CN110296533A - 一种加热装置、清洗机和腐蚀机 - Google Patents

一种加热装置、清洗机和腐蚀机 Download PDF

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Abstract

本发明提供一种加热装置、清洗机和腐蚀机，该加热装置包括：主液管，所述主液管的一端为进液口、另一端为分液口；环形加热器，所述环形加热器设置于所述主液管外围；分液管，所述分液管绕设在所述环形加热器外围，且所述分液管的一端与所述主液管的分液口相连通。根据本发明实施例的加热装置，通过将环形加热器设置在主液管的外围，而分液管绕设在环形加热器的外围，从而使得液体流经主液管时即得到第一次加热，而流经分液管时再次得到加热，加热效率高；且分液管呈螺旋式缠绕，有效增加了液体与环形加热器的接触面积以及流经的距离，达到快速加热的目的；此外，环形加热器本身不与液体接触，避免了金属污染等风险。

Description

一种加热装置、清洗机和腐蚀机
技术领域
本发明涉及硅片清洗技术领域,具体涉及一种加热装置、清洗机和腐蚀机。
背景技术
在硅片加工过程中，硅片清洗是重要的加工步骤，当硅片经过机械加工后，其表面往往残留有研磨大颗粒、油剂、金属等污染物，一般会使用经加热的碱性药液进行清洗。在现有技术中，通常使用Inline heater对药液进行加热，但由于现有装置内部加热结构设计、排布不合理，导致药液的升温速度低下，极大地影响了硅片的生产效率。而且由于药液呈碱性，在加热情况下容易对加热结构产生腐蚀效果而造成金属污染，从而导致在清洗硅片过程中产生金属污染的风险。
发明内容
有鉴于此，本发明提供一种加热装置、清洗机和腐蚀机，用于解决药液加热速度慢、加热效率低、且容易导致金属污染的问题。
为解决上述技术问题，本发明采用以下技术方案：
根据本发明第一方面实施例的一种加热装置，包括：
主液管，所述主液管的一端为进液口、另一端为分液口；
环形加热器，所述环形加热器设置于所述主液管外围；
分液管，所述分液管绕设在所述环形加热器外围，且所述分液管的一端与所述主液管的分液口相连通。
进一步地，所述分液管呈螺旋式缠绕于所述环形加热器外围。
进一步地，所述环形加热器包括套管以及若干互相独立的加热单元，若干所述加热单元呈环状设置于所述套管与所述主液管之间。
进一步地，所述加热单元的长度与所述主液管的长度相适配。
进一步地，所述主液管的外表面与所述加热单元相贴合。
进一步地，所述分液管的另一端与出液管相连通。
进一步地，所述分液管自所述主液管的分液口一侧向所述主液管的进液口一侧绕设。
进一步地，所述分液管的数量至少为一根。
根据本发明第二方面实施例的清洗机包括上述实施例所述的加热装置。
根据本发明第三方面实施例的腐蚀机包括上述实施例所述的加热装置。
本发明上述技术方案的有益效果如下：
通过将环形加热器设置在主液管的外围，而分液管绕设在环形加热器的外围，从而使得液体流经主液管时即得到第一次加热，而流经分液管时再次得到加热，加热效率高；且分液管呈螺旋式缠绕，有效增加了液体与环形加热器的接触面积以及流经的距离，达到快速加热的目的；此外，环形加热器本身不与液体接触，避免了金属污染等风险。
附图说明
图1为本发明实施例中加热装置的结构示意图；
图2为本发明实施例中环形加热器与主液管的设置关系示意图。
附图标记：
主液管1、进液口2、分液口3；
环形加热器4、套管41、加热单元42；
分液管5、出液管6。
具体实施方式
为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例的附图，对本发明实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于所描述的本发明的实施例，本领域普通技术人员所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
如图1、2所示，本发明实施例的加热装置包括主液管1、环形加热器4以及分液管5，主液管1呈长条管状，内部为清洗液的流经通道，主液管的一端为进液口2，另一端为分液口3，清洗液自进液口2进入主液管内，并由分液口3流出。
如图1、2所示，在主液管1的外围设置有环形加热器4，环形加热器4的长度与主液管1的长度相适配，以确保主液管1的外表面尽可能大地被环形加热器4进行包裹加热。
较优的，环形加热器4包括套管41以及若干加热单元42，各加热单元42呈环形设置在套管41以及主液管1之间，主液管1与加热单元42相接触，套管41可以将各加热单元42产生的热量汇集在其内部空间，从而减少热量的散失，更好地加热流经主液管1中的清洗液。各加热单元42之间相互独立，互不影响，每个加热单元42都可以单独取出，从而当加热单元42发生故障或异常时可方便地将其取出进行维修或更换。
进一步地，主液管1的外表面与各加热单元42相贴合，即加热单元42具有与主液管1的外表面相适配的圆弧面，从而更好地与主液管1贴合进行热传递，提高加热速度。
如图1-2所示，本发明实施例的加热装置还包括分液管5，分液管5绕设在环形加热器4的外围，分液管5一般为至少一根，当然也可以是两根或者多根，一般在多根分液管5的情况下，分液管5的直径相对较小。分液管5的一端与主液管1的分液口3相连通，而另一端则与出液管6相连通，清洗液自分液口3进入分液管5内，并由分液管5的另一端汇流至出液管6。多根分液管5可增加清洗液与环形加热器4的接触面积以及流经的距离，以达到快速加热的目的。
进一步地，分液管5自主液管1的分液口3一侧向主液管1的进液口2一侧呈螺旋状缠绕在环形加热器4的外围，螺旋状缠绕可进一步提高清洗液与环形加热器4的接触面积以及流经距离，各分液管5之间排布更加规律紧密，加热效率得到进一步提高。
如图1、2所示，由于主液管1、分液管5中的清洗液均不与环形加热器4直接接触，故具有较强酸性或碱性的清洗液不会与环形加热器4发生任何化学反应，从而避免了金属污染清洗液进而污染硅片的风险。
进一步的，在分液管5的外围还可套设一层隔热层，诸如套管41的结构，以进一步减少加热装置中热量的散失，提高清洗液的加热效率。
如图1、2所示，本实施例中的加热装置的具体工作原理为：
环形加热器4中的各加热单元42启动工作，实现产热，清洗液等液体从主液管1的进液口2注入，在流经主液管1的过程中，各加热单元42对其进行第一次加热；初次加热后的清洗液由分液口3进入与其相连通的各分液管5内，由于分液管5呈螺旋式缠绕在环形加热器4外围，清洗液在分液管5内流动的过程中得到二次加热，由于分液管5的直径较小，清洗液可得到快速加热；最终，经二次加热后的清洗液达到预设温度后汇流至出液管6中，供后续硅片清洗加工。通过调节各加热单元42的加热功率，可以方便地得到不同温度的清洗液。
根据本发明第二方面实施例的清洗机包括根据上述实施例的加热装置，由于根据本发明实施例的加热装置具有上述技术效果，因此，根据本发明第二方面实施例的清洗机也具有相应的技术效果，即能够对流入其中的清洗液进行快速加热，快速输出符合温度要求的清洗液。
根据本发明第三方面实施例的腐蚀机包括根据上述实施例的加热装置，由于根据本发明实施例的加热装置具有上述技术效果，因此，根据本发明第二方面实施例的腐蚀机也具有相应的技术效果，即能够对流入其中的清洗液进行快速加热，快速输出符合温度要求的清洗液。
以上所述是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明所述原理的前提下，还可以作出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。

Claims (10)

1.一种加热装置，其特征在于，包括：
主液管，所述主液管的一端为进液口、另一端为分液口；
环形加热器，所述环形加热器设置于所述主液管外围；
分液管，所述分液管绕设在所述环形加热器外围，且所述分液管的一端与所述主液管的分液口相连通。
2.根据权利要求1所述的一种加热装置，其特征在于，所述分液管呈螺旋式缠绕于所述环形加热器外围。
3.根据权利要求1所述的一种加热装置，其特征在于，所述环形加热器包括套管以及若干互相独立的加热单元，若干所述加热单元呈环状设置于所述套管与所述主液管之间。
4.根据权利要求3所述的一种加热装置，其特征在于，所述加热单元的长度与所述主液管的长度相适配。
5.根据权利要求3所述的一种加热装置，其特征在于，所述主液管的外表面与所述加热单元相贴合。
6.根据权利要求1所述的一种加热装置，其特征在于，还包括：
出液管，所述分液管的另一端与出液管相连通。
7.根据权利要求1所述的一种加热装置，其特征在于，所述分液管自所述主液管的分液口一侧向所述主液管的进液口一侧绕设。
8.根据权利要求1所述的一种加热装置，其特征在于，所述分液管的数量为至少一根。
9.一种清洗机，其特征在于，包括权利要求1-8中任一项所述的加热装置。
10.一种腐蚀机，其特征在于，包括权利要求1-8中任一项所述的加热装置。
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KR20060054761A (ko) * 2004-11-16 2006-05-23 김태균 온수 가열용 원통형 히터
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