CN112076973A - 一种约束释放型差分式压电超声换能器芯片及其工作方法 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及超声检测技术领域，具体为一种约束释放型差分式压电超声换能器芯片及其工作方法，该超声换能器芯片由下至上依次包括支撑层、底电极、压电层和顶电极，所述压电层对应顶电极外边缘外部的位置处向下设有环形隔离槽。所述环形隔离槽深度小于等于压电层和底电极的高度和。所述支撑层包括基底层，基底层上设有停止层，停止层上设有弹性层，所述基底层的底部向上开设有空腔。所述空腔贯穿或不贯穿基底层。本申请的约束释放型差分式压电超声换能器芯片及其工作方法，能够释放换能器振动系统的固定约束，减小残余应力，进而增大换能器的振动幅度，增大有用信号输出，增大换能器的灵敏度，解决现有技术存在的振动幅度小，灵敏度低等问题。
Description
技术领域
本发明涉及超声检测技术领域，具体为一种约束释放型差分式压电超声换能器芯片及其工作方法。
背景技术
超声检测技术属于声学传感检测技术，其主要利用超声波进行物质检测工作，它属于五种常规的无损检测方法中的一种。它是指利用超声波在介质中的传播方向性好、反射能力强、易于获得较集中的声能，且传播衰减少、超声波所含能量大、对人体无害等优良特性，在测距、测速、无损检测、水下通信、指纹传感、智能家居等领域进行检测的技术。压电超声换能器作为一种高端超声无损检测仪器的主要部件，其核心作用是利用压电材料的压电效应进行电能和机械能(声能)之间的相互转换，即可无源使用也可有源使用。压电超声换能器进行超声波发射时，被称为发射器件，利用压电材料的逆压电效应将施加到换能器的电信号转换为超声信号发射，其发射信号在介质中传播，由于介质的物理量发生变化(例如在一定厚度的固体中传播、在空气的两点之间进行传播反射等)，从而引起接收端压电超声换能器产生正压电效应，引起接收端电学输出量发生变化。因此可以通过便捷测量电学量的变化推断出待测外界的具体物理参数，从而达到指纹传感、无损检测、水下通信、智能测距等检测目的。
在超声检测器件的使用过程中，薄膜振动幅度大小、传输灵敏度高低是换能器件的重要指标，它反应了器件的声—电转换效率，即整个器件的机电耦合系数。薄膜振动幅度大小和残余应力大小，直接影响着有用输出信号的大小，也直接影响着声—电转换效率的高低，直接影响着差分压电超声换能器的机械效率、灵敏度大小。灵敏度和机械效率均是检测仪器的重要静态指标，反应了检测仪器的检测水平。目前，在压电超声换能器领域，存在薄膜振动幅度小、残余应力大、传输灵敏度低等显著性问题。
发明内容
本发明意在提供一种约束释放型差分式压电超声换能器芯片及其工作方法，能够释放换能器振动系统的固定约束，减小残余应力，进而增大换能器的振动幅度，增大有用信号输出，增大换能器的灵敏度，解决现有技术存在的振动幅度小，灵敏度低等问题。
本申请提供如下技术方案：
一种约束释放型差分式压电超声换能器芯片，由下至上依次包括支撑层、底电极、压电层和顶电极，所述压电层对应顶电极外边缘外部的位置处向下设有环形隔离槽。
进一步，所述环形隔离槽深度小于等于压电层和底电极的高度和。
进一步，所述支撑层包括基底层，基底层上设有停止层，停止层上设有弹性层，所述基底层的底部向上开设有空腔。
进一步，所述空腔贯穿或不贯穿基底层。
空腔贯穿基底层可以提高芯片灵敏度，空腔不贯穿基底层可以是的基底层顶部保留较薄的层，有利于提高成品率，同时也提高器件的耐性，增强芯片在外界破坏作用下的生存能力。
进一步，还包括若干机械槽组，每组机械槽组包括若干机械槽，所述机械槽的开槽面为顶电极的顶面、压电层的顶面或其他机械槽的槽底面。
进一步，所述顶电极包括顶部内电极以及环绕在顶部内电极周围的顶部外电极，所述机械槽组设置在顶部内电极和顶部外电极之间或顶部外电极上。
进一步，每组机械槽组的机械槽绕顶部内电极周向均匀分布。
进一步，所述机械槽组包括第一机械槽组和第二机械槽组，所述第一机械槽组的机械槽的长大于等于第二机械槽组的机械槽的长，所述第一机械槽组的机械槽的宽大于等于第二机械槽组的机械槽的宽，所述第二机械槽组的机械槽的开槽面为第一机械槽组的机械槽的槽底面。
进一步，本发明还公开了一种约束释放型差分式压电超声换能器芯片工作方法，所述约束释放型差分式压电超声换能器芯片为上述内容公开的约束释放型差分式压电超声换能器芯片，所述约束释放型差分式压电超声换能器芯片工作模式包括发射模式，所述发射模式包括单极发射模式和差分发射模式；
所述约束释放型差分式压电超声换能器芯片工作在差分发射模式时，对顶部内电极和顶部外电极分别施加频率相同且相位相差180度的正弦信号，将底电极接地，利用压电层的压电效应的d31模式可以激发压电层发生弯曲振动，并带动整个约束释放型差分式压电超声换能器芯片的自由活动部分发生振动，进而产生超声声波信号；
所述约束释放型差分式压电超声换能器芯片工作在单极发射模式时，对顶部内电极和顶部外电极中的一个电极施加正弦信号，另一个接地或不接任何电路。
进一步，所述约束释放型差分式压电超声换能器芯片工作模式包括接收模式，所述接收模式包括单极接收模式和差分接收模式；
所述约束释放型差分式压电超声换能器芯片工作在差分接收模式时，压电层受外部声压变化发生形变，通过压电效应将声波信号变化转化为电信号，顶部内电极和顶部外电极均作为信号输出电极将电信号进行输出；
所述约束释放型差分式压电超声换能器芯片工作在单极接收模式时，顶部内电极和顶部外电极中的一个电极作为信号输出电极，另一个接地或不接任何电路。
本发明技术方案的有益效果为：
本发明的约束释放型差分式压电超声换能芯片及其工作方法，通过设置环形隔离槽以及机械槽组，可释放换能器振动系统的固定约束，减小残余应力，进而增大换能器的振动幅度，增大有用信号输出，增大换能器的灵敏度。当超声换能器芯片处于发射模式时可以有效地增加输出声压级；当处于接收模式时，可以有效增加输出的电荷/电压，提高芯片对声波的灵敏度。同时由于差分式电极的设计，可以使芯片工作在差分式模式下，进而对信号进一步增强。
附图说明
图1为本申请一种约束释放型差分式压电超声换能器芯片实施例一中的结构示意图；
图2为图1中A-A的剖视图；
图3为本申请一种约束释放型差分式压电超声换能器芯片实施例二中的机构剖视图；
图4为本申请一种约束释放型差分式压电超声换能器芯片实施例三中的结构示意图；
图5为图4中A-A的剖视图；
图6为本申请一种约束释放型差分式压电超声换能器芯片实施例四中的结构剖视图。
具体实施方式
下面通过具体实施方式对本申请技术方案进行进一步详细说明：
说明书附图中的标记包括：顶部内电极1、顶部外电极2、环形隔离槽3、空腔4、顶部内电极引出线5、顶部外电极引出线6、顶部内电极引出接口7、顶部外电极引出接口8、第一机械槽9、第二机械槽10、第三机械槽11、第四机械槽12、第五机械槽13、第六机械槽14、第七机械槽15、第八机械槽16、压电层17、底电极18、弹性层19、停止层20、基底层21、固定板22。
实施例一
如图1和图2所示，本实施例公开了一种约束释放型差分式压电超声换能器芯片，由下至上依次包括支撑层、底电极18、压电层17和顶电极。支撑层由下至上包括基底层21、停止层20和弹性层19，基底层21的底部中间对应整个超声换能器芯片中心区域处设有空腔4。本实施例中，基底层21设置在固定板22上，空腔4贯穿基底层21，空腔4为圆形空腔4。
顶电极包括顶部内电极1以及环绕在顶部内电极1周围的顶部外电极2，顶部内电极1通过顶部内电极引出线5与顶部内电极引出接口7连接，顶部外电极2通过顶部外电极引出线6与顶部外电极引出接口8连接，压电层17对应顶部外电极2的外边缘外部的位置处向下设有环形隔离槽3，环形隔离槽3深度小于等于压电层17和底电极18的高度和，即环形隔离槽3的深度小于等于两层，环形隔离槽3从压电层17开始往下刻蚀，最浅刻蚀一层，包括压电层17，即刻蚀到底电极18停止刻蚀；最深刻蚀两层，即刻蚀到弹性层19停止刻蚀，本实施例中，环形隔离槽3刻蚀两层，其深度等于压电层17和底电极18的高度和。
还包括若干机械槽组，每组机械槽组包括若干机械槽，机械槽的开槽面为顶电极的顶面、压电层17的顶面或其他机械槽的槽底面。每组机械槽组的机械槽绕顶部内电极1周向均匀分布。
具体的，本实施例中，机械槽组包括第一机械槽组和第二机械槽组，第一机械槽组的机械槽的长大于等于第二机械槽组的机械槽的长，第一机械槽组的机械槽的宽大于等于第二机械槽组的机械槽的宽，第一机械槽组的机械槽的开槽面在顶部外电极2上，具体的为顶部外电极2外边缘内部。第二机械槽组的机械槽的开槽面为第一机械槽组的机械槽的槽底面。每组机械槽组包括四个机械槽，具体的，第一机械槽组包括第一机械槽9、第二机械槽10、第三机械槽11和第四机械槽12，第二机械槽组包括第五机械槽13、第六机械槽14、第七机械槽15和第八机械槽16。相邻的两个机械槽间距相同，相位差为90度。
在本申请的其他实施例中，第一机械槽组也可以从压电层17开始刻蚀形成机械槽。机械槽最浅深度为一层，即从压电层17刻蚀一层至底电极18停止或从顶电极刻蚀一层至压电层17停止。最深可以刻蚀至与空腔4连通。本实施例中，第一机械槽组的机械槽从顶部外电极2刻蚀三层至弹性层19停止，第二机械槽组的机械槽从第一机械槽组的机械槽的槽底面即弹性层19顶面刻蚀一层至停止层20停止。
本实施中还公开了一种约束释放型差分式压电超声换能器芯片工作方法，所述的约束释放型差分式压电超声换能器芯片为本实施例上述内容公开的约束释放型差分式压电超声换能器芯片，约束释放型差分式压电超声换能器芯片工作模式包括发射模式和接收模式，发射模式包括单极发射模式和差分发射模式；接收模式包括单极接收模式和差分接收模式。
约束释放型差分式压电超声换能器芯片工作在差分发射模式时，对顶部内电极1和顶部外电极2分别施加频率相同且相位相差180度的正弦信号，将底电极18接地，利用压电层17的压电效应的d31模式可以激发压电层17发生弯曲振动，并带动整个约束释放型差分式压电超声换能器芯片的自由活动部分发生振动，进而产生超声声波信号，通过使芯片工作在差分式模式下，可以增加输出信号的强度；
约束释放型差分式压电超声换能器芯片工作在单极发射模式时，对顶部内电极1和顶部外电极2中的一个电极施加正弦信号，另一个电极接地或不接任何电路，本实施例中，优选接地处理。
约束释放型差分式压电超声换能器芯片工作在差分接收模式时，压电层17受外部声压变化发生形变，通过压电效应将声波信号变化转化为电信号，顶部内电极1和顶部外电极2均作为信号输出电极将电信号进行输出；
约束释放型差分式压电超声换能器芯片工作在单极接收模式时，顶部内电极1和顶部外电极2中的一个电极作为信号输出电极，另一个接地或不接任何电路。本实施例中，优选接地处理。
本实施例的约束释放型差分式压电超声换能芯片及其工作方法，通过设置环形隔离槽3以及机械槽组，当超声换能器芯片处于发射模式时可以有效地增加输出声压级；当处于接收模式时，可以有效增加输出的电荷/电压，提高芯片对声波的灵敏度。同时由于差分式电极的设计，可以使芯片工作在差分式模式下，进而对信号进一步增强。综上，本实施例的压电超声换能器芯片能够提高传感灵敏度，增大机电耦合系数。
实施例二
本实施例与实施例一的区别在于，如图3所示，本实施例中，空腔4不贯穿基底层21，即基底层21的顶部形成一层薄膜支撑层，这种方式可以提高成品率，同时也提高器件的耐性，增强芯片在外界破坏作用下的生存能力。
实施例三
本实施例与实施例一的区别在于，如图4和图5所示，本实施例中，机械槽组设置在顶部内电极1和顶部外电极2之间。
实施例四
如图6所示，本实施例与实施例三的区别在于，本实施例中，空腔4不贯穿基底层21，基底层21的顶部形成一层薄膜支撑层。
以上的仅是本发明的实施例，该发明不限于此实施案例涉及的领域，方案中公知的具体结构及特性等常识在此未作过多描述，所属领域普通技术人员知晓申请日或者优先权日之前发明所属技术领域所有的普通技术知识，能够获知该领域中所有的现有技术，并且具有应用该日期之前常规实验手段的能力，所属领域普通技术人员可以在本申请给出的启示下，结合自身能力完善并实施本方案，一些典型的公知结构或者公知方法不应当成为所属领域普通技术人员实施本申请的障碍。应当指出，对于本领域的技术人员来说，在不脱离本发明结构的前提下，还可以作出若干变形和改进，这些也应该视为本发明的保护范围，这些都不会影响本发明实施的效果和专利的实用性。本申请要求的保护范围应当以其权利要求的内容为准，说明书中的具体实施方式等记载可以用于解释权利要求的内容。
Claims (10)
1.一种约束释放型差分式压电超声换能器芯片，其特征在于：由下至上依次包括支撑层、底电极、压电层和顶电极，所述压电层对应顶电极外边缘外部的位置处向下设有环形隔离槽。
2.根据权利要求1所述的一种约束释放型差分式压电超声换能器芯片，其特征在于：所述环形隔离槽深度小于等于压电层和底电极的高度和。
3.根据权利要求1所述的一种约束释放型差分式压电超声换能器芯片，其特征在于：所述支撑层包括基底层，基底层上设有停止层，停止层上设有弹性层，所述基底层的底部向上开设有空腔。
4.根据权利要求3所述的一种约束释放型差分式压电超声换能器芯片，其特征在于：所述空腔贯穿或不贯穿基底层。
5.根据权利要求1所述的一种约束释放型差分式压电超声换能器芯片，其特征在于：还包括若干机械槽组，每组机械槽组包括若干机械槽，所述机械槽的开槽面为顶电极的顶面、压电层的顶面或其他机械槽的槽底面。
6.根据权利要求5所述的一种约束释放型差分式压电超声换能器芯片，其特征在于：所述顶电极包括顶部内电极以及环绕在顶部内电极周围的顶部外电极，所述机械槽组设置在顶部内电极和顶部外电极之间或顶部外电极上。
7.根据权利要求6所述的一种约束释放型差分式压电超声换能器芯片，其特征在于：每组机械槽组的机械槽绕顶部内电极周向均匀分布。
8.根据权利要求5所述的一种约束释放型差分式压电超声换能器芯片，其特征在于：所述机械槽组包括第一机械槽组和第二机械槽组，所述第一机械槽组的机械槽的长大于等于第二机械槽组的机械槽的长，所述第一机械槽组的机械槽的宽大于等于第二机械槽组的机械槽的宽，所述第二机械槽组的机械槽的开槽面为第一机械槽组的机械槽的槽底面。
9.一种约束释放型差分式压电超声换能器芯片工作方法，其特征在于：所述约束释放型差分式压电超声换能器芯片为权利要求6-8中任一项所述的约束释放型差分式压电超声换能器芯片，所述约束释放型差分式压电超声换能器芯片工作模式包括发射模式，所述发射模式包括单极发射模式和差分发射模式；
所述约束释放型差分式压电超声换能器芯片工作在差分发射模式时，对顶部内电极和顶部外电极分别施加频率相同且相位相差180度的正弦信号，将底电极接地，利用压电层的压电效应的d31模式可以激发压电层发生弯曲振动，并带动整个约束释放型差分式压电超声换能器芯片的自由活动部分发生振动，进而产生超声声波信号；
所述约束释放型差分式压电超声换能器芯片工作在单极发射模式时，对顶部内电极和顶部外电极中的一个电极施加正弦信号，另一个接地或不接任何电路。
10.根据权利要求9所述的一种约束释放型差分式压电超声换能器芯片工作方法，其特征在于：所述约束释放型差分式压电超声换能器芯片工作模式包括接收模式，所述接收模式包括单极接收模式和差分接收模式；
所述约束释放型差分式压电超声换能器芯片工作在差分接收模式时，压电层受外部声压变化发生形变，通过压电效应将声波信号变化转化为电信号，顶部内电极和顶部外电极均作为信号输出电极将电信号进行输出；
所述约束释放型差分式压电超声换能器芯片工作在单极接收模式时，顶部内电极和顶部外电极中的一个电极作为信号输出电极，另一个接地或不接任何电路。
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2024093469A1 (zh) * | 2022-11-03 | 2024-05-10 | 广州乐仪投资有限公司 | 具有减薄部的pmut结构、其制造方法及包含其的电子设备 |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20050075846A1 (en) * | 2003-09-22 | 2005-04-07 | Hyeung-Yun Kim | Methods for monitoring structural health conditions |
| US20130119824A1 (en) * | 2011-11-02 | 2013-05-16 | Dr. Hielscher Gmbh | Ultrasonic generator with a resonator having a clamping opening |
| CN107511318A (zh) * | 2017-09-28 | 2017-12-26 | 瑞声科技(新加坡)有限公司 | 压电超声换能器及其制备方法 |
| CN110448331A (zh) * | 2019-09-12 | 2019-11-15 | 深圳市索诺瑞科技有限公司 | 一种空气填充的超声换能器 |
| CN111136001A (zh) * | 2020-01-16 | 2020-05-12 | 重庆大学 | 机械槽增强型差分式压电超声换能器及其工作方法 |
-
2020
- 2020-09-18 CN CN202010987173.2A patent/CN112076973B/zh active Active
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20050075846A1 (en) * | 2003-09-22 | 2005-04-07 | Hyeung-Yun Kim | Methods for monitoring structural health conditions |
| US20130119824A1 (en) * | 2011-11-02 | 2013-05-16 | Dr. Hielscher Gmbh | Ultrasonic generator with a resonator having a clamping opening |
| CN107511318A (zh) * | 2017-09-28 | 2017-12-26 | 瑞声科技(新加坡)有限公司 | 压电超声换能器及其制备方法 |
| CN110448331A (zh) * | 2019-09-12 | 2019-11-15 | 深圳市索诺瑞科技有限公司 | 一种空气填充的超声换能器 |
| CN111136001A (zh) * | 2020-01-16 | 2020-05-12 | 重庆大学 | 机械槽增强型差分式压电超声换能器及其工作方法 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2024093469A1 (zh) * | 2022-11-03 | 2024-05-10 | 广州乐仪投资有限公司 | 具有减薄部的pmut结构、其制造方法及包含其的电子设备 |
Also Published As
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| CN112076973B (zh) | 2021-10-15 |
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