CN110346030A - 一种全光网络水听器 - Google Patents
一种全光网络水听器 Download PDFInfo
- Publication number
- CN110346030A CN110346030A CN201910669363.7A CN201910669363A CN110346030A CN 110346030 A CN110346030 A CN 110346030A CN 201910669363 A CN201910669363 A CN 201910669363A CN 110346030 A CN110346030 A CN 110346030A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- fiber hair
- hydrophone
- optical network
- package casing
- cantilever beam
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000835 fiber Substances 0.000 claims abstract description 110
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 28
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims abstract description 8
- 229920001935 styrene-ethylene-butadiene-styrene Polymers 0.000 claims description 8
- 239000004033 plastic Substances 0.000 claims description 7
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 6
- 230000008859 change Effects 0.000 claims description 4
- 238000001914 filtration Methods 0.000 abstract description 2
- 238000012216 screening Methods 0.000 abstract description 2
- 230000037237 body shape Effects 0.000 description 5
- 230000035807 sensation Effects 0.000 description 5
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 4
- 210000004081 cilia Anatomy 0.000 description 3
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 3
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 3
- 239000004575 stone Substances 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000011664 nicotinic acid Substances 0.000 description 2
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 2
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005062 Polybutadiene Substances 0.000 description 1
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 229920001400 block copolymer Polymers 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000013013 elastic material Substances 0.000 description 1
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 1
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 230000010534 mechanism of action Effects 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920002857 polybutadiene Polymers 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01H—MEASUREMENT OF MECHANICAL VIBRATIONS OR ULTRASONIC, SONIC OR INFRASONIC WAVES
- G01H9/00—Measuring mechanical vibrations or ultrasonic, sonic or infrasonic waves by using radiation-sensitive means, e.g. optical means
- G01H9/004—Measuring mechanical vibrations or ultrasonic, sonic or infrasonic waves by using radiation-sensitive means, e.g. optical means using fibre optic sensors
- G01H9/006—Measuring mechanical vibrations or ultrasonic, sonic or infrasonic waves by using radiation-sensitive means, e.g. optical means using fibre optic sensors the vibrations causing a variation in the relative position of the end of a fibre and another element
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)
- Electrostatic, Electromagnetic, Magneto- Strictive, And Variable-Resistance Transducers (AREA)
Abstract
本发明提供了一种全光网络水听器，包括设置于封装外壳内的悬臂梁和纤维毛，所述悬臂梁呈十字交叉垂直固定于所述封装外壳内，所述纤维毛垂直穿过所述悬臂梁的十字交叉连接处，分为上端纤维毛和下端纤维毛；所述封装外壳为圆柱体形状，其底部设有与光源连接的入射导光光纤，侧壁设有与信号处理模块连接的出射导光光纤，所述出射导光光纤设置在相邻两个垂直交叉的悬臂梁端部；所述封装外壳上方设有栅格，所述下端纤维毛涂有条状反光材料。本发明提供的水听器，能够检测到微弱信号，可避免电磁干扰，可实现对特定频率信号的筛选，能够减小强信号对于内部结构的冲击，并且通过衍射，可以过滤部分频段的信号。
Description
技术领域
本发明涉及MEMS仿生矢量水听器技术领域，尤其涉及一种全光网络水听器。
背景技术
声波是在海洋中唯一能够远距离传播的能量形式，而水听器是检测海洋中声波信号的基本器件。其中，基于MEMS技术的微型水听器作为一种微型的水声探测器件，从其诞生之日起就展现出传统水听器无法比拟的优越性，如基于MEMS技术的微型水听器的质量更轻、体积更小、容易隐藏且稳定性高。
如公开号为CN104062632A的中国专利公开了 一种四纤毛仿生MEMS矢量水声传感器微结构，包括正方形框架和架设于所述正方形框架中央的“井”字形悬梁臂，所述“井”字形悬梁臂的各段梁由宽段和对称设置于所述宽段两侧的窄段组成，所述窄段上分别设置有阻值相等的压敏电阻，所述压敏电阻共形成两组惠斯通全桥，所述两组惠斯通全桥分别测量两个相互垂直方向上的水生信号，各个正方形连接体上均固定的设置有垂直纤毛。该发明利用MEMS技术将四根仿生纤毛集成在一个芯片上，并且采用“井”字形悬梁臂结构，通过各段梁窄-宽-窄的形式，提高局部应力集中，从而提高压敏电阻的阻值变化，进而提高结构的灵敏度，解决了现有的MEMS仿生水听器灵敏度与频响范围之间的矛盾。
因此，基于MEMS技术的矢量水听器已经向微型化、集成化方向发展，基本可以实现二维平面内方位的探测，但现有的水听器基本都是以压敏、压电式水听器为主，利用惠斯通电桥得到差分信号，里面包含电路结构，但抗电磁干扰能力和空间指向性差，定向精度不高，空间分辨率不够，难以检测微弱信号。
发明内容
为解决上述技术问题，本发明提供了一种全光网络水听器，所述水听器包括设置于封装外壳内的悬臂梁和纤维毛，所述悬臂梁呈十字交叉垂直固定于所述封装外壳内，所述纤维毛垂直穿过所述悬臂梁的十字交叉连接处，分为上端纤维毛和下端纤维毛。
其中，所述封装外壳为圆柱体形状，其底部设有与光源连接的入射导光光纤，侧壁设有与信号处理模块连接的出射导光光纤。
其中，所述出射导光光纤设置在相邻两个垂直交叉的悬臂梁端部。
其中，所述出射导光光纤的数量为两根以上。
其中，所述封装外壳上方设有栅格。
其中，所述栅格的长度为6-10mm，所述栅格的宽度为1-3mm，所述栅格之间的距离为2.2-2.6mm。
其中，所述上端纤维毛为圆柱体，所述下端纤维毛为倒锥体，且所述倒锥体的底面直径d2大于所述圆柱体的直径d1。
其中，所述下端纤维毛涂有条状反光材料。
其中，所述封装外壳采用具有塑性与弹性的SEBS基材料制成，所述悬臂梁采用SOI材料制成，所述纤维毛采用与水密度相近的PE塑料材质制成。
其中，所述水听器的声波信号检测方法为：在封装外壳侧壁上建立y坐标系，与所述y方向垂直的方向作为x方向；当无信号时，纤维毛保持平衡，处于平衡位置，两侧条形光斑同处于y轴原点处；当有声波信号传来时，纤维毛上端偏移一定角度，造成光条在y轴的位置改变，左右条形光斑发生移动，通过比较两个方向上的y轴条形光斑位置即可确定来自二维方向上的信号。
本发明的有益效果：
本发明提供的全光网络水听器与现有技术中的水听器相比，具有以下优点：
1、利用光杠杆放大原理来检测微量位置，能够检测到微弱信号；
2、通过光纤与反射材料的组合形成全光结构，可避免电磁干扰；
3、通过在封装外壳上方设置栅格，可实现对特定频率信号的筛选；
4、通过将封装外壳设置成圆柱体形状，能够减小强信号对于内部结构的冲击，并且通过衍射，可以过滤部分频段的信号。
附图说明
为了更清楚地说明本发明的技术方案，下面将对实施方式中需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施方式，对应本领域的普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本发明实施例提供的全光网络水听器的主视图；
图2为本发明实施例提供的全光网络水听器的俯视图；
图3为本发明实施例提供的全光网络水听器的立体结构示意图；
图4为本发明实施例提供的全光网络水听器中纤维毛的结构示意图；
图5为本发明实施例提供的全光网络水听器的作用机理示意图；
附图中附图标记所对应的名称为：1-封装外壳，2-悬臂梁，3-纤维毛，301-上端纤维毛，302-下端纤维毛，4-入射导光光纤，5-出射导光光纤，6-栅格，7-反光材料。
具体实施方式
以下是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也视为本发明的保护范围。
实施例1
本发明提供了一种全光网络水听器，所述水听器包括设置于封装外壳1内的悬臂梁2和纤维毛3，所述悬臂梁2呈十字交叉垂直固定于所述封装外壳1内，所述纤维毛3垂直穿过所述悬臂梁2的十字交叉连接处，分为上端纤维毛301和下端纤维毛302；所述封装外壳1为圆柱体形状，其底部设有与光源连接的入射导光光纤4，侧壁设有与信号处理模块连接的出射导光光纤5；所述出射导光光纤5设置在相邻两个垂直交叉的悬臂梁2端部，所述出射导光光纤5的数量为六根。所述封装外壳1上方设有栅格6，所述栅格6的长度为8mm，所述栅格6的宽度为2mm，所述栅格6之间的距离为2.4mm。
所述上端纤维毛301为圆柱体，所述下端纤维毛302为倒锥体，且所述倒锥体的底面直径d2大于所述圆柱体的直径d1，其中d1=4mm，d2=6mm，所述下端纤维毛302涂有条状反光材料7；所述封装外壳1采用具有塑性与弹性的SEBS基材料制成，所述悬臂梁2采用SOI材料制成，所述纤维毛3采用与水密度相近的PE塑料材质制成。
实施例2
本发明提供了一种全光网络水听器，所述水听器包括设置于封装外壳1内的悬臂梁2和纤维毛3，所述悬臂梁2呈十字交叉垂直固定于所述封装外壳1内，所述纤维毛3垂直穿过所述悬臂梁2的十字交叉连接处，分为上端纤维毛301和下端纤维毛302；所述封装外壳1为圆柱体形状，其底部设有与光源连接的入射导光光纤4，侧壁设有与信号处理模块连接的出射导光光纤5；所述出射导光光纤5设置在相邻两个垂直交叉的悬臂梁2端部，所述出射导光光纤5的数量为六根。所述封装外壳1上方设有栅格6，所述栅格6的长度为7mm，所述栅格6的宽度为1.5mm，所述栅格6之间的距离为2.5mm。
所述上端纤维毛301为圆柱体，所述下端纤维毛302为倒锥体，且所述倒锥体的底面直径d2大于所述圆柱体的直径d1，其中d1=4mm，d2=6mm，所述下端纤维毛302涂有条状反光材料7；所述封装外壳1采用具有塑性与弹性的SEBS基材料制成，所述悬臂梁2采用SOI材料制成，所述纤维毛3采用与水密度相近的PE塑料材质制成。
实施例3
本发明提供了一种全光网络水听器，所述水听器包括设置于封装外壳1内的悬臂梁2和纤维毛3，所述悬臂梁2呈十字交叉垂直固定于所述封装外壳1内，所述纤维毛3垂直穿过所述悬臂梁2的十字交叉连接处，分为上端纤维毛301和下端纤维毛302；所述封装外壳1为圆柱体形状，其底部设有与光源连接的入射导光光纤4，侧壁设有与信号处理模块连接的出射导光光纤5；所述出射导光光纤5设置在相邻两个垂直交叉的悬臂梁2端部，所述出射导光光纤5的数量为六根。所述封装外壳1上方设有栅格6，所述栅格6的长度为9mm，所述栅格6的宽度为2.5mm，所述栅格6之间的距离为2.3mm。
所述上端纤维毛301为圆柱体，所述下端纤维毛302为倒锥体，且所述倒锥体的底面直径d2大于所述圆柱体的直径d1，其中d1=4mm，d2=6mm，所述下端纤维毛302涂有条状反光材料7；所述封装外壳1采用具有塑性与弹性的SEBS基材料制成，所述悬臂梁2采用SOI材料制成，所述纤维毛3采用与水密度相近的PE塑料材质制成。
实施例4
本发明提供了一种全光网络水听器，所述水听器包括设置于封装外壳1内的悬臂梁2和纤维毛3，所述悬臂梁2呈十字交叉垂直固定于所述封装外壳1内，所述纤维毛3垂直穿过所述悬臂梁2的十字交叉连接处，分为上端纤维毛301和下端纤维毛302；所述封装外壳1为圆柱体形状，其底部设有与光源连接的入射导光光纤4，侧壁设有与信号处理模块连接的出射导光光纤5；所述出射导光光纤5设置在相邻两个垂直交叉的悬臂梁2端部，所述出射导光光纤5的数量为六根。所述封装外壳1上方设有栅格6，所述栅格6的长度为6mm，所述栅格6的宽度为3mm，所述栅格6之间的距离为2.2mm。
所述上端纤维毛301为圆柱体，所述下端纤维毛302为倒锥体，且所述倒锥体的底面直径d2大于所述圆柱体的直径d1，其中d1=4mm，d2=6mm，所述下端纤维毛302涂有条状反光材料7；所述封装外壳1采用具有塑性与弹性的SEBS基材料制成，所述悬臂梁2采用SOI材料制成，所述纤维毛3采用与水密度相近的PE塑料材质制成。
实施例5
本发明提供了一种全光网络水听器，所述水听器包括设置于封装外壳1内的悬臂梁2和纤维毛3，所述悬臂梁2呈十字交叉垂直固定于所述封装外壳1内，所述纤维毛3垂直穿过所述悬臂梁2的十字交叉连接处，分为上端纤维毛301和下端纤维毛302；所述封装外壳1为圆柱体形状，其底部设有与光源连接的入射导光光纤4，侧壁设有与信号处理模块连接的出射导光光纤5；所述出射导光光纤5设置在相邻两个垂直交叉的悬臂梁2端部，所述出射导光光纤5的数量为六根。所述封装外壳1上方设有栅格6，所述栅格6的长度为10mm，所述栅格6的宽度为1mm，所述栅格6之间的距离为2.6mm。
所述上端纤维毛301为圆柱体，所述下端纤维毛302为倒锥体，且所述倒锥体的底面直径d2大于所述圆柱体的直径d1，其中d1=4mm，d2=6mm，所述下端纤维毛302涂有条状反光材料7；所述封装外壳1采用具有塑性与弹性的SEBS基材料制成，所述悬臂梁2采用SOI材料制成，所述纤维毛3采用与水密度相近的PE塑料材质制成。
在本发明实施例中，栅格的宽度在1-3mm范围内根据测量不同频率范围进行相应调整。
在本发明实施例中，悬臂梁2通过弹性材料连接固定于封装外壳1内部，同时在封装外壳1底部和侧壁开孔，固定入射导光光纤4和出射导光光纤5。
在本发明实施例中，SEBS基材料采用聚丁二烯加氢得到的乙烯-丁烯共聚物为中间弹性嵌段的线性三嵌共聚物，SOI材料采用注氧隔离的SIMOX材料、硅片键合和反面腐蚀的BESOI材料或将键合与注入相结合的Smart Cut SOI材料。
本发明提供的全光网络水听器，声波信号检测方法为：在封装外壳1侧壁上建立y坐标系，与所述y方向垂直的方向作为x方向；当无信号时，纤维毛3保持平衡，处于平衡位置，两侧条形光斑同处于y轴原点处；当有声波信号传来时，纤维毛3上端偏移一定角度，造成光条在y轴的位置改变，左右条形光斑发生移动，通过比较两个方向上的y轴条形光斑位置即可确定来自二维方向上的信号。
本发明提供的全光网络水听器，光源将光由入射导光光纤4将光导出，当水听器受到某一方向的声波作用时，纤维毛3发生摆动，反射光线随纤维毛3摆动并由出射导光光纤5导出，通过两个方向的出射导光光纤5位置，正交确定声波来源方向。
以上实施例仅表达了本发明的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都是属于本发明的保护范围。因此，本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。
Claims (10)
1.一种全光网络水听器，其特征在于：所述水听器包括设置于封装外壳内的悬臂梁和纤维毛，所述悬臂梁呈十字交叉垂直固定于所述封装外壳内，所述纤维毛垂直穿过所述悬臂梁的十字交叉连接处，分为上端纤维毛和下端纤维毛。
2.根据权利要求1所述的一种全光网络水听器，其特征在于：所述封装外壳为圆柱体形状，其底部设有与光源连接的入射导光光纤，侧壁设有与信号处理模块连接的出射导光光纤。
3.根据权利要求2所述的一种全光网络水听器，其特征在于：所述出射导光光纤设置在相邻两个垂直交叉的悬臂梁端部。
4.根据权利要求2所述的一种全光网络水听器，其特征在于：所述出射导光光纤的数量为两根以上。
5.根据权利要求1所述的一种全光网络水听器，其特征在于：所述封装外壳上方设有栅格。
6.根据权利要求5所述的一种全光网络水听器，其特征在于：所述栅格的长度为6-10mm，所述栅格的宽度为1-3mm，所述栅格之间的距离为2.2-2.6mm。
7.根据权利要求1所述的一种全光网络水听器，其特征在于：所述上端纤维毛为圆柱体，所述下端纤维毛为倒锥体，且所述倒锥体的底面直径d2大于所述圆柱体的直径d1。
8.根据权利要求7所述的一种全光网络水听器，其特征在于：所述下端纤维毛涂有条状反光材料。
9.根据权利要求1-8中任意一项权利要求所述的一种全光网络水听器，其特征在于：所述封装外壳采用具有塑性与弹性的SEBS基材料制成，所述悬臂梁采用SOI材料制成，所述纤维毛采用与水密度相近的PE塑料材质制成。
10.根据权利要求1-8中任意一项权利要求所述的一种全光网络水听器，其特征在于，所述水听器的声波信号检测方法为：在封装外壳侧壁上建立y坐标系，与所述y方向垂直的方向作为x方向；当无信号时，纤维毛保持平衡，处于平衡位置，两侧条形光斑同处于y轴原点处；当有声波信号传来时，纤维毛上端偏移一定角度，造成光条在y轴的位置改变，左右条形光斑发生移动，通过比较两个方向上的y轴条形光斑位置即可确定来自二维方向上的信号。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201910669363.7A CN110346030B (zh) | 2019-07-24 | 2019-07-24 | 一种全光网络水听器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201910669363.7A CN110346030B (zh) | 2019-07-24 | 2019-07-24 | 一种全光网络水听器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN110346030A true CN110346030A (zh) | 2019-10-18 |
| CN110346030B CN110346030B (zh) | 2021-05-28 |
Family
ID=68179913
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201910669363.7A Expired - Fee Related CN110346030B (zh) | 2019-07-24 | 2019-07-24 | 一种全光网络水听器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN110346030B (zh) |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0696723A1 (en) * | 1994-08-10 | 1996-02-14 | AlliedSignal Inc. | Fiber optic sensor |
| CN1714282A (zh) * | 2002-11-29 | 2005-12-28 | 西门子公司 | 具有长使用寿命的用于测量冲击波场的光学水听器 |
| CN105092016A (zh) * | 2015-07-14 | 2015-11-25 | 北京航天控制仪器研究所 | 一种moems矢量水听器 |
| CN107884063A (zh) * | 2017-12-28 | 2018-04-06 | 长沙深之瞳信息科技有限公司 | 一种组合式光纤矢量水听器 |
| CN107966204A (zh) * | 2017-11-22 | 2018-04-27 | 中国电子科技集团公司第四十九研究所 | 一种适用于深海环境的光子晶体薄膜水听器装置 |
| CN110044470A (zh) * | 2019-05-16 | 2019-07-23 | 南昌航空大学 | 一种柱形三维矢量水听器 |
-
2019
- 2019-07-24 CN CN201910669363.7A patent/CN110346030B/zh not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0696723A1 (en) * | 1994-08-10 | 1996-02-14 | AlliedSignal Inc. | Fiber optic sensor |
| CN1714282A (zh) * | 2002-11-29 | 2005-12-28 | 西门子公司 | 具有长使用寿命的用于测量冲击波场的光学水听器 |
| CN105092016A (zh) * | 2015-07-14 | 2015-11-25 | 北京航天控制仪器研究所 | 一种moems矢量水听器 |
| CN107966204A (zh) * | 2017-11-22 | 2018-04-27 | 中国电子科技集团公司第四十九研究所 | 一种适用于深海环境的光子晶体薄膜水听器装置 |
| CN107884063A (zh) * | 2017-12-28 | 2018-04-06 | 长沙深之瞳信息科技有限公司 | 一种组合式光纤矢量水听器 |
| CN110044470A (zh) * | 2019-05-16 | 2019-07-23 | 南昌航空大学 | 一种柱形三维矢量水听器 |
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| 于振欣: "光纤弯曲圆盘水听器实验研究", 《声学与电子工程》 * |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN110346030B (zh) | 2021-05-28 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN104062632B (zh) | 一种四纤毛仿生mems矢量水声传感器微结构 | |
| CN107246910B (zh) | 基于压阻效应的mems三维同振型矢量水听器 | |
| CN103245409A (zh) | 基于压电效应的mems仿生结构矢量水声传感器 | |
| CN102853898A (zh) | 三维mems单片集成矢量水声传感器 | |
| CN102103013A (zh) | 三维矢量水听器 | |
| CN105092016B (zh) | 一种moems矢量水听器 | |
| CN107917750A (zh) | 一种mems热式声粒子传感器 | |
| CN209055632U (zh) | 一种用于监测液固复合绝缘电力设备局部放电的空间全角度超声波光纤法-珀传感器 | |
| CN105606201B (zh) | 复合式mems仿生水听器 | |
| CN104418290A (zh) | 微机械构件和用于制造微机械构件的方法 | |
| CN105716705A (zh) | 多重应力集中式mems仿生水听器 | |
| CN105548604B (zh) | 一种基于共面波导传输线的悬臂梁式风速风向传感器及其测量方法 | |
| CN110346030A (zh) | 一种全光网络水听器 | |
| CN209659620U (zh) | 压电式mems麦克风 | |
| CN205491155U (zh) | 一种麦克风测试装置 | |
| CN102944297B (zh) | 基于玻璃钢透声帽封装的宽频带矢量水听器 | |
| CN104697624B (zh) | 一种基于迈克尔逊干涉仪的声波探测器 | |
| CN114446277A (zh) | 一种全向宽带声聚能装置 | |
| CN105548824A (zh) | 一种电气设备局放源定位装置及定位方法 | |
| Geng et al. | Design and fabrication of hollow mushroom-like cilia MEMS vector hydrophone | |
| CN114001814B (zh) | 基于f-p干涉的复合式mems矢量水听器 | |
| CN110044470A (zh) | 一种柱形三维矢量水听器 | |
| JPH02246500A (ja) | 超音波センサ | |
| CN110261894A (zh) | 一种二维仿生矢量水听器 | |
| CN112076973A (zh) | 一种约束释放型差分式压电超声换能器芯片及其工作方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20210528 |