CN110195537B - 真空吸附门吸装置 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种真空吸附门吸装置，包括缸体以及与所述缸体连接的真空吸盘，缸体内安装有延伸至真空吸盘外部的弹性复位件，缸体上设有用于连接真空源的第一通孔以及用于与真空吸盘连接的第二通孔，弹性复位件上设有第三通孔，其中：弹性复位件压缩时，缸体上的第一通孔和第二通孔与弹性复位件上的第三通孔连通，真空吸盘产生吸附力；弹性复位件复位时，缸体上的第一通孔和第二通孔与弹性复位件上的第三通孔断开，真空吸盘释放吸附力。本申请的真空吸附方式不存在电磁干扰问题，也不需要在门的活动区域内布置线缆。在门打开或关闭时有一个真空释放或真空吸附过程，缓冲了可能存在的振动或碰撞问题，可有效避免开关门过程中产生微粒污染的问题。

Description

真空吸附门吸装置
技术领域
本发明涉及门吸，特别涉及一种真空吸附门吸装置。
背景技术
大型的化学机械抛光CMP设备中会有许多不同功能的门，对于门的吸附方式或锁闭方式均有不同的要求，比如便于维修随时打开、设备运行中严禁打开、洁净度与密封要求等等。
在门的设计中可能需要根据不同的要求采用不同的吸附或锁闭方式，如电磁式、机械式、磁力式等。工艺运行区多采用电磁式门锁，通过软件控制系统才能打开；维修区域多采用磁铁吸附或机械式开关，方便随时打开进行维护；一些存在危险的区域多采用机械式锁闭方式，需要专用钥匙等才能打开。
同时，CMP后清洗工艺区对洁净度的要求非常高，门自身以及开关门过程中均需要保证不能够产生任何的微粒或其他污染杂质。
CMP设备中使用大量的电磁式门锁，较易造成电磁信号干扰问题，且在活动的门区域过多的布线容易造成线缆损坏、漏电等。
机械式开关或门锁在每次开关过程中均会产生金属之间的碰撞，容易产生微粒或其它杂质，容易造成洁净度要求很高的后清洗区域晶圆的污染，造成一定的经济损失。
磁力式开关的吸附力一般不可调节，若磁力过大则不易打开，若磁力过小则吸附性能不能满足要求。
发明内容
本发明的目的在于提供一种真空吸附门吸装置，以解决现有技术中存在的上述技术问题。
本发明提供的真空吸附门吸装置，包括缸体以及与所述缸体连接的真空吸盘，所述缸体内安装有延伸至所述真空吸盘外部的弹性复位件，所述缸体上设有用于连接真空源的第一通孔以及用于与所述真空吸盘连接的第二通孔，所述弹性复位件上设有第三通孔，其中：
所述弹性复位件压缩时，所述缸体上的第一通孔和第二通孔与所述弹性复位件上的第三通孔连通，所述真空吸盘产生吸附力；
所述弹性复位件复位时，所述缸体上的第一通孔和第二通孔与所述弹性复位件上的第三通孔断开，所述真空吸盘释放吸附力。
进一步地，所述弹性复位件包括柱塞、顶杆和弹性件，所述柱塞安装在所述缸体内，所述柱塞上设有所述第三通孔，所述柱塞一端通过弹性件与所述缸体连接，所述顶杆安装在所述柱塞另一端并延伸至所述真空吸盘外部。
进一步地，所述第一通孔通过调压阀连接真空源。
进一步地，所述缸体为金属缸体。
进一步地，所述缸体为塑料缸体。
进一步地，所述真空吸盘为硅胶吸盘。
进一步地，所述柱塞为金属柱塞。
进一步地，所述柱塞为塑料柱塞。
进一步地，所述顶杆与所述柱塞为一体结构。
进一步地，所述弹性件为弹簧。
本发明提供的真空吸附门吸装置，具有如下优点：
本申请采用的真空吸附方式不存在电磁干扰问题，也不需要在门的活动区域内布置线缆。
采用真空吸盘进行吸附，在门打开或关闭时有一个真空释放或真空吸附过程，缓冲了可能存在的振动或碰撞问题，可有效避免开关门过程中产生微粒污染的问题。
本申请可有效提高CMP设备整机系统的安全性和可靠性。
附图说明
为了更清楚地说明本发明具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本发明实施例一提供的真空吸附门吸装置的吸附状态结构示意图。
图2为本发明实施例一提供的真空吸附门吸装置的释放状态结构示意图。
附图标记：1-缸体；2-真空吸盘；3-弹性复位件；11-第一通孔；12-第二通孔；31-第三通孔；4-门体；32-柱塞；33-顶杆；34-弹性件。
具体实施方式
下面将结合附图对本发明的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
实施例一：
图1为本发明实施例一提供的真空吸附门吸装置的吸附状态结构示意图；图2为本发明实施例一提供的真空吸附门吸装置的释放状态结构示意图；如图1-图2所示，本发明实施例一提供的真空吸附门吸装置，包括缸体1以及与所述缸体1连接的真空吸盘2，所述缸体1内安装有延伸至所述真空吸盘2外部的弹性复位件3，所述缸体1上设有用于连接真空源的第一通孔11以及用于与所述真空吸盘2连接的第二通孔12，所述弹性复位件3上设有第三通孔31，还包括门体4，其中：
所述弹性复位件3压缩时，所述缸体1上的第一通孔11和第二通孔12与所述弹性复位件3上的第三通孔31连通，所述真空吸盘2产生吸附力，将门体4吸住；
所述弹性复位件3复位时，所述缸体1上的第一通孔11和第二通孔12与所述弹性复位件3上的第三通孔31断开，所述真空吸盘2释放吸附力，将门体4松开。
本申请采用的真空吸附方式不存在电磁干扰问题，也不需要在门的活动区域内布置线缆。
采用真空吸盘进行吸附，在门打开或关闭时有一个真空释放或真空吸附过程，缓冲了可能存在的振动或碰撞问题，可有效避免开关门过程中产生微粒污染的问题。
本申请可有效提高CMP设备整机系统的安全性和可靠性。
具体地，所述弹性复位件3包括柱塞32、顶杆33和弹性件34，所述柱塞32安装在所述缸体1内，所述柱塞32上设有所述第三通孔31，所述柱塞32一端通过弹性件34与所述缸体1连接，所述顶杆33安装在所述柱塞32另一端并延伸至所述真空吸盘2外部。
实施例二：
本实施例二提供的真空吸附门吸装置是对实施例一提供的真空吸附门吸装置的进一步改进，在实施例一以及图1-图2的基础上，本实施例二提供的真空吸附门吸装置，包括缸体1以及与所述缸体1连接的真空吸盘2，所述缸体1内安装有延伸至所述真空吸盘2外部的弹性复位件3，所述缸体1上设有用于连接真空源的第一通孔11以及用于与所述真空吸盘2连接的第二通孔12，所述弹性复位件3上设有第三通孔31，还包括门体4，其中：
所述弹性复位件3压缩时，所述缸体1上的第一通孔11和第二通孔12与所述弹性复位件3上的第三通孔31连通，所述真空吸盘2产生吸附力，将门体4吸住；
所述弹性复位件3复位时，所述缸体1上的第一通孔11和第二通孔12与所述弹性复位件3上的第三通孔31断开，所述真空吸盘2释放吸附力，将门体4松开。
本申请采用的真空吸附方式不存在电磁干扰问题，也不需要在门的活动区域内布置线缆。
采用真空吸盘进行吸附，在门打开或关闭时有一个真空释放或真空吸附过程，缓冲了可能存在的振动或碰撞问题，可有效避免开关门过程中产生微粒污染的问题。
本申请可有效提高CMP设备整机系统的安全性和可靠性。
具体地，所述弹性复位件3包括柱塞32、顶杆33和弹性件34，所述柱塞32安装在所述缸体1内，所述柱塞32上设有所述第三通孔31，所述柱塞32一端通过弹性件34与所述缸体1连接，所述顶杆33安装在所述柱塞32另一端并延伸至所述真空吸盘2外部。
具体地，所述第一通孔11通过调压阀连接真空源。
通过调压阀调节真空吸盘2吸附力的大小。
实施例三：
本实施例三提供的真空吸附门吸装置是对实施例一提供的真空吸附门吸装置的进一步改进，在实施例一以及图1-图2的基础上，本实施例三提供的真空吸附门吸装置，包括缸体1以及与所述缸体1连接的真空吸盘2，所述缸体1内安装有延伸至所述真空吸盘2外部的弹性复位件3，所述缸体1上设有用于连接真空源的第一通孔11以及用于与所述真空吸盘2连接的第二通孔12，所述弹性复位件3上设有第三通孔31，还包括门体4，其中：
所述弹性复位件3压缩时，所述缸体1上的第一通孔11和第二通孔12与所述弹性复位件3上的第三通孔31连通，所述真空吸盘2产生吸附力，将门体4吸住；
所述弹性复位件3复位时，所述缸体1上的第一通孔11和第二通孔12与所述弹性复位件3上的第三通孔31断开，所述真空吸盘2释放吸附力，将门体4松开。
本申请采用的真空吸附方式不存在电磁干扰问题，也不需要在门的活动区域内布置线缆。
采用真空吸盘进行吸附，在门打开或关闭时有一个真空释放或真空吸附过程，缓冲了可能存在的振动或碰撞问题，可有效避免开关门过程中产生微粒污染的问题。
本申请可有效提高CMP设备整机系统的安全性和可靠性。
具体地，所述弹性复位件3包括柱塞32、顶杆33和弹性件34，所述柱塞32安装在所述缸体1内，所述柱塞32上设有所述第三通孔31，所述柱塞32一端通过弹性件34与所述缸体1连接，所述顶杆33安装在所述柱塞32另一端并延伸至所述真空吸盘2外部。
具体地，所述第一通孔11通过调压阀连接真空源。
通过调压阀调节真空吸盘2吸附力的大小。
具体地，所述缸体1为金属缸体或塑料缸体。
实施例四：
本实施例四提供的真空吸附门吸装置是对实施例一提供的真空吸附门吸装置的进一步改进，在实施例一以及图1-图2的基础上，本实施例四提供的真空吸附门吸装置，包括缸体1以及与所述缸体1连接的真空吸盘2，所述缸体1内安装有延伸至所述真空吸盘2外部的弹性复位件3，所述缸体1上设有用于连接真空源的第一通孔11以及用于与所述真空吸盘2连接的第二通孔12，所述弹性复位件3上设有第三通孔31，还包括门体4，其中：
所述弹性复位件3压缩时，所述缸体1上的第一通孔11和第二通孔12与所述弹性复位件3上的第三通孔31连通，所述真空吸盘2产生吸附力，将门体4吸住；
所述弹性复位件3复位时，所述缸体1上的第一通孔11和第二通孔12与所述弹性复位件3上的第三通孔31断开，所述真空吸盘2释放吸附力，将门体4松开。
本申请采用的真空吸附方式不存在电磁干扰问题，也不需要在门的活动区域内布置线缆。
采用真空吸盘进行吸附，在门打开或关闭时有一个真空释放或真空吸附过程，缓冲了可能存在的振动或碰撞问题，可有效避免开关门过程中产生微粒污染的问题。
本申请可有效提高CMP设备整机系统的安全性和可靠性。
具体地，所述弹性复位件3包括柱塞32、顶杆33和弹性件34，所述柱塞32安装在所述缸体1内，所述柱塞32上设有所述第三通孔31，所述柱塞32一端通过弹性件34与所述缸体1连接，所述顶杆33安装在所述柱塞32另一端并延伸至所述真空吸盘2外部。
具体地，所述第一通孔11通过调压阀连接真空源。
通过调压阀调节真空吸盘2吸附力的大小。
具体地，所述缸体1为金属缸体或塑料缸体。
具体地，所述真空吸盘2为硅胶吸盘。
实施例五：
本实施例五提供的真空吸附门吸装置是对实施例一提供的真空吸附门吸装置的进一步改进，在实施例一以及图1-图2的基础上，本实施例五提供的真空吸附门吸装置，包括缸体1以及与所述缸体1连接的真空吸盘2，所述缸体1内安装有延伸至所述真空吸盘2外部的弹性复位件3，所述缸体1上设有用于连接真空源的第一通孔11以及用于与所述真空吸盘2连接的第二通孔12，所述弹性复位件3上设有第三通孔31，还包括门体4，其中：
所述弹性复位件3压缩时，所述缸体1上的第一通孔11和第二通孔12与所述弹性复位件3上的第三通孔31连通，所述真空吸盘2产生吸附力，将门体4吸住；
所述弹性复位件3复位时，所述缸体1上的第一通孔11和第二通孔12与所述弹性复位件3上的第三通孔31断开，所述真空吸盘2释放吸附力，将门体4松开。
本申请采用的真空吸附方式不存在电磁干扰问题，也不需要在门的活动区域内布置线缆。
采用真空吸盘进行吸附，在门打开或关闭时有一个真空释放或真空吸附过程，缓冲了可能存在的振动或碰撞问题，可有效避免开关门过程中产生微粒污染的问题。
本申请可有效提高CMP设备整机系统的安全性和可靠性。
具体地，所述弹性复位件3包括柱塞32、顶杆33和弹性件34，所述柱塞32安装在所述缸体1内，所述柱塞32上设有所述第三通孔31，所述柱塞32一端通过弹性件34与所述缸体1连接，所述顶杆33安装在所述柱塞32另一端并延伸至所述真空吸盘2外部。
具体地，所述第一通孔11通过调压阀连接真空源。
通过调压阀调节真空吸盘2吸附力的大小。
具体地，所述缸体1为金属缸体或塑料缸体。
具体地，所述真空吸盘2为硅胶吸盘。
具体地，所述柱塞32为金属柱塞或塑料柱塞。
具体地，所述顶杆33与所述柱塞32为一体结构。
具体地，所述弹性件34为弹簧。
最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的范围。

Claims (10)

1.一种真空吸附门吸装置，其特征在于,包括缸体以及与所述缸体连接的真空吸盘，所述缸体内安装有延伸至所述真空吸盘外部的弹性复位件，所述缸体上设有用于连接真空源的第一通孔以及用于与所述真空吸盘连接的第二通孔，所述弹性复位件上设有第三通孔，其中：
所述弹性复位件压缩时，所述缸体上的第一通孔和第二通孔与所述弹性复位件上的第三通孔连通，所述真空吸盘产生吸附力；
所述弹性复位件复位时，所述缸体上的第一通孔和第二通孔与所述弹性复位件上的第三通孔断开，所述真空吸盘释放吸附力。
2.根据权利要求1所述的真空吸附门吸装置，其特征在于，所述弹性复位件包括柱塞、顶杆和弹性件，所述柱塞安装在所述缸体内，所述柱塞上设有所述第三通孔，所述柱塞一端通过弹性件与所述缸体连接，所述顶杆安装在所述柱塞另一端并延伸至所述真空吸盘外部。
3.根据权利要求1所述的真空吸附门吸装置，其特征在于，所述第一通孔通过调压阀连接真空源。
4.根据权利要求1所述的真空吸附门吸装置，其特征在于，所述缸体为金属缸体。
5.根据权利要求1所述的真空吸附门吸装置，其特征在于，所述缸体为塑料缸体。
6.根据权利要求1所述的真空吸附门吸装置，其特征在于，所述真空吸盘为硅胶吸盘。
7.根据权利要求2所述的真空吸附门吸装置，其特征在于，所述柱塞为金属柱塞。
8.根据权利要求2所述的真空吸附门吸装置，其特征在于，所述柱塞为塑料柱塞。
9.根据权利要求2所述的真空吸附门吸装置，其特征在于，所述顶杆与所述柱塞为一体结构。
10.根据权利要求2所述的真空吸附门吸装置，其特征在于，所述弹性件为弹簧。
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