CN110243504A - 压力传感装置、压力传感装置的驱动方法及制作方法 - Google Patents
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Abstract
本发明实施例公开一种压力传感装置、压力传感装置的驱动方法及制作方法，压力传感装置包括相对设置的第一电极层和第二电极层，设置在第一电极层和第二电极层之间的压力传感层，压力传感层在压力传感装置感测到压力时，改变第二电极层输出的电信号，还包括依次层叠设置于第二电极层远离压力传感层一侧的栅极层、第一绝缘层、有源层和源漏极层，源漏极层包括源极和漏极，源极或漏极与第一电极层电连接，栅极层与第二电极层电连接。本发明实施例提供的技术方案通过压力传感层在压力传感装置感测到压力时，改变第二电极层输出的电信号，源漏极层将第二电极输出的电信号进行放大后由源极或漏极输出，实现压力传感装置的对压力信号的高灵敏度检测。
Description
技术领域
本发明实施例涉及压力传感技术领域，尤其涉及一种压力传感装置、压力传感装置的驱动方法及制作方法。
背景技术
随着智能电子产品的广泛应用，对压力传感传感器提出越来越多的要求，现有的压力传感器的工作原理一般为压力作用在压力传感器上，压力传感器将压力信号转换为电信号，外部检测电路检测压力传感器感测到的电信号，现有的压力传感器感测出的电信号较小，不容易检测到，导致现有的压力传感器的检测灵敏度不高。
发明内容
本发明实施例提供一种压力传感装置、压力传感装置的驱动方法及制作方法，以克服现有的压力传感器检测灵敏度不高的问题。
为实现上述技术问题，本发明采用以下技术方案：
第一方面，本发明实施例提供了一种压力传感装置，包括：
相对设置的第一电极层和第二电极层，设置在所述第一电极层和所述第二电极层之间的压力传感层；所述压力传感层用于在压力传感装置感测到压力时，改变所述第二电极层输出的电信号；
还包括依次层叠设置于所述第二电极层远离压力传感层一侧的栅极层、第一绝缘层、有源层和源漏极层；
所述源漏极层包括源极和漏极，所述源极或所述漏极与所述第一电极层电连接；所述栅极层与所述第二电极层电连接。
第二方面，本发明实施例还提供了一种压力传感装置的驱动方法，
压力传感装置包括：
相对设置的第一电极层和第二电极层，设置在所述第一电极层和所述第二电极层之间的压力传感层；所述压力传感层用于在压力传感装置感测到压力时，改变所述第二电极层输出的电信号；
还包括依次层叠设置于所述第二电极层远离压力传感层一侧的栅极层、第一绝缘层、有源层和源漏极层；
所述源漏极层包括源极和漏极，所述源极或所述漏极与所述第一电极层电连接；所述栅极层与所述第二电极层电连接；
所述方法包括：
向所述第一电极层输入具有设定频率的交流驱动信号。
第三方面，本发明实施例还提供了一种压力传感装置的制作方法，包括：
依次形成层叠设置的源漏极层、有源层、第一绝缘层和栅极层；所述源漏极层包括源极和漏极；
在所述栅极层远离所述第一绝缘层的一侧依次形成第二电极层、压力传感层和第一电极层；所述压力传感层用于在压力传感装置感测到压力时，改变所述第二电极层输出的电信号；
所述源极或所述漏极与所述第一电极层电连接；所述栅极层与所述第二电极层电连接。
本发明实施例提供的压力传感装置通过相对设置的第一电极层和第二电极层，设置在第一电极层和第二电极层之间的压力传感层，压力传感层在压力传感装置感测到压力时，改变第二电极层输出的电信号，源极或漏极与第一电极层电连接，栅极层与第二电极层电连接，压力传感层将感测到的压力信号转换为电信号，并由第二电极层输出至栅极层，源漏极层将第二电极输出的电信号进行放大后由源极或漏极输出，实现压力传感装置的对压力信号的高灵敏度检测，通过层叠的膜层结构设计的压力传感装置具有体积更小，对压力信号的感测、传输与检测更稳定，信号的传输损耗更小，对压力信号的灵敏度高。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对本发明实施例描述中所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据本发明实施例的内容和这些附图获得其他的附图。
图1是本发明实施例提供的一种压力传感装置的结构示意图；
图2是本发明实施例提供的另一种压力传感装置的结构示意图；
图3是本发明实施例提供的一种压力传感装置的第一电极层、压力传感层和第二电极层的等效示意图；
图4是本发明实施例提供的又一种压力传感装置的结构示意图；
图5是本发明实施例提供的又一种压力传感装置的结构示意图；
图6是本发明实施例提供的一种压力传感装置的制作方法的流程图。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本发明作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本发明，而非对本发明的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本发明相关的部分而非全部结构。
图1是本发明实施例提供的一种压力传感装置的结构示意图。参见图1，本实施例提供的压力传感装置100包括相对设置的第一电极层13和第二电极层14，设置在所述第一电极层13和所述第二电极层14之间的压力传感层15；压力传感层15用于在压力传感装置100感测到压力时，改变第二电极层14输出的电信号；还包括依次层叠设置于第二电极层14远离压力传感层15一侧的栅极层28、第一绝缘层27、有源层26和源漏极层25；源漏极层25包括源极和漏极，源极或所述漏极与第一电极层13电连接；栅极层28与第二电极层14电连接。
具体地，通过向压力传感装置100输入驱动信号，当有压力作用在压力传感装置100上时，压力传感层15具有使第一电极层13和第二电极层14导通的导电通道，当有压力信号作用在第一电极层13上时，第一电极层13和第二电极层14之间的距离发生变化，压力传感层15的厚度发生变化，使压力传感层15的导电通道发生变化，第二电极层14输出的电信号发生变化。第一绝缘层27用于分离有源层26和栅极层28，源极(或漏极)与第一电极层13电连接，第二电极层14通过向栅极层28输入电信号控制漏极(或源极)输出放大后的电信号。
本发明实施例提供的压力传感装置压力传感层在压力传感装置感测到压力时，改变第二电极层输出的电信号，通过源极或漏极与第一电极层电连接，栅极层与第二电极层电连接，压力传感层将感测到的压力信号转换为电信号，并由第二电极层输出至栅极层，源漏极层将第二电极输出的电信号进行放大后由源极或漏极输出，实现压力传感装置的对压力信号的高灵敏度检测，通过层叠的膜层结构设计的压力传感装置具有体积更小，对压力信号的感测、传输与检测更稳定，信号的传输损耗更小，对压力信号的灵敏度高。
可选地，图2是本发明实施例提供的另一种压力传感装置的结构示意图。参见图2，压力传感装置100还包括驱动模块3，驱动模块3的输出端31与第一电极层13电连接，驱动模块3用于为第一电极层13提供设定频率的交流驱动信号。
具体地，现有的压力传感装置由于制程原因，以及杂质离子的成分及数量的不确定性，制作过程中必然存在一定的杂质离子，在直流电压下，杂质离子会被其相反的电极所吸引，从而会在第一电极层13和第二电极层14之间形成内建电场，内建电场的方向与第一电极层13和第二电极层14之间形成的功能电场的方向相反，从而抵消部分功能电场，使压力检测时压力传感装置的电流变化减小，使得压力传感装置输出的电信号减小，使得压力传感装置的压力信号检测灵敏度降低。
继续参见图2，本实施例通过设置驱动模块3为第一电极层13提供设定频率的交流驱动信号，交流驱动信号使得第一电极层13和第二电极层14上的电位是变化的，即不会一直是正电压或一直是负电压，从而使得第一电极层13、压力传感层15和第二电极层14不能形成内建电场，减小了内建电场对功能电场的削弱作用，相对于现有的压力传感装置使得第一电极层13、压力传感层15和第二电极层14的功能电场增强，第二电极层14输出的电信号进一步增大，使得压力信号更容易被检测到，进一步提高压力传感装置100对压力信号检测的灵敏度。
示例性地，压力传感装置的驱动信号的每一个周期内包括两部分，即正电压部分和负电压部分，驱动模块3的输出端31输出正电压时，压力传感装置可以正常工作，按压压力传感装置能够正常将按压信号转换为电信号并经源漏极层25输出，被外部检测控制芯片检测到；驱动模块3的输出端31输出负电压时，将压力传感装置复位，使第一电极层13、压力传感层15和第二电极层14的杂质离子不聚集，防止形成内建电场，影响输出的电信号的强度。
此外，可以通过调整交流驱动信号的占空比，实现正电压占空比长，负电压占空比短，由于正电压时压力传感装置用于检测压力，这样设置使得压力传感装置的压力检测时长较长，输出的电信号更准确，进一步提高压力检测灵敏度。
可选地，图3是本发明实施例提供的一种压力传感装置的第一电极层、压力传感层和第二电极层的等效示意图。参见图3，设定频率f满足以下公式：
其中，c＝RRmaxIC，R为第一电极层13、压力传感层15和第二电极层14的等效电阻，C为第一电极层13、压力传感层15和第二电极层14的等效电容，IC为最小可被检测电流，U为第一电极层13和第二电极层14之间的电压，Rmax为所述第一电极层13输入驱动信号时第一电极层13、压力传感层15和第二电极层14的等效电阻。
具体地，第一电极层13、压力传感层15和第二电极层14可以等效为R、C并联电路，第一电极层13、压力传感层15和第二电极层14的压力传感原理是：当有压力信号使导电通道变化，即第一电极层13、压力传感层15和第二电极层14的等效电阻R和等效电容C发生变化时，第二电极层14输出的电流的大小发生变化，即第二电极层14输出的电流的大小发生变化，当第二电极层14输出的最小电流变化大于最小可被检测电流(外部检测设备的最小检测电流)时，压力传感装置的压力检测灵敏度较高。
根据并联电流特性，假设流过等效电阻和等效电容的总电流为I，流过等效电阻R的电流为I1，流过等效电容C的电流为I2，由于流过等效电阻R的电流I1远大于流过等效电容C的电流I2，因此，第一电极层13、压力传感层15和第二电极层14的电流近似等于流过等效电阻R的电流I1，流过等效电阻R的电流I1为：
I1＝[X/(R+X)]·I (1)
其中，X为等效电容C的容抗大小。
同样的，按压压力传感装置导致的电流变化量为ΔI，
ΔI＝U(Rmax-R)/(R+X)(Rmax+X) (2)
其中，Rmax为给压力信号后第一电极层13、压力传感层15和第二电极层14的电阻，U为第一电极层13和第二电极层14之间的电压。
通过电阻R的电流变化量ΔI1为：
ΔI1＝[X/(R+X)]·ΔI (3)
根据容抗公式：
X＝1/2πfc (4)
f为频率，c为电容的容值大小。
若第一电极层13、压力传感层15和第二电极层14的最小可被检测电流为IC，则需要满足ΔI1≥IC，根据公式(2)、(3)、(4)，可得到频率f：
通过设定交流驱动信号的频率满足上述公式，使得在保证第一电极层13、压力传感层15和第二电极层14内部无法形成内建电场，从而提高功能电场强度，提高压力传感装置的检测灵敏度的同时，保证在设定频率的交流驱动信号驱动下，压力传感装置输出的电流变化大于外部检测设备的最小检测电流，从而降低了检测难度。
可选地，图4是本发明实施例提供的又一种压力传感装置的结构示意图。参见图4，第二电极层14复用为栅极层28。
具体地，第二电极层14复用为栅极层28，使压力传感装置实现压力信号检测的同时，使压力传感装置更为轻薄，同时可以减少工艺步骤和降低制作成本。
可选地，第一绝缘层27可以为氮化硅。
可选地，参见图4，压力传感装置还包括第二绝缘层4，第二绝缘层4设置于第一电极层13的边缘区和第一绝缘层27的边缘区域之间，源极或漏极与第一电极层13通过第二绝缘层4和第一绝缘层27中的过孔5电连接。
具体地，边缘区域可以位于压力传感层15、第二电极14、栅极层28、第一绝缘层27和有源层26的某一侧边，使得源极或漏极与压力传感模块1的第一电极层13通过第二绝缘层4中的过孔5电连接，或者边缘区域可以是环绕压力传感装置一圈的边缘，既能使得信号放大模块2的源极或漏极与第一电极层13通过过孔5电连接，又能对压力传感装置起保护作用。
可选地，第二绝缘层4可以为有机膜层，有机膜层的厚度范围可以为2μm-4μm。
具体地，第二绝缘层4为有机膜层，绝缘效果更好，有机膜层的厚度范围可以为2μm-4μm，方便第一电极层13通过第二绝缘层4的过孔5与源极或漏极电连接。
可选地，压力传感层15的材料可以包括聚二甲基硅氧烷、碳酸铵和多壁碳纳米管。
具体地，压力传感层15可以通过聚二甲基硅氧烷、碳酸铵和多壁碳纳米管按照比例混合固化而成。
可选地，压力传感层15内部包括至少一个中空结构16。
具体地，当有压力作用在压力传感装置上时，压力传感层15内部的中空结构16变扁平，压力传感层15的形变量更大，压力传感层15的导电通道的压缩量更大，使得电信号变化更大，从而使得压力传感器装置检测灵敏度更高。
可选地，继续参见图4，压力传感装置100还包括设置于源漏极层25远离有源层26一侧的第一衬垫24，以及设置于第一电极层13远离压力传感层15的一侧的第二衬垫6，第一衬垫24和第二衬垫6起保护和支撑作用。
具体地，第二衬垫6可以与第一衬垫24的材料相同。
图5是本发明实施例提供的又一种压力传感装置的结构示意图。参见图5，压力传感装置100可以包括衬垫7以及在衬垫7上阵列设置的第一电极层、压力传感层、第二电极层、源漏极层和栅极层等压力传感装置的除第一衬垫或第二衬垫之外的膜层结构，衬垫7可以为第一衬垫或第二衬垫，压力传感装置100可以应用于电子纸皮肤，实现压感检测。需要说明的是，图5示例性地画出压力传感装置100在衬垫7上阵列设置的情况。
本发明实施例提供一种压力传感装置的驱动方法，继续参见图4，压力传感装置100包括相对设置的第一电极层和第二电极层，设置在第一电极层和第二电极层之间的压力传感层，压力传感层用于在压力传感装置感测到压力时，改变第二电极层输出的电信号，还包括依次层叠设置于第二电极层远离压力传感层一侧的栅极层、第一绝缘层、有源层和源漏极层，源漏极层包括源极和漏极，源极或漏极与第一电极层电连接，栅极层与第二电极层电连接；
所述方法包括：
向所述第一电极层输入具有设定频率的交流驱动信号。
具体地，通过向压力传感模块1提供设定频率的交流驱动信号，使得第一电极层13和第二电极层14上的电位是变化的，即不会一直是正电压或一直是负电压，使压力传感器装置的压力传感模块1不能形成内建电场，减小了内建电场对功能电场的削弱作用，相对于现有的压力传感装置使得压力传感模块1的功能电场增强，压力传感模块1的第二电极层14输出的电信号进一步增大，使得压力信号更容易被检测到，进一步提高了压力传感装置对压力信号检测的灵敏度。
示例性地，驱动信号的每一个周期内包括两部分，即正电压部分和负电压部分，驱动模块3的输出端31输出正电压时，压力传感装置可以正常工作，按压压力传感装置能够正常将按压信号转换为电信号并经信号放大模块2的第二端23输出，被外部检测控制芯片检测到；驱动模块3的输出端31输出负电压时，将压力传感装置复位，使压力传感模块1的杂质离子不聚集，防止形成内建电场，影响输出的电信号的强度。
此外，可以通过调整交流驱动信号的占空比，实现正电压占空比长，负电压占空比短，由于正电压时压力传感装置用于检测压力，这样设置使的压力传感装置的压力检测时长较长，输出的电信号更准确，进一步提高压力检测灵敏度。
可选地，设定频率f满足以下公式：
其中，k＝RRmaxIC，R为第一电极层、压力传感层和第二电极层的等效电阻，C为第一电极层、压力传感层和第二电极层的等效电容，IC为最小可被检测电流，U为所述第一电极层和所述第二电极层之间的电压，Rmax为所述第一电极层输入驱动信号时所述第一电极层、所述压力传感层和所述第二电极层的等效电阻。
具体地，参见图3，第一电极层13、压力传感层15和第二电极层14可以等效为R、C并联电路，压力传感原理是当有压力信号使导电通道变化，即第一电极层13、压力传感层15和第二电极层14的电阻R发生变化时，第二电极层14输出的电流的大小发生变化，即压力传感装置的输出端输出的电流的大小发生变化，当压力传感装置的输出端输出的最小电流变化大于最小可被检测电流时，压力传感装置的压力检测灵敏度较高。
通过设定交流驱动信号的频率满足上述公式，使得在保证第一电极层13、压力传感层15和第二电极层14内部无法形成内建电场，从而提高功能电场强度，提高压力传感装置的检测灵敏度的同时，保证在设定频率的交流驱动信号驱动下，压力传感装置输出的电流变化大于外部检测设备的最小检测电流，从而证降低了检测难度。
本发明实施例提供的压力传感装置的驱动方法，通过向第一电极输入具有设定频率的交流驱动信号，使得压力传感装置的内建电场的很难形成，提高了压力传感装置的压力检测灵敏度。
图6是本发明实施例提供的一种压力传感装置的制作方法的流程图。参见图1和图6，本发明实施例提供的压力传感装置的制作方法，包括：
S101、依次形成层叠设置的源漏极层、有源层、第一绝缘层和栅极层；所述源漏极层包括源极和漏极。
具体地，先进行源漏极层25成型，源漏极层25的材料可以为单层的钼或者钼和铝的层叠结构，然后进行有源层26成型，成膜第一绝缘层27，第一绝缘层27可以为氮化硅层，然后进行栅极层28成型，栅极层28的材料可以为单层的钼或者钼和铝的层叠结构或者为ITO。
S102、在所述栅极层远离所述第一绝缘层的一侧依次形成第二电极层、压力传感层和第一电极层；所述压力传感层用于在压力传感装置感测到压力时，改变所述第二电极层输出的电信号。
具体地，在栅极层28远离第一绝缘层27的一侧进行第二电极层14的成型，第二电极层14的材料可以为单层的钼或者钼和铝的层叠结构或者为ITO；通过涂布、光刻、烘烤成型压力传感层15，然后成型第一电极层13，第一电极层13的材料可以为单层的钼或者钼和铝的层叠结构或者为ITO。
S103、所述源极或所述漏极与所述第一电极层电连接；所述栅极层与所述第二电极层电连接。
具体地，干刻第一绝缘层27，将源极或漏极与第一电极层13电连接，将栅极层28与第二电极层14电连接。
本发明实施例提供的压力传感装置的制作方法，通过依次形成层叠设置的源漏极层、有源层、第一绝缘层和栅极层，在栅极层远离第一绝缘层的一侧依次形成第二电极层、压力传感层和第一电极层，并将源极或漏极与第一电极层电连接，将栅极层与第二电极层电连接，在压力传感装置感测到压力时，改变所述第二电极层输出的电信号，通过栅极层和源漏极层进行电信号的放大，将放大后的电信号通过源极或漏极输出，提高了压力传感装置的压力检测灵敏度。
可选地，依次形成层叠设置的源漏极层、有源层、第一绝缘层和栅极层，包括：
步骤一、提供第一玻璃基板。
步骤二、在所述第一玻璃基板上形成第一衬垫。
具体地，第一衬垫24采用柔性衬垫或氮化硅。
步骤三、在所述第一衬垫上制作所述源漏极层，且所述源极和所述漏极绝缘设置。
步骤四、在所述源漏极层远离所述第一衬垫的一侧形成有源层。
步骤五、在所述有源层远离所述第一衬垫的一侧制作第一绝缘层。
具体地，成膜第一绝缘层27，第一绝缘层27可以为氮化硅层。
步骤六、在所述第一绝缘层远离所述第一衬垫的一侧形成栅极层。
可选地，继续参见图4，栅极层复用为第二电极层，在所述栅极层远离所述第一绝缘层的一侧依次形成第二电极层、压力传感层和第一电极层，包括：
步骤一、在所述栅极层远离所述第一衬垫的一侧制作压力传感层。
步骤二、在所述第一绝缘层未被所述压力传感层覆盖的边缘区域制作第二绝缘层。
具体地，通过沉膜形成第二绝缘层4，第二绝缘层4可以为有机膜层，有机膜层的厚度范围可以为2μm-4μm。
步骤三、在所述第二绝缘层和所述第一绝缘层中设置过孔。
具体地，干刻第二绝缘层4和第一绝缘层27，形成过孔5。
步骤四、在所述压力传感层远离所述第一衬垫的一侧形成第一电极层，所述第一电极层通过所述过孔与所述源极或所述漏极电连接。
步骤五、在所述第一电极层远离所述第一衬垫的一侧形成第二衬垫。
具体地，第二衬垫6采用柔性衬垫或氮化硅。
步骤六、剥离所述第一玻璃基板。
注意，上述仅为本发明的较佳实施例及所运用技术原理。本领域技术人员会理解，本发明不限于这里所述的特定实施例，对本领域技术人员来说能够进行各种明显的变化、重新调整和替代而不会脱离本发明的保护范围。因此，虽然通过以上实施例对本发明进行了较为详细的说明，但是本发明不仅仅限于以上实施例，在不脱离本发明构思的情况下，还可以包括更多其他等效实施例，而本发明的范围由所附的权利要求范围决定。
Claims (15)
1.一种压力传感装置，其特征在于，包括：
相对设置的第一电极层和第二电极层，设置在所述第一电极层和所述第二电极层之间的压力传感层；所述压力传感层用于在压力传感装置感测到压力时，改变所述第二电极层输出的电信号；
还包括依次层叠设置于所述第二电极层远离压力传感层一侧的栅极层、第一绝缘层、有源层和源漏极层；
所述源漏极层包括源极和漏极，所述源极或所述漏极与所述第一电极层电连接；所述栅极层与所述第二电极层电连接。
2.根据权利要求1所述的压力传感装置，其特征在于，还包括：
驱动模块，所述驱动模块的输出端与所述第一电极层电连接，用于为所述第一电极层提供设定频率的交流驱动信号。
3.根据权利要求2所述的压力传感装置，其特征在于，设定频率f满足以下公式：
其中，c＝RRmaxIC，R为所述第一电极层、所述压力传感层和所述第二电极层的等效电阻，C为所述第一电极层、所述压力传感层和所述第二电极层的等效电容，IC为最小可被检测电流，U为所述第一电极层和所述第二电极层之间的电压，Rmax为所述第一电极层输入驱动信号时所述第一电极层、所述压力传感层和所述第二电极层的等效电阻。
4.根据权利要求1所述的压力传感装置，其特征在于：
所述第二电极层复用为所述栅极层。
5.根据权利要求1所述的压力传感装置，其特征在于，
所述第一绝缘层为氮化硅。
6.根据权利要求1所述的压力传感装置，其特征在于，还包括：
第二绝缘层，设置于所述第一电极层的边缘区和所述第一绝缘层的边缘区域之间；
所述源极或漏极与所述第一电极层通过所述第二绝缘层和第一绝缘层中的过孔电连接。
7.根据权利要求6所述的压力传感装置，其特征在于，
所述第二绝缘层为有机膜层，所述有机膜层的厚度为2μm-4μm。
8.根据权利要求1所述的压力传感装置，其特征在于，
所述压力传感层的材料包括：聚二甲基硅氧烷、碳酸铵和多壁碳纳米管。
9.根据权利要求1所述的压力传感装置，其特征在于，
所述压力传感层内部包括至少一个中空结构。
10.根据权利要求1所述的压力传感装置，其特征在于，还包括：
设置于所述源漏极层远离所述有源层一侧的第一衬垫，以及设置于所述第一电极层远离所述压力传感层一侧的第二衬垫。
11.一种压力传感装置的驱动方法，其特征在于，
压力传感装置包括：
相对设置的第一电极层和第二电极层，设置在所述第一电极层和所述第二电极层之间的压力传感层；所述压力传感层用于在压力传感装置感测到压力时，改变所述第二电极层输出的电信号；
还包括依次层叠设置于所述第二电极层远离压力传感层一侧的栅极层、第一绝缘层、有源层和源漏极层；
所述源漏极层包括源极和漏极，所述源极或所述漏极与所述第一电极层电连接；所述栅极层与所述第二电极层电连接；
所述方法包括：
向所述第一电极层输入具有设定频率的交流驱动信号。
12.根据权利要求10所述的驱动方法，其特征在于，
设定频率f满足以下公式：
其中，k＝RRmaxIC，R为所述第一电极层、所述压力传感层和所述第二电极层的等效电阻，C为所述第一电极层、所述压力传感层和所述第二电极层的等效电容，IC为最小可被检测电流，U为所述第一电极层和所述第二电极层之间的电压，Rmax为所述第一电极层输入驱动信号时所述第一电极层、所述压力传感层和所述第二电极层的等效电阻。
13.一种压力传感装置的制作方法，其特征在于，包括：
依次形成层叠设置的源漏极层、有源层、第一绝缘层和栅极层；所述源漏极层包括源极和漏极；
在所述栅极层远离所述第一绝缘层的一侧依次形成第二电极层、压力传感层和第一电极层；所述压力传感层用于在压力传感装置感测到压力时，改变所述第二电极层输出的电信号；
所述源极或所述漏极与所述第一电极层电连接；所述栅极层与所述第二电极层电连接。
14.根据权利要求13所述的方法，其特征在于，依次形成层叠设置的源漏极层、有源层、第一绝缘层和栅极层，包括：
提供第一玻璃基板；
在所述第一玻璃基板上形成第一衬垫；
在所述第一衬垫上制作所述源漏极层，且所述源极和所述漏极绝缘设置；
在所述源漏极层远离所述第一衬垫的一侧形成有源层；
在所述有源层远离所述第一衬垫的一侧制作第一绝缘层；
在所述第一绝缘层远离所述第一衬垫的一侧形成栅极层。
15.根据权利要求14所述的方法，其特征在于，所述栅极层复用为所述第二电极层，在所述栅极层远离所述第一绝缘层的一侧依次形成第二电极层、压力传感层和第一电极层，包括：
在所述栅极层远离所述第一衬垫的一侧制作压力传感层；
在所述第一绝缘层未被所述压力传感层覆盖的边缘区域制作第二绝缘层；
在所述第二绝缘层和所述第一绝缘层中设置过孔；
在所述压力传感层远离所述第一衬垫的一侧形成第一电极层，所述第一电极层通过所述过孔与所述源极或所述漏极电连接；
在所述第一电极层远离所述第一衬垫的一侧形成第二衬垫；
剥离所述第一玻璃基板。
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