CN110303247A - 一种激光开封机 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种激光开封机，所述激光开封机包括激光发生模块和作业平台模块；所述激光发生模块包括用于聚焦激光的透镜和三个以上的第二传感器；所述作业平台模块包括模具、校正组件、转动平台组件和三轴移动组件，所述模具在设定范围内自由运动；所述模具上设置有第一传感器，所述第一传感器基于所述转动平台组件形成环状的第一感应区。通过第一感应区与三个以上的第二传感器之间的相互感应，实现模具与透镜之间的位置校正，校正效果良好，具有良好的实用性。

Description

一种激光开封机

技术领域

本发明涉及激光领域，具体涉及到一种激光开封机。

背景技术

激光开封机的工作原理是利用高能激光蚀刻掉芯片或者电子元器件的塑封外壳，从而光学观测或者电气性能测试提供了可能性，以便于实现X射线等无损检测无法实现的功能。

激光开封机主要由激光设备和工作平台组成，激光设备上设置有激光头，激光头的位置固定不动，内部通过偏振镜调整激光光路，从而实现激光的轨迹控制；工作平台置于激光头下方，芯片基于一芯片模具固定在工作平台上；作业时，高能激光在激光头的焦点平面上按照预设轨迹对芯片进行开封。

具体实施中，上位机通过程序控制激光头沿特定轨迹打点以完成激光开封作业，激光设备坐标系与上位机程序坐标系位置是相一致的，而芯片受芯片模具、工作平台等部件影响，芯片坐标系与激光设备坐标系的并非是完全一致的。因此，在作业前需要调整芯片位置，使芯片坐标系与激光设备坐标系保持一致。

现有激光开封机为了保证芯片坐标系与激光设备坐标系，通常将工作平台和激光设备固定在同一底座上，以保证二者之间的相互固定，一方面，工作平台和激光设备固定一体，设备整体体积较大，运输便利性较差；另一方面，实际实施中，芯片一般需要通过芯片模具固定在工作平台上，芯片模具在工作平台上的位置受自身结构和装配精度的影响，并非是固定的，因此，很难保证芯片坐标系和激光设备坐标系是完全一致的。

发明内容

针对于激光设备坐标系和芯片坐标系不重合的问题，本发明实施例体用了一种激光开封机，该激光开封机具有激光设备坐标系和芯片位置坐标系自动调节功能，具有良好的实用性。

相应的，本发明提供了一种激光开封机，其特征在于，所述激光开封机包括激光发生模块和作业平台模块；

所述激光发生模块包括用于聚焦激光的透镜和三个以上的第二传感器，所述三个以上的第二传感器固定在所述透镜外周，且所述三个以上的第二传感器与所述透镜轴线的距离相等；

所述作业平台模块设置在所述透镜的出光面一侧，所述作业平台模块包括模具、校正组件、转动平台组件和三轴移动组件；所述模具设置在所述校正组件上，所述转动平台组件设置在所述校正组件上，所述校正组件设置在所述三轴移动组件上；

所述模具基于所述三轴移动组件在设定范围内平移运动，所述模具基于所述校正组件在设定范围内转动；

所述模具上设置有第一传感器，所述第一传感器基于所述转动平台组件形成环状的第一感应区。

可选的实施方式，所述激光发生模块还包括激光发生组件和振镜扫描组件；所述激光发生组件包括激光发生器，所述激光发生器的激光输出端与所述振镜扫描组件的输入端相对，所述振镜扫描组件的输出端与所述透镜的进光面相对。

可选的实施方式，所述三轴移动组件包括竖向移动组件，所述竖向移动组件包括竖向运动板、竖向底板、竖向顶板、若干根竖向光轴、竖向丝杆和竖向电机；

所述竖向顶板设置在竖向底板上方，每根所述竖向光轴的两端分别固定在所述竖向底板和竖向顶板上；

所述竖向丝杆上端设置在所述竖向顶板上，所述竖向丝杆下端基于竖向电机驱动绕自身轴线旋转；

所述竖向运动板滑动配合在所述若干根竖向光轴上，所述竖向运动板基于螺纹配合在所述竖向丝杆上。

可选的实施方式，所述三轴移动组件还包括横向移动组件，所述横向移动组件包括横向光杆、横向连接块、横向运动板和横向电机；

所述竖向运动板中部沿横向开有横向通槽，两根所述横向光杆沿横向固定在所述竖向运动板下方，且两根所述横向光杆设置位置分别位于所述横向通槽的纵向两侧；

所述横向连接块数量为两个，每一个所述横向连接块两端分别滑动配合在两根所述横向光杆上；每一个所述横向连接块中部穿过所述所述横向通槽，所述横向运动板固定在两个所述横向连接块上；

所述横向电机设置在所述竖向运动板底面上，且所述横向电机驱动所述横向连接块沿所述横向光杆运动。

可选的实施方式，所述三轴移动组件还包括纵向移动组件，所述纵向移动组件包括纵向导轨、纵向滑块、纵向丝杆和纵向电机；

所述纵向导轨沿纵向固定在所述横向运动板上，所述纵向滑块滑动配合在所述纵向导轨上；所述纵向丝杆平行设置在在所述纵向导轨一侧；所述纵向电机设置在纵向丝杆其中一端上，且所述纵向电机输出轴与所述纵向丝杆同轴连接；所述纵向滑块基于与所述纵向丝杆配套的螺纹配合在所述纵向丝杆上。

可选的实施方式，所述校正组件包括校正底板、校正中板和校正顶板；

所述校正底板固定在所述三轴移动组件的输出端上，所述校正中板与所述校正底板保持预设间隔，固定在所述校正底板的上方；

所述校正中板底面上固定有三个校正电机，每个所述校正电机的输出轴连接有一个校正减速器，所述校正减速器的输入端与输出端正交；

每个所述校正减速器的输出端连接有一校正丝杆，所述校正丝杆上端穿过所述校正中板并与所述校正顶板连接。

可选的实施方式，所述校正减速器包括依次啮合的输入齿轮、中间齿轮和丝杆齿轮；所述输入齿轮轴线与所述中间齿轮轴线正交，所述丝杆齿轮轴线和中间齿轮轴线平行；

所述所述丝杆齿轮内表面设置有与所述校正丝杆配合的螺纹。

可选的实施方式，所述校正丝杆上端设置为球顶，所述校正顶板底部对应于所述校正丝杆的位置上，设置与所述球顶相配合的凹穴；所述球顶滑动配合在所述凹穴中。

可选的实施方式，所述球顶具有强磁性。

可选的实施方式，所述转动平台组件包括转动板和转动电机；

所述转动板同轴滑动设置在所述校正顶板上，所述转动电机本体固定在所述校正顶板底面上，所述转动电机输出轴穿过所述校正顶板，且所述转动电机输出轴末端连接有一转动齿轮；

所述转动板外周具有与所述转动齿轮的啮合齿，所述啮合齿与所述转动齿轮啮合；

所述模具设置在所述转动板上。

本发明实施例提供了一种激光开封机，所述激光开封机通过基于第一传感器绕一转轴旋转所形成的环状的第一感应区与三个以上的第二感应点之间的相互感应，实现模具与透镜之间的位置校正，校正效果良好；通过三根特殊设计的校正丝杆对模具进行翻转校正，校正精度高，校正难度低；三轴移动组件中的每一轴移动组件结构分离，装配难度低，便于组装和拆卸；三轴移动组件中的零件位置设置位置合理，整体结构紧凑，有利于实现激光开封机的微型化，具有良好的实用性。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。

图1示出了本发明实施例的激光开封机示意图；

图2示出了本发明实施例的激光发生模块三维结构示意图；

图3示出了本发明实施例的激光发生模块的透视示意图；

图4示出了本发明实施例的作业平台模块三维结构示意图；

图5示出了本发明实施例的竖向移动组件三维结构示意图；

图6示出了本发明实施例的横向移动组件三维结构示意图；

图7示出了本发明实施例的纵向移动组件三维结构示意图；

图8示出了本发明实施例的校正组件三维结构示意图；

图9示出了本发明实施例的校正减速器结构示意简图；

图10示出了本发明实施例的校正丝杠的结构示意图；

图11示出了本发明实施例的转动平台组件三维结构示意图；

图12示出了本发明实施例的激光开封机校正原理图。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本发明保护的范围。

本发明提供了一种激光开封机，所述激光开封机包括激光发生模块、作业平台模块和上位机模块；所述激光发生模块包括激光发生组件、振镜扫描组件、聚焦组件；所述作业平台模块包括模具、校正组件、转动平台组件和三轴移动组件；所述上位机通过控制振镜扫描组件控制聚焦光纤焦点的运动轨迹、通过校正组件、转动平台组件和三轴移动组件控制模具的运动。

所述模具和下校正组件设置在转动平台组件上，转动平台组件设置在三轴移动组件上；所述三轴移动组件和校正组件控制模具在一定运动范围内进行六轴运动；所述模具上设置有第一传感器，第一传感器在所述转动平台组件的带动下沿一轴线旋转，形成一环状的第一感应区；

所述激光发生组件用于产生具有一定能量的扩散激光光束，扩散激光光束受振镜扫描组件控制沿特定轨迹偏移，聚焦组件将扩散激光光束聚焦为聚焦激光光束，并在聚焦激光光束的焦点处对位于所述模具上的芯片进行开封；所述聚焦组件包括聚焦透镜，在聚焦透镜四周沿圆周均匀设置有三个以上的第二传感器；每一个第二传感器形成一个第二感应点，三个以上的第二传感器形成三个以上的第二感应点；通过三个以上的第二感应点与第一感应区的感应配合关系，判断模具与聚焦透镜的相对位置，通过校正组件和三轴移动组件的控制，使模具坐标系(即芯片坐标系)与激光发生模块坐标系(即上位机坐标系)保持一致，从而使上位机中的理论数据与实际操作的实际数据保持一致，提高芯片开封质量。

本发明实施例提供其中一种实施例供参考，需要说明的是，本发明实施例的上位机模块主要用于对各电机运动进行控制，以及接收有关第一传感器和第二传感器的感应信号，具体实施中，亦可通过手动控制的方式实现模具的位置校正。

图1示出了本发明实施例的激光开封机示意图。本发明实施例的激光开封机包括激光发生模块1、作业平台模块2和上位机模块3，上位机模块3基于数据线分别与激光发生模块1和作业平台2模块连接。需要说明的是，在附图图1中，上位机模块3仅用于示意，不标识上位机模块3的具体结构；激光发生模块1、作业平台模块2与上位机模块3之间的连线仅用于示出其连接关系，具体的连接在后续介绍中进行详细说明。

图2示出了本发明实施例的激光发生模块1的三维结构示意图，图3示出了本发明实施例的激光发生模块1的透视示意图。本发明实施例的所述激光发生模块包括激光发生组件10、振镜扫描组件10和聚焦组件。

在本发明实施例中，激光发生组件10包括激光发生组件壳体101、激光电源103、激光发生器104、激光控制板106和激光中控板107。激光发生组件壳体101为箱体状，侧壁上开有散热孔102；对应于所述散热孔102的位置上安装有散热风扇(图中未示出)，由于本发明实施例的激光发生器104的功率较小，因此无需使用水冷、油冷等散热方式，仅需要风冷即可满足散热需求。

此外，激光发生组件壳体101侧壁上还设置有控制按钮105，控制按钮105与激光控制板106连接，常见的，控制按钮105包括激光电源开关按钮、激光发生器开关按钮和散热开关按钮。

激光控制板106与激光中控板107连接，激光控制板106的控制按钮信号反馈至激光中控板107上；激光电源103与激光中控板107连接，激光中控板107分别与激光发生器104和散热风扇连接，对激光发生器104和散热风扇进行开关控制。此外，激光中控板107基于信号线(常见的为COM接口)与上位机模块连接，用于将激光发生组件10的一些固件参数传输至上位机模块中，供上位机模块进行获取。

可选的，激光发生器104可以为YAG激光器、CO2激光器等现有技术的激光发生器；激光发生器104启动后，输出端会产生未聚焦的扩散高能激光。

振镜扫描组件10包括振镜扫描组件外壳110和振镜扫描组件本体111，振镜扫描组件本体111设置在振镜扫描组件外壳110内部。扫描振镜外壳110基于一螺纹连接环固定在激光发生组件壳体101上；激光发生器104输出端与振镜扫描组件本体111的输入端相对，中间没有部件进行阻隔；振镜扫描组件本体111的输出端朝向下方。

需要说明的是，振镜扫描组件本体111基于数据线与上位机模块连接，上位机模块通过对振镜扫描组件本体111的控制实现对聚焦激光光束的聚焦点的运动轨迹控制。

本发明实施例的聚焦组件包括一透镜112，透镜112嵌在振镜扫描组件外壳110底面上；激光发生组件10从所述透镜112出射面射出激光光束，并基于所述透镜112汇集激光光束，形成可用于芯片开封的聚焦激光光束，所述聚焦激光光束的聚焦点作用在芯片上，用于芯片开封。

在本发明实施例中，激光发生组件10还包括三个以上的第二传感器113，三个以上的第二传感器113以透镜轴线12为轴线圆周分布；第二传感器113与所述透镜轴线12之间的距离为a。

图4示出了本发明实施例的作业平台模块2三维结构示意图，本发明实施例的作业平台模块2包括模具、校正组件50、转动平台组件60和三轴移动组件，所述三轴移动组件包括竖直移动组件20、横向移动组件30、纵向移动组件40。

图5示出了本发明实施例的竖向移动组件20三维结构示意图。本发明实施例的竖向移动组件20包括竖向运动板210(图6)、竖向底板201、竖向顶板202、竖向光轴203、竖向丝杆204和竖向电机205；所述竖向顶板202设置在竖向底板201上方；竖向光轴203的数量为三根，三根所述竖向光轴203的长度等长，每根竖向光轴203的两端分别固定在竖向底板201和竖向顶板202上；竖向丝杆204上端设置在竖向顶板202上，下端基于竖向电机205驱动，整体绕轴线旋转；所述竖向运动板滑动配合在所述若干根竖向光轴上，所述竖向运动板基于螺纹配合在所述竖向丝杆上。

在本发明实施例中，为了节省竖向方向的空间，竖向电机205横置，通过一减速器206竖向丝杆204连接；减速器206的输入端和输出端正交设置，通过该设置方式，一方面可节省竖向方向的空间，扩大竖向运动板210(图6)的竖向方向行程，另一方面，通过减速器206的设置，可将竖向电机205的步进进一步进行细分，提高竖向运动板210(图6)的运动精度。

需要说明的是，本发明实施例的竖向电机205与上位机模块连接，受上位机模块控制；此外，为了校准竖直运动板210的运动位置，可选的，可在竖向底板201上设置一竖向复位传感器，当竖直运动板210竖向运动至触发所述竖向复位传感器的位置时，所述竖直运动板210运动至行程终点；所述竖向复位传感器与所述上位机模块连接。

图6示出了本发明实施例的横向移动组件30三维结构示意图。本发明实施例的横向移动组件30包括横向光杆301、横向连接块302、横向运动板401(图7)和横向电机310。竖向运动板210中部沿横向开有横向通槽211，两根所述横向光杆301沿横向固定设置在竖向运动板210下方，且设置位置分别位于横向通槽211的纵向两侧；横向连接块302数量为两个，每一个横向连接块302两端分别滑动配合在两根所述横向光杆301上，中部穿过所述横向通槽211，横向运动板401(图7)固定在横向连接块302上，横向运动板401(图7)通过横向连接块302导向沿横向运动。横向电机310本体固定在竖向运动板210底面上，输出端与一横向主动轮311连接；在相对于所述横向主动轮311的另一侧上，设置有横向被动轮312；横向主动轮311和横向被动轮312基于横向皮带313连接；横向连接块302固结在所述横向皮带313的固定位置上。

图7示出了本发明实施例的纵向移动组件40三维结构示意图。本发明实施例的纵向移动组件40包括纵向导轨402、纵向滑块403、纵向丝杆405和纵向电机401；纵向导轨402沿纵向固定在所述横向运动板401上，纵向滑块403滑动配合在所述纵向导轨402上；纵向丝杆405平行设置在在所述纵向导轨402一侧，两端分别配合在丝杆座上；纵向电机401设置在纵向丝杆405其中一端上，纵向电机401输出轴与所述纵向丝杆405同轴连接；纵向滑块403朝向所述纵向丝杆405一侧延伸出一定长度，且纵向滑块403基于与所述纵向丝杆405配套的螺纹配合在所述纵向丝杆405上；可选的，可在纵向滑块403上设置与所述纵向丝杆405配套的丝杆套。

图8示出了本发明实施例的校正组件50三维结构示意图。本发明实施例的校正组件50包括校正底板501、校正中板503和校正顶板507。校正底板501固定在所述纵向滑块403(图7)上，校正中板503基于连接杆502固定在所述校正底板501上；校正中板503底面上固定有三个校正电机504，校正电机504的输出轴与校正减速器505的输入端连接；校正减速器505的输入端与输出端正交。校正电机504与上位机模块连接，受上位机模块控制。

可选的，本发明实施例的校正减速器505结构简图如图9所示，校正减速器505包括依次啮合的输入齿轮、中间齿轮和丝杆齿轮，所述输入齿轮轴线与所述中间齿轮轴线正交，所述丝杆齿轮轴线和中间齿轮轴线平行；丝杆齿轮内表面加工出与校正丝杆506配合的螺纹，通过丝杆齿轮与校正丝杆506的配合实现动力输出。

校正减速器505的输出端上连接有校正丝杆506，校正丝杆506竖直向上穿过所述运动中板503；在本发明实施例中，校正丝杠506的结构如图10所示，校正丝杆506包括丝杆段510，丝杆段510上端为球顶511，可选的，球顶511带有强磁性。

在本发明实施例中，校正丝杆506数量为三根，校正顶板507底部对应于所述校正丝杆506的位置上，分别设置与所述球顶511相配合的凹穴(图中不可见)；每一根校正丝杆506的球顶511分别滑动配合在对应的凹穴中。

图11示出了本发明实施例的转动平台组件60三维结构示意图。本发明实施例的转动平台组件60包括转动板603和转动电机601，模具605设置在所述转动板603上。校正顶板507沿圆周方向均匀延伸出三个安装板，转动电机601本体固定在其中一个安装板上，其余的安装板可安装配重块，以平衡校正顶板507重心。转动电机601输出轴竖直向上穿过所述校正顶板507并连接有一转动齿轮602；转动板603外周加工有与所述转动齿轮602相配合的啮合齿齿型，且转动板603基于外周的啮合齿与所述齿轮602啮合；转动板中部与所述校正顶板507同轴连接，且只具有自转自由度；转动板603在齿轮602的驱动下自转。转动电机与上位机模块连接，受上位机模块控制。

所述转动板603中部设置有供所述模具605固定的安装槽，模具605固定在所述安装槽中；在所述安装槽一侧，设置有夹块604；夹块604在弹性件的驱动下将模具605夹紧在安装槽中。

模具605顶面上设置有芯片槽606和第一传感器607。优选的，第一传感器607与转动板603转动轴心的距离为a，即第一传感器607与转动板603转动轴心的距离与所述第二传感器113与所述透镜轴线12之间的距离相等。可选的，第一触感器和第二传感器可以为相互配套的霍尔传感器等传感器。

具体实施中，由于模具605安装精度的差异性，上位机模块坐标系和芯片的实际位置是不一致的，因此，有必要对模具605进行校正，使模具605的顶面与所述透镜轴线相垂直。

图12示出了本发明实施例的激光开封机校正原理图。具体的，本发明实施例的模具605上设置有第一传感器607，第一传感器607在转动板603转动时，会形成圆环状的第一感应区701；第二传感器113形成第二感应点702，三个第二传感器113形成三个第二感应点702；三个第二感应点702位于同一基准平面上(该基准平面与透镜轴线垂直)。

通过上述的激光开封机结构可知，第一感应区701能在一定范围内在空间中沿六轴自由运动；只有当模具顶面完全与基准平面平行时，在第一感应区701和第二感应点702互相触发的临界区域，当模具顶面沿透镜轴线前进移动一个步长时，第一感应区701和第二感应点702互相触发；当模具顶面沿透镜轴线后退移动一个步长时，第一感应区701和第二感应点702相互不触发；通过该原理，通过对作业平台模块的调节，可实现模具的校正，保证芯片位置与上位机模块坐标系相对应。

本发明实施例提供了一种激光开封机，所述激光开封机通过基于第一传感器绕一转轴旋转所形成的环状的第一感应区与三个以上的第二感应点之间的相互感应，实现模具与透镜之间的位置校正，校正效果良好；通过三根特殊设计的校正丝杆对模具进行翻转校正，校正精度高，校正难度低；三轴移动组件中的每一轴移动组件结构分离，装配难度低，便于组装和拆卸；三轴移动组件中的零件位置设置位置合理，整体结构紧凑，有利于实现激光开封机的微型化，具有良好的实用性。

以上对本发明实施例所提供的一种激光开封机进行了详细介绍，本文中应用了具体个例对本发明的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本发明的方法及其核心思想；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本发明的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本发明的限制。

Claims (10)

1.一种激光开封机，其特征在于，所述激光开封机包括激光发生模块和作业平台模块；

所述激光发生模块包括用于聚焦激光的透镜和三个以上的第二传感器，所述三个以上的第二传感器固定在所述透镜外周，且所述三个以上的第二传感器与所述透镜轴线的距离相等；

所述作业平台模块设置在所述透镜的出光面一侧，所述作业平台模块包括模具、校正组件、转动平台组件和三轴移动组件；所述模具设置在所述校正组件上，所述转动平台组件设置在所述校正组件上，所述校正组件设置在所述三轴移动组件上；

所述模具基于所述三轴移动组件在设定范围内平移运动，所述模具基于所述校正组件在设定范围内转动；

所述模具上设置有第一传感器，所述第一传感器基于所述转动平台组件形成环状的第一感应区。

2.如权利要求1所述的激光开封机，其特征在于，所述激光发生模块还包括激光发生组件和振镜扫描组件；所述激光发生组件包括激光发生器，所述激光发生器的激光输出端与所述振镜扫描组件的输入端相对，所述振镜扫描组件的输出端与所述透镜的进光面相对。

3.如权利要求1所述的激光开封机，其特征在于，所述三轴移动组件包括竖向移动组件，所述竖向移动组件包括竖向运动板、竖向底板、竖向顶板、若干根竖向光轴、竖向丝杆和竖向电机；

所述竖向顶板设置在竖向底板上方，每根所述竖向光轴的两端分别固定在所述竖向底板和竖向顶板上；

所述竖向丝杆上端设置在所述竖向顶板上，所述竖向丝杆下端基于竖向电机驱动绕自身轴线旋转；

所述竖向运动板滑动配合在所述若干根竖向光轴上，所述竖向运动板基于螺纹配合在所述竖向丝杆上。

4.如权利要求3所述的激光开封机，其特征在于，所述三轴移动组件还包括横向移动组件，所述横向移动组件包括横向光杆、横向连接块、横向运动板和横向电机；

所述竖向运动板中部沿横向开有横向通槽，两根所述横向光杆沿横向固定在所述竖向运动板下方，且两根所述横向光杆设置位置分别位于所述横向通槽的纵向两侧；

所述横向连接块数量为两个，每一个所述横向连接块两端分别滑动配合在两根所述横向光杆上；每一个所述横向连接块中部穿过所述所述横向通槽，所述横向运动板固定在两个所述横向连接块上；

所述横向电机设置在所述竖向运动板底面上，且所述横向电机驱动所述横向连接块沿所述横向光杆运动。

5.如权利要求4所述的激光开封机，其特征在于，所述三轴移动组件还包括纵向移动组件，所述纵向移动组件包括纵向导轨、纵向滑块、纵向丝杆和纵向电机；

所述纵向导轨沿纵向固定在所述横向运动板上，所述纵向滑块滑动配合在所述纵向导轨上；所述纵向丝杆平行设置在在所述纵向导轨一侧；所述纵向电机设置在纵向丝杆其中一端上，且所述纵向电机输出轴与所述纵向丝杆同轴连接；所述纵向滑块基于与所述纵向丝杆配套的螺纹配合在所述纵向丝杆上。

6.如权利要求1所述的激光开封机，其特征在于，所述校正组件包括校正底板、校正中板和校正顶板；

所述校正底板固定在所述三轴移动组件的输出端上，所述校正中板与所述校正底板保持预设间隔，固定在所述校正底板的上方；

所述校正中板底面上固定有三个校正电机，每个所述校正电机的输出轴连接有一个校正减速器，所述校正减速器的输入端与输出端正交；

每个所述校正减速器的输出端连接有一校正丝杆，所述校正丝杆上端穿过所述校正中板并与所述校正顶板连接。

7.如权利要求6所述的激光开封机，其特征在于，所述校正减速器包括依次啮合的输入齿轮、中间齿轮和丝杆齿轮；所述输入齿轮轴线与所述中间齿轮轴线正交，所述丝杆齿轮轴线和中间齿轮轴线平行；

所述所述丝杆齿轮内表面设置有与所述校正丝杆配合的螺纹。

8.如权利要求6所述的激光开封机，其特征在于，所述校正丝杆上端设置为球顶，所述校正顶板底部对应于所述校正丝杆的位置上，设置与所述球顶相配合的凹穴；所述球顶滑动配合在所述凹穴中。

9.如权利要求8所述的激光开封机，其特征在于，所述球顶具有强磁性。

10.如权利要求6所述的激光开封机，其特征在于，所述转动平台组件包括转动板和转动电机；

所述转动板同轴滑动设置在所述校正顶板上，所述转动电机本体固定在所述校正顶板底面上，所述转动电机输出轴穿过所述校正顶板，且所述转动电机输出轴末端连接有一转动齿轮；

所述转动板外周具有与所述转动齿轮的啮合齿，所述啮合齿与所述转动齿轮啮合；

所述模具设置在所述转动板上。