接第二电容22的一端，另一端连接续流二极管24的阳极；输出二极管23的阳极连接第二电容22的另一端、续流二极管24的的阴极和回流二极管25的阴极，其阴极连接回流二极管25的阳极并作为脉冲发生器的输出端；第三电感216的两端分别连接续流二极管24的阳极和阴极。

用该电路取代图4(a)所示的第一种反射系统阶梯波产生器依旧可以产生很好的阶梯波形作为测试所需的波形，仿真结果如图11所示。相比于反射系统，该系统较为复杂，对电桥性能要求较高，但能够避免由于传输线误差所产生的高次谐波。

阶梯波产生器除了采用传输线反射原理以及延迟输出原理外，还可以通过有源的方式实现，如图12所示是本发明提出的第三种能够产生多阶阶梯波的脉冲发生器，包括第七传输线32、第八传输线33、第六电阻36、第七电阻37、第四高压电源34、第五高压电源35、第二双刀双掷开关38、加法器112和放大器113，其中第八传输线33的长度为第七传输线32的一半；第七传输线32和第八传输线33的一端空载，另一端分别连接第二双刀双掷开关38的输入两端；第六电阻36和第七电阻37的一端分别连接第四高压电源34和第五高压电源35，另一端分别连接第二双刀双掷开关38第一输出的两端；第二双刀双掷开关38第二输出的两端分别连接加法器112的两个输入端，加法器112的输出端通过放大器113后连接脉冲发生器的输出端。

加法器112由运算放大器构成，放大器113是后级放大电路。该电路应用时，为长传输线即第七传输线32充电的高压源加任意低电压，短传输线即第八传输线33加比上述电压源高的电压，由于长传输线输出的脉冲宽度大，经过衰减，加法运算，放大后，即可形成阶梯波脉冲。

下面对本发明的装置和方法进行验证和与传统TLP测试方法进行比较，以一种已报道的用于IO端口的高维持电流ESD保护电路为例，如图5所示，为一个常见的CMOS输出与输入电路，前级电路将高电平通过一个ESD被测件后输入到后级芯片中。对输出PMOS管与ESD被测件进行仿真可得到LU窗口(PMOS管负载线)与瞬态曲线。图6给出的是LU窗口与TLP曲线，根据以往的经验可知，由于TLP曲线与输出PMOS的负载线没有交点该器件不会发生LU。然后图7给出了采用本发明的阶梯波测试法的瞬态曲线和LU窗口。除了与TLP曲线一样的脉冲开启曲线turn-on curve以外，该测试法还可以探测出一条全新的脉冲关断曲线turn-on curve，如图7中的空心三角形点。由于这些新探测到的点有一部分落入了LU窗口，从而根据本发明提出的新的测试法，该器件被判定有闩锁风险。

根据上述结果，对于同一个ESD器件，TLP和阶梯波方法给出了完全不同的结果。因此需要采用一种标准的LU测试电路，如图8所示，根据该电路在ESD脉冲后的输出波形进行判断。图9给出了该驱动反相器与被测件在一个负输入信号下的输出波形。仿真中设定在500ns的时候一个脉冲信号对输出端口A点进行瞬态干扰，约在610ns时该干扰脉冲消失。根据时域波形，可以看出在500ns～600ns之间的时间段内，A点电压被钳位到大约3.1V。这个电压实际上就是图6中TLP曲线的维持电压Vhon。但在600ns脉冲开始消失的时候，该器件的电压会进一步降低到2.5V左右，之后就发生了LU效应，LU时的电压在2.5V。通过各节点的数据对比可以发现，该电路如本发明提出的新的测试方法预测的那样发生了闩锁，且闩锁发生的电压与电流点均和本发明提出的方法一致。由此可以得出结论，传统TLP测试方法并不能有效地评估准确的LU风险，仅仅对一些简单的器件有效。而本发明提出的阶梯波测试法可以很好的保留TLP测试曲线的同时探测出TLP方法无法探测的脉冲关断曲线turn-offcurve，从而对任何ESD器件/电路的LU问题进行更准确的判断。

综上，本发明提出了用于测试ESD防护器件脉冲关断曲线和脉冲开启曲线的方法及电路架构，并以仿真证明其可行性，整套测试方法从波形产生到测试结果的正确性得到了混合仿真、LU仿真以及ADS软件传输线仿真的支持。采用本发明提出的新测试方法，不仅能够保留传统TLP测试的脉冲开启turn-on曲线，而且能够测试脉冲关断turn-off曲线以提供更全面的信息判断闩锁效应。对所有ESD防护器件而言，本发明提出的测试方法和装置是普遍适用的。尤其对于判断ESD器件的闩锁效应，本方法比TLP测试法更为充分。此外，本发明采用的阶梯波具有快的上升沿(<10ns)，短的脉冲宽度(<100ns)，高的脉冲电压(>8000V)和可控的幅值。传统阶梯波产生器无法产生此规格的脉冲，本发明提出了三种可产生所需波形的电路原理结构，并给出了仿真结果，本发明提出的三种脉冲发生器都是利用了传输线的反射，都能产生高速高压、阶梯的高低可控、波形上升沿可控的阶梯波。另外传统的传输线测试一次只取一个点，本发明采用双段或多段取值，可以取任意选取两段或多段，最高的一段用于形成脉冲开启曲线，其余低段都用于形成脉冲关断曲线。

基于本发明采用的新型阶梯波或其变形的多段取值脉冲测试法，以及利用所提出产生电路以及其变形电路实现的方法应均在保护范围之内。

Claims (7)

1.一种测试静电泄放防护器件脉冲曲线的装置，包括脉冲发生器、衰减器、第一传输线、示波器衰减器、示波器和测试模块，

其特征在于，所述脉冲发生器用于在每次测试时产生不同幅值的电压阶梯波；

所述脉冲发生器产生的电压阶梯波经过所述衰减器和第一传输线后灌入被测静电泄放防护器件的阳极；

所述示波器衰减器用于抓取所述被测静电泄放防护器件阳极的节电压和电流并传输到所述示波器，由所述示波器显示出所述被测静电泄放防护器件阳极的节电压和电流波形；

所述测试模块在每次测试时选取所述示波器显示的波形中的至少两个阶梯段，并计算每个阶梯段的平均电流电压值；

所述测试模块根据每次测试得到的平均电流电压值最高的阶梯段得到所述静电泄放防护器件的脉冲开启曲线，并根据剩余阶梯段得到所述静电泄放防护器件的脉冲关断曲线。

2.根据权利要求1所述的测试静电泄放防护器件脉冲曲线的装置，其特征在于，所述脉冲发生器包括第三传输线、第四传输线、第一电阻、第一高压电源、第二单刀双掷开关、第一电感、第二电感、第二电阻、第三电阻和第一电容，其中第三传输线和第四传输线长度相等；

第三传输线一端空载，另一端通过第一电感后连接第二单刀双掷开关的开关连接端；

第四传输线一端空载，另一端连接第二电感的一端；

第一电阻的一端连接第一高压电源，另一端连接第二单刀双掷开关的第一接触端；

第二电阻一端接地，另一端连接第二电感的另一端、第三电阻的一端和第二单刀双掷开关的第二接触端；

第一电容的一端接地，另一端连接第三电阻的另一端并作为所述脉冲发生器的输出端。

3.根据权利要求1所述的测试静电泄放防护器件脉冲曲线的装置，其特征在于，所述脉冲发生器包括第五传输线、第六传输线、第二高压电源、第三高压电源、第四电阻、第五电阻、第一双刀双掷开关、第二电容、输出二极管、续流二极管、回流二极管和第三电感，其中第五传输线和第六传输线长度相等；

第五传输线和第六传输线的一端空载，另一端分别连接第一双刀双掷开关的输入两端；

第四电阻和第五电阻的一端分别连接第二高压电源和第三高压电源，另一端分别连接第一双刀双掷开关第一输出的两端；

第一双刀双掷开关第二输出的两端中，一端连接第二电容的一端，另一端连接续流二极管的阳极；

输出二极管的阳极连接第二电容的另一端、续流二极管的阴极和回流二极管的阴极，其阴极连接回流二极管的阳极并作为所述脉冲发生器的输出端；

第三电感的两端分别连接续流二极管的阳极和阴极。

4.根据权利要求1所述的测试静电泄放防护器件脉冲曲线的装置，其特征在于，所述脉冲发生器包括第七传输线、第八传输线、第六电阻、第七电阻、第四高压电源、第五高压电源、第二双刀双掷开关、加法器和放大器，其中第八传输线的长度为第七传输线的一半；

第七传输线和第八传输线的一端空载，另一端分别连接第二双刀双掷开关的输入两端；

第六电阻和第七电阻的一端分别连接第四高压电源和第五高压电源，另一端分别连接第二双刀双掷开关第一输出的两端；

第二双刀双掷开关第二输出的两端分别连接加法器的两个输入端，加法器的输出端通过放大器后连接所述脉冲发生器的输出端。

5.根据权利要求1至4任一项所述的测试静电泄放防护器件脉冲曲线的装置，其特征在于，所述测试静电泄放防护器件脉冲曲线的装置还包括源表、第二传输线和第一单刀双掷开关，

第一单刀双掷开关的开关连接端通过第二传输线后连接被测静电泄放防护器件的阳极，其第一接触端连接所述第一传输线，其第二接触端连接源表；

当所述第一单刀双掷开关的开关连接端接通第一接触端时将经过所述衰减器和第一传输线的电压阶梯波灌入被测静电泄放防护器件的阳极；

当所述第一单刀双掷开关的开关连接端接通第二接触端时由所述源表测试所述被测静电泄放防护器件的漏电流。

6.一种测试静电泄放防护器件脉冲曲线的方法，其特征在于，包括如下步骤：

步骤一、将电压阶梯波通过衰减器和传输线后灌入被测静电泄放防护器件的阳极；

步骤二、获得被测静电泄放防护器件阳极的节电压和电流波形；

步骤三、选取步骤二得到的被测静电泄放防护器件阳极的节电压和电流波形中的至少两个阶梯段，计算每个阶梯段的平均电流电压值，根据计算得到的每个阶梯段的平均电流电压值在横纵坐标分别为电压和电流的坐标系上绘制每个阶梯段对应的点；

步骤四、改变电压阶梯波的幅值并返回步骤一，重复步骤一至步骤四完成多次采集和绘制；

步骤五、选取每次采集得到的所有点中平均电流电压值最高的阶梯段对应的点并连线得到所述静电泄放防护器件的脉冲开启曲线，将剩余点连线得到所述静电泄放防护器件的脉冲关断曲线。

7.根据权利要求6所述的测试静电泄放防护器件脉冲曲线的方法，其特征在于，所述步骤三中选取两个阶梯段。