CN110323168A - 悬吊式晶圆盒定位装置 - Google Patents

Abstract

一种悬吊式晶圆盒定位装置，适用于安装在高架轨道上，并包含承载单元、固置单元、驱动单元、连动单元及锁扣单元。所述承载单元包括定位在所述高架轨道上的主载板，所述固置单元包括定位在所述主载板底侧的第一固定座及第二固定座，所述驱动单元包括定位于所述第一固定座的动力件，所述动力件具有驱动杆，所述连动单元包括被该驱动杆驱动的连杆，所述锁扣单元包括与所述第二固定座枢接并被所述连杆连动的枢转座，及自该枢转座延伸且相对该晶圆盒的定位板在一解锁位置与一锁扣位置之间移动的扣压块。借此可以提高所述晶圆盒在所述高架轨道上的稳固性以维持晶圆的质量。

Description

悬吊式晶圆盒定位装置

技术领域

本发明涉及一种半导体设备，特别是涉及一种悬吊式晶圆盒定位装置。

背景技术

为了节省使用空间以及提高作业效率，晶圆厂主要通过高架轨道输送晶圆盒，因为晶圆盒只是暂时被放置在高架轨道上，整体稳固性较差，所以受外力碰撞或进行充填气体作业时，晶圆盒极易产生晃动，严重影响放置在晶圆盒内的晶圆的质量。

发明内容

本发明的目的在于提供一种可以提高晶圆盒在高架轨道上的稳固性，以维持晶圆盒内的晶圆质量的悬吊式晶圆盒定位装置。

本发明悬吊式晶圆盒定位装置，适用于安装在高架轨道上，所述晶圆盒具有盒体及定位在所述盒体底部且彼此间隔的定位板，所述悬吊式晶圆盒定位装置包含承载单元、固置单元、驱动单元、连动单元及锁扣单元，其特征在于：

所述承载单元包括固定在所述高架轨道上，并位于所述定位板底侧的主载板；

所述固置单元包括沿左右方向排列固定在所述主载板底侧的第一固定座及第二固定座，所述第二固定座具有界定出朝向所述第一固定座开放的第一容纳空间的第一本体，及自所述第一本体沿左右方向朝远离所述第一固定座延伸的枢块；

所述驱动单元包括固定于所述第一固定座的动力件，所述动力件具有位于所述第一容纳空间内并能沿左右方向线性移动的驱动杆；

所述连动单元包括位于所述第二固定座的前侧、后侧，且被所述驱动杆驱动的连杆；

所述锁扣单元包括与所述枢块枢接并被所述连杆连动的枢转座，及自所述枢转座朝向顶端弯折延伸，且相对所述定位板在一解锁位置与一锁扣位置之间移动的扣压块。

本发明所述的悬吊式晶圆盒定位装置，所述连杆具有与所述驱动杆连接的被驱动段，及反向于所述被驱动段并邻近所述枢块的连动段。

本发明所述的悬吊式晶圆盒定位装置，所述驱动单元还包括连接于所述驱动杆的万向接头，所述第二固定座还具有沿左右方向设置于所述第一本体并连通所述容纳空间的长条导孔，所述连动单元还包括沿前后方向穿置在所述连杆的被驱动段、所述长条导孔、所述万向接头之间的第一连接轴。

本发明所述的悬吊式晶圆盒定位装置，所述枢转座具有能相对于所述枢块转动地套置在所述枢块外的第二本体，所述锁扣单元还包括沿前后方向穿置在所述第二本体与所述枢块之间的枢轴，所述连动单元还包括穿置在所述连杆的连动段与所述枢转座之间的第二连接轴。

本发明所述的悬吊式晶圆盒定位装置，所述第二本体还具有贯穿该第二本体的穿孔及连通所述穿孔的螺孔，所述锁扣单元还包括锁入所述螺孔并抵置所述第二连接轴的定位螺丝。

本发明所述的悬吊式晶圆盒定位装置，所述定位板具有沿左右方向设置的开槽，所述主载板具有对准所述开槽的开孔，所述扣压块穿过所述开孔与所述开槽，并在所述解锁位置与所述锁扣位置之间移动。

本发明悬吊式晶圆盒定位装置，适用于安装在高架轨道上，所述晶圆盒具有盒体及固定在所述盒体底部且彼此间隔的定位板，所述悬吊式晶圆盒定位装置包含承载单元、固置单元、驱动单元、连动单元及锁扣单元，其特征在于：

所述承载单元包括固定在所述高架轨道上，并位于所述定位板底侧的主载板；

所述固置单元包括沿左右方向排列固定在所述主载板底侧的第一固定座及第三固定座，所述第三固定座具有朝向底侧延伸的枢块；

所述驱动单元包括固定于所述第一固定座的动力件，所述动力件具有朝向所述第三固定座延伸，并能沿左右方向线性移动的驱动杆；

所述连动单元包括位于所述第三固定座的前侧、后侧，且被所述驱动杆驱动的连杆；

所述锁扣单元包括位于所述第三固定座之间并与所述枢块枢接且被所述连杆连动的枢转座，及自所述枢转座朝向顶端延伸弯折，且相对所述定位板在一解锁位置与一锁扣位置之间移动的扣压块。

本发明所述的悬吊式晶圆盒定位装置，所述连杆具有与所述驱动杆连接的被驱动段，及反向于所述被驱动段并邻近所述枢转座的连动段，所述驱动单元还包括连接于所述驱动杆的万向接头，所述连动单元还包括沿前后方向穿置在所述连杆的被驱动段与所述万向接头之间的第一连接轴。

本发明所述的悬吊式晶圆盒定位装置，所述锁扣单元还包括沿前后方向穿置在所述枢转座与所述枢块之间的枢轴，所述连动单元还包括沿前后方向穿置在所述连杆的连动段与所述枢转座之间的第二连接轴。

本发明所述的悬吊式晶圆盒定位装置，所述第三固定座还具有设置于所述枢块并沿顶底方向延伸的长条导孔，所述枢轴穿置在所述长条导孔与所述枢转座之间。

本发明的有益效果在于：通过所述扣压块对所述定位板进行锁扣，可以提高所述晶圆盒在所述高架轨道上的稳固效果，可以维持放置在所述晶圆盒的盒体内的晶圆的质量。

附图说明

图1是本发明悬吊式晶圆盒定位装置的第一实施例的一立体图，显示该第一实施例安装在一高架轨道上；

图2是本发明该第一实施例的一不完整的局部组合仰视图；

图3是本发明该第一实施例的一不完整的局部分解立体图，显示一晶圆盒具有一盒体、一定位板及数个充气嘴；

图4是本发明该第一实施例的一不完整的局部分解立体图；

图5是本发明该第一实施例的一组合立体图；

图6是本发明该第一实施例的一分解立体图；

图7是本发明该第一实施例的一不完整的剖视图，显示一锁扣单元的一扣压块相对于一定位板位于一解锁位置；

图8是类似图7的视图，显示该扣压块相对于该定位板位于一锁扣位置；

图9是一不完整的局部分解立体图，显示本发明悬吊式晶圆盒定位装置的第二实施例安装在一高架轨道上并位于一晶圆盒的底侧；

图10是本发明该第二实施例的一组合立体图；

图11是本发明该第二实施例的一分解立体图；

图12是本发明该第二实施例的一不完整的剖视图，显示一锁扣单元的一扣压块相对于一定位板位于一解锁位置；

图13是类似图12的视图，显示该扣压块相对于该定位板位于一锁扣位置。

具体实施方式

下面结合附图及实施例对本发明进行详细说明，在本发明被详细描述前，应当注意在以下的说明内容中所使用的相对位置用语，例如“前后方向X”、“左右方向Y”、“顶底方向Z”，是以各图所示方位暨正常使用方位为基准，且类似的元件以相同的编号来表示。

参阅图1至图4，本发明悬吊式晶圆盒定位装置适用于安装在一高架轨道10上，晶圆盒20具有一盒体21，一固定在该盒体21底部且与该盒体21彼此间隔的定位板22，及数个安装在该盒体21内用于将氮气充填入该盒体21内的充气嘴23，该定位板22具有一朝向左侧开放的开槽221及数个定位孔222，本发明的第一实施例包含一承载单元30、一固置单元40、一驱动单元50、一连动单元60及一锁扣单元70。

该承载单元30包括一固定在该高架轨道10上的副载板31，及一固定在该副载板31顶侧的主载板32，该主载板32位于该定位板22与该副载板31之间且三者彼此间隔，并具有一个对准该开槽221的开孔321。

值得说明的是，本发明可以省略该副载板31，直接将该主载板32固定在该高架轨道10上。

该副载板31上安装有数个减震件111及数个导正件112，所述减震件111除了可以提供减震功能，同时具备将该主载板32与该副载板31隔开的作用，所述导正件112穿出该主载板32供该定位板22的数个定位孔222套置，使该定位板22能获得精准定位。由于所述减震件111、所述导正件112的结构，为本发明所属技术领域的技术人员所易于了解，且其并非本发明的特点所在，故在此不赘述其详细结构。

参阅图3至图6，该固置单元40包括沿该左右方向Y排列锁结固定在该主载板32底侧的一个第一固定座41及一个第二固定座42，该第二固定座42具有界定出一朝向该第一固定座41开放的第一容纳空间421的一个第一本体422，沿该左右方向Y设置于该第一本体422并连通该第一容纳空间421的两个长条导孔423，及一自该第一本体422沿该左右方向Y朝远离该第一固定座41延伸的枢块424。

该驱动单元50包括一动力件51、一万向接头52及一调整螺帽53，该动力件51在本实施例中为油压缸或气压缸，具有一固定于该第一固定座41的缸体511，及一组装于该缸体511并位于该第一容纳空间421内可沿该左右方向Y线性移动的驱动杆512，该万向接头52套置连接于该驱动杆512并位于该第一容纳空间421内，该调整螺帽53螺锁在该驱动杆512外并抵置该万向接头52，通过转动该调整螺帽53可以微调该万向接头52的位置。

该连动单元60包括两支连杆61、一支第一连接轴62、两支第二连接轴63及两个第一扣环64，所述连杆61位于该第二固定座42的前侧、后侧且被该驱动杆512驱动，每一支连杆61具有一与该驱动杆512连接的被驱动段611，及一反向于该被驱动段611并邻近该枢块424的连动段612，该第一连接轴62沿该前后方向X穿置在所述连杆61的被驱动段611、所述长条导孔423、该万向接头52之间，所述第一扣环64扣置于该第一连接轴62的两端并阻挡所述被驱动段611，借此，使所述连杆61与该驱动杆512连接并可被该驱动杆512驱动，通过该第一连接杆62与所述长条导孔423的配合，可提高该驱动杆512的线性移动精准度，通过该万向接头52，可以提高该驱动杆512对该第一连接轴62、所述连杆61的驱动顺畅度，通过所述第一扣环64，可以防止该第一连接轴62与所述连杆61脱离。

该锁扣单元70包括一枢转座71、一扣压块72、一枢轴73、两支定位螺丝74及四个第二扣环75。

该枢转座71与该枢块424枢接并被所述连杆61连动，该枢转座71具有界定出一容置该枢块424的第二容纳空间711的一个第二本体712，贯穿该第二本体712且连通该第二容纳空间711的两个枢孔713、两个穿孔714，及连通所述穿孔714的两个螺孔715，该枢转座71的第二容纳空间711容置该枢块424，该枢轴73沿该前后方向X穿置在所述枢孔713与该枢块424之间，借此使该枢转座71能以该枢轴73为支轴相对于该枢块424转动，再将所述第二连接轴63分别穿置在所述连杆61的连动段612与该第二本体712的穿孔714之间，就可以使该枢转座71与所述连杆61连接并可被所述连杆61连动而产生转动，将所述定位螺丝74锁入所述螺孔715并抵置所述第二连接轴63，可以防止所述第二连接轴63转动以提高所述连杆61对该枢转座71的连动精准效果，将两个第二扣环75扣置于该第二连接轴63并阻挡所述连杆61的连动段612，可以防止所述第二连接轴63与所述连杆61脱离。

该扣压块72自该枢转座71的第二本体712朝向顶端弯折延伸，且相对该定位板22在一解锁位置(见图7)与一锁扣位置(见图8)之间移动，本实施例该扣压块72穿过该第二载板32的开孔321与该定位板22的开槽221，并在该解锁位置与该锁扣位置之间移动。

使用时，参阅图7，当该扣压块72位于该解锁位置时，该驱动杆512处于缩回状态且该扣压块72位于该主载板32的开孔321内，参阅图1、图8，欲对该晶圆盒20进行锁扣提高该晶圆盒20位于该高架轨道10上的稳固性，令该驱动杆512伸出就可驱动所述连杆61朝向左侧移动，接着所述连杆61推动该枢转座71，使该枢转座71以该枢轴73为支轴产生顺时针方向转动，进而使该扣压块72同步转动并穿过该开孔321、该开槽221而扣压住该定位板22，也就是从该解锁位置移动到该锁扣位置，如此，就可以提高该晶圆盒20在该高架轨道10上的稳固效果，参阅图1、图8、图7，欲将该晶圆盒20从该高架轨道10下载输送到下一个作业地点，令该驱动杆512缩回就可驱动所述连杆61朝向右侧移动，接着所述连杆61拉动该枢转座71，使该枢转座71以该枢轴73为支轴产生逆时针方向转动，进而使该扣压块72同步转动并穿过该开孔321、该开槽221而脱离该定位板22，也就是从该锁扣位置移动到该解锁位置。

值得说明的是，欲调整该扣压块72对该定位板22的锁扣角度，只需转动该调整螺帽53，就可以推动该万向接头52相对于该驱动杆512移动，并通过该连动单元60连动该扣压块72转动，进而产生调整该扣压块72的角度位置效果。

综上所述，本发明悬吊式晶圆盒定位装置该第一实施例，通过该扣压块72可以对该晶圆盒20的定位板22进行锁扣或解锁，可以提高该晶圆盒20在该高架轨道10上的稳固效果，即使该晶圆盒20受外力碰撞或进行充填气体作业，仍可维持放置在该晶圆盒20的盒体21内的晶圆的质量，同时可以增加充气时的气密性以提高充气效率。

参阅图9至图12，本发明悬吊式晶圆盒定位装置的第二实施例同样安装在一高架轨道10上并位于一晶圆盒20底侧，该晶圆盒20同样包括一盒体21、一定位板22及数个充气嘴23。

该第二实施例同样包含一承载单元30、一固置单元80、一驱动单元50、一连动单元90及一锁扣单元100。

该承载单元30同样包括一块副载板31及一主载板32，该主载板32具有一个对准该定位板22的一开槽221的开孔321。

该固置单元80包括沿该左右方向Y排列锁结固定在该主载板32底侧的一个第一固定座81及两个第三固定座82，所述第三固定座82沿该前后方向X排列并彼此间隔，每一个第三固定座82从前侧观看概呈T形，并具有一锁块821，一自该锁块821朝向底侧延伸的枢块822，及一设置于该枢块822并沿该顶底方向Z延伸的长条导孔823。

该驱动单元50同样包括一固置于该第一固定座81并沿该左右方向Y延伸的动力件51，一套置于该动力件51的一驱动杆512的万向接头52，及一螺锁于该驱动杆512并抵置该万向接头52的调整螺帽53。

该连动单元90包括两支连杆91、一支第一连接轴92、一支第二连接轴93、两个第一扣环94及两个第二扣环95，该第一连接轴92沿该前后方向X延伸，并具有一穿置连接于该万向接头52的本体921，及自该本体921的前端、后端缩径延伸的两支套柱922，每一支连杆91具有一套置在该套柱922外与该第一连接轴92连接的被驱动段911，及一反向于该被驱动段911的连动段912，所述第一扣环94分别扣置于所述套柱922并阻挡所述被驱动段911，借此，使所述连杆91与该第一连接轴92连接并可被该驱动杆512驱动。

该锁扣单元100包括一枢转座101，一自该枢转座101朝向顶端延伸再朝向右端弯折的扣压块102，及一沿该前后方向X穿置于该枢转座101的枢轴103。

该连动单元90的第二连接轴93沿该前后方向X穿置于该枢转座101并位于该枢轴103底侧，所述连杆91的连动段912套置连接于所述二连接轴93的前段、后段，再将所述第二扣环95扣置于该第二连接轴93的前段、后段并阻挡所述连动段912，就可使所述连杆91通过该第二连接轴93与该枢转座101连接，接着将该枢轴103穿置于所述第三固定座82的长条导孔823与该枢转座101，就能使该枢转座101以该枢轴103为转轴相对于所述第三固定座82转动，并使该扣压块102相对该定位板22在一解锁位置(见图12)与一锁扣位置(见图13)之间移动。

使用时，参阅图12，当该扣压块102位于该解锁位置时，该驱动杆512处于缩回状态且该扣压块102位于该主载板32的开孔321内，参阅图9、图13，欲对该晶圆盒20进行锁扣提高该晶圆盒20位于该高架轨道10上的稳固性，令该驱动杆512伸出就可通过该第一连接轴92驱动所述连杆91朝向左侧移动，接着所述连杆91通过该第二连接轴93推动该枢转座101，使该枢转座101以该枢轴103为转轴产生顺时针方向转动，进而使该扣压块102同步转动并穿过该开孔321、该开槽221而扣压住该定位板22，也就是从该解锁位置移动到该锁扣位置，如此，就可以提高该晶圆盒20在该高架轨道10上的稳固效果，参阅图9、图13、图12，欲将该晶圆盒20从该高架轨道10下载输送到下一个作业地点，令该驱动杆512缩回就可驱动所述连杆91朝向右侧移动，接着所述连杆91拉动该枢转座101，使该枢转座101以该枢轴103为转轴产生逆时针方向转动，进而使该扣压块102同步转动并穿过该开孔321、该开槽221而脱离该定位板22，也就是从该锁扣位置移动到该解锁位置。

本发明悬吊式晶圆盒定位装置该第二实施例通过不同的结构，能产生与该第一实施例相同的功效及优点。

Claims (10)

1.一种悬吊式晶圆盒定位装置，适用于安装在高架轨道上，所述晶圆盒具有盒体及定位在所述盒体底部且彼此间隔的定位板，所述悬吊式晶圆盒定位装置包含承载单元、固置单元、驱动单元、连动单元及锁扣单元，其特征在于：

所述承载单元包括固定在所述高架轨道上，并位于所述定位板底侧的主载板；

所述固置单元包括沿左右方向排列固定在所述主载板底侧的第一固定座及第二固定座，所述第二固定座具有界定出朝向所述第一固定座开放的第一容纳空间的第一本体，及自所述第一本体沿左右方向朝远离所述第一固定座延伸的枢块；

所述驱动单元包括固定于所述第一固定座的动力件，所述动力件具有位于所述第一容纳空间内并能沿左右方向线性移动的驱动杆；

所述连动单元包括位于所述第二固定座的前侧、后侧，且被所述驱动杆驱动的连杆；

所述锁扣单元包括与所述枢块枢接并被所述连杆连动的枢转座，及自所述枢转座朝向顶端弯折延伸，且相对所述定位板在一解锁位置与一锁扣位置之间移动的扣压块。

2.根据权利要求1所述的悬吊式晶圆盒定位装置，其特征在于：

所述连杆具有与所述驱动杆连接的被驱动段，及反向于所述被驱动段并邻近所述枢块的连动段。

3.根据权利要求2所述的悬吊式晶圆盒定位装置，其特征在于：

所述驱动单元还包括连接于所述驱动杆的万向接头，所述第二固定座还具有沿左右方向设置于所述第一本体并连通所述容纳空间的长条导孔，所述连动单元还包括沿前后方向穿置在所述连杆的被驱动段、所述长条导孔、所述万向接头之间的第一连接轴。

4.根据权利要求3所述的悬吊式晶圆盒定位装置，其特征在于：

所述枢转座具有能相对于所述枢块转动地套置在所述枢块外的第二本体，所述锁扣单元还包括沿前后方向穿置在所述第二本体与所述枢块之间的枢轴，所述连动单元还包括穿置在所述连杆的连动段与所述枢转座之间的第二连接轴。

5.根据权利要求4所述的悬吊式晶圆盒定位装置，其特征在于：

所述第二本体还具有贯穿该第二本体的穿孔及连通所述穿孔的螺孔，所述锁扣单元还包括锁入所述螺孔并抵置所述第二连接轴的定位螺丝。

6.根据权利要求5所述的悬吊式晶圆盒定位装置，其特征在于：

所述定位板具有沿左右方向设置的开槽，所述主载板具有对准所述开槽的开孔，所述扣压块穿过所述开孔与所述开槽，并在所述解锁位置与所述锁扣位置之间移动。

7.一种悬吊式晶圆盒定位装置，适用于安装在高架轨道上，所述晶圆盒具有盒体及固定在所述盒体底部且彼此间隔的定位板，所述悬吊式晶圆盒定位装置包含承载单元、固置单元、驱动单元、连动单元及锁扣单元，其特征在于：

所述承载单元包括固定在所述高架轨道上，并位于所述定位板底侧的主载板；

所述固置单元包括沿左右方向排列固定在所述主载板底侧的第一固定座及第三固定座，所述第三固定座具有朝向底侧延伸的枢块；

所述驱动单元包括固定于所述第一固定座的动力件，所述动力件具有朝向所述第三固定座延伸，并能沿左右方向线性移动的驱动杆；

所述连动单元包括位于所述第三固定座的前侧、后侧，且被所述驱动杆驱动的连杆；

所述锁扣单元包括位于所述第三固定座之间并与所述枢块枢接且被所述连杆连动的枢转座，及自所述枢转座朝向顶端延伸弯折，且相对所述定位板在一解锁位置与一锁扣位置之间移动的扣压块。

8.根据权利要求7所述的悬吊式晶圆盒定位装置，其特征在于：

所述连杆具有与所述驱动杆连接的被驱动段，及反向于所述被驱动段并邻近所述枢转座的连动段，所述驱动单元还包括连接于所述驱动杆的万向接头，所述连动单元还包括沿前后方向穿置在所述连杆的被驱动段与所述万向接头之间的第一连接轴。

9.根据权利要求8所述的悬吊式晶圆盒定位装置，其特征在于：

所述锁扣单元还包括沿前后方向穿置在所述枢转座与所述枢块之间的枢轴，所述连动单元还包括沿前后方向穿置在所述连杆的连动段与所述枢转座之间的第二连接轴。

10.根据权利要求9所述的悬吊式晶圆盒定位装置，其特征在于：

所述第三固定座还具有设置于所述枢块并沿顶底方向延伸的长条导孔，所述枢轴穿置在所述长条导孔与所述枢转座之间。