CN110327663B - 一种超亲水TiO2薄膜及其制备方法 - Google Patents

Abstract

一种超亲水TiO₂薄膜及其制备方法，属于油水分离的技术领域。本发明方法获得网膜具有粗糙鱼鳞状的仿生纳米结构，能够进行高效率高通量的油水分离，同时具有良好的耐磨损性能和紫外光照射下自清洁性能。本发明超亲水TiO₂网膜是采用原子层沉积技术，以四异丙醇钛和去离子水为前驱体，在不锈钢网上沉积TiO₂薄膜。本发明的TiO₂网膜表面鱼鳞状仿生结构，轻油水混合物在纳米结构间隙已被水占据后，油便无法取代水进入结构间隙；重油水混合物的分离除了稳固的水膜，还受到毛细驱动压力和毛细管侧壁黏附阻力共同的向上作用力，从而实现了对轻重油水混合物的分离。

Description

一种超亲水TiO2薄膜及其制备方法

技术领域

本发明属于油水分离的技术领域；具体涉及一种超亲水TiO₂薄膜的制备方法。

背景技术

随着工业化进程的不断深入，石油泄露事故和含油废水的排放对环境及人类都造成了严重的威胁。对于这些油水废液，传统的处理方法主要基于重力分离、离心、化学氧化以及生物修复等原理。其中重力法分离成本低，适用范围广，但往往会受限于过滤材料或者过滤设备，导致分离效率较低，能耗较高而且容易造成二次污染。革新过滤设备需要较高的成本，而优化过滤材料所需成本低、针对性强。因此，处理油水废液的超润湿滤膜已经成为当前的研究热点。

受自然界超润湿现象的启发，具有超润湿特性的仿生微观结构(如荷叶、蝉翅、鱼鳞等)已经得到了较为充足的研究。但是大多数研究中所使用的滤膜制备方法繁琐，往往需要二步、三步甚至更多步骤；对于滤膜的耐磨损性能考察也不甚全面，这严重限制了滤膜的实际应用。

目前，采用纳米金属氧化膜涂层膜材料抗原油，即在同一种聚合物基底上沉积了相同厚度(10nm)的金属氧化膜，能够显著减轻过滤过程中的污垢。其中TiO₂和SnO₂涂层膜的抗原油性能远远优于ZnO和Al₂O₃涂层膜，但是TiO₂和SnO₂包覆的聚合物膜经水润湿后，在水中和空气中对原油的附着力都非常低。

发明内容

本发明采用原子层沉积技术，通过简单的一步法在商用不锈钢网上制备仿生纳米结构的TiO₂薄膜，从而获得TiO₂网膜，本发明方法获得网膜具有粗糙鱼鳞状的仿生纳米结构，能够进行高效率高通量的油水分离，同时具有良好的耐磨损性能和紫外光照射下自清洁性能。

本发明中超亲水TiO₂网膜是采用原子层沉积技术，以四异丙醇钛和去离子水为前驱体，在不锈钢网上沉积TiO₂薄膜；具体是按下述步骤进行的：

步骤一、将不锈钢网用无水乙醇超声清洗2次，每次清洗15分钟，然后用N₂吹干，再氧等离子体清洗，完成基底的前处理；

步骤二、以四异丙醇钛和去离子水为前驱体，氮气为负载气，反应仓内压力为0.1torr，沉积温度为180～400℃，四异丙醇钛的源瓶温度为70～85℃，水源为室温，沉积周期区间为200cycle～800cycle，在经过步骤一前处理不锈钢网上原子层沉积厚度为6～24nm的 TiO₂薄膜。

进一步限定，步骤一中氧等离子体清洗处理时间为10分钟。

进一步限定，所述不锈钢网的目数为200目～500目；优选：400目。

进一步限定，步骤一所述不锈钢网为304不锈钢网

进一步限定，步骤二中沉积参数优选：沉积温度为200℃，四异丙醇钛的源瓶温度为 75℃，沉积周期为400cycle～600cycle。

本发明的TiO₂网膜表面鱼鳞状仿生结构，本发明原子层沉积过程中，纳米尺寸的微群岛逐渐延展构筑出完整的连续薄膜，表面提供给TiO₂生长的区域减小，所以岛的顶端较为尖锐，呈鱼鳞状。轻油水混合物在纳米结构间隙已被水占据后，油便无法取代水进入结构间隙；重油水混合物的分离除了稳固的水膜，还受到毛细驱动压力和毛细管侧壁黏附阻力共同的向上作用力，从而实现了对轻重油水混合物的分离。

本发明TiO₂网膜表面的有机污染物，在受UV激发而产生的羟基自由基和超氧化物自由基的作用下被氧化为CO₂、H₂O等无机物。实验结果表明该TiO₂网膜具有良好的UV 照射下自清洁能力，出色的机械稳定性和基底结合力，稳定的抗冲击、抗弯折和循环分离能力，始终保持良好的超亲水性能和分离效率(＞99.0％)。

附图说明

图1是不同薄膜厚度TiO₂网膜的SEM照片，(a)6nm；(b)12nm；(c)18nm；(d)24nm；

图2是不同薄膜厚度TiO₂网膜在空气环境下的水接触角，(a)6nm；(b)12nm；(c)18nm；(d)24nm；

图3是不同薄膜厚度TiO₂网膜的水下油接触角；

图4是不同薄膜厚度对TiO₂网膜润湿性的影响；

图5是不同薄膜厚度TiO₂网膜的油水分离效率；

图6是不同薄膜厚度TiO₂网膜的水通量；

图7是不同薄膜厚度TiO₂网膜的浸没压力；

图8是不同目数的不锈钢网基底上TiO₂薄膜的SEM照片，(a,b)200目；(c,d)300目；(e,f)400目；(g,h)500目；

图9是不同目数的不锈钢网基底上TiO₂薄膜的水下油接触角，(a)200目；(b)300目； (c)400目；(d)500目；

图10是不同目数的不锈钢网基底上TiO₂薄膜在空气环境下的水接触角，(a)200目； (b)300目；(c)400目；(d)500目；

图11是不同基底目数对TiO₂网膜润湿性的影响；

图12是不同基底目数TiO₂网膜的油水分离效率；

图13是不同基底目数TiO₂网膜的水通量；

图14是不同基底目数TiO₂网膜的浸没压力；

图15是TiO₂网膜的SEM照片，(a,b)原始不锈钢网；(c-f)不同放大倍数的TiO₂薄膜修饰不锈钢网；

图16是TiO₂网膜对轻油与水混合物的循环分离效率；

图17是TiO₂网膜对重油与水混合物的循环分离效率；

图18是UV照射下被油污染的TiO₂网膜水接触角变化，a)油污后表面接触角；(b,c)油污后UV照射9h和18h的表面接触角；

图19是原始TiO₂网膜、油污TiO₂网膜、UV照射18小时后油污TiO₂网膜的红外光谱；

图20是TiO₂网膜自清洁机理示意图。

具体实施方式

实施例1：本实施例中超亲水TiO₂网膜是采用原子层沉积技术，以四异丙醇钛和去离子水为前驱体，在400目不锈钢网上沉积TiO₂薄膜；具体是按下述步骤进行的：

步骤一、将400目不锈钢网用无水乙醇超声清洗2次，每次清洗15分钟，然后用N₂吹干，再氧等离子体清洗：首先抽真空5分钟，从透光口可看到暗紫色的光，再通入氧气 10分钟，透光口出现粉红色的光，之后关闭仪器，取出基底，完成基底的前处理；

步骤二、以四异丙醇钛和去离子水为前驱体，氮气为负载气，反应仓内压力为0.1torr，沉积温度为200℃，四异丙醇钛的源瓶温度为75℃，水源为室温，沉积周期区间为400cycle～600cycle，在经过步骤一前处理基底上原子层沉积厚度为12nm的TiO₂薄膜。

本实施例沉积过程中生长速率较快，本实施例TiO₂网膜具有粗糙鱼鳞状的仿生纳米结构，能够进行高效率高通量的油水分离，同时具有良好的耐磨损性能和UV照射下自清洁性能。本实施例超亲水TiO₂网膜的空气中水接触角为0°，水下油接触角大于150°、滚动角小于5°；分离效率大于99.0％；通量为107856L·m^-2·h^-1；浸没压力为4208Pa；同时适用于轻重油水混合物的分离。

表1不同沉积温度条件下TiO₂薄膜的方均根粗糙度

表2不同源瓶温度条件下TiO₂薄膜的方均根粗糙度

表3不同沉积周期条件下TiO₂薄膜的方均根粗糙度

采用下述验证发明效果：

通过砂纸水平摩擦实验、胶带垂直撕拉实验对TiO₂网膜的机械稳定性和基底结合力进行考察。摩擦实验结果表明TiO₂网膜在1000目砂纸上经过20次摩擦实验，仍然保持良好的超亲水性(WCA＝0°)，TiO₂网膜表面的鱼鳞状纳米结构未见明显损坏；撕拉实验结果表明经过610型和600型3M胶带20次的撕拉，TiO₂薄膜始终与不锈钢网基底结合良好，纳米结构形状完整。

通过细沙流动冲击试验、折叠与揉皱实验对TiO₂网膜的抗冲击能力和抗弯折能力进行考察。冲击试验后单根纤维和整体网膜表面的薄膜微观结构均未出现损坏，润湿性也未受影响(WCA＝0°，水下OCA＝151°)；折叠试验后TiO₂网膜的润湿性和油水分离性能均与原始TiO₂网膜保持一致。

通过20次轻、重油水连续分离实验对TiO₂网膜的循环分离稳定性进行考察，TiO₂网膜对轻、重油水混合物的分离效率始终保持在99.1％以上。

通过对原始TiO₂网膜、油污TiO₂网膜、UV照射后的油污TiO₂网膜进行接触角测试和红外光谱分析，发现TiO₂网膜的超亲水性经油污染后被破坏(WCA＝67°)，UV照射 18小时后得到复原(WCA＝0°)；红外光谱结果也表明，18小时的UV照射后，油类的-CH₂- 和-CH₃特征峰消失。这是由于TiO₂网膜表面的有机污染物，在受UV激发而产生的羟基自由基和超氧化物自由基的作用下被氧化为CO₂、H₂O等无机物。

不同薄膜厚度TiO₂网膜的SEM照片如图1所示。在不同厚度条件下，TiO₂网膜的空气中水接触角(WCA)和水下油接触角(CA in water)分别见图2和图3。从图1(a) 中可以看出在厚度为6nm时，薄膜表面的鱼鳞状纳米结构相对疏松，且结构顶端较为平滑，水滴进入结构的间隙后会迅速流走而不能被锁定，结构表面的水滴也不能稳定地停留，这为牢固水膜的建立造成了阻碍。从图2(a)和图3(a)可知在该厚度条件下空气中的水接触角为24.80°，水中油接触角为112.49°。当薄膜厚度为24nm时，图1(d)中的SEM 表征显示此条件下的薄膜表面已经不存在鱼鳞状结构。从ALD镀膜的岛状生长机制来看，这是由于沉积周期多，表面最初形成的体积较小相距较近的TiO₂小岛有充足的反应物供给，逐渐扩大并最终相连成面。图2(d)和图3(d)中可看出24nm时的润湿性数值为空气中的水接触角15.76°，水中油接触角为118.61°。如图1(b、c)中所示，当薄膜厚度为12nm和18nm时，可以看到非常清晰的鱼鳞状粗糙结构。这种鱼鳞结构排列密集，它们的间隙可以有效地锁住渗入TiO₂网膜的水；接触到结构表面的水滴也会被稳定地架在相邻的两块“鱼鳞”顶端。因此这种结构非常有助于促成平整水膜的形成，使超亲水/水下超疏油的特性得以实现。这两种厚度的TiO₂网膜都可以得到在空气环境下0°的接触角，水下油接触角在150°左右，如图2(b、c)和图3(b、c)中所示。从图4中可以看出，在厚度为6nm至24nm的范围内，随着TiO₂薄膜厚度的增加，空气中水接触角先减小后增大，水下油接触角先增大后减小，在12nm和18nm处均可取得良好的超亲水/水下超疏油效果。

不同薄膜厚度的TiO₂网膜对油水混合物的分离效率如图5所示。分离效率是油水分离指标中最为重要的一项，它所指示的是油水混合物分离后收集的水的重量与原本水重量的百分比，也就是分离效果的好坏。厚度为12和18nm时，油水分离效率分别为99.3％和99.5％，与其他文献相比也是很高的效率值。显然鱼鳞状结构越粗糙、分布越密集，分离效率越高。厚度为6nm时分离效率为89.5％，24nm时为93.0％，可见薄膜的微观结构分布过于稀疏或是过于密集都会对分离效率造成负面影响。另外需要说明的是，本实验中所搭建的分离装置体积较大，分离过程中有一些水挂壁无法收集，所以计算值略低于真实值。

不同厚度TiO₂网膜的水通量如图6所示。通量指示的是单位时间内单位面积上通过的液体的体积，在实际的生产过程中，通量越大，分离的效率也就越快，可以有效地节约人力物力。与图4对照分析后可以发现，TiO₂网膜亲水性越好，水通过的越快。薄膜厚度为12nm时水通量为107856L·m^-2·h^-1，18nm时水通量为113420L·m^-2·h^-1。这两个数值与图4中的润湿性表征结果是对应的，此两种厚度条件下均可得到空气中的超亲水效果，接触角为0°，因此也得到较高的通量值。薄膜厚度为6nm时水通量为84725L·m^-2·h^-1， 24nm时水通量为82836L·m^-2·h^-1。这两个通量数值较12和18nm时为低，是因为在此两种厚度条件下并未达到超亲水效果(WCA＜10°)。24nm时的亲水性略优于6nm，通量却反而略低，这是由于24nm时每一根不锈钢纤维上薄膜比较厚，占据膜上网眼的面积较多，在分离装置的通过面积一定的前提下，水流过的有效面积就小，通过时间长，通量略低。

本发明中以被苏丹Ⅳ染色的正己烷的高度来计算不同薄膜厚度的TiO₂网膜所能承受的浸没压力。浸没压力越大，网膜的抗压能力越强，能承受更多油水混合物同时进行分离。从图7中可以看出，在薄膜厚度为24nm时可以达到最大的浸没压力5100Pa，而6nm 时浸没压力为3050Pa，薄膜厚度与浸没压力之间呈线性正相关。其原因是随着薄膜厚度增加，微观结构排列越为紧密，能够支撑更多的上方液体。网膜的疏油性越好，能承受的浸没压力也会越大，所以从6nm到12nm的浸没压力增长幅度要大于从18nm到24nm 的增幅。

在不同目数的不锈钢网基底上沉积的TiO₂薄膜的表面形貌，如图8中的SEM表征结果所示。发现薄膜表面的鱼鳞状结构随着基底目数的增加而略微变得密集而小，如图18(a、c、e、g)所示。再对比图18(b、d、f、h)这四副图，200目不锈钢网在镀膜之后不锈钢网纤维本身的纹路仍然比较清晰，而500目的钢网在镀膜后本身纹路已不可见。造成以上现象的原因主要是由于目数不同的不锈钢网纤维粗细不同，200目的不锈钢网纤维较粗而500目钢网的纤维则较细，所以200目的单根纤维较500目来说会给TiO₂薄膜提供更多的生长位点，也给最初生成的TiO₂小岛提供了更大的扩展蔓延的空间。生长空间的充足也使得200目网膜单根纤维上的鱼鳞状微观结构分布较为疏松，空间位阻效应小，所以鳞片状结构体积较大；500目网膜单根纤维上生长空间较小，鱼鳞状微观结构排列紧密，空间位阻效应大，鳞片结构的体积较小。图19和图20中所显示的是不同目数的TiO₂网膜在水下的油接触角和空气环境下的水接触角。从中可以看出这两种接触角均未随基底目数变化而变化，空气中的水接触角均为0°，体现出超亲水性；水中油接触角均大于150°，体现出水下超疏油特性。所以尽管基底目数的不同对薄膜表面鱼鳞状结构的排列造成了轻微影响，但却不足以影响薄膜的润湿性，如图21中清晰可见，基底目数的不同对TiO₂网膜的润湿性没有显著影响。

不同基底目数TiO₂网膜的油水分离效率如图12中所示。TiO₂网膜润湿性和油水分离效率之间存在着非常明显的对应关系，这是由于TiO₂网膜越亲水，在被水润湿之后微观结构间隙中的水就越难被油所取代，结构表面的水膜也越难被破坏，因此就会达到更好的油水分离效果，所以亲水性越好的TiO₂网膜就具有越高的油水分离效率。而图11中不同基底目数TiO₂网膜的润湿性没有明显差别，均为在空气环境下水接触角为0°的超亲水效果，故而图12中的不同基底目数TiO₂网膜的油水分离效率也几乎一致，均在99.0％以上。

如图13中所示，TiO₂网膜的目数与水通量之间呈现线性负相关的关系，随着基底目数的增加，水通量逐渐降低。200目时水通量为124725L·m^-2·h^-1，300目时水通量为113420 L·m^-2·h^-1，400目时水通量为107856L·m^-2·h^-1，500目时水通量为96869L·m^-2·h^-1。这是由于目数较大的网膜横纵间距均小于目数较小网膜的横纵间距，所以水的有效流通面积也减小，在水的体积一定的前提下，流通时间长，通量也变小。虽然200目时可以取得最大水通量，但这并不能说明这就是最优的基底目数，还要结合浸没压力来综合考虑。

以被苏丹Ⅳ染色的正己烷作为液相介质来测试不同目数TiO₂网膜的浸没压力，测试结果见图14。TiO₂网膜的目数与浸没压力之间呈现线性正相关的关系，随着基底目数的增加，浸没压力也逐渐增加。200目时浸没压力为2985Pa，300目时浸没压力为3515Pa， 400目时浸没压力为4208Pa，500目时浸没压力为5900Pa。这种变化的原因是目数增加，网眼面积变小，填充网眼的水膜表面张力越大，向上的毛细驱动压力和毛细管侧壁黏附阻力越大；在单位面积内出现的不锈钢纤维数量增多，对上方液体的承受能力越强，所以浸没压力也随之增大。在分离效率均达到99％以上的前提下，综合考虑图13、14中的通量和浸没压力数据，发现目数小的网膜通量大浸没压力小，目数大的网膜通量小浸没压力大，其中400目时可以取得较为理想的通量值和浸没压力。在确定镀膜工艺的条件下，薄膜厚度为12nm、不锈钢网规格为400目时可以取得最优的表面润湿性(超亲水/水下超疏油) 和油水分离效率(＞99.0％)、较大的水通量(107856L·m^-2·h^-1)及较好的浸没压力(4208 Pa)。

图15展示了原始不锈钢网和TiO₂薄膜修饰不锈钢网的整体与单根纤维的SEM图像。对于原始不锈钢网来说，整体表面可观察到一些擦痕和破损，如图15(a)所示，从单根不锈钢纤维上则可以清楚地看到光滑表面，如图15(b)所示。在经过ALD沉积处理后，整体网膜表面十分平整完好，原本的擦痕因TiO₂薄膜覆盖而完全消失，图15(c)所示。在单根纤维的表面可以明显观察到分布均匀的的颗粒状结构，图15(d)所示。将单根纤维表面局部放大观察，如图15(f)和(e)所示，可以发现TiO₂网膜表面布满了近似于三角形的纳米颗粒，就像鱼鳞一样整齐地排列。鱼鳞排列的照片在图15(e)中的小图。这些纳米颗粒的平均长度大约为400nm，平均宽度大约为150nm。水鸟无法在含油污水中幸存，一旦羽毛沾上油就很难清理，而很多鱼类却能在含油污水中生存很长时间，正是由于它们独特的皮肤结构具备超亲水/水下超疏油特性。这种由纳米级的鱼鳞状结构和微米级的网格基底所组成的粗糙的微纳结构是极端润湿行为的关键之一。这种鱼鳞状纳米结构的形成可能是由于原子层沉积技术的岛状生长模式。前驱体分子首先在基底上的活性位点吸附并反应，初步形成相对来说距离较远的纳米尺寸的微群岛，随着沉积周期增加，群岛逐渐升高并向周边方向蔓延，各岛的底部最先相连接，由此构筑出完整的连续薄膜。但是随着小岛的升高，表面的活性位点也就越少，提供给TiO₂生长的区域小，所以岛的顶端较为尖锐，就像是一片片的鱼鳞。需要说明的是，当沉积周期过大的时候，群岛就会完全连接，形成一片连续的平整的薄膜，导致了超亲水性能的降低。

从图16中可以看出，在这20次分离中，对于轻油混合物，具有鱼鳞状表面结构的TiO₂网膜的分离效率均在99.1％以上；而对于重油混合物，同样进行20次分离，TiO₂网膜的分离效率同样也都在在99.1％以上，如图17所示。对于轻重油水混合物的多次分离过程中，TiO₂网膜始终维持着99.0％以上的高分离效率，这证明了本实验中所制备的TiO₂网膜具有良好的循环分离稳定性。

本发明将TiO₂网膜浸没在正己烷中来模拟被油污染的情况，由于水的表面张力高于正己烷，所以空气环境下的超亲水表面对正己烷也能得到超亲润湿的效果，所以正己烷迅速在TiO₂网膜表面铺展。随后测试该油污网膜在空气中的水接触角，表征结果如图18(a)所示，此时的水接触角为67°，TiO₂网膜原有的超亲水性遭到破坏。将此网膜在UV下照射9小时后，再次测试润湿性，水接触角变为32°，如图18(b)所示；18小时UV照射后网膜的超亲水性得到回复，水接触角为0°，如图18(c)所示。随后又通过红外光谱表征原始TiO₂网膜、UV照射前后的油污网膜的表面化学基团来进一步验证，如图19中显示。在2600cm^-1至3400cm^-1范围内，原始TiO₂网膜的红外光谱上无特征峰，经正己烷污染后在2987cm^-1和2900cm^-1处出现了表示-CH₂-和-CH₃的特征峰，UV照射后两个特征峰消失，与原始TiO₂网膜的红外表征结果一致，这说明表面的油类已经消失。以上实验结果证明了TiO₂网膜具有在UV照射条件下自清洁的性能。

图20中显示的是TiO₂的光催化机理，TiO₂网膜的自清洁性与TiO₂的光催化机理息息相关，光催化过程中：

TiO₂+hγ→e^-+h⁺

h⁺+H₂O→·OH+H⁺

e^-+O₂→·O₂ ^-

·O₂ ^-+H⁺→HO₂·

2HO₂·→O₂+H₂O₂

H₂O₂+·O₂ ^-→·OH+OH^-

TiO₂内部的氧原子与Ti以三度配位的方式形成Ti-O键，表面的氧原子则与Ti以二度配位的方式结合，被称为桥位氧。由于配位度低，桥位氧稳定性较差，在UV照射下， TiO₂表面的桥位氧与Ti的晶格键减弱，VB的电子被激发至CB，使得TiO₂网膜表面产生光电子(e^-)和空穴(h⁺)，光电子与Ti⁴⁺反应生成Ti³⁺，空穴与桥位氧反应生成氧空位， H₂O与氧空位结合生成·OH，增强了TiO₂网膜的亲水性。与此同时，在空穴的作用下， H₂O被氧化成羟基自由基和H⁺，空气中的氧气则被光电子还原成超氧化物自由基，这两种自由基将TiO₂网膜表面的有机污染物。如正己烷，氧化为CO₂、H₂O等无机物，所以 -CH₂-和-CH₃的特征峰在UV照射后消失。

Claims (10)

1.一种超亲水TiO2网膜，其特征在于所述的超亲水TiO2网膜是采用原子层沉积技术，以四异丙醇钛和去离子水为前驱体，氮气为负载气，反应仓内压力为0.1 torr，沉积温度为180～400 ℃，四异丙醇钛的源瓶温度为70～85 ℃，水源为室温，沉积周期区间为200cycle～800 cycle，在不锈钢网上沉积厚度为6nm～24nm的TiO2薄膜。

2.如权利要求1所述一种超亲水TiO2网膜的制备方法，其特征在于所述制备方法是按下述步骤进行的：

步骤一、将不锈钢网用无水乙醇超声清洗2次，每次清洗15分钟，然后用N2吹干，再用氧等离子体清洗，完成基底的前处理；

步骤二、以四异丙醇钛和去离子水为前驱体，氮气为负载气，反应仓内压力为0.1torr，沉积温度为180～400 ℃，四异丙醇钛的源瓶温度为70～85 ℃，水源为室温，沉积周期区间为200cycle～800 cycle，在经过步骤一前处理不锈钢网上原子层沉积厚度为6nm～24nm的TiO2网膜。

3.根据权利要求2所述的一种超亲水TiO2网膜的制备方法，其特征在于步骤一中氧等离子体清洗处理时间为10分钟。

4.根据权利要求2所述的一种超亲水TiO2网膜的制备方法，其特征在于步骤一所述不锈钢网目数为200目~500目。

5.根据权利要求3所述的一种超亲水TiO2网膜的制备方法，其特征在于所述不锈钢网的目数为400目。

6.根据权利要求2、3或4所述的一种超亲水TiO2网膜的制备方法，其特征在于步骤一所述不锈钢网为304不锈钢网。

7.根据权利要求2所述的一种超亲水TiO2网膜的制备方法，其特征在于步骤二中沉积温度为200 ℃。

8.根据权利要求7所述的一种超亲水TiO2网膜的制备方法，其特征在于步骤二中四异丙醇钛的源瓶温度为75 ℃。

9.根据权利要求7所述的一种超亲水TiO2网膜的制备方法，其特征在于步骤二中沉积周期为400 cycle~600 cycle。

10.根据权利要求2所述的一种超亲水TiO2网膜的制备方法，其特征在于步骤二中原子层沉积厚度为12nm的TiO2网膜。

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