CN110277337A - 缓冲器结构 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种缓冲器结构，其主要是由一上壳部、一下壳部、至少一缓冲环部、以及一缓冲气室所组成，通过缓冲环部弹抵上壳部与下壳部，使缓冲环部的变形段受外力挤压变形且上导引段与下导引段相互靠近时，所产生的抵抗变形力，有效分担晶圆盒所承受的碰撞力，并达到缓冲、保护作用的功效。

Description

缓冲器结构
技术领域
本发明关于一种缓冲器结构，特别是一种应用在晶圆盒上的缓冲器结构。
背景技术
在晶圆厂中，晶圆盒扮演着相当重要的角色，用以将至少二片晶圆储存及在半导体各工艺间传输的功能，同时提供晶圆的高洁净置放环境，以确保制造过程中的晶圆不受外在环境的微粒污染。由于晶圆本身厚度极薄，因此在搬运过程中必须十分小心，避免因碰撞而造成晶圆损毁。
参阅图1所示，现有技术的晶圆盒100大多都采用至少二个缓冲器10锁固在晶圆盒100的底端，以降低晶圆盒100碰撞的机率，但是现有技术的缓冲器10仅具有一外壳部11，因此提供的防振效果相当有限，以致晶圆盒100在传送时，造成的振荡而使晶圆盒100损坏或使晶圆盒100的微粒掉落至晶圆表面而造成晶圆合格率下降的问题，无法充分达到保护晶圆的功效；另外，在运送晶圆盒100过程中，由于动作路径上的高地起伏，可能使得晶圆盒100产生倾斜等情形，而此情形可能使所搬运的晶圆造成碰撞，容易产生晶圆损伤的问题，因而造成晶圆破片等情况发生。
因此，业内需要一种在典型运输条件下能提供更强的抗振动性能的缓冲器结构，即为本发明欲研究改善的方向所在。
发明内容
鉴于上述现有技术的缺点，因此，本发明提供一种缓冲器结构，其主要在于分担晶圆盒所承受的碰撞力，并达到缓冲、保护作用的功效。
为达前述目的，本发明提供一种缓冲器结构，包含：
一上壳部，包含一上壳连接端、及至少一泄气孔。
一下壳部，包含一下壳连接端。
至少一缓冲环部，能够弹抵该上壳部与该下壳部且位于该上壳部与下壳部之间，并具有一连接该上壳连接端的上导引段、一连接该下壳连接端的下导引段、及一位于该上导引段与该下导引段之间的变形段。
一缓冲气室，由该缓冲环部、该上壳部及该下壳部所围绕而成，并且连通该泄气孔，当该变形段受一外力挤压变形时，该上导引段与该下导引段相互靠近，该缓冲气室内的气体通过该泄气孔排出。
在一较佳实施例中，其中该上导引段与该上壳连接端之间形成一呈90度的第一夹角。
在一较佳实施例中，其中该下导引段与该下壳连接端之间形成一呈90度的第二夹角。
在一较佳实施例中，其中该缓冲环部的外径大于该上壳部与该下壳部的外径。
在一较佳实施例中，其中还包含两螺丝，该上壳部具有两能够与该两螺丝螺接的螺合孔。
在一较佳实施例中，其中还包含至少一混凝胶，该混凝胶容设在该缓冲气室内。
据此，本发明所提供的一种缓冲器结构，其主要是由一上壳部、一下壳部、至少一缓冲环部及一缓冲气室所组成，通过缓冲环部弹抵上壳部与下壳部，使缓冲环部的变形段受外力挤压变形且上导引段与下导引段相互靠近时，所产生的抵抗变形力，有效分担晶圆盒所承受的碰撞力，并达到缓冲、保护作用的功效。
附图说明
图1是现有技术缓冲器结构的立体图；
图2是本发明第一实施例的立体图；
图3A是本发明第一实施例的局部放大图，显示缓冲环部未压缩的状态；
图3B是本发明第一实施例的局部放大图，显示缓冲环部压缩后的状态；
图4是本发明第一实施例的剖视图，显示本发明锁固晶圆盒的状态；
图5是本发明第二实施例的剖视图，显示三个缓冲环部；以及
图6是本发明第三实施例的剖视图，显示一个缓冲环部。
附图标记说明。
现有技术：
晶圆盒100
缓冲器10
外壳部11；
本发明：
晶圆盒A
混泥胶B
连接铝块C
上壳部20
上壳连接端21
贯穿面22
泄气孔221
螺合孔222
下壳部30
下壳连接端31
缓冲环部40
第一缓缓冲环部40A
第一上导引段41A
第一下导引段42A
第一变形段43A
第二缓缓冲环部40B
第二上导引段41B
第二下导引段42B
第二变形段43B
上导引段41
下导引段42
变形段43
缓冲气室50
直线方向51
螺丝60
第一夹角Q1
第二夹角Q2。
具体实施方式
有关于本发明的前述及其他技术内容、特点与功效，在以下配合参考附图的较佳实施例的详细说明中，将可清楚的呈现。
请参阅图2至图4所示，本发明第一实施例所提供一种缓冲器结构，包含一上壳部20、一下壳部30、至少一缓冲环部40、以及一缓冲气室50：
该上壳部20为圆体状，包含一上壳连接端21、及一贯穿面22，该贯穿面22具有两贯穿的泄气孔221、及两螺合孔222。
该下壳部30为圆体状，包含一下壳连接端31，该下壳部30的外径等于该上壳部20的外径。
该至少一缓冲环部40为圆环状且为弹性材料，能够弹抵该上壳部20与该下壳部30且位于该上壳部20与下壳部30之间，并具有一连接该上壳连接端21的上导引段41、一连接该下壳连接端31的下导引段42、及一位于该上导引段41与该下导引段42之间的变形段43；本发明第一实施例中，该至少一冲环部40举两个为例，但不以此为限；该两缓冲环部40分为第一缓冲环部40A、及一连接该第一缓冲环部40A的第二缓冲环部40B，该第一缓冲环部40A的第一上导引段41A与该上壳连接端21连接，该第一缓冲环部40A的第一下导引段42A与该第二缓冲环部40B的第二上导引段41B连接，该第二缓冲环部40B的第二下导引段42B与该下壳连接端31连接，该第一上导引段41A与该第一下导引段42A之间具有一第一变形段43A，该第二上导引段41B与该第二下导引段42B之间具有一第二变形段43B；该两缓冲环部40的外径大于该上壳部20与该下壳部30的外径；该第一上导引段41A与该上壳连接端21之间形成一呈90度的第一夹角Q1，该第二下导引段42B与该下壳连接端31之间形成一呈90度的第二夹角Q2。通过该第一夹角Q1与该第二夹角Q2的设计，将能使该缓冲环部40敏锐地感知缓冲器结构的变形变化，而反应在缓冲、减振消能的成效上。
请参阅图3A、图4所示，该缓冲气室50由该两缓冲环部40、该上壳部20及该下壳部30所围绕而成且连通该泄气孔221，并具有一直线方向51；请参阅图3B、图4所示，当该第一变形段43A与该第二变形段43B受一外力挤压变形时，该第一上导引段41A与该第一下导引段42A沿该直线方向51相互靠近，该第二上导引段41B与该第二下导引段42B也会沿该直线方向51相互靠近，同时，该缓冲气室50内的气体便会被压缩通过该泄气孔221排出；由此，该第一变形段43A与该第二变形段43B受该外力产生形变，且同时间产生一反抗该外力的力至两端上，而达到减振消能与缓冲的效果（在此故意夸饰此变形量，以容易了解）。
以上述为本发明所提供一缓冲器结构的各部构件的结构及其组合状态说明。
值得一提的是，请参阅图4所示，本发明能够通过两螺丝60（图中仅显示一个螺丝表示）与该两螺合孔222螺接，将本发明锁固在晶圆盒A的底端，其中该螺丝60为六角螺栓；另外，本发明的该缓冲气室50能够容设至少一混泥胶B，该混泥胶B靠抵该下壳部30的内壁面，本实施例中，该混泥胶B举三个迭加组成为例，但不以此为限，请参阅图5所示，亦能够为两该混泥胶B容设该缓冲气室50内；请再参阅图4所示，该缓冲气室50容设一连接该上壳部20内壁面的连接铝块C，该连接铝块C与该等混泥胶B相距一适当的距离且供该两泄气孔221以及两螺合孔222贯穿，以上说明的组合状态态及运动方式皆与现有技术相同，亦非本发明重点，因此对于该等构件的详细结构与运动方式不再详述。
值得说明的是，请参阅图5所示，为本发明第二实施例的剖视图，本实施例中，该至少一缓冲环部40举三个为例，该缓冲环部40是可连绩至少二连接以提高变形量，并可确保变形的力量导引方向，以使缓冲器结构的变形于变形的过程中，减少歪斜与其他方向力的产生，以达到正向缓冲的要求。
请参阅图6所示，为本发明第三实施例的剖视图，本实施例与第一、二实施例不同在于：该至少一缓冲环部40举一个为例，挤压时所产生的抵抗变形力，能够有效分担晶圆盒所承受的碰撞力，并达到正向缓冲的需求，其余结构、组合状态与功效与第一、二实施例相同。
综上所述，本发明所提供一种缓冲器结构，通过该缓冲环部40弹抵该上壳部20与该下壳部30，使该缓冲环部40的该变形段43受外力挤压变形且该上导引段41与该下导引段42相互靠近时，所产生的抵抗变形力，有效分担晶圆盒所承受的碰撞外力，并达到缓冲、保护作用的功效，因此提供了良好的减振消能、以及辅助缓冲的效果。
如上所述，上述实施例及附图仅为本发明的较佳实施例而已，当不能以此限定本发明的实施范围，凡依本发明专利申请权利要求范围所作的之等同变化与修饰，都属于本发明专利所保护的范围。

Claims (6)

1.一种缓冲器结构，其特征在于，包含：
一上壳部，包含一上壳连接端、及至少一泄气孔；
一下壳部，包含一下壳连接端；
至少一缓冲环部，能够弹抵该上壳部与该下壳部且位于该上壳部与下壳部之间，并具有一连接该上壳连接端的上导引段、一连接该下壳连接端的下导引段、及一位于该上导引段与该下导引段之间的变形段；以及
一缓冲气室，由该缓冲环部、该上壳部及该下壳部所围绕而成，并且连通该泄气孔，当该变形段受一外力挤压变形时，该上导引段与该下导引段相互靠近，该缓冲气室内的气体通过该泄气孔排出。
2.如权利要求1所述的缓冲器结构，其特征在于，该上导引段与该上壳连接端之间形成一呈90度的第一夹角。
3.如权利要求1所述的缓冲器结构，其特征在于，该下导引段与该下壳连接端之间形成一呈90度的第二夹角。
4.如权利要求1所述的缓冲器结构，其特征在于，该缓冲环部的外径大于该上壳部与该下壳部的外径。
5.如权利要求1所述的缓冲器结构，其特征在于，还包含两螺丝，该上壳部具有两能够与该两螺丝螺接的螺合孔。
6.如权利要求1所述的缓冲器结构，其特征在于，还包含至少一混凝胶，该混凝胶容设在该缓冲气室内。
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