CN110340669A - 一种基于激光原位辅助的快刀伺服加工硬脆材料自由曲面的方法 - Google Patents

一种基于激光原位辅助的快刀伺服加工硬脆材料自由曲面的方法 Download PDF

Info

Publication number
CN110340669A
CN110340669A CN201910652855.5A CN201910652855A CN110340669A CN 110340669 A CN110340669 A CN 110340669A CN 201910652855 A CN201910652855 A CN 201910652855A CN 110340669 A CN110340669 A CN 110340669A
Authority
CN
China
Prior art keywords
laser
fast tool
tool servo
situ
processing
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN201910652855.5A
Other languages
English (en)
Inventor
石广丰
高继雨
史国权
张心明
蔡洪彬
冉同欢
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Changchun University of Science and Technology
Original Assignee
Changchun University of Science and Technology
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Changchun University of Science and Technology filed Critical Changchun University of Science and Technology
Priority to CN201910652855.5A priority Critical patent/CN110340669A/zh
Publication of CN110340669A publication Critical patent/CN110340669A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/0093Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring combined with mechanical machining or metal-working covered by other subclasses than B23K

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
  • Laser Beam Processing (AREA)

Abstract

本发明公开了一种基于激光原位辅助的快刀伺服加工硬脆材料自由曲面的方法,采用激光续断器对快刀伺服加工中同轴原位辅助的连续激光进行作用时间控制,控制后的激光再通过快刀伺服装置及快刀伺服装置所夹持的单晶金刚石刀具对硬脆材料自由曲面零件进行原位辅助加工。通过激光续断器控制后的激光作用频率与快刀伺服装置的加工频率同步,能够使激光能量通过单晶金刚石刀具直接有效地对快刀伺服加工硬脆材料的内部进行原位加热辅助作用,有效增大快刀伺服加工硬脆材料作用区域的脆塑转变临界切削厚度数值,显著提高切削用量,提高硬脆材料自由曲面零件的加工效率和加工质量。

Description

一种基于激光原位辅助的快刀伺服加工硬脆材料自由曲面的 方法
技术领域
本发明属于超精密加工技术领域,具体涉及一种基于激光原位辅助的快刀伺服加工硬脆材料自由曲面的方法。
背景技术
目前,采用单晶金刚石刀具进行的超精密快刀伺服加工主要应用于光学自由曲面车削、微结构表面创成等领域,但在加工硬脆材料自由曲面零件时,控制算法复杂、不能有效实现任意加工位置处的塑性域去除,导致加工质量和加工效率不佳。虽然激光辅助加工方法可以大大加热、软化被加工硬脆材料的切削区域,增大作用区域的脆塑转变临界切削厚度数值,但是常采用的离位激光辅助加工时激光远离刀具,激光能量易受到切削液和流出切屑的干扰影响,无法有效到达材料内部,直接影响了加工质量的提高;而透过金刚石刀具的激光原位辅助加工方法多采用连续激光辅助连续切削作用,无法进行硬脆材料自由曲面的快刀伺服断续辅助加工,不利于硬脆材料自由曲面加工质量的提高。本发明提出的基于激光原位辅助的快刀伺服加工方法,采用激光续断器对快刀伺服加工中同轴原位辅助的连续激光进行断续作用的时间控制,能够配合快刀伺服装置及单晶金刚石刀具的作用频率对硬脆材料自由曲面进行高质量、高效加工。
发明内容
为解决上述技术问题,本发明提出一种基于激光原位辅助的快刀伺服加工硬脆材料自由曲面的方法。
本发明通过以下方案实现:
采用激光续断器对快刀伺服加工中同轴原位辅助的连续激光进行作用时间控制,控制后的激光再通过快刀伺服装置及快刀伺服装置所夹持的单晶金刚石刀具对硬脆材料自由曲面零件进行原位辅助加工。通过激光续断器控制后的激光作用频率与快刀伺服装置的加工频率同步,能够使激光能量通过单晶金刚石刀具直接有效地对快刀伺服加工硬脆材料的内部进行原位加热辅助作用。
进一步地,所述激光续断器采用压电陶瓷、音圈电机等高频驱动装置,能够对同轴原位辅助的连续激光进行直线往复移动式或回转运动的周期性阻断装置;所述高频驱动装置的周期运动频率应当不小于快刀伺服装置的周期驱动频率;激光续断器的运动方向与快刀伺服加工的运动方向可垂直、平行,运动过程中不发生干涉;激光续断器设置在激光到达单晶金刚石刀具之前的位置处,并与快刀伺服装置在结构上能够有效兼容。
进一步地,所述的单晶金刚石刀具可以换成对不同波段激光有透射效应的材料制成的刀具,但应当与所采用的原位辅助激光的特性相匹配,能够让大部分的激光能量从刀具中有效输出并被被加工硬脆材料的作用区域吸收。
进一步地,具体包括如下步骤:
S1、根据被加工零件的材料类型、自由曲面特征和加工要求选择单晶金刚石刀具、连续激光工艺参数;保证同轴原位辅助的连续激光能准确通过单晶金刚石刀具在前方的特定位置处进行准确聚焦;
S2、在超精密机床的主轴夹具上装夹被加工零件,根据加工要求规划单晶金刚石刀具的加工路径,并设置激光续断器的周期性阻断频率;
S3、经过超精密机床的对刀操作后,设定快刀伺服加工时单晶金刚石刀具的初始位置;
S4、启动超精密机床快刀伺服的加工程序,并同步开启激光器和激光续断器,主轴带动被加工零件作旋转运动,快刀伺服装置根据规划的刀具加工路径进行激光原位辅助的快刀伺服加工,同时激光续断器按照规划的运动频率控制连续激光的作用时间,直至完成加工;
S5、加工完毕,退刀,关闭激光器和激光续断器。
本发明具有以下有益效果:
本发明采用激光续断器对快刀伺服加工中同轴原位辅助的连续激光进行作用时间控制,控制后的激光再通过快刀伺服装置及快刀伺服装置所夹持的单晶金刚石刀具对硬脆材料自由曲面零件进行原位辅助加工。本加工方法可以有效增大快刀伺服加工硬脆材料作用区域的脆塑转变临界切削厚度数值,显著提高切削用量,提高硬脆材料自由曲面零件的加工效率和加工质量。
附图说明
图1为本发明的一种基于激光原位辅助的快刀伺服加工硬脆材料自由曲面的结构示意图;
图中:1-激光束;2-激光续断器;3-快刀伺服装置;4-单晶金刚石刀具;5-被加工零件;6-超精密机床主轴夹具;7-超精密机床主轴。
具体实施方式
下面结合具体实施例对本发明进行详细说明。以下实施例将有助于本领域的技术人员进一步理解本发明,但不以任何形式限制本发明。应当指出的是,对本领域的普通技术人员来说,在不脱离本发明构思的前提下,还可以做出若干变形和改进。这些都属于本发明的保护范围。
如图1所示,本发明实施例提供了一种基于激光原位辅助的快刀伺服加工硬脆材料自由曲面的方法,采用激光续断器对快刀伺服加工中同轴原位辅助的连续激光进行作用时间控制,控制后的激光再通过快刀伺服装置及快刀伺服装置所夹持的单晶金刚石刀具对硬脆材料自由曲面零件进行原位辅助加工。通过激光续断器控制后的激光作用频率与快刀伺服装置的加工频率同步,能够使激光能量通过单晶金刚石刀具直接有效地对快刀伺服加工硬脆材料的内部进行原位加热辅助作用。
根据加工路径完成硬脆材料的加工。具体包括如下步骤:
S1、根据被加工零件的材料类型、自由曲面特征和加工要求选择单晶金刚石刀具、连续激光工艺参数;保证同轴原位辅助的连续激光能准确通过单晶金刚石刀具在前方的特定位置处进行准确聚焦;
S2、在超精密机床的主轴夹具上装夹被加工零件,根据加工要求规划单晶金刚石刀具的加工路径,并设置激光续断器的周期性阻断频率;
S3、经过超精密机床的对刀操作后,设定快刀伺服加工时单晶金刚石刀具的初始位置;
S4、启动超精密机床快刀伺服的加工程序,并同步开启激光器和激光续断器,主轴带动被加工零件作旋转运动,快刀伺服装置根据规划的刀具加工路径进行激光原位辅助的快刀伺服加工,同时激光续断器按照规划的运动频率控制连续激光的作用时间,直至完成加工;
S5、加工完毕,退刀,关闭激光器和激光续断器。
本实施例中,所述激光续断器采用压电陶瓷、音圈电机等高频驱动装置,能够对同轴原位辅助的连续激光进行直线往复移动式或回转运动的周期性阻断装置;所述高频驱动装置的周期运动频率应当不小于快刀伺服装置的周期驱动频率;激光续断器的运动方向与快刀伺服加工的运动方向可垂直、平行,运动过程中不发生干涉;激光续断器设置在激光到达单晶金刚石刀具之前的位置处,并与快刀伺服装置在结构上能够有效兼容。
本实施例中,所述的单晶金刚石刀具可以换成对不同波段激光有透射效应的材料制成的刀具,但应当与所采用的原位辅助激光的特性相匹配,能够让大部分的激光能量从刀具中有效输出并被被加工硬脆材料的作用区域吸收。
以上对本发明的具体实施例进行了描述。需要理解的是,本发明并不局限于上述特定实施方式,本领域技术人员可以在权利要求的范围内做出各种变化或修改,这并不影响本发明的实质内容。在不冲突的情况下,本申请的实施例和实施例中的特征可以任意相互组合。

Claims (4)

1.一种基于激光原位辅助的快刀伺服加工硬脆材料自由曲面的方法,其特征在于:采用激光续断器对快刀伺服加工中同轴原位辅助的连续激光进行作用时间控制,控制后的激光再通过快刀伺服装置及快刀伺服装置所夹持的单晶金刚石刀具对硬脆材料自由曲面零件进行原位辅助加工。通过激光续断器控制后的激光作用频率与快刀伺服装置的加工频率同步,能够使激光能量通过单晶金刚石刀具直接有效地对快刀伺服加工硬脆材料的内部进行原位加热辅助作用。
2.如权利要求1所述的一种基于激光原位辅助的快刀伺服加工硬脆材料自由曲面的方法,其特征在于:所述激光续断器采用压电陶瓷、音圈电机等高频驱动装置,能够对同轴原位辅助的连续激光进行直线往复移动式或回转运动的周期性阻断装置;所述高频驱动装置的周期运动频率应当不小于快刀伺服装置的周期驱动频率;激光续断器的运动方向与快刀伺服加工的运动方向可垂直、平行,运动过程中不发生干涉;激光续断器设置在激光到达单晶金刚石刀具之前的位置处,并与快刀伺服装置在结构上能够有效兼容。
3.如权利要求1所述的一种基于激光原位辅助的快刀伺服加工硬脆材料自由曲面的方法,其特征在于:所述的单晶金刚石刀具可以换成对不同波段激光有透射效应的材料制成的刀具,但应当与所采用的原位辅助激光的特性相匹配,能够让大部分的激光能量从刀具中有效输出并被被加工硬脆材料的作用区域吸收。
4.如权利要求1所述的一种基于激光原位辅助的快刀伺服加工硬脆材料自由曲面的方法,其特征在于:具体包括如下步骤:
S1、根据被加工零件的材料类型、自由曲面特征和加工要求选择单晶金刚石刀具、连续激光工艺参数;保证同轴原位辅助的连续激光能准确通过单晶金刚石刀具在前方的特定位置处进行准确聚焦;
S2、在超精密机床的主轴夹具上装夹被加工零件,根据加工要求规划单晶金刚石刀具的加工路径,并设置激光续断器的周期性阻断频率;
S3、经过超精密机床的对刀操作后,设定快刀伺服加工时单晶金刚石刀具的初始位置;
S4、启动超精密机床快刀伺服的加工程序,并同步开启激光器和激光续断器,主轴带动被加工零件作旋转运动,快刀伺服装置根据规划的刀具加工路径进行激光原位辅助的快刀伺服加工,同时激光续断器按照规划的运动频率控制连续激光的作用时间,直至完成加工;
S5、加工完毕,退刀,关闭激光器和激光续断器。
CN201910652855.5A 2019-07-22 2019-07-22 一种基于激光原位辅助的快刀伺服加工硬脆材料自由曲面的方法 Pending CN110340669A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201910652855.5A CN110340669A (zh) 2019-07-22 2019-07-22 一种基于激光原位辅助的快刀伺服加工硬脆材料自由曲面的方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201910652855.5A CN110340669A (zh) 2019-07-22 2019-07-22 一种基于激光原位辅助的快刀伺服加工硬脆材料自由曲面的方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN110340669A true CN110340669A (zh) 2019-10-18

Family

ID=68179247

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201910652855.5A Pending CN110340669A (zh) 2019-07-22 2019-07-22 一种基于激光原位辅助的快刀伺服加工硬脆材料自由曲面的方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN110340669A (zh)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111299868A (zh) * 2020-03-03 2020-06-19 长春理工大学 激光原位辅助金刚石机械刻划中阶梯光栅的光学系统
CN112059402A (zh) * 2020-08-24 2020-12-11 长春理工大学 一种激光原位辅助单点金刚石飞切装置
CN112317963A (zh) * 2020-10-21 2021-02-05 长春理工大学 飞秒激光复合快速刀具伺服正交切削装置及方法

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1730227A (zh) * 2005-08-10 2006-02-08 安徽建筑工业学院 硬脆性材料的脉冲激光铣削方法
WO2008130884A1 (en) * 2007-04-19 2008-10-30 Massachusetts Institute Of Technology Variable reluctance fast positioning system and methods
US20110188251A1 (en) * 2010-01-29 2011-08-04 Bremer Institut Fur Angewandte Strahltechnik Gmbh Device for laser-optical generation of mechanical waves for processing and/or examining a body
CN103331522A (zh) * 2013-07-01 2013-10-02 苏州东山精密制造股份有限公司 一种导光板图案加工设备
CN105710980A (zh) * 2016-01-17 2016-06-29 长春理工大学 激光原位辅助机械刻划硬脆材料的装置及方法
CN106736845A (zh) * 2016-11-22 2017-05-31 江苏工大金凯高端装备制造有限公司 一种大行程快刀伺服机构

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1730227A (zh) * 2005-08-10 2006-02-08 安徽建筑工业学院 硬脆性材料的脉冲激光铣削方法
WO2008130884A1 (en) * 2007-04-19 2008-10-30 Massachusetts Institute Of Technology Variable reluctance fast positioning system and methods
US20110188251A1 (en) * 2010-01-29 2011-08-04 Bremer Institut Fur Angewandte Strahltechnik Gmbh Device for laser-optical generation of mechanical waves for processing and/or examining a body
CN103331522A (zh) * 2013-07-01 2013-10-02 苏州东山精密制造股份有限公司 一种导光板图案加工设备
CN105710980A (zh) * 2016-01-17 2016-06-29 长春理工大学 激光原位辅助机械刻划硬脆材料的装置及方法
CN106736845A (zh) * 2016-11-22 2017-05-31 江苏工大金凯高端装备制造有限公司 一种大行程快刀伺服机构

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
江俊: "《曲面透镜阵列金刚石快刀伺服加工系统及实验研究》", 《中国优秀硕士学位论文全文数据库工程科技II辑》 *

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111299868A (zh) * 2020-03-03 2020-06-19 长春理工大学 激光原位辅助金刚石机械刻划中阶梯光栅的光学系统
CN112059402A (zh) * 2020-08-24 2020-12-11 长春理工大学 一种激光原位辅助单点金刚石飞切装置
CN112317963A (zh) * 2020-10-21 2021-02-05 长春理工大学 飞秒激光复合快速刀具伺服正交切削装置及方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN110340669A (zh) 一种基于激光原位辅助的快刀伺服加工硬脆材料自由曲面的方法
JP5981094B2 (ja) ダイシング方法
CN105436710B (zh) 一种硅晶圆的激光剥离方法
US9120179B2 (en) Multi-step cutting process
CN107139345B (zh) 脆性材料复杂曲面超精密车削成型方法
CN104599960B (zh) 一种大功率电力电子器件晶圆激光切割方法
JP2016215231A (ja) 脆性基板のスライス装置及び方法
JP2016525018A (ja) 平坦なワークピースを複数の部分に分割する方法及び装置
CN112620947B (zh) 一种叶脉仿生表面金刚石切削刀具的激光制备方法
CN107586044A (zh) 一种防眩光3d玻璃的制作方法
CN102528280A (zh) 激光-水射流复合微细加工工艺及装置
CN109551335A (zh) 一种激光辅助精密磨削透明材料的工艺
CN106340490A (zh) 晶片的加工方法
CN103952767A (zh) 一种双激光束序列扫描精密加工蓝宝石的方法
CN105081587A (zh) 一种水射流激光复合多道切割陶瓷的方法
CN113649706A (zh) 一种基于水射流激光的SiC晶片高效倒角方法
CN101211993A (zh) 大幅面激光标刻太阳能电池
US20150158117A1 (en) System and method for obtaining laminae made of a material having known optical transparency characteristics
JP2000247671A (ja) ガラスの分断方法
CN103341692A (zh) 切割不规则图形基板的方法和显示装置
CN102079015A (zh) 一种GaAs基LED芯片的激光切割方法
CN103406669A (zh) 一种激光直接加工涡轮叶片气膜异型孔的方法
CN112935528B (zh) 一种针对厚度较大晶圆进行高质量切割的方法和装置
CN103372654A (zh) 基于飞刀切削的对膜状工件的槽加工方法及镜面加工方法
CN102768973B (zh) 一种用于离子注入的激光辅助装置及其使用方法

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
RJ01 Rejection of invention patent application after publication

Application publication date: 20191018

RJ01 Rejection of invention patent application after publication