CN110244677A - 用于监控生产设备的运行的方法、装置和系统 - Google Patents

Abstract

本公开描述了用于监控生产设备的运行的方法、装置和系统。在一个方面中，一种系统包括：一个或多个无线传感器节点，其布置在第一生产设备中或者布置在所述第一生产设备附近，用于检测所述第一生产设备的运行状况并生成相应的数据信号；以及控制装置，其与所述一个或多个无线传感器节点通信地耦合，用于接收由所述一个或多个无线传感器节点生成的数据信号，并且响应于接收到所述数据信号，对所述数据信号中的一个或多个运行参数值进行处理以确定所述一个或多个运行参数值是否满足与第二生产设备相关联的预设的异常条件，以及响应于确定所述一个或多个运行参数值满足所述预设的异常条件，发出警报信号以指示所述第一生产设备的运行异常。

Description

用于监控生产设备的运行的方法、装置和系统

技术领域

本公开总体上涉及信息处理，更具体地，涉及用于监控生产设备的运行的方法、装置和系统。

背景技术

作为二十世纪最重要的发明之一，半导体集成电路(IC)的出现推动着人类技术进步的方方面面。晶圆制造是半导体制造工艺中的核心工序之一，在该阶段中，通过多种工艺的反复使用，在晶圆内部和表面上形成大量器件或集成电路。该阶段的工作涉及到多种生产设备，每一生产设备的运行正常与否均对后续工艺的正常进行、以及产品的功能/性能是否达标起到至关重要的作用，因此，如果生产设备的运行异常未能被及时发现并消除，可能会带来重大的损失。类似的情况也同样存在于许多其它生产/制造环境中。

发明内容

在发明内容部分中，以简化的形式介绍一些选出的概念，其将在下面的具体实施方式部分中被进一步描述。该发明内容部分并非是要标识出所要求保护的主题的任何关键特征或必要特征，也不是要被用于帮助确定所要求保护的主题的范围。

根据本公开的一个方面，提供了一种用于监控生产设备的运行的系统，所述系统包括：一个或多个无线传感器节点，其布置在第一生产设备中或者布置在所述第一生产设备附近，所述一个或多个无线传感器节点用于检测所述第一生产设备的运行状况并生成相应的数据信号，其中，所述数据信号包括指示所述第一生产设备的运行状况的一个或多个运行参数值；以及控制装置，其与所述一个或多个无线传感器节点通信地耦合，所述控制装置用于接收由所述一个或多个无线传感器节点生成的数据信号，并且响应于接收到所述数据信号，对所述数据信号中的一个或多个运行参数值进行处理以确定所述一个或多个运行参数值是否满足与第二生产设备相关联的预设的异常条件，其中，所述第二生产设备在生产流程中与所述第一生产设备相关联，所述控制装置进一步用于响应于确定所述一个或多个运行参数值满足所述预设的异常条件，发出警报信号以指示所述第一生产设备的运行异常。

根据本公开的另一个方面，提供了一种用于监控生产设备的运行的方法，所述方法包括：接收由布置在第一生产设备中或者布置在所述第一生产设备附近的一个或多个无线传感器节点生成的数据信号，其中，所述一个或多个无线传感器节点用于检测所述第一生产设备的运行状况，并且其中，所述数据信号包括指示所述第一生产设备的运行状况的一个或多个运行参数值；响应于接收到所述数据信号，对所述数据信号中的一个或多个运行参数值进行处理以确定所述一个或多个运行参数值是否满足与第二生产设备相关联的预设的异常条件，其中，所述第二生产设备在生产流程中与所述第一生产设备相关联；以及响应于确定所述一个或多个运行参数值满足所述预设的异常条件，发出警报信号以指示所述第一生产设备的运行异常。

根据本公开的再一个方面，提供了一种用于监控生产设备的运行的装置，所述装置包括：存储器，其用于存储指令；以及至少一个处理器，其耦合到所述存储器，其中，所述指令在由所述至少一个处理器执行时，使得所述至少一个处理器执行本公开中描述的方法。

根据本公开的又一个方面，提供了一种用于监控生产设备的运行的装置，所述装置包括用于执行本公开中描述的方法的模块。

根据本公开的另一个方面，提供了一种计算机可读存储介质，其上存储有指令，所述指令在由至少一个处理器执行时，使得所述至少一个处理器执行本公开中描述的方法。

附图说明

在附图中对本公开的实现以示例的形式而非限制的形式进行了说明，附图中相似的附图标记表示相同或类似的部件，其中：

图1示出了根据本公开的一些实现的示例性系统的框图；

图2示出了根据本公开的一些实现的示例性无线传感器节点的框图；

图3示出了根据本公开的一些实现的示例性控制装置的框图；

图4示出了根据本公开的一些实现的示例性方法的流程图；以及

图5示出了根据本公开的一些实现的示例性装置的框图。

具体实施方式

在以下的说明书中，出于解释的目的，阐述了大量具体细节。然而，应当理解的是，本公开的实现无需这些具体细节就可以实施。在其它实例中，并未详细示出公知的电路、结构和技术，以免影响对说明书的理解。

说明书通篇中对“一个实现”、“实现”、“示例性实现”、“一些实现”、“各种实现”等的引述表示所描述的本公开的实现可以包括特定的特征、结构或特性，然而，并不是说每个实现都必须要包含这些特定的特征、结构或特性。此外，一些实现可以具有针对其它实现描述的特征中的一些、全部，或者不具有针对其它实现描述的特征。

在下面的说明书和权利要求书中，可能会用到术语“耦合”和“连接”及其派生词。需要理解的是，这些术语并非是要作为彼此的同义词。相反，在特定的实现中，“连接”用于表示两个或更多部件彼此直接物理或电接触，而“耦合”则用于表示两个或更多部件彼此协作或交互，但是它们可能、也可能不直接物理或电接触。

图1示出了根据本公开的一些实现的示例性系统100的框图。系统100可以用于监控生产设备的运行。如图1所示，示例性系统100可以包括一个或多个无线传感器节点110(例如，110-1至110-N)、无线传感器中枢120、以及位于远端的控制装置130。

一个典型的工业生产/制造环境往往涉及多个生产设备的互相配合。每个生产设备用于整个产品制造过程的一个环节(例如，包括制造产品的一个部分)，或者用于为该环节的进行提供相关的支持(例如，包括提供要使用的材料)，等等。这些生产设备相互关联，位于下游的生产设备接收由上游的生产设备所供应的材料或制成品等，并利用这些材料或制成品等进行规定的生产/制造。在根据本公开的一些实现中，如图1中所示的一个或多个无线传感器节点110可以被布置在待监控的特定生产设备(未示出)中、或者布置在该生产设备的附近，以用于检测该生产设备的运行状况、生成并发送能够反映检测到的运行状况的数据信号，等等。

图1中所示的无线传感器节点110-1至110-N中的每一个可以是物联网(IoT)传感器，这些传感器节点共同构成物联网的一部分。在一些实现中，可以为一个生产设备配备一个无线传感器节点，其用于检测指示该生产设备的运行状况的至少一个运行参数值。在另一些实现中，也可以为一个生产设备配备多于一个的无线传感器节点，这些无线传感器节点各自负责检测的运行参数值组合在一起，反映该生产设备的运行状况。无线传感器节点110-1至110-N中的每一个可以包括任意类型的传感器单元，例如：图像传感器、声音传感器、温度传感器、湿度传感器、压力传感器、振动传感器、位移传感器、速度传感器、加速度传感器、电流传感器、电压传感器，等等。本公开并不限于上述具体示例。

无线传感器节点110-1至110-N可以构成无线传感器网络，例如，图1中所示的无线网络140。无线网络140所采用的通信技术可以包括但不限于：蓝牙、红外、近场通信(NFC)、ZigBee、无线局域网(Wi-Fi)，等等。在一些实现中，无线网络140可以是自组网，放置于其覆盖范围内的无线传感器节点110可以自动发现并加入该网络，从而进一步简化了网络部署操作。

无线传感器中枢120同样可以属于无线网络140的一部分。无线传感器中枢120可以充当类似于无线传感器节点110-1至110-N的基站的作用，来自于这些无线传感器节点的数据信号可以经由无线网络140汇聚在无线传感器中枢120，后者经由网络150将所收到的数据信号转发至控制装置130。控制装置130通常布置在远离无线传感器节点110-1至110-N以及它们所监控的生产设备的位置处。

此外，尽管图1中只示出了单个无线传感器中枢120，但是本领域技术人员可以理解，也可以设置多于一个的无线传感器中枢。在一些实现中，一个无线传感器中枢可以服务于特定的一组无线传感器节点，以方便网络部署。这样的特定一组无线传感器节点可以被部署在一个指定的位置/位置范围中，例如，部署在一个房间内、部署在一个楼层中，等等。在另一个示例中，这样的特定一组无线传感器节点也可以对应于一台待监控的生产设备。关于无线传感器节点110和无线传感器中枢120的其它配置也是可能的，本公开并不限于上述具体示例。

如前所述，无线传感器中枢120经由网络150将所收到的数据信号转发至控制装置130。网络150可以包括任意类型的有线或无线通信网络、或者是有线和无线通信网络的组合，所述通信网络例如可以包括但不限于：局域网(LAN)、城域网(MAN)、广域网(WAN)、公共电话网、互联网、内联网、物联网、红外网络、蓝牙网络、近场通信(NFC)网络、ZigBee网络，等等。此外，在一些实现中，无线传感器中枢120和控制装置130之间也可以采用直接的线缆连接。

此外，尽管在图1的示例中控制装置130是经由无线传感器中枢120接收由一个或多个无线传感器节点110生成的数据信号，但是在一些实现中，来自于无线传感器节点110的数据信号也可以无需无线传感器中枢120，而是直接经由无线网络(例如，无线网络140)传输至控制装置130。

控制装置130用于接收由一个或多个无线传感器节点110生成的数据信号，对所述数据信号中的一个或多个生产设备运行参数值进行处理以确定其是否满足预设的异常条件。如果满足的话，控制装置130可以发出警报信号以指示所述生产设备的运行异常。在本公开的一些实现中，要针对特定生产设备的运行参数值来进行检查的预设异常条件可以与另外的生产设备(未示出)相关联，所述另外的生产设备可以在生产流程中与所述特定生产设备相关联。在一些实现中，所述另外的生产设备在生产流程中可以位于所述特定生产设备的下游。在另一些实现中，所述另外的生产设备在生产流程中可以位于所述特定生产设备的上游。如前所述，下游生产设备可以接收上游生产设备所供应的材料或制成品等，并利用这些材料或制成品等进行规定的生产/制造。在一个示例中，下游生产设备可以接收其生产/制造所必需的、由上游生产设备所供应的制程气体。所述另外的生产设备与所述特定生产设备之间的其它类型的关系也是可能的。此外，在一些实现中，以与前面类似的方式，控制装置130也可以通过有线/无线的方式耦合到所述另外的生产设备。

控制装置130的示例可以包括但不限于：移动设备，个人数字助理(PDA)，可穿戴设备，移动计算设备，智能电话，蜂窝电话，手持设备，消息传送设备，计算机，个人计算机(PC)，台式计算机，膝上型计算机，笔记本计算机，手持计算机，平板计算机，工作站，迷你计算机，大型计算机，超级计算机，网络设备，Web设备，基于处理器的系统，多处理器系统，消费电子设备，可编程消费电子设备，电视，数字电视，机顶盒，或其任意组合。在一些实现中，控制装置130的功能可以通过运行在其上的应用程序来实现。

此外，尽管在图1中控制装置130被示出为单个设备，但是本领域技术人员可以理解的是，控制装置130也可以被实现为一组设备。此外，在一些实现中，控制装置130或至少其一部分可以被部署在分布式计算环境中。在一些实现中，控制装置130或至少其一部分可以被部署在云端，采用云计算技术来实现。本公开并不限于图1所示的特定架构。

下面转到图2，图2示出了根据本公开的一些实现的示例性无线传感器节点200的框图。示例性无线传感器节点200例如可以对应于图1中所示的无线传感器节点110。在一些实现中，无线传感器节点200可以包括传感器单元210、传感器数据单元220、以及无线通信单元230。无线传感器节点200可以布置在待监控的生产设备中、或者布置在所述生产设备的附近。

传感器单元210用于采集反映生产设备的运行状况的数据。传感器单元210的示例可以包括但不限于：图像传感器(例如，CCD图像传感器、CMOS图像传感器，等等)、声音传感器(例如，麦克风)、温度传感器、湿度传感器、压力传感器、振动传感器、位移传感器、速度传感器、加速度传感器、电流传感器、电压传感器，等等。传感器单元210采集的数据例如可以包括图像数据、声音数据、温度值、湿度值、压力值、电流值、电压值，等等。本领域技术人员可以理解，取决于实际需要，可以采用任意类型的传感器来采集所需的数据。

传感器数据处理单元220用于对传感器单元210采集的数据进行处理以生成数据信号。在一些实现中，传感器数据处理单元220例如可以包括处理器(优选地，低功耗处理器)和存储器，其中，处理器用于执行存储器中存储的指令以对传感器单元210采集的数据进行预定的处理，以获得所采集数据指示的生产设备运行参数值。例如，所述预定的处理包括但不限于图像分析与识别、声音分析与识别、数据值格式转换，等等。基于所获得的生产设备运行参数值，传感器数据处理单元220可以生成待发送的数据信号，该数据信号包括生产设备运行参数值，以指示所述生产设备的运行状况。该数据信号可以采用指定的格式。本领域技术人员可以理解，其它结构的传感器数据处理单元也是可行的。

此外，无线通信单元230用于无线地传输所述传感器数据处理单元220生成的数据信号。无线通信单元230可以采用蓝牙通信技术、红外通信技术、近场通信(NFC)技术、ZigBee技术、无线局域网(Wi-Fi)技术等进行无线传输。优选地，无线通信单元230还可以具有自组网能力，因此，它能够自动发现部署在附近的其它无线传感器节点(通过其中的无线传感器单元)、自动加入由这些以及另外的无线传感器节点构成的无线传感器网络并充当其中的一个节点(例如，作为自组网通信机制中的一跳)。自组网的引入可以降低对人力介入的需求，简化网络部署。

本领域技术人员可以理解，对于无线传感器节点200的结构的上述描述仅仅是示例性而非限制性的，其它结构的无线传感器节点也是可行的，只要能够用来实现本文中所述的功能。

图3示出了根据本公开的一些实现的示例性控制装置300的框图。示例性控制装置300例如可以对应于图1中所示的控制装置130。

如图3所示，控制装置300可以包括一个或多个处理器310、以及与其耦合的存储器320。一个或多个处理器310可以包括任意类型的通用处理单元/核心(例如但不限于：CPU、GPU)，或者专用处理单元、核心、电路、控制器，等等。存储器320可以包括任意类型的可以用于存储数据的介质。存储器320被配置为存储指令，所述指令在执行时使得一个或多个处理器310执行本文中所述的方法(例如，下文中描述的示例性方法400)的操作。

在一些实现中，控制装置300还可以配备有一种或多种外设部件，所述外设部件可以包括但不限于显示器、扬声器、鼠标、键盘，等等。另外，在一些实现中，控制装置300还可以配备有通信接口，其可以支持各种类型的有线/无线通信协议以与通信网络进行通信。通信网络的示例可以包括但不限于：局域网(LAN)、城域网(MAN)、广域网(WAN)、公共电话网、互联网、内联网、物联网、红外网络、蓝牙网络、近场通信(NFC)网络、ZigBee网络，等等。

此外，在一些实现中，上述及其它部件之间可以经由一种或多种总线/互连来相互通信，所述总线/互连可以支持任何合适的总线/互连协议，包括外围组件互连(PCI)、快速PCI快速、通用串行总线(USB)、串行附接SCSI(SAS)、串行ATA(SATA)、光纤通道(FC)、系统管理总线(SMBus)或其它合适的协议。

本领域技术人员可以理解，对于控制装置300的结构的上述描述仅仅是示例性而非限制性的，其它结构的控制装置也是可行的，只要能够用来实现本文中所述的功能(例如，结合下面的示例性方法400所描述的)。

接下来参考图4，其示出了根据本公开的一些实现的示例性方法400的流程图。方法400例如可以在图1中所示的控制装置130、图3中所示的控制装置300、或任何类似的或相关的实体中实现。

如图4所示，示例性方法400开始于步骤410。在该步骤410中，接收由布置在第一生产设备中或者布置在所述第一生产设备附近的一个或多个无线传感器节点生成的数据信号。所述一个或多个无线传感器节点用于检测所述第一生产设备的运行状况，并且所述数据信号包括指示所述第一生产设备的运行状况的一个或多个运行参数值。

在一些实现中，所述一个或多个无线传感器节点(例如，图1中所示的无线传感器节点110、图2中所示的无线传感器节点200)与控制装置通信地耦合，用于向所述控制装置提供所述数据信号。在一些实现中，所述一个或多个无线传感器节点可以与无线传感器中枢(例如，图1中所示的无线传感器中枢120)进行无线通信，所述无线传感器中枢用于接收来自所述一个或多个无线传感器节点的数据信号，并将所接收的数据信号转发至控制装置。此外，在另一些实现中，来自所述一个或多个无线传感器节点的数据信号也可以直接无线传输至所述控制装置，而无需经由所述无线传感器中枢进行转发。

在一些实现中，所述第一生产设备可以是部署在晶圆制造过程中的生产设备。例如，所述第一生产设备可以是臭氧发生器，其用于向下游的化学气相沉积反应室供应作为制程气体之一的臭氧，其中，所述一个或多个运行参数值可以包括所述臭氧发生器的输出功率。

此外，在一些实现中，所述一个或多个无线传感器节点中的每一个可以包括：传感器单元，用于采集反映所述第一生产设备的运行状况的数据；传感器数据处理单元，用于对所述传感器单元采集的数据进行处理以获得运行参数值，并且基于运行参数值来生成所述数据信号；以及无线通信单元，用于无线地传输所述传感器数据处理单元生成的数据信号。其它结构的无线传感器节点也是可行的。

此外，在一些实现中，所述传感器单元可以包括图像传感器，其中，所述传感器数据处理单元可以用于对所述图像传感器采集的图像数据进行分析以识别其中包含的运行参数值。本领域技术人员可以理解，所述传感器数据处理单元所使用的图像分析和识别方法可以采用多种本领域已知方法中的任意一种或几种的组合，本公开在此方面不做具体限制。

方法400然后前进到步骤420，在该步骤420中，响应于接收到所述数据信号，对所述数据信号中的一个或多个运行参数值进行处理以确定所述一个或多个运行参数值是否满足与第二生产设备相关联的预设的异常条件。所述第二生产设备在生产流程中与所述第一生产设备相关联。

在生产流程中，上游生产设备的运行异常会影响到下游生产设备。而且，即便针对同一上游生产设备，下游生产设备不同的话，其对该上游生产设备的运行状况的要求也是不一样的。因此，确保上游生产设备的运行状况满足下游生产设备的具体需求就变得尤为重要。在根据本公开的一些实现中，针对被监控的第一生产设备的一个或多个运行参数而预设的异常条件，是与生产流程中位于该第一生产设备的下游的第二生产设备相关联的，以反映该第二生产设备的具体需求。例如，可以根据以特定运行参数值工作的第一生产设备是否会对下游的第二生产设备造成影响、会造成何种程度的影响等考虑因素，来设置针对这样的运行参数值的异常条件。其它考虑因素也同样是可行的。

另外，在生产流程中，下游生产设备的运行异常很多情况下也会与上游生产设备有关，例如，反映出上游生产设备潜在的问题。举例来说，下游生产设备的运行异常可能源于上游生产设备所供应的材料或制成品等存在缺陷，而这样的缺陷可能并未在之前上游生产设备的生产过程中被及时检测出来。在根据本公开的一些实现中，针对被监控的第一生产设备的一个或多个运行参数而预设的异常条件，是与生产流程中位于该第一生产设备的上游的第二生产设备相关联的，以反映该第二生产设备的具体问题。例如，可以根据以特定运行参数值工作的第一生产设备是否是受到上游的第二生产设备的影响、受到何种程度的影响等考虑因素，来设置针对这样的运行参数值的异常条件。其它考虑因素也同样是可行的。

此外，所述第一生产设备与所述第二生产设备在生产流程上的其它类型的关系也是可能的。针对被监控的第一生产设备的一个或多个运行参数而预设的异常条件是取决于这样的具体关系来设置的。

在一个示例中，步骤420的操作可以包括确定所述数据信号中的一个或多个运行参数值中的每一个是否均满足对其的具体异常条件要求，例如，大于各自的预定上限阈值、小于各自的预定下限阈值、落入各自的预定异常取值范围，等等。在一个示例中，步骤420的操作也可以包括确定所述数据信号中的一个或多个运行参数值中的指定数目的运行参数值(例如，至少一个)是否满足对其的具体异常条件要求。此外，在一个示例中，步骤420的操作还可以包括确定所述数据信号中的一个或多个运行参数值中的指定类型的一个或多个运行参数值(例如，温度、压力、和/或功率，等等)是否满足对其的具体异常条件要求。此外，在一个实例中，步骤420的操作还可以包括对所述数据信号中的一个或多个运行参数值进行指定的数学运算，将所述数学运算的结果与对其的具体异常条件要求进行比较。本领域技术人员可以理解，取决于实际需求，上述类型的处理和判断的一些组合、和/或其它类型的处理和判断也都是可能的，本公开并不限于这里描述的具体示例。

如果确定所接收的数据信号中的一个或多个运行参数值不满足预设的异常条件(即，判定框430中的结果为“否”)，则如图4所示，方法400跳回到步骤410，继续接收来自于一个或多个无线传感器节点的数据信号。

反之，如果确定所接收的数据信号中的一个或多个运行参数值满足预设的异常条件(即，判定框430中的结果为“是”)，则如图4所示，方法400继续进行到步骤440。在步骤440中，响应于确定所述一个或多个运行参数值满足所述预设的异常条件，发出警报信号以指示所述第一生产设备的运行异常。

在一些实现中，步骤440中的发出所述警报信号可以包括：通过显示器以可视的形式指示所述第一生产设备的运行异常。附加地或者替代地，在一些实现中，步骤440中的发出所述警报信号可以包括：通过扬声器以可听的形式指示所述第一生产设备的运行异常。本领域技术人员可以理解，其它类型的用户可感知的指示方式也是可行的，本公开并不限于这里给出的具体示例。

此外，在一些实现中，步骤440中的发出所述警报信号可以包括：向一个或多个目标接收者发送指示所述第一生产设备的运行异常的通知。通知的具体实现可以采用各种适当的形式，例如，包括但不限于：电话通知、短消息通知，和/或电子邮件通知。

此外，在一些实现中，针对第一生产设备的预设的异常条件可以包括多个等级的异常条件。例如，所述预设的异常条件可以按照对下游的第二生产设备的影响的严重程度从低到高分为三个等级，每个等级中设置第一生产设备的一个或多个参数值的相应取值范围。而且，在预设的异常条件分等级的情况下，不同等级的异常条件可以对应于不同的警报信号。例如，对于预设的三个等级的异常条件，所发出的警报信号也可以相应地分为三个等级，以向操作者/接收者提醒应予以不同程度的注意。在另一个示例中，所述预设的异常条件可以按照反映上游的第二生产设备的问题的严重程度从低到高分为多个等级。在一些实现中，除了包含用于描述所述第一生产设备的相应运行异常的信息之外，针对不同等级的异常条件，所述警报信号可以用不同层次的形式来呈现。例如，在通过显示器以可视的形式来呈现的情况下，随着严重程度逐渐升高，显示的颜色可以更突出、闪烁的频率可以更快，等等。例如，在通过扬声器以可听的形式来呈现的情况下，随着严重程度逐渐升高，播放的声音可以更加尖锐、更为急促，等等。本公开并不限于上述示例。

在一些实现中，响应于接收到所述警报信号，操作人员可以采取合适的措施来应对/消除所述第一生产设备的运行异常。例如，所述操作人员可以手动地暂停所述第一生产设备的运行，以便对所述第一生产设备进行调试以消除故障。此外，所述操作人员还可以暂停与所述第一生产设备相关联的一个或多个设备，包括但不限于所述第二生产设备，以避免所述第一生产设备的运行异常对其它设备的运行造成影响、或者消除所述第一生产设备的运行异常的成因，等等。

替代由操作人员手动暂停设备运行的是，在一些实现中，响应于确定所述一个或多个运行参数值满足所述预设的条件，方法400还可以包括可选的步骤450。在步骤450中，向包括所述第一生产设备和所述第二生产设备在内的多个设备发送控制命令以暂停所述多个设备的运行。

此外，可选地，在一些实现中，方法400还可以包括响应于用户输入而对所述预设的异常条件进行调整的步骤(未示出)。在一个示例中，取决于实际需求，操作人员可以通过诸如键盘、鼠标、触摸屏等各类输入设备来与控制装置进行交互，以调整预设的异常条件，例如针对在生产流程上与第一生产设备相关联的第二生产设备，调整第一生产设备的一个或多个参数的各个等级的异常取值范围。此外，在一些实现中，方法400还可以包括响应于用户输入来调整要发出的警报信号的内容和/或形式，等等。另外，在一些实现中，方法400还可以包括响应于用户输入来选取要监控第一生产设备的那个/哪些运行参数值。

上文中结合图4描述了根据本公开的一些实现的方法400的流程图，本领域技术人员可以理解，方法400仅仅是示例性的而非限制性的，并且并不是这里所描述的每一个操作都是实现本公开的一个特定实现所必需的。在另外一些实现中，方法400还可以包括在说明书中描述的其它操作。可以理解的是，示例性方法400的各种操作可以用软件、硬件、固件或其任意组合来实现。

接下来，结合一个具体应用场景来描述本公开的一个示例性方法的实现。

在晶圆制造过程中，利用薄膜沉积工艺在晶圆表面上形成二氧化硅(SiO₂)膜作为绝缘层以例如用于保护晶圆表面上形成的金属电路是一项基础工艺。典型地，二氧化硅膜是采用化学气相沉积(CVD)来生产的。由于具有非常好的阶梯覆盖能力从而能够满足对晶圆表面平整度的要求，亚大气压化学气相沉积(SACVD)相对于其它类型的CVD，被广泛地用于在晶圆表面上生产二氧化硅膜。具体地，使用SACVD工艺，反应室内被维持在指定的高温(例如，基座被加热到540摄氏度)和压力(例如，半个大气压)条件下，正硅酸乙酯(TEOS)和臭氧(O₃)同时被充入反应室，这两种制程气体在所述指定的高温和压力条件下会发生化学反应，主要产物是二氧化硅(SiO₂)，其生长在放置在基座上的晶圆表面上。

作为制程气体之一的臭氧是使用臭氧发生器来供应的。在实际的生产环境中，臭氧发生器作为一种基础设施，往往被布置在远离CVD反应室的位置处。发明人注意到，臭氧发生器的输出功率故障也会影响到反应室中二氧化硅膜的生长，而且输出功率异常在一些情况下并不会直接反映到常规关注的臭氧发生器供应臭氧的流量、浓度等参数上。由于现有技术中反应室并不能实时知晓臭氧发生器的输出功率异常，因此一旦这样的异常出现，往往反应室仍在继续进行生产，导致产出的晶圆不合格甚至报废，而这样的结果经常直到后续生产阶段才被发现，造成了重大损失。

采用根据本公开的一个具体实现，在臭氧发生器的附近可以布置一个无线传感器节点(例如，图1中所示的无线传感器节点110)，该无线传感器节点具有信号采集能力(例如，通过其中的图像传感器单元，如图2中所示的单元210)、数据处理能力(例如，通过其中的传感器数据处理单元，如图2中所示的单元220)、以及无线传输能力(例如，通过其中的无线通信单元，如图2中所示的单元230)。

在一个具体实现中，无线传感器节点110具有自组网能力，因此，当将其部署在指定位置处时，它可以自动寻找已经部署在附近的其它无线传感器节点、加入至少由这些其它无线传感器节点构成的无线传感器网络并作为该无线传感器网络的一个节点进行工作。这降低了对人力介入的需求，简化了网络部署操作。

在一个具体实现中，无线传感器节点110的图像传感器单元210可以对准臭氧发生器的机体上配备的显示屏，以采集显示屏上显示的图像，该屏幕上实时地显示臭氧发生器的多个运行参数，其中包括该臭氧发生器的输出功率。

优选地，图像传感器单元210可以按照指定的时间间隔来进行图像采集操作。在另一个示例中，图像传感器单元210也可以响应于外界的触发事件(例如，来自如图1中所示的控制装置130的请求)而进行图像采集操作。本公开并不限于上述示例。

在一个具体实现中，无线传感器节点110的图像传感器单元210将所采集到的臭氧发生器显示屏的图像发送给该无线传感器节点110中的传感器数据处理单元120，后者用于对该图像数据进行分析以识别出其中包含的该臭氧发生器的输出功率值。传感器数据处理单元120所使用的图像分析和识别方法可以采用多种本领域已知方法中的任意一种或几种的组合。

传感器数据处理单元120将所识别出的输出功率值包含在生成的数据信号中，该数据信号可以采用指定的格式。然后，传感器数据处理单元120将所生成的数据信号提供给无线传感器节点110中的无线通信单元130，后者将其通过无线网络(例如，图1中所示的无线网络140)发送出去。

在一个具体实现中，在指定位置处(例如，在臭氧发生器所放置的房间/楼层中的特定位置)部署有无线传感器中枢(例如，图1中所示的无线传感器中枢120)，来自于上述无线传感器节点110以及该指定位置周围一定范围内的其它无线传感器节点的数据信号被汇聚到无线传感器中枢120，后者将其通过有线和/或无线的方式转发至控制装置，例如图1中所示的控制装置130。本领域技术人员可以理解，在另外一些实现中，无线传感器节点110也可以与控制装置130通信地耦合，而无需部署居间的无线传感器中枢120。

在一个具体实现中，控制装置130可以实施为一台基于计算机的终端，其中运行有用于实现本公开中描述的监控方法的应用程序。控制装置130可以被布置在远离臭氧发生器的位置处。在一个示例中，控制装置130可以被布置在CVD反应室附近。在一个示例中，控制装置130可以是一个单独的装置，用于实现本文中所述的功能；在另一个示例中，控制装置130可以实现在已有的装置中，例如实现在已有的针对CVD反应室的控制装置中。控制装置130经由或者不经由如图1中所示的无线传感器中枢120接收来自无线传感器节点110的数据信号，该数据信号中至少包括臭氧发生器输出功率值，如前所述。

响应于接收到该数据信号，控制装置130可以确定该数据信号中包括的臭氧发生器输出功率值是否落入预设的异常取值范围内。这里，针对臭氧发生器输出功率的预设的异常取值范围与位于该臭氧发生器下游的CVD反应室相关联。例如，可以根据以特定输出功率工作的臭氧发生器是否会对CVD反应室造成影响、会造成何种程度的影响等考虑因素，来设置臭氧发生器的输出功率的异常取值范围。此外，取决于例如臭氧发生器的输出功率变化会对CVD反应室造成的影响的严重程度等因素，可以将预设的异常取值范围划分多个等级。如果发现臭氧发生器输出功率值落入预设的异常取值范围内，即满足预设的异常条件，则控制装置130可以发出警报信号以指示臭氧发生器的运行异常。

在一个具体实现中，控制装置130配备有显示器作为外设，警报信号可以以静态和/或动态图像、文本等各种可视的形式呈现在该显示器的图形用户界面上，以引起控制装置130的操作人员的注意，触发操作人员采取相应的措施来抑制/消除该运行异常可能造成的影响。附加地或者替代地，控制装置130也可以配备有扬声器作为外设，相应地，警报信号还可以通过例如语音播报、特定音调和节奏的警铃声等各种可听的形式通过该扬声器进行播放。

此外，控制装置130还可以向一个或多个目标接收者发送通知以指示臭氧发生器的运行异常。例如，通过调用控制装置130上运行的电话应用、短消息应用、电子邮件应用，控制装置130可以向目标接收者发送指示该异常的电话通知、短消息通知、电子邮件通知。本领域技术人员可以理解，产生这些类型的通知的其它方式、以及其它类型的通知也都是可行的，本公开并不限于上述具体实例。

此外，在预设的异常取值范围分等级的情况下，要发出的警报信号也相应地分为多个等级，以例如使得操作人员/接收者能够感知到不同程度的异常状况。

此外，在一个具体实现中，控制装置130的显示器上显示的图形用户界面还可以设置有参数调整控件。参数调整控件用于接收用户输入以调整例如预设的臭氧发生器输出功率值的异常取值范围。另外，操作人员也可以通过参数调整控件或者其它控件来选择要监控哪个/哪些运行参数值。此外，所述图像用户界面还可以设置有警报配置控件，操作人员可以通过该控件来调整要发出的警报信号的内容和/或形式，等等。

在上述具体实现中，通过对臭氧发生器的输出功率进行实时的监测，可以避免由于臭氧发生器输出功率异常导致的下游CVD反应室生产的晶圆质量缺陷或损坏，降低了生产损失。另外，采用无线传感器/传感器网络可以降低布线需求，节省了空间并且对生产/制造环境的改变/影响降到最低。

此外，采用类似的机制，也可以对晶圆制造过程中的其它生产设备/设施的健康状况进行监控，例如冷却水的流量、冷却水的温度、制程气体的压力，等等。

下面参考图5，其示出了根据本公开的一些实现的示例性装置500的框图。装置500例如可以在图1中所示的控制装置130、图3中所示的控制装置300、或任何类似的或相关的实体中实现。

示例性装置500用于监控生产设备的运行。如图5所示，装置500包括模块510，其用于接收由布置在第一生产设备中或者布置在所述第一生产设备附近的一个或多个无线传感器节点生成的数据信号，其中，所述一个或多个无线传感器节点用于检测所述第一生产设备的运行状况，并且其中，所述数据信号包括指示所述第一生产设备的运行状况的一个或多个运行参数值。装置500还包括模块520，其用于响应于接收到所述数据信号，对所述数据信号中的一个或多个运行参数值进行处理以确定所述一个或多个运行参数值是否满足与第二生产设备相关联的预设的异常条件，其中，所述第二生产设备在生产流程中与所述第一生产设备相关联。此外，装置500还包括模块530，其用于响应于确定所述一个或多个运行参数值满足所述预设的异常条件，发出警报信号以指示所述第一生产设备的运行异常。

此外，在一些实现中，装置500还可以包括附加的模块，用于执行说明书中已经描述的其它操作，例如，结合图4的流程图而描述的一些操作。例如，装置500可以包括用于向包括所述第一生产设备和所述第二生产设备在内的多个设备发送控制命令以暂停所述多个设备的运行的模块；例如，装置500还可以包括用于响应于用户输入而对所述预设的异常条件进行调整的模块；等等。本领域技术人员可以理解，示例性装置500可以用软件、硬件、固件、或其任意组合来实现。

这里描述的各种实现可以包括或操作多个组件、部件、单元、模块、实例或机制，其可以用硬件、软件、固件、或其任意组合来实现。硬件的示例可以包括、但不限于：设备、处理器、微处理器、电路、电路元件(例如、晶体管、电阻器、电容器、电感器，等等)、集成电路、专用集成电路(ASIC)、可编程逻辑器件(PLD)、数字信号处理器(DSP)、现场可编程门阵列(FPGA)、存储单元、逻辑门、寄存器、半导体器件、芯片、微芯片、芯片组，等等。软件的示例可以包括、但不限于：软件组件、程序、应用、计算机程序、应用程序、系统程序、机器程序、操作系统软件、中间件、软件模块、例程、子例程、函数、方法、过程、软件接口、应用编程接口(API)、指令集、计算机代码、计算机代码段、字、值、符号、或其任意组合。确定一个实现是使用硬件、软件、和/或固件来实现可以取决于多种因素而变化，例如期望的计算速率、功率级别、耐热性、处理周期预算、输入数据速率、输出数据速率、存储器资源、数据总线速度，以及其它的设计或性能约束，正如一个给定的实现所期望的。

这里描述的一些实现可以包括制品。制品可以包括存储介质。存储介质的示例可以包括用任意方法或技术实现的用以存储信息(例如，计算机可读指令、数据结构、程序模块、或其它数据)的易失性的和非易失性的、可移动的和不可移动的介质。存储介质可以包括、但不限于：随机存取存储器(RAM)、只读存储器(ROM)、可编程只读存储器(PROM)、可擦除可编程只读存储器(EPROM)、电可擦除可编程只读存储器(EEPROM)、闪速存储器或其它存储器技术，光盘(CD)、数字多用盘(DVD)或其它光存储，磁带盒、磁带、磁盘存储或其它磁存储设备，或者任何其它的能够用于存储信息的介质。在一些实现中，制品可以存储可执行的计算机程序指令，其在被一个或多个处理单元执行时，使得处理单元执行这里所述的操作。可执行的计算机程序指令可以包括任意合适类型的代码，例如，源代码、编译代码、解释代码、可执行代码、静态代码、动态代码，等等。可执行的计算机程序指令可以使用任意适当的高级的、低级的、面向对象的、可视化的、编译的和/或解释的编程语言来实现。

下面描述本公开的一些示例性实现。

示例1：一种用于监控生产设备的运行的系统，所述系统包括：一个或多个无线传感器节点，其布置在第一生产设备中或者布置在所述第一生产设备附近，所述一个或多个无线传感器节点用于检测所述第一生产设备的运行状况并生成相应的数据信号，其中，所述数据信号包括指示所述第一生产设备的运行状况的一个或多个运行参数值；以及控制装置，其与所述一个或多个无线传感器节点通信地耦合，所述控制装置用于接收由所述一个或多个无线传感器节点生成的数据信号，并且响应于接收到所述数据信号，对所述数据信号中的一个或多个运行参数值进行处理以确定所述一个或多个运行参数值是否满足与第二生产设备相关联的预设的异常条件，其中，所述第二生产设备在生产流程中与所述第一生产设备相关联，所述控制装置进一步用于响应于确定所述一个或多个运行参数值满足所述预设的异常条件，发出警报信号以指示所述第一生产设备的运行异常。

示例2：在示例1的系统中，所述第二生产设备在生产流程中位于所述第一生产设备的下游。

示例3：在示例1的系统中，所述一个或多个无线传感器节点中的每一个包括：传感器单元，用于采集反映所述第一生产设备的运行状况的数据；传感器数据处理单元，用于对所述传感器单元采集的数据进行处理以获得运行参数值，并且基于运行参数值来生成所述数据信号；以及无线通信单元，用于无线地传输所述传感器数据处理单元生成的数据信号。

示例4：在示例1的系统中，所述控制装置进一步用于：向包括所述第一生产设备和所述第二生产设备在内的多个设备发送控制命令以暂停所述多个设备的运行。

示例5：在示例1的系统中，进一步包括：无线传感器中枢，其与所述一个或多个无线传感器节点进行无线通信，接收来自所述一个或多个无线传感器节点的数据信号，并将所接收的数据信号转发至所述控制装置。

示例6：在示例1的系统中，所述预设的异常条件包括多个等级的异常条件，并且其中，不同等级的异常条件对应于不同的警报信号。

示例7：在示例1的系统中，发出所述警报信号包括：通过显示器以可视的形式指示所述第一生产设备的运行异常，和/或通过扬声器以可听的形式指示所述第一生产设备的运行异常。

示例8：在示例1的系统中，发出所述警报信号包括：向一个或多个目标接收者发送指示所述第一生产设备的运行异常的通知，并且其中，所述通知包括以下中的至少一个：电话通知，短消息通知，或者电子邮件通知。

示例9：在示例1的系统中，所述第一生产设备和所述第二生产设备部署在晶圆制造过程中，其中，所述第一生产设备是臭氧发生器，所述第二生产设备包括化学气相沉积反应室，所述臭氧发生器用于向所述化学气相沉积反应室供应作为制程气体之一的臭氧，并且其中，所述一个或多个运行参数值包括所述臭氧发生器的输出功率。

示例10：在示例3的系统中，所述传感器单元包括图像传感器，并且其中，所述传感器数据处理单元用于对所述图像传感器采集的图像数据进行分析以识别其中包含的运行参数值。

示例11：在示例1的系统中，所述控制装置进一步用于：响应于用户输入而对所述预设的异常条件进行调整。

示例12：一种用于监控生产设备的运行的方法，所述方法包括：接收由布置在第一生产设备中或者布置在所述第一生产设备附近的一个或多个无线传感器节点生成的数据信号，其中，所述一个或多个无线传感器节点用于检测所述第一生产设备的运行状况，并且其中，所述数据信号包括指示所述第一生产设备的运行状况的一个或多个运行参数值；响应于接收到所述数据信号，对所述数据信号中的一个或多个运行参数值进行处理以确定所述一个或多个运行参数值是否满足与第二生产设备相关联的预设的异常条件，其中，所述第二生产设备在生产流程中与所述第一生产设备相关联；以及响应于确定所述一个或多个运行参数值满足所述预设的异常条件，发出警报信号以指示所述第一生产设备的运行异常。

示例13：在示例12的方法中，所述第二生产设备在生产流程中位于所述第一生产设备的下游。

示例14：在示例12的方法中，所述一个或多个无线传感器节点中的每一个包括：传感器单元，用于采集反映所述第一生产设备的运行状况的数据；传感器数据处理单元，用于对所述传感器单元采集的数据进行处理以获得运行参数值，并且基于运行参数值来生成所述数据信号；以及无线通信单元，用于无线地传输所述传感器数据处理单元生成的数据信号。

示例15：在示例12的方法中，进一步包括：向包括所述第一生产设备和所述第二生产设备在内的多个设备发送控制命令以暂停所述多个设备的运行。

示例16：在示例12的方法中，所述数据信号是从无线传感器中枢接收到的，所述无线传感器中枢与所述一个或多个无线传感器节点进行无线通信，接收并转发来自所述一个或多个无线传感器节点的数据信号。

示例17：在示例12的方法中，所述预设的异常条件包括多个等级的异常条件，并且其中，不同等级的异常条件对应于不同的警报信号。

示例18：在示例12的方法中，发出所述警报信号包括：通过显示器以可视的形式指示所述第一生产设备的运行异常，和/或通过扬声器以可听的形式指示所述第一生产设备的运行异常。

示例19：在示例12的方法中，发出所述警报信号包括：向一个或多个目标接收者发送指示所述第一生产设备的运行异常的通知，并且其中，所述通知包括以下中的至少一个：电话通知，短消息通知，或者电子邮件通知。

示例20：在示例12的方法中，所述第一生产设备和所述第二生产设备部署在晶圆制造过程中，其中，所述第一生产设备是臭氧发生器，所述第二生产设备包括化学气相沉积反应室，所述臭氧发生器用于向所述化学气相沉积反应室供应作为制程气体之一的臭氧，并且其中，所述一个或多个运行参数值包括所述臭氧发生器的输出功率。

示例21：在示例14的方法中，所述传感器单元包括图像传感器，并且其中，所述传感器数据处理单元用于对所述图像传感器采集的图像数据进行分析以识别其中包含的运行参数值。

示例22：在示例12的方法中，进一步包括：响应于用户输入而对所述预设的异常条件进行调整。

示例23：一种用于监控生产设备的运行的装置，所述装置包括：存储器，其用于存储指令；以及至少一个处理器，其耦合到所述存储器，其中，所述指令在由所述至少一个处理器执行时，使得所述至少一个处理器执行本文中所述的方法。

示例24：一种用于监控生产设备的运行的装置，所述装置包括用于执行本文中所述的方法的模块。

示例25：一种计算机可读存储介质，其上存储有指令，所述指令在由至少一个处理器执行时，使得所述至少一个处理器执行本文中所述的方法。

上面已经描述的内容包括所公开的架构的示例。当然并不可能描述组件和/或方法的每种可以想见的组合，但是本领域技术人员可以理解，许多其它的组合和排列也是可行的。因此，该新颖架构旨在涵盖落入所附权利要求的精神和范围之内的所有这样的替代、修改和变型。

Claims (25)

1.一种用于监控生产设备的运行的系统，所述系统包括：

一个或多个无线传感器节点，其布置在第一生产设备中或者布置在所述第一生产设备附近，所述一个或多个无线传感器节点用于检测所述第一生产设备的运行状况并生成相应的数据信号，其中，所述数据信号包括指示所述第一生产设备的运行状况的一个或多个运行参数值；以及

控制装置，其与所述一个或多个无线传感器节点通信地耦合，所述控制装置用于接收由所述一个或多个无线传感器节点生成的数据信号，并且响应于接收到所述数据信号，对所述数据信号中的一个或多个运行参数值进行处理以确定所述一个或多个运行参数值是否满足与第二生产设备相关联的预设的异常条件，其中，所述第二生产设备在生产流程中与所述第一生产设备相关联，所述控制装置进一步用于响应于确定所述一个或多个运行参数值满足所述预设的异常条件，发出警报信号以指示所述第一生产设备的运行异常。

2.根据权利要求1所述的系统，其中，所述第二生产设备在生产流程中位于所述第一生产设备的下游。

3.根据权利要求1所述的系统，其中，所述一个或多个无线传感器节点中的每一个包括：

传感器单元，用于采集反映所述第一生产设备的运行状况的数据；

传感器数据处理单元，用于对所述传感器单元采集的数据进行处理以获得运行参数值，并且基于运行参数值来生成所述数据信号；以及

无线通信单元，用于无线地传输所述传感器数据处理单元生成的数据信号。

4.根据权利要求1所述的系统，其中，所述控制装置进一步用于：

向包括所述第一生产设备和所述第二生产设备在内的多个设备发送控制命令以暂停所述多个设备的运行。

5.根据权利要求1所述的系统，进一步包括：

无线传感器中枢，其与所述一个或多个无线传感器节点进行无线通信，接收来自所述一个或多个无线传感器节点的数据信号，并将所接收的数据信号转发至所述控制装置。

6.根据权利要求1所述的系统，其中，所述预设的异常条件包括多个等级的异常条件，并且其中，不同等级的异常条件对应于不同的警报信号。

7.根据权利要求1所述的系统，其中，发出所述警报信号包括：通过显示器以可视的形式指示所述第一生产设备的运行异常，和/或通过扬声器以可听的形式指示所述第一生产设备的运行异常。

8.根据权利要求1所述的系统，其中，发出所述警报信号包括：向一个或多个目标接收者发送指示所述第一生产设备的运行异常的通知，并且其中，所述通知包括以下中的至少一个：电话通知，短消息通知，或者电子邮件通知。

9.根据权利要求1所述的系统，其中，所述第一生产设备和所述第二生产设备部署在晶圆制造过程中，其中，所述第一生产设备是臭氧发生器，所述第二生产设备包括化学气相沉积反应室，所述臭氧发生器用于向所述化学气相沉积反应室供应作为制程气体之一的臭氧，并且其中，所述一个或多个运行参数值包括所述臭氧发生器的输出功率。

10.根据权利要求3所述的系统，其中，所述传感器单元包括图像传感器，并且其中，所述传感器数据处理单元用于对所述图像传感器采集的图像数据进行分析以识别其中包含的运行参数值。

11.根据权利要求1所述的系统，其中，所述控制装置进一步用于：

响应于用户输入而对所述预设的异常条件进行调整。

12.一种用于监控生产设备的运行的方法，所述方法包括：

接收由布置在第一生产设备中或者布置在所述第一生产设备附近的一个或多个无线传感器节点生成的数据信号，其中，所述一个或多个无线传感器节点用于检测所述第一生产设备的运行状况，并且其中，所述数据信号包括指示所述第一生产设备的运行状况的一个或多个运行参数值；

响应于接收到所述数据信号，对所述数据信号中的一个或多个运行参数值进行处理以确定所述一个或多个运行参数值是否满足与第二生产设备相关联的预设的异常条件，其中，所述第二生产设备在生产流程中与所述第一生产设备相关联；以及

响应于确定所述一个或多个运行参数值满足所述预设的异常条件，发出警报信号以指示所述第一生产设备的运行异常。

13.根据权利要求12所述的方法，其中，所述第二生产设备在生产流程中位于所述第一生产设备的下游。

14.根据权利要求12所述的方法，其中，所述一个或多个无线传感器节点中的每一个包括：

传感器单元，用于采集反映所述第一生产设备的运行状况的数据；

传感器数据处理单元，用于对所述传感器单元采集的数据进行处理以获得运行参数值，并且基于运行参数值来生成所述数据信号；以及

无线通信单元，用于无线地传输所述传感器数据处理单元生成的数据信号。

15.根据权利要求12所述的方法，进一步包括：

向包括所述第一生产设备和所述第二生产设备在内的多个设备发送控制命令以暂停所述多个设备的运行。

16.根据权利要求12所述的方法，其中，所述数据信号是从无线传感器中枢接收到的，所述无线传感器中枢与所述一个或多个无线传感器节点进行无线通信，接收并转发来自所述一个或多个无线传感器节点的数据信号。

17.根据权利要求12所述的方法，其中，所述预设的异常条件包括多个等级的异常条件，并且其中，不同等级的异常条件对应于不同的警报信号。

18.根据权利要求12所述的方法，其中，发出所述警报信号包括：通过显示器以可视的形式指示所述第一生产设备的运行异常，和/或通过扬声器以可听的形式指示所述第一生产设备的运行异常。

19.根据权利要求12所述的方法，其中，发出所述警报信号包括：向一个或多个目标接收者发送指示所述第一生产设备的运行异常的通知，并且其中，所述通知包括以下中的至少一个：电话通知，短消息通知，或者电子邮件通知。

20.根据权利要求12所述的方法，其中，所述第一生产设备和所述第二生产设备部署在晶圆制造过程中，其中，所述第一生产设备是臭氧发生器，所述第二生产设备包括化学气相沉积反应室，所述臭氧发生器用于向所述化学气相沉积反应室供应作为制程气体之一的臭氧，并且其中，所述一个或多个运行参数值包括所述臭氧发生器的输出功率。

21.根据权利要求14所述的方法，其中，所述传感器单元包括图像传感器，并且其中，所述传感器数据处理单元用于对所述图像传感器采集的图像数据进行分析以识别其中包含的运行参数值。

22.根据权利要求12所述的方法，进一步包括：

响应于用户输入而对所述预设的异常条件进行调整。

23.一种用于监控生产设备的运行的装置，所述装置包括：

存储器，其用于存储指令；以及

至少一个处理器，其耦合到所述存储器，其中，所述指令在由所述至少一个处理器执行时，使得所述至少一个处理器执行根据权利要求12-22中的任意一项所述的方法。

24.一种用于监控生产设备的运行的装置，所述装置包括用于执行根据权利要求12-22中的任意一项所述的方法的模块。

25.一种计算机可读存储介质，其上存储有指令，所述指令在由至少一个处理器执行时，使得所述至少一个处理器执行根据权利要求12-22中的任意一项所述的方法。