CN110212083B - 压电器件、光纤扫描驱动器、光纤扫描装置和投影装置 - Google Patents

压电器件、光纤扫描驱动器、光纤扫描装置和投影装置 Download PDF

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Abstract

本发明公开了一种压电器件、光纤扫描驱动器、光纤扫描装置和投影装置，涉及光学成像领域。压电器件包括介质层和贴合于介质层的压电层，压电器件包括固定端和自由端，压电器件沿着固定端至自由端的方向延伸。压电层的厚度沿固定端至自由端的方向逐渐减小或压电层的靠近自由端的端部的厚度沿固定端至自由端的方向逐渐减小。光纤扫描驱动器包括压电器件。光纤扫描装置包括光纤扫描驱动器和设置于光纤扫描驱动器的扫描光纤。投影装置包括光纤扫描装置。压电器件用作光纤悬臂梁，并能够增大振动的摆动幅度从而保证成像清晰。

Description

压电器件、光纤扫描驱动器、光纤扫描装置和投影装置
技术领域
本发明涉及光学成像领域，尤其涉及一种压电器件、光纤扫描驱动器、光纤扫描装置和投影装置。
背景技术
相比传统的投影显示设备，激光投影显示的一个突出优势就是体积更小，可以集成到各种手持设备中，如：嵌入手机、或者做成独立的厘米级别尺寸的微型投影仪，从而方便用户随身携带，随时随地进行投影显示。
光纤扫描是激光投影显示的一种实现方式，扫描驱动器(如：压电驱动器、电磁驱动器等)在电信号或电磁信号激励下弯曲振动，带动光纤振动，通过光纤将光斑投影在成像面上，以形成图像。
目前，光纤扫描驱动器以压电驱动片或者压电驱动管为主，现有技术中一般通过增加压电驱动片或者压电驱动管的驱动电压来增加光纤扫描驱动器的扫描速度和摆动幅度，以实现提供具有高刷新率和大尺寸的图像的目的，但使用高电压驱动光纤扫描驱动器，会导致光纤扫描装置的驱动电路复杂度升高，进而导致硬件成本升高。
发明内容
本发明实施例提供一种压电器件、光纤扫描驱动器、光纤扫描装置和投影装置，压电器件用作光纤悬臂梁，并能够增大振动的摆动幅度从而保证成像清晰。
为了实现上述发明目的，本发明实施例第一方面提供了一种压电器件，适用于光纤扫描驱动器。压电器件包括介质层和贴合于介质层的压电层，压电器件包括固定端和自由端，压电器件沿着固定端至自由端的方向延伸。压电层的厚度沿固定端至自由端的方向逐渐减小或压电层的靠近自由端的端部的厚度沿固定端至自由端的方向逐渐减小。
在本发明较佳的实施例中，上述压电器件为双压电晶片式压电器件，介质层厚度均匀分布。
在本发明较佳的实施例中，上述压电器件为双压电晶片式压电器件，压电器件的宽度沿固定端至自由端的方向逐渐减小或压电器件靠近自由端的端部的宽度沿固定端至自由端的方向逐渐减小。
在本发明较佳的实施例中，上述介质层为圆筒状介质层，圆筒状介质层沿其轴向均匀分布有多个安装槽，压电层的个数与安装槽的个数相配合并可设置于安装槽。
在本发明较佳的实施例中，上述每个安装槽的深度沿固定端至自由端的方向逐渐减小。
在本发明较佳的实施例中，上述介质层为长方体状介质层，长方体状介质层的的相对两个侧壁的外表面可分别设置有压电层。
在本发明较佳的实施例中，上述介质层的厚度沿第一端至第二端逐渐减小。
本发明实施例第二方面提供了一种光纤扫描驱动器，包括上述的压电器件。
本发明实施例第三方面提供了一种光纤扫描装置，包括上述的光纤扫描驱动器和扫描光纤，扫描光纤设置于光纤扫描驱动器的压电层的表面并沿压电层的延伸方向延伸。
本发明实施例第四方面提供了一种投影装置，包括上述的光纤扫描装置。
本发明实施例中的一个或者多个技术方案，至少具有如下技术效果或者优点：
本发明实施例提供的压电器件能够适用于光纤扫描驱动器的光纤悬臂梁，其总厚度沿固定端至自由端的方向逐渐减小使得其振动频率增高，从而增大其摆动幅度；同时，由于压电器件的总厚度逐渐减小还能够降低驱动电压以及减小振动阻尼，从而进一步增大摆动幅度，提高光纤扫描装置的精度，保证投影装置的成像清晰。此外，压电器件具有结构简单、成本较低和易于装配等特点。
附图说明
图1为本发明第一实施例提供的光纤扫描驱动器的第一视角的结构示意图；
图2为本发明第一实施例提供的光纤扫描驱动器的第二视角的结构示意图；
图3为本发明第一实施例提供的第一种介质层的结构示意图；
图4为本发明第一实施例提供的第二种介质层的结构示意图；
图5为本发明第一实施例提供的另一种压电器件的结构示意图；
图6为本发明第二实施例提供的光纤扫描驱动器的结构示意图；
图7为本发明第三实施例提供的光纤扫描驱动器的第一视角的结构示意图；
图8为本发明第三实施例提供的光纤扫描驱动器的第二视角的结构示意图；
图9为本发明第四实施例提供的光纤扫描驱动器结构示意图。
图标：100-光纤扫描驱动器；110-基座；120-压电器件；121-固定端；122-自由端；123-介质层；124-第一压电层；125-第二压电层；130-扫描光纤；
200-光纤扫描驱动器；210-基座；220-压电器件；221-固定端；222-自由端；223-介质层；224-第一压电层；225-第二压电层；226-第一形变部；227-第二形变部；230-扫描光纤；
300-光纤扫描驱动器；310-基座；320-压电器件；321-固定端；322-自由端；323-介质层；3231-第一安装槽；3232-第二安装槽；3233-第三安装槽；3234-第四安装槽；324-压电层；3241-第一压电层；3242-第二压电层；3243-第三压电层；3244-第四压电层；
400-光纤扫描驱动器；410-基座；420-压电器件；421-固定端；422-自由端；423-介质层；424-压电层；4241-第一压电层；4242-第二压电层；4243-第三压电层；4244-第四压电层。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
第一实施例
本发明实施例提供一种投影装置，其包括光纤扫描装置(图未绘示)。
请参照图1和图2，光纤扫描装置包括光纤扫描驱动器100和扫描光纤130。光纤扫描驱动器100包括基座110和压电器件120。压电器件120包括相对设置的固定端121和自由端122，其中，固定端121用于与基座110连接，自由端122朝向远离基座110的方向延伸。扫描光纤130设置于压电器件120的压电层的表面并沿压电层的延伸方向延伸形成悬臂。
本实施例提供的压电器件120为双压电晶片式压电器件。压电器件120包括介质层123、第一压电层124和第二压电层125。第一压电层124和第二压电层125相对设置于介质层123的两侧。
请继续参照图1和图2，介质层123类似于板状结构，其包括相对设置的第一表面(图未标注)和第二表面(图未标注)。介质层123的一端与基座110连接，另一端朝向远离基座110的方向延伸。
第一压电层124设置于第一表面并沿固定端121至自由端122的方向延伸，并且，第一压电层124的一端与基座110连接，第一压电层124的另一端延伸至介质层123的远离基座110的端部。
第二压电层125设置于第二表面并沿固定端121至自由端122的方向延伸，并且，第二压电层125的一端与基座110连接，第二压电层125的另一端延伸至介质层123的远离基座110的端部。
承上述，介质层123的一端、第一压电层124的一端和第二压电层125的一端形成固定端121，介质层123的另一端、第一压电层124的另一端和第二压电层125的另一端形成自由端122。可以理解的是，介质层123、第一压电层124和第二压电层125形成光纤悬臂梁。
进一步地，第一压电层124的厚度沿固定端121至自由端122的方向逐渐减小，第二压电层125的厚度沿固定端121至自由端122的方向逐渐减小。亦即，当第一压电层124设置于第一表面时，第一表面到第一压电层124的靠近固定端121并远离第一表面的端面之间的距离大于第一表面到第一压电层124的靠近自由端122并远离第一表面的端面之间的距离。第二压电层125与第一压电层124同理，在此不作赘述。
亦即，第一压电层124和第二压电层125分别沿固定端121至自由端122的方向厚度逐渐减小，使得光纤悬臂梁形成类似于楔形结构。通过这样的设置，能够增大压电器件120摆动幅度、降低压电器件120驱动电压和减小机械振动阻尼，从而实现投影装置成像清晰。
需要特殊说明的是，在本实施例的一些实现方式中，介质层123的厚度沿固定端121至自由端122的方向保持不变，如图1和图2示出的情况，介质层123的厚度沿固定端121至自由端122的方向保持不变，亦即介质层123厚度均匀分布。
在本实施例的另一些实现方式中，如图3所示，介质层123的厚度沿固定端121至自由端122的方向逐渐减小。
在本实施例的再一些实现方式中，如图4所示，介质层123的靠近自由端122的端部的厚度沿固定端121至自由端122的方向逐渐减小。
承上述，介质层123的厚度、第一压电层124的厚度和第二压电层125的厚度同时沿固定端121至自由端122的方向逐渐减小时，能够进一步增大光纤悬臂梁摆幅和减小光纤悬臂梁驱动电压和振动阻尼。
请参照图5，在本实施例的一些实现方式中，第一压电层124的靠近自由端122的端部的厚度沿固定端121至自由端122的方向逐渐减小。同理，第二压电层125的靠近自由端122的端部的厚度沿固定端121至自由端122的方向逐渐减小。当然，在该实现方式中的第一压电层124和第二压电层125还可以与图3和图4示出的介质层123相组合，在此不作赘述。
扫描光纤130可以设置于第一压电层124并沿第一压电层124的延伸方向延伸，扫描光纤130也可以设置于第二压电层125并沿第二压电层125的延伸方向延伸，在此不作赘述。
悬臂梁的弯曲振动的共振频率可以表示为：
其中：a是与双晶片厚度、介质层厚度以及双晶片与介质相对密度相关的一个系数，λi是超越方程的解，t为总厚度，L为长度，Ep为弹性模量，ρp为线密度。
通过上式可以看出，在总厚度t减小时，长度L不变的情况下悬臂梁共振频率能够实现提高；同时，总厚度t逐渐减小使振动阻尼更小，进一步有利于增大摆动幅度和降低驱动电压。
当压电器件120(即：光纤悬臂梁)总厚度t减小时，光纤悬臂梁长度L不变的情况下，光纤悬臂梁的振动频率f提高，有利于增大摆动幅度；同时，由于总厚度t逐渐减小，使驱动电压和振动阻尼均减小，进一步有利于增大摆动幅度。因此，光纤扫描驱动器100的悬臂梁在振动过程中具有更大的摆幅，达到提升性能的目的。
承上述，压电器件120的总厚度沿固定端121至自由端122的方向逐渐减小使得其振动频率增高，从而增大其摆动幅度；同时，由于压电器件120的总厚度逐渐减小还能够降低驱动电压以及减小振动阻尼，从而进一步增大摆动幅度，提高光纤扫描装置的精度，保证投影装置的成像清晰。
第二实施例
请参照图6，本实施例提供一种光纤扫描驱动器200，其包括基座210和压电器件220。压电器件220包括相对设置的固定端221和自由端222，其中，固定端221用于与基座210连接，自由端222朝向远离基座210的方向延伸。扫描光纤(图未绘示)设置于压电器件220的压电层的表面并沿压电层的延伸方向延伸形成悬臂。
本实施例提供的压电器件220为双压电晶片式压电器件。压电器件220包括介质层223、第一压电层224和第二压电层225。其中，介质层223的结构和连接关系与第一实施例的介质层123类似，介质层223包括相对设置并分别用于贴合第一压电层224的第一表面(图未标注)和用于贴合第二压电层225的第二表面(图未标注)；第一压电层224的结构和连接关系与第一实施例的第一压电层124类似；第二压电层225的结构和连接关系与第一实施例的第二压电层125类似。可以理解，介质层223、第一压电层224和第二压电层225形成光纤悬臂梁。
介质层223的厚度可以沿固定端221至自由端222的方向保持不变，即均匀分布；介质层223的厚度也可以沿固定端221至自由端222的方向逐渐减小；介质层223的靠近自由端222的端部的厚度还可以沿固定端221至自由端222的方向逐渐减小，在此不作赘述。
第一压电层224的厚度沿固定端221至自由端222的方向逐渐减小，或第一压电层224的靠近自由端222的端部的厚度沿固定端221至自由端222的方向逐渐减小。同理，第二压电层225的厚度沿固定端221至自由端232的方向逐渐减小，或第二压电层225的靠近自由端222的端部的厚度沿固定端221至自由端222的方向逐渐减小。在此不作赘述。
进一步地，压电器件120的靠近自由端222的端部具有相对设置的第一形变部226和第二形变部227，并且，第一形变部226设置于垂直于第一表面和第二表面的一个侧壁，第二形变部227设置于垂直于第一表面和第二表面的另一侧壁。亦即，光纤悬臂梁远离基座210的端部设置有第一形变部226和第二形变部227。
第一形变部226依次贯穿第一压电层224、介质层223和第二压电层225，并且，第一形变部226沿垂直于固定端221至自由端222的方向逐渐朝向第二形变部227靠拢。第二形变部227依次贯穿第一压电层224、介质层223和第二压电层225，并且，第二形变部227沿垂直于固定端221至自由端222的方向逐渐朝向第一形变部226靠拢。通过这样的设置，实现压电器件220的靠近自由端222的端部的第一表面的宽度逐渐减小和介质层223的靠近自由端222的端部的第二表面的宽度的逐渐减小，亦即，压电器件220的靠近自由端222的端部的宽度沿固定端221至自由端222的方向逐渐减小。
此外，第一形变部226的两端可以分别延伸至固定端221和自由端222；同理，第二形变部227的两端也可以分别延伸至固定端221和自由端222。这样，能够压电器件220的宽度沿固定端221至自由端222的方向逐渐减小。
需要特殊说明的是，第一表面的宽度和第二表面的宽度可以同时减小，第一表面的宽度和第二表面的宽度也可以不同时减小。
承上述，通过设置第一形变部226和第二形变部227，使得压电器件220的宽度沿固定端221至自由端222的方向逐渐减小，或压电器件220靠近自由端221的端部的宽度沿固定端221至自由端222的方向逐渐减小，能够进一步提高光纤悬臂梁的摆动幅度，以及降低了驱动电压以及减小了振动阻尼，从而实现投影装置成像清晰。
第三实施例
请参照图7和图8，本发明实施例提供一种光纤扫描驱动器300，其包括基座310和压电器件320。压电器件320包括相对设置的固定端321和自由端322，其中，固定端321用于与基座310连接，自由端322朝向远离基座310的方向延伸。扫描光纤(图未绘示)设置于压电器件320的压电层324的表面并沿压电层324的延伸方向延伸形成悬臂。
本实施例提供了一种四分管式压电器件，压电器件320包括介质层323和压电层324。其中，介质层323的一端与基座310连接，另一端朝向远离基座310的方向延伸。压电层324沿介质层323的延伸方向设置于压电层324。
介质层323为圆筒状介质层323。需要特殊说明的是，圆筒状介质层323可以是空心结构，也可以是实心结构。作为优选，介质层323为空心状结构，这样能够进一步提高光纤悬臂梁的摆动幅度。
圆筒状介质层323的直径(即厚度)沿固定端321至自由端322的方向可以保持不变，圆筒状介质层323的直径沿固定端321至自由端322的方向也可以逐渐减小。当圆筒状介质层323为空心结构时，也可以理解作圆筒状介质层323的壁厚沿固定端321至自由端322的方向逐渐减小。
圆筒状介质层323沿其轴向均匀分布有第一安装槽3231、第二安装槽3232、第三安装槽3233和第四安装槽3234。第一安装槽3231和第三安装槽3233相对设置，第二安装槽3232和第四安装槽3234相对设置。可以理解，第一安装槽3231、第二安装槽3232、第三安装槽3233和第四安装槽3234沿圆筒状介质层323的轴向圆周阵列设置，并且，每个安装槽沿介质层323的延伸方向贯穿于圆筒状介质层323的外周壁。
作为优选，每个安装槽的深度沿固定端321至自由端322的方向逐渐减小。亦即，第一安装槽3231的靠近固定端321端部的槽口至槽底之间的距离大于第一安装槽3231的靠近自由端322端部的槽口至槽底之间的距离；第二安装槽3232的靠近固定端321端部的槽口至槽底之间的距离大于第二安装槽3232的靠近自由端322端部的槽口至槽底之间的距离；第三安装槽3233的靠近固定端321端部的槽口至槽底之间的距离大于第三安装槽3233的靠近自由端322端部的槽口至槽底之间的距离；第四安装槽3234的靠近固定端321端部的槽口至槽底之间的距离大于第四安装槽3234的靠近自由端322端部的槽口至槽底之间的距离。
压电层324包括第一压电层3241、第二压电层3242、第三压电层3243和第四压电层3244。压电层324的厚度沿固定端321至自由端322的方向逐渐减小，亦即，第一压电层3241的厚度、第二压电层3242的厚度、第三压电层3243的厚度和第四压电层3244的厚度分别沿固定端321至自由端322的方向逐渐减小。通过这样设置，能够实现压电器件320的增大摆动幅度、降低驱动电压和减小振动阻尼的作用，从而实现投影装置成像清晰
其中，第一压电层3241设置于第一安装槽3231，并且作为优选，第一压电层3241远离第一安装槽3231槽底的端面与圆筒状介质层323的外周面相平齐。第二压电层3242设置于第二安装槽3232，并且作为优选，第二压电层3242远离第二安装槽3232槽底的端面与圆筒状介质层323的外周面相平齐。第三压电层3243设置于第三安装槽3233，并且作为优选，第三压电层3243远离第三安装槽3233槽底的端面与圆筒状介质层323的外周面相平齐。第四压电层3244设置于第四安装槽3234，并且作为优选，第四压电层3244远离第四安装槽3234槽底的端面与圆筒状介质层323的外周面相平齐。
在本实施例的另一种实现方式中，还可以是第一压电层3241的靠近自由端322的端部的厚度沿固定端321至自由端322逐渐减小、第二压电层3242的靠近自由端322的端部的厚度沿固定端321至自由端322逐渐减小、第三压电层3243的靠近自由端322的端部的厚度沿固定端321至自由端322逐渐减小和第四压电层3244的靠近自由端322的端部的厚度沿固定端321至自由端322逐渐减小，在此不作赘述。
需要进一步说明的是，当圆筒状介质层323只在第一安装槽3231和第三安装槽3233分别设置第一压电层3241和第三压电层3243时，即可形成类似于第一实施例或第二实施例的双压电晶片式压电器件。同理，当圆筒状介质层323只在第二安装槽3232和第四安装槽3234分别设置第二压电层3242和第四压电层3244时，即也可形成类似于第一实施例或第二实施例的双压电晶片式压电器件。
第四实施例
请参照图9，本实施例提供一种光纤扫描驱动器400，其与第三实施例的光纤扫描驱动器300大致相同，二者的区别在于本实施例的压电器件420为方棒式压电器件。
压电器件420包括相对设置的固定端421和自由端422，其中，固定端421用于与基座410连接，自由端422朝向远离基座410的方向延伸。
压电器件420包括介质层423和压电层424。可以理解的是，本实施例的压电器件420的介质层423为长方体状介质层。
长方体状介质层423的四个外侧壁分别即为第一侧壁(图未标注)、第二侧壁(图未标准)、第三侧壁(图未标准)和第四侧壁(图未标准)。其中，第一侧壁和第三侧壁相对设置，第二侧壁和第四侧壁相对设置。第一侧壁的两侧缘分别与第二侧壁和第四侧壁连接，第三侧壁的两侧缘分别与第二侧壁的远离与第一侧壁连接的端部和第四侧壁远离第一侧壁的端部连接。
长方体状介质层423可以是空心结构，也可以是实心结构。作为优选，长方体状介质层423为空心状结构，这样能够进一步提高光纤悬臂梁的摆动幅度。
此外，长方体状介质层423的厚度沿固定端421至自由端422的方向可以保持不变，长方体状介质层423的厚度沿固定端421至自由端422的方向也可以逐渐减小。当长方体状介质层423为空心结构时，也可以理解作长方体状介质层423的壁厚沿固定端421至自由端422的方向逐渐减小。
压电层424包括第一压电层4241、第二压电层4242、第三压电层4243和第四压电层4244。压电层424的厚度沿固定端421至自由端422的方向逐渐减小。亦即，第一压电层4241的厚度、第二压电层4242的厚度、第三压电层4243的厚度和第四压电层4244的厚度分别沿固定端421至自由端422的方向逐渐减小。
其中，第一压电层4241贴合于第一侧壁。第二压电层4242贴合于第二侧壁。第三压电层4243贴合于第三侧壁。第四压电层4244贴合于第四侧壁。
在本实施例的另一种实现方式中，还可以是第一压电层4241的靠近自由端422的端部的厚度沿固定端421至自由端422逐渐减小、第二压电层4242的靠近自由端422的端部的厚度沿固定端421至自由端422逐渐减小、第三压电层4243的靠近自由端422的端部的厚度沿固定端421至自由端422逐渐减小和第四压电层4244的靠近自由端422的端部的厚度沿固定端421至自由端422逐渐减小，在此不作赘述。
需要进一步说明的是，当长方体状介质层423只在第一侧壁和第三侧壁分别设置第一压电层4241和第三压电层4243时，即可形成类似于第一实施例或第二实施例的双压电晶片式压电器件。同理，当长方体状介质层423只在第二侧壁和第四侧壁分别设置第二压电层4242和第四压电层4244时，即也可形成类似于第一实施例或第二实施例的双压电晶片式压电器件。
应该注意的是上述实施例对本发明进行说明而不是对本发明进行限制，并且本领域技术人员在不脱离所附权利要求的范围的情况下可设计出替换实施例。在权利要求中，不应将位于括号之间的任何参考符号构造成对权利要求的限制。单词“包含”或“包括”不排除存在未列在权利要求中的元件或步骤。位于元件之前的单词“一”或“一个”不排除存在多个这样的元件。本发明可以借助于包括有若干不同元的硬件以及借助于适当编程的计算机来实现。在列举了若干装置的单元权利要求中，这些装置中的若干个可以是通过同一个硬件项来具体体现。单词第一、第二、以及第三等的使用不表示任何顺序，可将这些单词解释为名称。
本发明实施例中的一个或者多个技术方案，至少具有如下技术效果或者优点：压电器件(120、220、320、420)能够适用于光纤扫描驱动器(100、200、300、400)的光纤悬臂梁，其总厚度沿固定端至自由端的方向逐渐减小使得其振动频率增高，从而增大其摆动幅度；同时，由于压电器件(120、220、320、420)的总厚度逐渐减小还能够降低驱动电压以及减小振动阻尼，从而进一步增大摆动幅度，提高光纤扫描装置的精度，保证投影装置的成像清晰。此外，压电器件(120、220、320、420)具有结构简单、成本较低和易于装配等特点。
本说明书中公开的所有特征，或公开的所有方法或过程中的步骤，除了互相排斥的特征和/或步骤以外，均可以以任何方式组合。
本说明书(包括任何附加权利要求、摘要和附图)中公开的任一特征，除非特别叙述，均可被其他等效或具有类似目的的替代特征加以替换。即，除非特别叙述，每个特征只是一系列等效或类似特征中的一个例子而已。
本发明并不局限于前述的具体实施方式。本发明扩展到任何在本说明书中披露的新特征或任何新的组合，以及披露的任一新的方法或过程的步骤或任何新的组合。

Claims (9)

1.一种压电器件，适用于光纤扫描驱动器，所述压电器件包括介质层和贴合于所述介质层的压电层，其特征在于，所述压电器件包括固定端和自由端，所述压电器件的厚度沿所述固定端至所述自由端的方向逐渐减小或所述压电器件的靠近所述自由端的端部的厚度沿所述固定端至所述自由端的方向逐渐减小，其中，所述压电层的厚度沿所述固定端至所述自由端的方向逐渐减小或所述压电层的靠近所述自由端的端部的厚度沿所述固定端至所述自由端的方向逐渐减小；所述介质层厚度均匀分布，或所述介质层厚度沿所述固定端至自由端的方向逐渐减小。
2.根据权利要求1所述的压电器件，其特征在于，所述压电器件为双压电晶片式压电器件。
3.根据权利要求1所述的压电器件，其特征在于，所述压电器件的宽度沿所述固定端至所述自由端的方向逐渐减小或所述压电器件靠近所述自由端的端部的宽度沿所述固定端至所述自由端的方向逐渐减小。
4.根据权利要求1所述的压电器件，其特征在于，所述介质层为圆筒状介质层，所述圆筒状介质层沿其轴向均匀分布有多个安装槽，所述压电层的个数与所述安装槽的个数相配合并设置于所述安装槽。
5.根据权利要求4所述的压电器件，其特征在于，每个所述安装槽的深度沿所述固定端至所述自由端的方向逐渐减小。
6.根据权利要求1所述的压电器件，其特征在于，所述介质层为长方体状介质层，所述长方体状介质层的相对两个侧壁的外表面分别设置有所述压电层。
7.一种光纤扫描驱动器，其特征在于，包括如权利要求1～6任一项所述的压电器件。
8.一种光纤扫描装置，其特征在于，包括光纤扫描驱动器和扫描光纤，所述光纤扫描驱动器为权利要求7所述的光纤扫描驱动器，所述扫描光纤设置于所述光纤扫描驱动器的压电层的表面并沿所述压电层的延伸方向延伸形成悬臂。
9.一种投影装置，其特征在于，包括根据权利要求8所述的光纤扫描装置。
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