CN110345195A - 减振装置、风机系统及半导体热处理设备 - Google Patents

Abstract

本申请实施例提供了一种减振装置、风机系统及半导体热处理设备。该减振装置设置于机箱及风机本体之间用于对风机本体进行减振，包括：底座、滑块、外壳、第一减振组件及第二减振组件；滑块通过第一减振组件连接于底座，且滑块能相对于底座沿第一轴向运动；外壳套设于滑块外侧，且外壳能相对于滑块绕第二轴向转动，第一轴向与第二轴向之间呈第一夹角；第二减振组件设置于滑块及外壳内壁之间，并且第二减振组件延伸方向与第一轴向及第二轴向所在平面相交呈第二夹角。本申请实施例实现了对风机本体多角度的缓冲减振，可以很好的缓解风机本体的振动对机箱的损害，以满足对风机本体减振的需求。

Description

减振装置、风机系统及半导体热处理设备

技术领域

本申请涉及半导体技术领域，具体而言，本申请涉及一种减振装置、风机系统及半导体热处理设备。

背景技术

目前，热处理工艺是晶圆制造过程中一个非常重要的环节，常规的热处理工艺包括氧化、退火和低压力化学气相沉积(Low Pressure Chemical Vapor Deposition，LPCVD)等。立式炉设备能够同时对多张半导体晶圆进行分批次热处理，而每批次热处理时炉体的温度一般都会达到几百度至上千度，要进行下一批次的热处理，就需要等到炉体温度降低之后才能进行，为了提高生产效率就需要对炉体进行快速降温处理。

快速升降温工艺需要特定的快速升降温炉体、排风机构和控制柜。控制柜中设有风机系统和控制单元，控制单元根据工艺需求控制风机系统的转速，调整快速升降温炉体内部的温度。风机系统在转动过程中会产生振动，强烈的振动会影响控制柜的其他结构或元器件的工作，所以需要对风机系统进行减振处理，现在一般采用氯丁橡胶制成的减振垫作为减振结构，但是氯丁橡胶减振垫的减振效果有限，并且在长时间使用下，氯丁橡胶会发生失效，从而导致风机系统的减振结构失效。

发明内容

本申请针对现有方式的缺点，提出一种减振装置、风机系统及半导体热处理设备，用以解决现有技术存在风机本体减振结构效果不佳且容易失效的技术问题。

第一个方面，本申请实施例提供了一种减振装置，设置于机箱及风机本体之间用于对风机本体进行减振，包括：底座、滑块、外壳、第一减振组件及第二减振组件；所述滑块通过第一减振组件连接于所述底座，且所述滑块能相对于所述底座沿第一轴向运动；所述外壳套设于所述滑块外侧，且所述外壳能相对于所述滑块绕第二轴向转动，所述第一轴向与所述第二轴向之间呈第一夹角；所述第二减振组件设置于所述滑块及所述外壳内壁之间，并且所述第二减振组件延伸方向与所述第一轴向及所述第二轴向所在的平面相交呈第二夹角。

于本申请的一实施例中，所述外壳内还设置有连杆，所述连杆沿第二轴向延伸设置于所述滑块上，所述外壳相对于所述连杆绕第二轴向转动。

于本申请的一实施例中，所述连杆的两端部与所述外壳的两相对内壁的中部位置连接，并且所述内壁相对于所述连杆的端部对称。

于本申请的一实施例中，还包括销轴，所述销轴沿第一轴向穿设于所述连杆的中部且与所述滑块连接，所述连杆能绕所述销轴转动。

于本申请的一实施例中，减振装置还包括第三减振组件，所述第三减振组件沿第二轴向延伸设置于所述滑块与所述外壳的内壁之间，并且所述第三减振组件及所述第二减振组件在第二轴向上位于销轴的两侧。

于本申请的一实施例中，所述第二减振组件为两个，两个所述第二减振组件对称设置于所述滑块的两侧，并且分别与所述外壳两相对的内壁连接。

于本申请的一实施例中，所述滑块沿第一轴向凸设有顶抵块，两个所述第二减振组件对称的设置于所述顶抵块的两侧。

于本申请的一实施例中，所述第三减振组件为两个，两个所述第三减振组件沿所述连杆的轴向对称设置。

于本申请的一实施例中，所述第三减振组件均为蓄能减振结构。

于本申请的一实施例中，所述第一减振组件及所述第二减振组件均为蓄能减振结构。

于本申请的一实施例中，所述第一减振组件为两个，两个所述第一减振组件沿所述连杆的轴向对称设置。

于本申请的一实施例中，所述第一夹角及所述第二夹角均为90度。

第二个方面，本申请实施例提供了一种风机系统，包括机箱、风机本体以及如第一个方面所述的减振装置，所述底座固定设置于机箱上，所述外壳与所述风机本体连接。

第三个方面，本申请实施例提供了一种半导体热处理设备，包括炉体、排风机构、控制柜以及如第二个方面所述的风机系统，所述控制柜电连接所述排风机构和所述风机系统，并且所述风机系统设置于控制柜内。

本申请实施例提供的技术方案带来的有益技术效果是：

本申请实施例通过在滑块及底座之间设置第一减振组件，以及在外壳及滑块之间设置第二减振组件，可以使得本申请实施例的减振装置实现多角度的缓冲减振，可以很好的缓解风机本体的振动对机箱的损害，以满足对风机本体减振的需求。另外由于本申请结构简单可靠，可以有效提高本申请实施例的使用寿命，从而可以有效降低故障率，进而有效提高经济效益。

进一步的，由于设置于减振装置，还可以有效避免风机系统对控制柜内其它元器件造成损害。

本申请附加的方面和优点将在下面的描述中部分给出，这些将从下面的描述中变得明显，或通过本申请的实践了解到。

附图说明

本申请上述的和/或附加的方面和优点从下面结合附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1为本申请实施例提供的一种减振装置省略部分外壳的结构示意图；

图2A为本申请实施例提供的一种减振装置的侧视示意图；

图2B为本申请实施例提供的一种减振装置的主视示意图；

图2C为本申请实施例提供的一种减振装置的俯视示意图；

图2D为图2C提供的一种减振装置的A-A剖视示意图；

图3A为本申请实施例提供的一种连杆的主视示意图；

图3B为本申请实施例提供的一种连杆的俯视示意图；

图4A为本申请实施例提供的一种减振装置省略外壳的后视示意图；

图4B为本申请实施例提供的一种减振装置省略外壳的侧视示意图；

图4C为本申请实施例提供的一种减振装置省略外壳的俯视示意图；

图5A为本申请实施例提供的一种第二定位块的主视示意图；

图5B为本申请实施例提供的一种第二定位块的俯视示意图；

图6A为本申请实施例提供的一种滑块的主视示意图；

图6B为本申请实施例提供的一种滑块的侧视示意图；

图6C为图6B提供的一种滑块的B-B剖视示意图；

图7A为本申请实施例提供的一种导杆的主视示意图；

图7B为图7A提供的一种导杆的C-C剖视示意图。

具体实施方式

下面详细描述本申请，本申请的实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的部件或具有相同或类似功能的部件。此外，如果已知技术的详细描述对于示出的本申请的特征是不必要的，则将其省略。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本申请，而不能解释为对本申请的限制。

本技术领域技术人员可以理解，除非另外定义，这里使用的所有术语(包括技术术语和科学术语)，具有与本申请所属领域中的普通技术人员的一般理解相同的意义。还应该理解的是，诸如通用字典中定义的那些术语，应该被理解为具有与现有技术的上下文中的意义一致的意义，并且除非像这里一样被特定定义，否则不会用理想化或过于正式的含义来解释。

下面以具体地实施例对本申请的技术方案以及本申请的技术方案如何解决上述技术问题进行详细说明。

第一个方面，本申请实施例提供了一种减振装置，设置于机箱及风机本体之间用于对风机本体进行减振，该减振装置的结构示意图如图1所示，包括：底座1、滑块2、外壳3、第一减振组件4及第二减振组件5；滑块2通过第一减振组件4连接于底座1，且滑块2能相对于底座1沿第一轴向L1运动；外壳3套设于滑块2外侧，且外壳3能相对于滑块2绕第二轴向L2转动，第一轴向L1与第二轴向L2之间呈第一夹角A1；第二减振组件5设置于滑块2及外壳3内壁之间，并且第二减振组件5延伸方向与第一轴向L1及第二轴向L2所在的平面相交呈第二夹角A2。

如图1至图2B所示，底座1可以采用金属材质制成的板状结构，其可以沿水平方向设置。滑块2同样可以采用金属材质制成的块状结构，其可以通过第一减振组件4设置于底座2的上方。滑块2可以相对于底座2沿第一轴向L1运动，即沿竖直方向运动，同时可以在第一减振组件4的作用下实现缓冲减振。为便于说明本实施例，以下各实施例提到的第一轴向L1均为竖直方向，但是由于本申请实施例可以沿多种方向进行设置，因此本申请实施对此并不进行限定。

外壳3可以采用金属材质制成的中空立方体结构。外壳3可以由左侧板31、右侧板32、前侧板33、后侧板34以及顶板35合围而成，其可以是一体成型的结构或者分体式结构并采用焊接方式固定连接，本申请实施例并不以此为限。外壳3可以套设于滑块2的外侧，并且外壳3可以相对于滑块2绕第二轴向L2转动，第二轴向L2可以与第一轴向L1之间呈第一夹角A1。为便于说明本申请实施例，以下各实施例中提到的第二轴向L2均为水平方向。第二减振组件5可以沿水平方向设置于滑块2及外壳3的左侧板31及右侧板32的内壁之间，并且第二减振组件5延伸方向可以与第一轴向L1及第二轴向L2所在的平面相交呈第二夹角A2。

具体来说，第二减振组件5的延伸方向L3也可以是水平方向且与第二轴向L2之间呈第二夹角A2。延伸方向L3可以与第一轴向L1及第二轴向L2共同构成的平面相交并且呈第二夹角A2。进一步的，第一轴向L1可以沿第二轴向L2的方向延伸出一平面，延伸方向L3可以与该延伸出的平面之间具有一第二夹角A2。延伸方向L3也可以与第二轴向L2所在的平面相交并且呈第二夹角A2，即第二轴向L2沿第一轴向L1的方向延伸出一平面，延伸方向L3可以与该延伸出的平面之间也具有第二夹角A2。可选地，第一夹角A1及第二夹角A2均可以是90度。从而可以实现当外壳2绕第二轴向L2转动时，第二减振组件5可以实现减振的作用，即外壳3在摆动时同样也具有缓冲减振的效果。

在实际应用过程中，底座1可以用于设置于风机系统的机箱上，而外壳的顶板35可以与风机本体固定连接，减振装置与风机本体之间可以采用螺栓连接的方式固定连接，但是需要说明是本申请实施例并不以此为限，本领域技术人员可以根据情况自行调整设置。

本申请实施例通过在滑块及底座之间设置第一减振组件，以及在外壳及滑块之间设置第二减振组件，可以使得本申请实施例的减振装置实现多角度的缓冲减振，可以很好的缓解风机本体的振动对机箱的损害，以满足对风机本体减振的需求。另外由于本申请结构简单可靠，可以有效提高本申请实施例的使用寿命，从而可以有效降低故障率，进而有效提高经济效益。

需要说明的是，本申请实施例并不限定底座、滑块及外壳的具体形状及材质，例如其均可以采用碳钢、不锈钢或者铝合金等材质制成，因此本申请对此并不以此为限，本领域技术人员可以根据实际情况自行调整设置。

于本申请的一实施例中，外壳3内还设置有连杆6，连杆6沿第二轴向L2延伸设置于滑块2上，外壳3相对于连杆6绕第二轴向L2转动。

如图1至图3B所示，连杆6可以是采用金属材质制成的杆状结构。连杆6的两端可以采用卡接的方式与外壳3的前侧板33及后侧板34连接，连杆6的中部位置可以与滑块2连接，并且在连杆6沿第二轴向L2延伸布置，从而实现外壳3可以相对于滑块2绕第二轴向L2转动。采用上述设计，使得本申请实施例不仅结构简单可靠，而且可以有效降低应用成本。

需要说明的是，本申请实施例并不限定连杆与外壳的具体连接方式，例如还可以采用螺栓连接的方式，只要满足外壳可以绕第二轴向转动即可以，因此本申请对此并不进行限定，本领域技术人员可以根据实际情况自行调整设置。

于本申请的一实施例中，连杆6的两端部与外壳3的两相对内壁的中部位置连接。如图1至2D所示，连杆6的两端部可以位于前侧板33及后侧板34在水平方向上的中部位置。可选地，前侧板33和后侧板34可以相对于连杆6的端部左右对称，即连杆6的端部可以位于前侧板33和后侧板34宽度方向的中间位置，但是本申请实施例并不以此为限。采用该设计，使得外壳在绕第二轴向转动时向两侧转动的角度相同，从而可以避免与滑块发生干涉，进而可以有效提高本申请实施例的可靠性及稳定性，并且可以有效提高减振效果。可选地，连杆6的两端部也可以位于前侧板33及后侧板34在竖直方向上的中间位置，可以避免滑块2在滑动时，第一减振组件4与外壳3的顶板35发生干涉。

于本申请的一实施例中，还包括销轴7，销轴7沿第一轴向L1穿设于连杆6的中部且与滑块2连接，连杆6能绕销轴7转动。如图1、图3A及3B所示，连杆6中部设置有一通孔61，销轴7可以穿过该通孔61后与滑块2连接，例如采用螺接的方式。销轴7沿第一轴向L1设置，使得连杆6可以绕第一轴向L1转动，即外壳2可以相对于底座1沿水平方向转动，同时由于第二减振组件5减振作用，外壳3在沿水平方向转动时同样也具有缓冲减振的效果。

需要说明的是，本申请实施例并不限定销轴的具体实施方式，例如销轴也可以连杆一体成型制成，通过卡接的方式连接于滑块上。因此本申请对此并不进行限定，本领域技术人员可以根据实际情况自行调整设置。

于本申请的一实施例中，减振装置还包括第三减振组件8，第三减振组件8沿第二轴向L2延伸设置于滑块2与外壳3的内壁之间，并且第三减振组件8及第二减振组件5在第二轴向L2上位于销轴7的两侧。

如图1所示，第三减振组件8可以设置于滑块2与外壳3的后侧板34的内壁之间，并且第三减振组件8沿第二轴向L2延伸设置。第三减振组件8及第二减振组件5在第二轴向L2上位于销轴7的两侧，即第三减振组件8及第二减振组件5分别靠近滑块2的两相对的端部设置。采用上述设计，使得外壳相对于底座沿水平方向转动时或者当外壳相对连杆转动(即外壳相对底座摆动)时，第二减振组件及第三减振组件可以共同作用，有效的减少了由于单个减振组件失效的可能，可以大幅提升本申请实施例的稳定性及可靠性，还可以进一步的延长使用寿命。

于本申请的一实施例中，第二减振组件5为两个，两个第二减振组件5对称设置于滑块2的两侧，并且分别与外壳3两相对的内壁连接。

如图1、图4A至图4C所示，第二减振组件5可以为两个，并且对称的设置于滑块2的两侧。结合参照图5A及图5B，第二减振组件5可以包括第二弹性件51及第二定位块52，第二弹性件51的两端均卡合设置有第二定位块52，第二定位块52可以通过螺接的方式与滑块2或者左侧板31及右侧板32的内壁连接。采用上述设计，当外壳绕第二轴向转动时，即外壳相对底座摆动时，由于采用两个第二减振组件的设计，可以有效提高本申请实施例的减振效果，从而可以进一步提高可靠性及稳定性。但是本申请实施例并不限定第二减振组件的具体实施方式，例如第二弹性件与第二定位块可以为一体设置，第二定位块可以采用螺栓连接的方式与左侧板及右侧板连接，因此本申请实施例并不以此为限，本领域技术人员可以根据情况自行调整设置。

于本申请的一实施例中，滑块2沿第一轴向L1凸设有顶抵块21，两个第二减振组件5对称的设置于顶抵块21的两侧。如图1、图6A至图6C所示，滑块2可以为矩形结构，其可以沿第二轴向L2凸设有一顶抵块21，顶抵块21的两相对侧面上均设置有安装孔22,第二减振组件5的第二定位块52可以设置于安装孔22内。采用上述设计，由于第二减振组件的长度得到延长，可以进一提高本申请实施例的减振效果。但是并非所有实施例中都包括安装孔，在一些其它实施例中，第二定位块也可以采用焊接的方式与顶抵块固定连接，因此本申请实施例并不以此为限，本领域技术人员可以根据情况自行调整设置。

于本申请的一实施例中，第三减振组件8为两个，两个第三减振组件8沿连杆6的轴向对称设置。结合参考图1及图4C所示，在减振装置的俯视图中，两个第三减振组件8可以位于连杆6的两侧，并且两个第三减振组件8可以沿连杆6的轴向对称设置。第三减振组件8设置于后侧板34与滑块2之间。采用上述设计，可以使得外壳在相对于底座水平转动时受力更加均匀，从而可以进一步提高减振效果。可选地，第三减振组件8可以包括第三弹性件81及第三定位块82，其具体实施方式可以参照上述实施例中关于第二减振组件5描述，于此不再赘述。需要说明的是，本申请实施例并不限定第三减振组件的具体实施方式，本领域技术人员可以根据情况自行调整设置。

于本申请的一实施例中，第一减振组件4、第二减振组件5及第三减振组件8均为蓄能减振结构。如1至图6B所示，第一减振组件4、第二减振组件5及第三减振组件8均可以采用弹簧减振结构，使用该设计可以有效降低本申请实施例的使用及维护成本。在一些其它实施例中，上述各减振组件也可以采用液压减振结构，因此本申请实施例并不以此为限，本领域技术人员可以根据情况自行调整设置。

于本申请的一实施例中，第一减振组件4为两个，两个第一减振组件4沿连杆6的轴向对称设置。结合参照图1及图4A所示，在减振装置的后视图中，两个第一减振组件4可以位于连杆6的两侧，并且两个第一减振组件4可以沿连杆6的轴向对称设置。第一减振组件4设置于底座1与滑块2之间。采用上述设计，可以使滑块在相对于底座沿第一轴向运动时更加稳定，从而可以进一步提高本申请实施例稳定性及可靠性。

可选地，结合参照图1及图6A至图7B所示，第一减振组件4可以包括导杆41、第一弹性件42及止挡件43，导杆41可以采用金属材质制成的中空杆状结构，其一端可以通过螺栓连接的方式设置于底座1上，另一端可以设置有止挡件43，第一弹性件42及滑块2可以依次套设于导杆41的外侧，并且第一弹性件42顶抵于底座1及滑块2之间，滑块2上对应的设置有滑动孔23。可选地，止挡件43不仅可以用于对滑块2进行止挡，当第一减振组件4为两个时，止挡件43还可以对连杆6进行止挡，从而可以限制外壳2沿水平方向转动的角度，可以进一步提高本申请实施例的稳定性。采用上述设计，可以使得本申请实施例的更加结构简单，使用方便且可以有效降低故障率。

于本申请的一实施例中，如图1所示，第一轴向L1与第二轴向L2之间的第一夹角A1可以为90度，第二夹角A2也可以是90度。即第一轴向L1为竖直方向，而第二轴向L2为水平方向。但是需要说明的是，本申请实施例并不限定夹角的具体度数，例如第一夹角A1及第二夹角A2均可以是大于0度及小于等于90度的数值，只要第一轴向L1与第二轴向L2之间具有第一夹角A1，以及第二减振组件的延伸方向L3与第一轴向L1及第二轴向L2所在的平面相交且呈第二夹角A2即可，因此本申请实施例并不以此为限，本领域技术人员可以根据情况自行调整设置。

基于同一发明构思，第二个方面，本申请实施例提供了一种风机系统，包括机箱、风机本体以及如第一个方面提供的减振装置，底座可以固定设置于机箱上，外壳可以与风机本体连接。

基于同一发明构思，第三个方面，本申请实施例提供了一种半导体热处理设备，包括炉体、排风机构、控制柜以及如第二个方面提供的风机系统，控制柜电连接排风机构和风机系统，并且风机系统设置于控制柜内。

应用本申请实施例，至少能够实现如下有益效果：

本申请实施例通过在滑块及底座之间设置第一减振组件，以及在外壳及滑块之间设置第二减振组件，可以使得本申请实施例的减振装置实现多角度的缓冲减振，可以很好的缓解风机本体的振动对机箱的损害，以满足对风机本体减振的需求。另外由于本申请结构简单可靠，可以有效提高本申请实施例的使用寿命，从而可以有效降低故障率，进而有效提高经济效益。

可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本发明的原理而采用的示例性实施方式，然而本发明并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本发明的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本发明的保护范围。

在本申请的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

在本申请的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

以上所述仅是本申请的部分实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本申请原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本申请的保护范围。

Claims (14)

1.一种减振装置，设置于机箱及风机本体之间用于对风机本体进行减振，其特征在于，包括：底座、滑块、外壳、第一减振组件及第二减振组件；

所述滑块通过第一减振组件连接于所述底座，且所述滑块能相对于所述底座沿第一轴向运动；

所述外壳套设于所述滑块外侧，且所述外壳能相对于所述滑块绕第二轴向转动，所述第一轴向与所述第二轴向之间呈第一夹角；

所述第二减振组件设置于所述滑块及所述外壳内壁之间，并且所述第二减振组件延伸方向与所述第一轴向及所述第二轴向所在平面相交呈第二夹角。

2.如权利要求1所述的减振装置，其特征在于，所述外壳内还设置有连杆，所述连杆沿第二轴向延伸设置于所述滑块上，所述外壳相对于所述连杆绕第二轴向转动。

3.如权利要求2所述的减振装置，其特征在于，所述连杆的两端部与所述外壳的两相对内壁的中部位置连接，并且所述内壁相对于所述连杆的端部对称。

4.如权利要求2所述的减振装置，其特征在于，还包括销轴，所述销轴沿第一轴向穿设于所述连杆的中部且与所述滑块连接，所述连杆能绕所述销轴转动。

5.如权利要求4所述的减振装置，其特征在于，还包括第三减振组件，所述第三减振组件沿第二轴向延伸设置于所述滑块与所述外壳的内壁之间，并且所述第三减振组件及所述第二减振组件在第二轴向上位于销轴的两侧。

6.如权利要求5所述的减振装置，其特征在于，所述第二减振组件为两个，两个所述第二减振组件对称设置于所述滑块的两侧，并且分别与所述外壳两相对的内壁连接。

7.如权利要求6所述的减振装置，其特征在于，所述滑块沿第一轴向凸设有顶抵块，两个所述第二减振组件对称的设置于所述顶抵块的两侧。

8.如权利要求5所述的减振装置，其特征在于，所述第三减振组件为两个，两个所述第三减振组件沿所述连杆的轴向对称设置。

9.如权利要求5所述的减振装置，其特征在于，所述第三减振组件均为蓄能减振结构。

10.如权利要求1所述的减振装置，其特征在于，所述第一减振组件及所述第二减振组件均为蓄能减振结构。

11.如权利要求2所述的减振装置，其特征在于，所述第一减振组件为两个，两个所述第一减振组件沿所述连杆的轴向对称设置。

12.如权利要求1至11的任一所述的减振装置，其特征在于，所述第一夹角及所述第二夹角均为90度。

13.一种风机系统，其特征在于，包括机箱、风机本体以及如权利要求1至12的任一所述的减振装置，所述底座固定设置于机箱上，所述外壳与所述风机本体连接。

14.一种半导体热处理设备，其特征在于，包括炉体、排风机构、控制柜以及如权利要求13所述的风机系统，所述控制柜电连接所述排风机构和所述风机系统，并且所述风机系统设置于控制柜内。