CN110286146B - 一种具有液面探测功能的铌酸锂基片夹具及质子交换方法 - Google Patents

一种具有液面探测功能的铌酸锂基片夹具及质子交换方法 Download PDF

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Abstract

本发明公开了一种具有液面探测功能的铌酸锂基片夹具及质子交换方法，当夹具底部的微孔陶瓷过滤片接触质子交换液时，质子交换液通过毛细作用吸附到吸水海绵上，将湿敏元件润湿使其阻值发生突变，使探测电路中信号指示灯的亮度发生变化，给出夹具底部探测到质子交换液液面的信号提示。进行质子交换时，将铌酸锂基片浸没到质子交换液中进行质子交换之前，可利用夹具的液面探测功能使夹具底部与质子交换液的液面接触进行二次预热，使夹具装载铌酸锂基片的部分和质子交换液的温度差趋于零，这样，可以减小质子交换过程中铌酸锂基片浸没到质子交换液中引起的温度波动，从而可以提高质子交换制作铌酸锂光波导的稳定性和重复性。

Description

一种具有液面探测功能的铌酸锂基片夹具及质子交换方法
技术领域
本发明涉及集成光学技术领域，尤其涉及一种具有液面探测功能的铌酸锂基片夹具及质子交换方法。
背景技术
随着集成光学技术的不断发展，集成光波导器件凭借体积小、功能多样等优点得到广泛应用。在光纤陀螺系统中，可以利用铌酸锂光波导调制器代替全光纤方案中的分束合束器、偏振器和相位调制器，即铌酸锂光波导可以集成三种功能，这样可以有效减小陀螺的体积，减少光纤熔接点的数量，与全光纤陀螺相比，集成光学陀螺具有更大的调制带宽。
目前，利用质子交换制造铌酸锂光波导的方法主要包括清洗衬底片、在衬底片上制备掩膜、光刻出波导图形、质子交换、退火、端面抛光等步骤。其中的质子交换过程主要包括以下步骤：a、将用于装载铌酸锂基片的石英夹具、用于盛装质子交换液的石英管道和已经光刻出波导图形的铌酸锂基片分别清洗干净；b、用天平称取适量的苯甲酸锂和苯甲酸晶体在石英管道中进行混合，得到用于进行质子交换的苯甲酸混合溶液，在石英管道上安装热电偶后将石英管道放入到加热炉中；c、启动加热炉，将石英管道内的质子交换液加热至200℃，再缓慢升温至240℃并保持稳定；d、将铌酸锂基片装载到石英夹具上，在烘箱中预热至240℃，将预热好的石英夹具从烘箱中取出后迅速放入到质子交换液中进行质子交换。
根据上述质子交换过程的步骤，步骤c中盛装质子交换液的石英管道和步骤d中预热夹具的烘箱是隔开的，从烘箱中取出石英夹具再放入质子交换液的过程中石英夹具的温度会先下降再上升，该操作会引起质子交换液的温度发生波动，且每次操作引起的温度波动的大小均不相同，而温度对于质子交换过程的影响较大，会导致制得的铌酸锂光波导的稳定性和重复性较差。
发明内容
有鉴于此，本发明提供了一种具有液面探测功能的铌酸锂基片夹具及质子交换的方法，用以解决质子交换过程中质子交换液的温度波动较大的问题。
因此，本发明提供了一种具有液面探测功能的铌酸锂基片夹具，包括：铌酸锂基片卡槽块，中空的圆筒状的卡槽块夹持杆，中空的圆筒状的传感杆，中空的圆筒状的套筒，用于固定所述传感杆和所述套筒的定位销，位于所述套筒内的微孔陶瓷过滤片、吸水海绵、湿敏元件和固定块，以及与所述湿敏元件电性连接的探测电路；其中，
所述铌酸锂基片卡槽块包括：相对而置的两个矩形底板以及夹在所述两个矩形底板之间且与所述两个矩形底板固定连接的圆筒；其中，每个所述矩形底板的中心具有与所述圆筒相同直径的圆形的第一通孔，两个所述第一通孔与所述圆筒连通，所述两个矩形底板各自相对的一面的四周具有条形凹槽，所述两个矩形底板中相对的两个凹槽用于固定铌酸锂基片；
所述卡槽块夹持杆的底部设有突出的底座，所述卡槽块夹持杆的外径小于所述铌酸锂基片卡槽块中圆筒的内径，所述铌酸锂基片卡槽块套在所述卡槽块夹持杆的外部且被定位在所述底座上；
所述传感杆的外径小于所述卡槽块夹持杆的内径，所述卡槽块夹持杆套在所述传感杆的外部，所述传感杆的顶部设有突出的手柄，所述手柄用于定位所述传感杆；
所述套筒的外径小于所述传感杆的内径，所述套筒位于所述传感杆的内部；所述套筒中靠近顶部的表面设有两个相对的第二通孔，所述传感杆中靠近底部的表面设有两个相对的第三通孔，所述定位销穿过所述第二通孔和所述第三通孔将所述套筒与所述传感杆固定连接；
所述套筒的底部设有内凹的底托，所述底托的内径小于所述套筒的内径；所述微孔陶瓷过滤片位于所述套筒的底部被所述底托定位，所述吸水海绵位于所述微孔陶瓷过滤片的上方，所述湿敏元件位于所述吸水海绵的上方，所述固定块位于所述湿敏元件的上方；
所述微孔陶瓷过滤片的底面不低于所述卡槽块夹持杆底座的底面；
通过所述探测电路中信号指示灯亮度的变化提示所述铌酸锂基片夹具探测到液面。
在一种可能的实现方式中，在本发明提供的上述铌酸锂基片夹具中，所述微孔陶瓷过滤片的底面高于所述卡槽块夹持杆底座的底面，所述微孔陶瓷过滤片的底面与所述卡槽块夹持杆底座的底面之间的垂直距离小于或等于2mm。
在一种可能的实现方式中，在本发明提供的上述铌酸锂基片夹具中，所述铌酸锂基片卡槽块中，所述两个矩形底板相对的位置处具有多个第四通孔。
在一种可能的实现方式中，在本发明提供的上述铌酸锂基片夹具中，所述固定块与所述湿敏元件以胶合的方式固定连接。
本发明还提供了一种利用本发明提供的上述铌酸锂基片夹具进行质子交换的方法，在将石英管道内的质子交换液和装有铌酸锂基片的铌酸锂基片夹具加热至预设温度后，包括如下步骤：
S1：将铌酸锂基片夹具迅速放入石英管道内质子交换液的上方；
S2：缓慢将铌酸锂基片夹具下放，当探测电路中的信号指示灯的亮度发生变化时，停止下放，通过手柄将传感杆从卡槽块夹持杆中抽离出来，保持卡槽块夹持杆在质子交换液的液面处停留预设时长；
S3：将卡槽块夹持杆继续下放至铌酸锂基片浸没在质子交换液中，进行质子交换。
在一种可能的实现方式中，在本发明提供的上述质子交换的方法中，所述预设时长为3min～6min。
在一种可能的实现方式中，在本发明提供的上述质子交换的方法中，所述预设温度为240℃。
本发明提供的上述铌酸锂基片夹具及质子交换方法，该铌酸锂基片夹具具有液面探测功能，当铌酸锂基片夹具底部的微孔陶瓷过滤片接触到质子交换液时，质子交换液通过毛细作用快速吸附到吸水海绵上，将与吸水海绵接触的湿敏元件润湿，使湿敏元件的阻值发生突变，从而使得与湿敏元件电性连接的探测电路中的信号指示灯的亮度发生变化，给出铌酸锂基片夹具底部探测到质子交换液液面的信号提示。上述铌酸锂基片夹具的结构简单，可拆卸清洗和更换元件，且工作原理简单，操作简便有效，并且，由于微孔陶瓷过滤片和吸水海绵都具有耐高温的性质，因此，可适用于高温、有大量结晶的液面探测环境，可靠性高，特别适用于利用质子交换制作铌酸锂光波导。在利用铌酸锂基片夹具进行质子交换时，在将铌酸锂基片浸没到质子交换液中进行质子交换之前，可以利用铌酸锂基片夹具的液面探测功能使铌酸锂基片夹具的底部与质子交换液的液面接触，使铌酸锂基片夹具在质子交换液的液面处进行二次预热，使铌酸锂基片夹具装载铌酸锂基片的部分和质子交换液的温度差趋于零，这样，可以有效地减小质子交换过程中铌酸锂基片浸没到质子交换液中引起的温度波动，从而可以提高质子交换制作铌酸锂光波导的稳定性和重复性。
附图说明
图1为本发明实施例提供的具有液面探测功能的铌酸锂基片夹具的结构示意图；
图2为图1的截面图；
图3为本发明实施例提供的具有液面探测功能的铌酸锂基片夹具的探测电路的电路原理图；
图4为本发明实施例提供的具有液面探测功能的铌酸锂基片夹具中铌酸锂基片卡槽块的结构示意图；
图5为本发明实施例提供的具有液面探测功能的铌酸锂基片夹具中卡槽块夹持杆的结构示意图；
图6为本发明实施例提供的具有液面探测功能的铌酸锂基片夹具中传感杆的结构示意图；
图7为本发明实施例提供的具有液面探测功能的铌酸锂基片夹具中套筒的结构示意图；
图8为本发明实施例提供的具有液面探测功能的铌酸锂基片夹具中湿敏元件的结构示意图；
图9为利用本发明实施例提供的具有液面探测功能的铌酸锂基片夹具进行质子交换的方法的流程图；
图10为利用本发明实施例提供的具有液面探测功能的铌酸锂基片夹具进行质子交换的方法的流程示意图。
具体实施方式
下面将结合本申请实施方式中的附图，对本申请实施方式中的技术方案进行清楚、完整的描述，显然，所描述的实施方式仅仅是作为例示，并非用于限制本申请。
本发明实施例提供的一种具有液面探测功能的铌酸锂基片夹具，如图1和图2所示，图2为图1的截面图，包括：铌酸锂基片卡槽块1，中空的圆筒状的卡槽块夹持杆2，中空的圆筒状的传感杆3，中空的圆筒状的套筒4，用于固定传感杆3和套筒4的定位销5，位于套筒4内的耐高温的微孔陶瓷过滤片6、耐高温的吸水海绵7、湿敏元件8和固定块9，以及与湿敏元件8电性连接的探测电路(如图3所示)；其中，
铌酸锂基片卡槽块1，如图4所示，包括：相对而置的两个矩形底板10以及夹在两个矩形底板10之间且与两个矩形底板10固定连接的圆筒11；其中，每个矩形底板10的中心具有与圆筒11相同直径的圆形的第一通孔12，两个第一通孔12与圆筒11连通，两个矩形底板10各自相对的一面的四周具有条形凹槽13，两个矩形底板10中相对的两个凹槽13用于固定铌酸锂基片；
如图5所示，卡槽块夹持杆2的底部设有突出的底座14，如图2所示，卡槽块夹持杆2的外径小于铌酸锂基片卡槽块1中圆筒11的内径，铌酸锂基片卡槽块1套在卡槽块夹持杆2的外部且被定位在底座14上，即铌酸锂基片卡槽块1中矩形底板10的底面(如图4所示的a所示)与卡槽块夹持杆2中底座14的顶面(如图5所示的b所示)贴合；
如图2所示，传感杆3的外径小于卡槽块夹持杆2的内径，卡槽块夹持杆2套在传感杆3的外部，如图6所示，传感杆3的顶部设有突出的手柄15，手柄15用于定位传感杆3，如图2所示，传感杆3中手柄15的底面(如图6所示的d所示)与卡槽块夹持杆2的顶面(如图5所示的c所示)贴合；
如图2所示，套筒4的外径小于传感杆3的内径，套筒4位于传感杆3的内部；如图7所示，套筒4中靠近顶部的表面设有两个相对的第二通孔16，如图6所示，传感杆3中靠近底部的表面设有两个相对的第三通孔17，如图2所示，定位销5穿过第二通孔16和第三通孔17将套筒4与传感杆3固定连接；
如图7所示，套筒4的底部设有内凹的底托18，底托18的内径小于套筒4的内径；如图2所示，微孔陶瓷过滤片6位于套筒4的底部被底托18定位，其作用是阻隔质子交换液中的苯甲酸结晶，吸水海绵7位于微孔陶瓷过滤片6的上方，湿敏元件8位于吸水海绵7的上方，固定块9位于湿敏元件8的上方，固定块9将湿敏元件8紧紧压在吸水海绵7的上方，当微孔陶瓷过滤片6接触到质子交换液时，质子交换液通过毛细作用快速吸附到吸水海绵7上，将湿敏元件8润湿，使湿敏元件8的阻值发生突变；
微孔陶瓷过滤片6的底面不低于卡槽块夹持杆2底座14的底面，即微孔陶瓷过滤片6的底面与卡槽块夹持杆2底座14的底面位于同一水平面上，或者，如图2所示，微孔陶瓷过滤片6的底面高于卡槽块夹持杆2底座14的底面；
通过探测电路中信号指示灯亮度的变化提示铌酸锂基片夹具探测到液面，以如图3所示的探测电路为例，当本发明实施例提供的上述铌酸锂基片夹具的底部探测到质子交换液的液面时，湿敏元件被润湿，阻值变小，如图3所示的探测电路中的信号指示灯的亮度由暗变亮给出信号提示。
本发明实施例提供的上述铌酸锂基片夹具，具有液面探测功能，当铌酸锂基片夹具底部的微孔陶瓷过滤片接触到质子交换液时，质子交换液通过毛细作用快速吸附到吸水海绵上，将与吸水海绵接触的湿敏元件润湿，使湿敏元件的阻值发生突变，从而使得与湿敏元件电性连接的探测电路中的信号指示灯的亮度发生变化，进而给出铌酸锂基片夹具底部探测到质子交换液液面的信号提示。上述铌酸锂基片夹具的结构简单，可拆卸清洗和更换元件，且工作原理简单，操作简便有效，由于微孔陶瓷过滤片和吸水海绵都具有耐高温的性质，因此，可适用于高温、有大量结晶的液面探测环境，可靠性高，特别适用于利用质子交换制作铌酸锂光波导。在利用铌酸锂基片夹具进行质子交换时，在将铌酸锂基片浸没到质子交换液中进行质子交换之前，可以利用铌酸锂基片夹具的液面探测功能使铌酸锂基片夹具的底部与质子交换液的液面接触，使铌酸锂基片夹具在质子交换液的液面处进行二次预热，使铌酸锂基片夹具装载铌酸锂基片的部分和质子交换液的温度差趋于零，这样，可以有效地减小质子交换过程中铌酸锂基片浸没到质子交换液中引起的温度波动，从而可以提高质子交换制作铌酸锂光波导的稳定性和重复性。
在具体实施时，在本发明实施例提供的上述铌酸锂基片夹具中，在微孔陶瓷过滤片的底面高于卡槽块夹持杆底座的底面时，微孔陶瓷过滤片的底面与卡槽块夹持杆底座的底面之间的垂直距离不能过大，否则，当探测电路中的信号指示灯给出信号提示探测到液面时，上述铌酸锂基片已有部分浸没到质子交换液中发生质子交换，因此，可以将微孔陶瓷过滤片的底面与卡槽块夹持杆底座的底面之间的垂直距离控制在小于或等于2mm的范围。
在具体实施时，在本发明实施例提供的上述铌酸锂基片夹具中，如图4所示，两个矩形底板10中相对的两个凹槽13的底面之间的距离l需要大于铌酸锂基片的高度，并且，凹槽13的宽度需要大于铌酸锂基片的厚度，这样，便于将铌酸锂基片插入凹槽13内且不易被划伤。具体地，可以将铌酸锂基片从两个矩形底板10中相对的两个凹槽13的侧面插入铌酸锂基片卡槽块1中。
较佳地，在本发明实施例提供的上述铌酸锂基片夹具中，铌酸锂基片卡槽块中，如图4所示，可以在两个矩形底板10相对的位置处设计多个第四通孔19，这样，将上述铌酸锂基片夹具从空气浸没到质子交换液的过程中，可以减小质子交换液对铌酸锂基片夹具的浮力作用，从而便于将上述铌酸锂基片夹具浸入质子交换液中。
在具体实施时，在本发明实施例提供的上述铌酸锂基片夹具中，如图2所示，卡槽块夹持杆2的外径小于铌酸锂基片卡槽块1中圆筒11的内径，这样，便于将铌酸锂基片卡槽块1安装到卡槽块夹持杆2上或将铌酸锂基片卡槽块1从卡槽块夹持杆2脱离。
在具体实施时，在本发明实施例提供的上述铌酸锂基片夹具中，如图2所示，传感杆3的外径小于卡槽块夹持杆2的内径，这样，便于将传感杆3插入卡槽块夹持杆2内或将传感杆3从卡槽块夹持杆2上抽离。
较佳地，在本发明实施例提供的上述铌酸锂基片夹具中，为了避免湿敏元件发生移动导致其与吸水海绵接触不紧密进而影响其润湿效果，可以将固定块与湿敏元件以胶合的方式固定连接，使湿敏元件紧密压在吸水海绵上。
在具体实施时，在本发明实施例提供的上述铌酸锂基片夹具中，湿敏元件是一种高分子湿敏电阻，如图8所示，具有两个电极20。具体地，湿敏元件中的两个电极通过导线与探测电路电性连接，该导线可以依次经过套筒的顶部和传感杆的顶部引出后与探测电路电性连接。
基于同一发明构思，本发明实施例还提供了一种利用本发明实施例提供的上述铌酸锂基片夹具进行质子交换的方法，在将石英管道内的质子交换液和装有铌酸锂基片的铌酸锂基片夹具加热至预设温度后，如图9和图10所示，图9和图10分别为上述质子交换的方法的流程图和流程示意图，包括如下步骤：
S1：将铌酸锂基片夹具迅速放入石英管道内质子交换液的上方；
S2：缓慢将铌酸锂基片夹具下放，当探测电路中的信号指示灯的亮度发生变化时，停止下放，通过手柄将传感杆从卡槽块夹持杆中抽离出来，保持卡槽块夹持杆在质子交换液的液面处停留预设时长；
S3：将卡槽块夹持杆继续下放至铌酸锂基片浸没在质子交换液中，进行质子交换。
本发明实施例提供的上述质子交换的方法，在将铌酸锂基片浸没到质子交换液中进行质子交换之前，可以利用铌酸锂基片夹具的液面探测功能使铌酸锂基片夹具的底部与质子交换液的液面接触，使铌酸锂基片夹具在质子交换液的液面处进行二次预热，使铌酸锂基片夹具装载铌酸锂基片的部分和质子交换液的温度差趋于零，这样，可以有效地减小质子交换过程中铌酸锂基片浸没到质子交换液中引起的温度波动，从而可以提高质子交换制作铌酸锂光波导的稳定性和重复性。
在具体实施时，在本发明实施例提供的上述质子交换的方法中，卡槽块夹持杆在质子交换液的液面处停留的时间过长或过短都会影响二次预热的效果，因此，可以将卡槽块夹持杆在质子交换液的液面处停留的时长控制在3min～6min的范围。较佳地，可以使卡槽块夹持杆在质子交换液的液面处停留5min。
在具体实施时，在本发明实施例提供的上述质子交换的方法中，在执行如图9所示的方法之前，一般先将用于装载铌酸锂基片的铌酸锂基片夹具、用于盛装质子交换液的石英管道和已经光刻出波导图形的铌酸锂基片分别清洗干净；然后，用天平称取适量的苯甲酸锂和苯甲酸晶体在石英管道中进行混合，得到用于进行质子交换的苯甲酸混合溶液，在石英管道上安装好热电偶后将石英管道放入到加热炉中；接着，启动加热炉将石英管道内的质子交换液加热至200℃，再缓慢升温至240℃并保持稳定；之后，将铌酸锂基片装载到铌酸锂基片夹具上，在烘箱中预热至240℃。
本发明实施例提供的上述铌酸锂基片夹具及质子交换方法，该铌酸锂基片夹具具有液面探测功能，当铌酸锂基片夹具底部的微孔陶瓷过滤片接触到质子交换液时，质子交换液通过毛细作用快速吸附到吸水海绵上，将与吸水海绵接触的湿敏元件润湿，使湿敏元件的阻值发生突变，从而使得与湿敏元件电性连接的探测电路中的信号指示灯的亮度发生变化，给出铌酸锂基片夹具底部探测到质子交换液液面的信号提示。上述铌酸锂基片夹具的结构简单，可拆卸清洗和更换元件，且工作原理简单，操作简便有效，并且，由于微孔陶瓷过滤片和吸水海绵都具有耐高温的性质，因此，可适用于高温、有大量结晶的液面探测环境，可靠性高，特别适用于利用质子交换制作铌酸锂光波导。在利用铌酸锂基片夹具进行质子交换时，在将铌酸锂基片浸没到质子交换液中进行质子交换之前，可以利用铌酸锂基片夹具的液面探测功能使铌酸锂基片夹具的底部与质子交换液的液面接触，使铌酸锂基片夹具在质子交换液的液面处进行二次预热，使铌酸锂基片夹具装载铌酸锂基片的部分和质子交换液的温度差趋于零，这样，可以有效地减小质子交换过程中铌酸锂基片浸没到质子交换液中引起的温度波动，从而可以提高质子交换制作铌酸锂光波导的稳定性和重复性。
显然，本领域的技术人员可以对本发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。

Claims (7)

1.一种具有液面探测功能的铌酸锂基片夹具，其特征在于，包括：铌酸锂基片卡槽块，中空的圆筒状的卡槽块夹持杆，中空的圆筒状的传感杆，中空的圆筒状的套筒，用于固定所述传感杆和所述套筒的定位销，位于所述套筒内的微孔陶瓷过滤片、吸水海绵、湿敏元件和固定块，以及与所述湿敏元件电性连接的探测电路；其中，
所述铌酸锂基片卡槽块包括：相对而置的两个矩形底板以及夹在所述两个矩形底板之间且与所述两个矩形底板固定连接的圆筒；其中，每个所述矩形底板的中心具有与所述圆筒相同直径的圆形的第一通孔，两个所述第一通孔与所述圆筒连通，所述两个矩形底板各自相对的一面的四周具有条形凹槽，所述两个矩形底板中相对的两个凹槽用于固定铌酸锂基片；
所述卡槽块夹持杆的底部设有突出的底座，所述卡槽块夹持杆的外径小于所述铌酸锂基片卡槽块中圆筒的内径，所述铌酸锂基片卡槽块套在所述卡槽块夹持杆的外部且被定位在所述底座上；
所述传感杆的外径小于所述卡槽块夹持杆的内径，所述卡槽块夹持杆套在所述传感杆的外部，所述传感杆的顶部设有突出的手柄，所述手柄用于定位所述传感杆；
所述套筒的外径小于所述传感杆的内径，所述套筒位于所述传感杆的内部；所述套筒中靠近顶部的表面设有两个相对的第二通孔，所述传感杆中靠近底部的表面设有两个相对的第三通孔，所述定位销穿过所述第二通孔和所述第三通孔将所述套筒与所述传感杆固定连接；
所述套筒的底部设有内凹的底托，所述底托的内径小于所述套筒的内径；所述微孔陶瓷过滤片位于所述套筒的底部被所述底托定位，所述吸水海绵位于所述微孔陶瓷过滤片的上方，所述湿敏元件位于所述吸水海绵的上方，所述固定块位于所述湿敏元件的上方；
所述微孔陶瓷过滤片的底面不低于所述卡槽块夹持杆底座的底面；
通过所述探测电路中信号指示灯亮度的变化提示所述铌酸锂基片夹具探测到液面。
2.如权利要求1所述的铌酸锂基片夹具，其特征在于，所述微孔陶瓷过滤片的底面高于所述卡槽块夹持杆底座的底面，所述微孔陶瓷过滤片的底面与所述卡槽块夹持杆底座的底面之间的垂直距离小于或等于2mm。
3.如权利要求1所述的铌酸锂基片夹具，其特征在于，所述铌酸锂基片卡槽块中的所述两个矩形底板相对的位置处具有多个第四通孔。
4.如权利要求1-3任一项所述的铌酸锂基片夹具，其特征在于，所述固定块与所述湿敏元件以胶合的方式固定连接。
5.一种利用如权利要求1-4任一项所述的铌酸锂基片夹具进行质子交换的方法，其特征在于，在将石英管道内的质子交换液和装有铌酸锂基片的铌酸锂基片夹具加热至预设温度后，包括如下步骤：
S1：将铌酸锂基片夹具迅速放入石英管道内质子交换液的上方；
S2：缓慢将铌酸锂基片夹具下放，当探测电路中的信号指示灯的亮度发生变化时，停止下放，通过手柄将传感杆从卡槽块夹持杆中抽离出来，保持卡槽块夹持杆在质子交换液的液面处停留预设时长；
S3：将卡槽块夹持杆继续下放至铌酸锂基片浸没在质子交换液中，进行质子交换。
6.如权利要求5所述的质子交换的方法，其特征在于，所述预设时长为3mins～6mins。
7.如权利要求5所述的质子交换的方法，其特征在于，所述预设温度为240℃。
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