CN205878607U - 超纯水加热恒温水箱 - Google Patents
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Abstract
超纯水加热恒温水箱。涉及超纯水加热领域，尤其涉及超纯水用加热恒温水箱。提供了一种结构简单，提高加热可靠性的超纯水加热恒温水箱。所述温控系统包括温控器、加热器和热电偶，所述加热器和热电偶分别设在箱体内、且分别连接温控器；所述PFA盘管通过固定架设在箱体内，所述PFA盘管的两端分别为进水口和排水口，所述进水口和排水口分别位于箱体的外侧；所述箱盖上设有排风口，所述排风口上设有盖体，所述自动补水装置用于对箱体补水。所述自动补水装置包括补水箱、水位传感器、控制器和水泵，所述水位传感器设在箱体内，所述水位传感器连接控制器，所述控制器控制水泵使其从补水箱向箱体内补水。本实用新型方便加工，操作可靠。
Description
技术领域
本实用新型涉及超纯水加热领域，尤其涉及超纯水用加热恒温水箱。
背景技术
在制造芯片的过程中，由于超纯水的特殊性在制造领域中得到了广泛的应用。在清洗的整个过程中部分工序要求芯片表面去除一些杂质（要求较高），我们常温的超纯水很难达到清洗效果，对生产出的材料有一定影响。纯水加热后这是由于物质受热后，分子运动加快，清洗效果远高于凉水。但目前所用的加热设备均有金属物质，对超纯水会造成一定的污染，降低超纯水的阻值。
实用新型内容
本实用新型针对以上问题，提供了一种结构简单，提高加热可靠性的超纯水加热恒温水箱。
本实用新型的技术方案是：包括箱体，所述箱体的顶部设有箱盖，还包括温控系统、PFA盘管和自动补水装置，
所述温控系统包括温控器、加热器和热电偶，所述加热器和热电偶分别设在箱体内、且分别连接温控器；
所述PFA盘管通过固定架设在箱体内，所述PFA盘管的两端分别为进水口和排水口，所述进水口和排水口分别位于箱体的外侧；
所述箱盖上设有排风口，所述排风口上设有盖体，所述自动补水装置用于对箱体补水。
所述自动补水装置包括补水箱、水位传感器、控制器和水泵，所述水位传感器设在箱体内，所述水位传感器连接控制器，所述控制器控制水泵使其从补水箱向箱体内补水。
所述盖体连接电动推杆，所述电动推杆连接温控器。
本实用新型在工作中，首先将水加入至箱体内部，加热器开始加热，随着水温的加热为了排除水蒸汽，在箱盖上设有排风口；随着水蒸汽的挥发，箱体内部水的容积会逐渐减少，自动补水装置会根据液位的不同进行补水，避免设备出现故障。超纯水PFA盘管的进水口流入，经过水箱加温从排水口流出至使用端（即可与任何清洗设备连接）。水温由温控系统进行控制，通过调节箱体内部的水温来控制，以达到水温恒定的效果。
本实用新型方便加工，操作可靠。
附图说明
图1是本实用新型的结构示意图；
图中1是箱体，2是箱盖，3是加热器，4是热电偶，5是PFA盘管，51是进水口，52是排水口，6是固定架，7是排风口，8是盖体，9是补水箱，10是水位传感器，11是水泵，12是电动推杆。
具体实施方式
本实用新型如图1所示，包括箱体1，所述箱体1的顶部设有箱盖2，还包括温控系统、PFA盘管5和自动补水装置，
所述温控系统包括温控器、加热器3和热电偶4，所述加热器和热电偶分别设在箱体内、且分别连接温控器，通过热电偶测量水箱温度，再经过加热器进行加热；
所述PFA盘管5通过固定架6设在箱体内，所述PFA盘管的两端分别为进水口51和排水口52，所述进水口和排水口分别位于箱体的外侧，实现超纯水从进水口进入，经过水箱内部加热，再排出；
所述箱盖上设有排风口7，所述排风口上设有盖体8，便于排出水蒸汽，所述自动补水装置用于对箱体补水。
所述自动补水装置包括补水箱9、水位传感器10、控制器和水泵11，所述水位传感器设在箱体内，所述水位传感器连接控制器，所述控制器控制水泵使其从补水箱向箱体内补水。工作中，便于根据水位进行补水动作，保证水箱的水位，提高PFA盘管加热可靠性。
所述盖体连接电动推杆12，所述电动推杆连接温控器，温控器能够显示箱体内的温度，便于及时可靠控制电动推杆动作。
Claims (3)
1.超纯水加热恒温水箱，包括箱体，所述箱体的顶部设有箱盖，其特征在于，还包括温控系统、PFA盘管和自动补水装置，
所述温控系统包括温控器、加热器和热电偶，所述加热器和热电偶分别设在箱体内、且分别连接温控器；
所述PFA盘管通过固定架设在箱体内，所述PFA盘管的两端分别为进水口和排水口，所述进水口和排水口分别位于箱体的外侧；
所述箱盖上设有排风口，所述排风口上设有盖体，所述自动补水装置用于对箱体补水。
2.根据权利要求1所述的超纯水加热恒温水箱，其特征在于，所述自动补水装置包括补水箱、水位传感器、控制器和水泵，所述水位传感器设在箱体内，所述水位传感器连接控制器，所述控制器控制水泵使其从补水箱向箱体内补水。
3.根据权利要求1或2所述的超纯水加热恒温水箱，其特征在于，所述盖体连接电动推杆，所述电动推杆连接温控器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201620790520.1U CN205878607U (zh) | 2016-07-25 | 2016-07-25 | 超纯水加热恒温水箱 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201620790520.1U CN205878607U (zh) | 2016-07-25 | 2016-07-25 | 超纯水加热恒温水箱 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN205878607U true CN205878607U (zh) | 2017-01-11 |
Family
ID=57696982
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201620790520.1U Active CN205878607U (zh) | 2016-07-25 | 2016-07-25 | 超纯水加热恒温水箱 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN205878607U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110500770A (zh) * | 2019-07-05 | 2019-11-26 | 同济大学 | 一种在线原位式超纯水加热系统 |
-
2016
- 2016-07-25 CN CN201620790520.1U patent/CN205878607U/zh active Active
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110500770A (zh) * | 2019-07-05 | 2019-11-26 | 同济大学 | 一种在线原位式超纯水加热系统 |
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Legal Events
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|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant |