CN110218986B - 一种针对长条形反射镜的镀膜工装以及安装方法 - Google Patents

一种针对长条形反射镜的镀膜工装以及安装方法 Download PDF

Info

Publication number
CN110218986B
CN110218986B CN201910440408.3A CN201910440408A CN110218986B CN 110218986 B CN110218986 B CN 110218986B CN 201910440408 A CN201910440408 A CN 201910440408A CN 110218986 B CN110218986 B CN 110218986B
Authority
CN
China
Prior art keywords
supporting plate
movable supporting
strip
optical surface
shaped reflector
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201910440408.3A
Other languages
English (en)
Other versions
CN110218986A (zh
Inventor
莫海亮
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
SHANGHAI MODERN ADVANCED ULTRA PRECISION MANUFACTURING CENTER CO LTD
Original Assignee
SHANGHAI MODERN ADVANCED ULTRA PRECISION MANUFACTURING CENTER CO LTD
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by SHANGHAI MODERN ADVANCED ULTRA PRECISION MANUFACTURING CENTER CO LTD filed Critical SHANGHAI MODERN ADVANCED ULTRA PRECISION MANUFACTURING CENTER CO LTD
Priority to CN201910440408.3A priority Critical patent/CN110218986B/zh
Publication of CN110218986A publication Critical patent/CN110218986A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN110218986B publication Critical patent/CN110218986B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/24—Vacuum evaporation
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/50—Substrate holders

Abstract

本发明涉及一种针对长条形反射镜的镀膜工装以及安装方法，包括带有安装定位孔的活动托板，与长条镜光学面直接接触，固定长条镜在活动托板卡槽内；固定托板，固定在镀膜机伞架上，活动托板固定在其卡槽内；安装用定位杆，在长条镜工装安装过程中，通过4根定位杆，将上下活动托板精准对齐，完成活动托板与长条镜光学面贴合安装操作；本发明的有益效果，因为使用定位杆类似安装导轨作用，基本消除了长条镜在工装安装过程中对光学面边角磕碰风险，同时可以极大减少工装设计需要预留的公差尺寸，这也就提升了通光口径的控制精度。

Description

一种针对长条形反射镜的镀膜工装以及安装方法
技术领域
本发明涉及一种镜面镀膜工装，具体涉及一种针对一些长度尺寸超过400mm的光学长条形镜子，蒸发镀膜而设计使用的夹具以及安装方法。
背景技术
在蒸发镀膜机的工艺过程中，因其镀膜原理要求均采用光学镀膜面“面向下”的镀膜方式，所以镜子的镀膜工装安装一般都需要光学面与工装接触，这就导致光学面以及镜子边角均存在不同程度的接触损伤风险。
其中长条镜因其边、角较多，尺寸越长，操作风险就越高，这里涉及的长条形镜子一般指长度400mm以上尺寸。镀膜机的一般工装设计是将托板固定在镀膜机伞架之上，在固定托板上开适配镜子尺寸的安装卡槽，镜子清洗完成后，在镀膜机内安装镜子的光学面至工装夹具，镀膜腔体安装环境狭窄，也容易导致安装问题。综上所述本发明是针对长条形镜子的镀膜工装夹具设计以及安装方法。
发明内容
本发明的目的在于优化工装设计以及解决安装方法的不足，提供一种能够适用于长条形镜子的镀膜工装以及安装方法，特别针对一些长度尺寸超过400mm的光学长条形镜子。
本发明的技术方案是：一种针对长条形反射镜的镀膜工装，包括一块固定托板，两块活动托板和定位杆；
所述固定托板能够固定在镀膜机伞架上，中心开设有第一长方形槽；
所述活动托板包括上下贴合为一体的面板和底板，所述面板的长度大于底板的长度，面板的宽度大于底板的宽度；
所述底板与第一长方形槽等宽等长等高，能够嵌置于第一长方形槽内；
所述活动托板中心开设有第二长方形槽，所述第二长方形槽与长条形反射镜等宽等长，长条形反射镜的高度大于2倍第二长方形槽的高度，长条形反射镜能够嵌置于第二长方形槽内；
所述面板上加工有定位孔，定位孔的直径等于定位杆的直径，定位杆插入定位孔内，使得活动托板能够沿定位杆轴向运动径向固定。
进一步的，所述定位杆有4根，所述面板4个拐角处对应开设有4个定位孔，定位杆与定位孔一一对应安装。采用4根定位杆，类似安装导轨作用，均匀布置于面板4个拐角处，定位更准确。
本发明还提供一种针对长条形反射镜的镀膜工装的安装方法，具体步骤如下：
步骤一、将背面活动托板的面板朝上固定背面活动托板，将长条形反射镜的背面安装至背面活动托板的第二长方形槽内；因长条形反射镜背部对于外观以及表面要求较低，风险较低；
步骤二、安装定位杆至背面活动托板的定位孔中，背面活动托板以及长条形反射镜静止不动，此时长条形反射镜光学面向上；
步骤三、将光学面活动托板的面板朝下，光学面活动托板的定位孔与定位杆一一对应安装连接；
步骤四、顺着定位杆移动光学面活动托板，缓慢贴合至长条形反射镜的光学面安装至光学面活动托板的第二长方形槽内；
步骤五、锁定定位杆，将活动托板整体翻转，使得长条形反射镜的光学面向下，将带有长条形反射镜光学面的光学面活动托板的的底板整体安装于固定托板的第一长方形槽内。
进一步的，所述长条形反射镜的长度大于400mm。
本发明有益效果是：该镀膜工装需要带定位孔的活动托板一对，分为背面活动托板、光学面活动托板，通过定位杆将背面活动托板与光学面活动托板定位连接，在光学面活动托板贴合长条镜光学面的过程中起到导轨作用，将上下活动托板精准对齐，基本消除了长条镜在工装安装过程中对光学面边角磕碰风险，同时可以极大减少工装设计需要预留的公差尺寸，这也就提升了通光口径的控制精度。
现有的采用人工直接将长条精的光学面安装至槽内，人工操作波动大，本工装长条形镜子安装过程中是通过定位杆与活动托板定位孔完成，定位孔加工精确决定了安装精度，避免安装过程中的人工操作波动，极大的减小了工装与光学镜面的磕碰风险。
本发明的另外一个有益效果是工装托板的拆分设计，将长条镜工装分为固定托板和活动托板两部分。其好处在于，通过活动托板可以灵活方便的选择镜子的工装安装环境，而且通过改变活动托板的内卡槽尺寸，可以适配长条镜尺寸的改变；与此同时固定托板不需要做任何变动，固定托板与镀膜机伞架形成固定搭配，降低了适配风险。
附图说明
图1为活动托板的结构示意图；
图2为定位螺杆的结构示意图；
图3为固定托板的结构示意图；
图4为长条形反射镜的镀膜工装安装后的结构示意图；
图5为长条形反射镜的结构示意图；
图6为长条形反射镜的镀膜工装的装配图；
图7为长条形反射镜的镀膜工装的装配图。
图中：1为背面活动托板，2为光学面活动托板，3为定位杆，4为固定托板，5为长条形反射镜背面，6为长条形反射镜光学面，7为面板，8为底板，9为定位孔，10为第一长方形槽，11为第二长方形槽。
具体实施方式
下面结合附图对本发明做进一步的说明。
一种针对长条形反射镜的镀膜工装，包括一块固定托板4如图3所示，两块活动托板1，2如图1所示和4根定位杆3如图2所示。所述固定托板4能够固定在镀膜机伞架上，中心开设有第一长方形槽10。所述活动托板1，2包括上下贴合为一体的面板7和底板8，所述面板7的长度大于底板8的长度，面板7的宽度大于底板8的宽度。所述底板8与第一长方形槽10等宽等长等高，能够嵌置于第一长方形槽10内。所述活动托板1，2中心开设有第二长方形槽11，所述第二长方形槽11与长条形反射镜等宽等长，长条形反射镜的高度大于2倍第二长方形槽11的高度，长条形反射镜能够嵌置于第二长方形槽11内。所述面板74个拐角处对应开设有4个定位孔9，定位孔9的直径等于定位杆3的直径，定位杆3与定位孔9一一对应安装，使得活动托板1，2能够沿定位杆轴向运动径向固定。
如图4-7所示，一种针对长条形反射镜的镀膜工装的安装方法，具体步骤如下：
步骤一、将背面活动托板的面板朝上固定背面活动托板，将长条形反射镜的背面安装至背面活动托板的第二长方形槽内；因长条形反射镜背部对于外观以及表面要求较低，风险较低；
步骤二、安装定位杆至背面活动托板的定位孔中，背面活动托板以及长条形反射镜静止不动，此时长条形反射镜光学面向上；
步骤三、将光学面活动托板的面板朝下，光学面活动托板的定位孔与定位杆一一对应安装连接；
步骤四、顺着定位杆移动光学面活动托板，缓慢贴合至长条形反射镜的光学面安装至光学面活动托板的第二长方形槽内；
步骤五、锁定定位杆，将活动托板整体翻转，使得长条形反射镜的光学面向下，将带有长条形反射镜光学面的光学面活动托板的的底板整体安装于固定托板的第一长方形槽内。
该镀膜工装需要带定位孔的活动托板一对，分为背面活动托板、光学面活动托板，通过定位杆将背面活动托板与光学面活动托板定位连接，在光学面活动托板贴合长条镜光学面的过程中起到导轨作用，将上下活动托板精准对齐，基本消除了长条镜在工装安装过程中对光学面边角磕碰风险，同时可以极大减少工装设计需要预留的公差尺寸，这也就提升了通光口径的控制精度。
现有的采用人工直接将长条精的光学面安装至槽内，人工操作波动大，本工装长条形镜子安装过程中是通过定位杆与活动托板定位孔完成，定位孔加工精确决定了安装精度，避免安装过程中的人工操作波动，极大的减小了工装与光学镜面的磕碰风险。
本工装的另外一个有益效果是工装托板的拆分设计，将长条镜工装分为固定托板和活动托板两部分。其好处在于，通过活动托板可以灵活方便的选择镜子的工装安装环境，而且通过改变活动托板的内卡槽尺寸，可以适配长条镜尺寸的改变；与此同时固定托板不需要做任何变动，固定托板与镀膜机伞架形成固定搭配，降低了适配风险。
以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。

Claims (3)

1.一种针对长条形反射镜的镀膜工装，其特征在于：包括一块固定托板(4)，两块活动托板(1，2)和定位杆(3)；
所述固定托板(4)能够固定在镀膜机伞架上，中心开设有第一长方形槽(10)；
所述活动托板(1，2)包括上下贴合为一体的面板(7)和底板(8)，所述面板(7)的长度大于底板(8)的长度，面板(7)的宽度大于底板(8)的宽度；
所述底板(8)与第一长方形槽(10)等宽等长等高，能够嵌置于第一长方形槽(10)内；
所述活动托板(1，2)中心开设有第二长方形槽(11)，所述第二长方形槽(11)与长条形反射镜等宽等长，长条形反射镜的高度大于2倍第二长方形槽(11)的高度，长条形反射镜能够嵌置于第二长方形槽(11)内；
所述面板(7)上加工有定位孔(9)，定位孔(9)的直径等于定位杆(3)的直径，定位杆(3)插入定位孔(9)内，使得活动托板(1，2)能够沿定位杆轴向运动径向固定；
所述定位杆(3)有4根，所述面板(7)4个拐角处对应开设有4个定位孔(9)，定位杆(3)与定位孔(9)一一对应安装。
2.权利要求1所述的一种针对长条形反射镜的镀膜工装的安装方法，其特征在于：具体步骤如下：
步骤一、将背面活动托板的面板朝上固定背面活动托板，将长条形反射镜的背面安装至背面活动托板的第二长方形槽内；
步骤二、安装定位杆至背面活动托板的定位孔中，背面活动托板以及长条形反射镜静止不动，此时长条形反射镜光学面向上；
步骤三、将光学面活动托板的面板朝下，光学面活动托板的定位孔与定位杆一一对应安装连接；
步骤四、顺着定位杆移动光学面活动托板，缓慢贴合至长条形反射镜的光学面安装至光学面活动托板的第二长方形槽内；
步骤五、锁定定位杆，将活动托板整体翻转，使得长条形反射镜的光学面向下，将带有长条形反射镜光学面的光学面活动托板的的底板整体安装于固定托板的第一长方形槽内。
3.根据权利要求2所述针对长条形反射镜的镀膜工装的安装方法，其特征在于：所述长条形反射镜的长度大于400mm。
CN201910440408.3A 2019-05-24 2019-05-24 一种针对长条形反射镜的镀膜工装以及安装方法 Active CN110218986B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201910440408.3A CN110218986B (zh) 2019-05-24 2019-05-24 一种针对长条形反射镜的镀膜工装以及安装方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201910440408.3A CN110218986B (zh) 2019-05-24 2019-05-24 一种针对长条形反射镜的镀膜工装以及安装方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN110218986A CN110218986A (zh) 2019-09-10
CN110218986B true CN110218986B (zh) 2021-03-19

Family

ID=67817934

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201910440408.3A Active CN110218986B (zh) 2019-05-24 2019-05-24 一种针对长条形反射镜的镀膜工装以及安装方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN110218986B (zh)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111118453B (zh) * 2020-01-21 2023-09-26 上海现代先进超精密制造中心有限公司 一种大型方形反射镜片的镀膜工装
CN116695084B (zh) * 2023-08-07 2023-11-07 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种大口径长条形反射镜镀膜装置

Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11106917A (ja) * 1997-10-07 1999-04-20 Sony Corp 基板ホルダー及びこの基板ホルダーを有するスパッタリング装置
JP2000058690A (ja) * 1998-08-05 2000-02-25 Tanaka Kikinzoku Kogyo Kk 電子部品保護パッケージのシール用キャップの製造方法
CN203049027U (zh) * 2012-12-26 2013-07-10 京浜光学制品（常熟）有限公司 直角棱镜一次成型镀膜夹具
CN204702802U (zh) * 2015-06-15 2015-10-14 中国船舶重工集团公司第七一七研究所 一种不损伤镜片表面的组合式镀膜夹具
CN105043715A (zh) * 2015-06-04 2015-11-11 中国科学院上海光学精密机械研究所 大口径光学镜片夹具
CN206244869U (zh) * 2016-12-15 2017-06-13 江西佳鼎光电科技有限公司 一种用于装夹光学镜片的镀膜架
CN107557743A (zh) * 2017-08-24 2018-01-09 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 大口径SiC反射镜镀膜支撑装置
CN206925756U (zh) * 2017-04-24 2018-01-26 上海现代先进超精密制造中心有限公司 长条镜镀膜夹具
CN207525328U (zh) * 2017-10-13 2018-06-22 中国科学院上海技术物理研究所 空间反射镜真空镀膜夹具

Patent Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11106917A (ja) * 1997-10-07 1999-04-20 Sony Corp 基板ホルダー及びこの基板ホルダーを有するスパッタリング装置
JP2000058690A (ja) * 1998-08-05 2000-02-25 Tanaka Kikinzoku Kogyo Kk 電子部品保護パッケージのシール用キャップの製造方法
CN203049027U (zh) * 2012-12-26 2013-07-10 京浜光学制品（常熟）有限公司 直角棱镜一次成型镀膜夹具
CN105043715A (zh) * 2015-06-04 2015-11-11 中国科学院上海光学精密机械研究所 大口径光学镜片夹具
CN204702802U (zh) * 2015-06-15 2015-10-14 中国船舶重工集团公司第七一七研究所 一种不损伤镜片表面的组合式镀膜夹具
CN206244869U (zh) * 2016-12-15 2017-06-13 江西佳鼎光电科技有限公司 一种用于装夹光学镜片的镀膜架
CN206925756U (zh) * 2017-04-24 2018-01-26 上海现代先进超精密制造中心有限公司 长条镜镀膜夹具
CN107557743A (zh) * 2017-08-24 2018-01-09 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 大口径SiC反射镜镀膜支撑装置
CN207525328U (zh) * 2017-10-13 2018-06-22 中国科学院上海技术物理研究所 空间反射镜真空镀膜夹具

Also Published As

Publication number Publication date
CN110218986A (zh) 2019-09-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN110218986B (zh) 一种针对长条形反射镜的镀膜工装以及安装方法
CN110102908A (zh) 一种基于三维视觉定位的激光除胶装置及方法
CN110726429B (zh) 一种用于机载光电多传感器光轴平行性调校和制销一体化装置和方法
CN116100807A (zh) 激光模块可调整光斑同轴度工装结构及同轴度调整方法
CN103495524B (zh) 一种镜头模组点胶方法
CN100386012C (zh) 更换印刷电路板上有缺陷的印刷电路板单元的装置和方法
CN209124291U (zh) 无牙镜头高精度点胶治具
CN104972271B (zh) 一种微结构阵列器件模芯制造方法
CN206369833U (zh) 光纤生产装备
CN206605367U (zh) 一种光纤端面研磨检验装置
CN113008138B (zh) 一种基于视觉识别技术的产品加工定位系统及方法
CN210548911U (zh) 一种同光源双振镜皮秒激光振镜设备
CN210524887U (zh) 一种多棱镜及其激光雷达、智能车、无人机
CN109038968B (zh) 直线电机磁钢固定板的制作方法
CN105911644A (zh) 一种光纤准直装置及其装配方法
CN106249509A (zh) 用于智能贴片机的线扫光源
CN207695842U (zh) 用于硬脆材料的超短脉冲激光加工设备
JP2000304040A (ja) リニアガイド固定構造
CN213053345U (zh) 一种用于导光控制面板镭雕的夹具
CN219227704U (zh) 车载多目摄像头及车载摄像系统
CN105500018A (zh) 一种数控机床导轨安装治具及安装工艺
CN216253083U (zh) 一种相机芯片光学中心单侧校准治具
CN220533230U (zh) 一种多头拼接精密加工的装置
CN111712043B (zh) Vcm柔性线路板高精度成型方法
CN114485393B (zh) 一种图卡工装以及校准方法

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant