CN110142272A - 一种整流板和槽式清洗机 - Google Patents

Abstract

本发明技术方案公开了一种整流板和槽式清洗机，所述整流板应用于槽式清洗机的槽体内，所述槽体具有相对的第一内侧壁和第二内侧壁，所述整流板包括：设于所述第一内侧壁和所述第二内侧壁之间且依次排列的若干挡板，所述挡板上设有通孔，所述挡板可旋转至与所述槽体的底部平行的位置。采用本发明技术方案的整流板，在清洗槽体时省去了整流板的拆卸和安装步骤，减少了维护保养时间，提高了机台的使用效率。

Description

一种整流板和槽式清洗机

技术领域

本发明涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种整流板和槽式清洗机。

背景技术

在半导体制造工艺中，槽式清洗机以其高的生产效率(throughput)而广泛应用于湿法清洗和湿法蚀刻领域。在槽式清洗机中，一般通过泵(pump)将清洗液在外槽和内槽之间进行循环。但是内槽液体在流动时极易发生流向不均，导致刻蚀清洗的均匀性不好。

目前解决的办法是在内槽中设置整流板，所述整流板将内槽分成上腔和下腔，整流板上设置若干通孔，所述通孔对穿过所述整流板的液体进行分流，使得通过所述整流板的液体被分流成更多股，更多股的液体对上腔内存放的液体进行推动、搅拌，能够使内槽中的液体中各种离子均匀分布。

但是，在进行机台保养维护时，一般用高压水枪对内槽进行冲洗，以去除槽体内的杂质颗粒，由于上述槽式清洗机的内槽设有整流板，槽体内的杂质颗粒会残留在内槽的下腔，而由于整流板的阻挡使得内槽的下腔很难清洗干净，甚至需要将整流板拆卸，而整流板的拆卸和安装过程费时费力，这样不仅增加了维护保养(PM，preventive maintenance)时间，还降低了机台的使用效率。

发明内容

本发明技术方案要解决的是现有的槽式清洗机中，因设置有整流板而导致槽体下腔难以清洗干净的技术问题。

为解决上述技术问题，本发明技术方案提供一种整流板，应用于槽式清洗机的槽体内，所述槽体具有相对的第一内侧壁和第二内侧壁，包括：设于所述第一内侧壁和所述第二内侧壁之间且依次排列的若干挡板，所述挡板上设有通孔，所述挡板可旋转至与所述槽体的底部平行的位置。

可选的，所述挡板顺时针或逆时针旋转，相邻两所述挡板的旋转方向相反或相同。

可选的，所述整流板还包括：贯穿所述挡板的旋转轴或分别连接所述挡板两端的旋转轴，所述旋转轴可旋转地设于所述第一内侧壁和所述第二内侧壁之间。

可选的，所述若干挡板旋转至与槽体底部平行的位置时，相邻两所述挡板互锁。

可选的，相邻两所述挡板之间通过凹部和凸部互锁。

可选的，所述若干挡板之间通过传动机构联动。

可选的，所述传动机构包括：与所述挡板至少一端的旋转轴连接的齿轮，相邻两旋转轴一端的齿轮相互啮合。

可选的，所述传动机构包括：与所述挡板至少一端的旋转轴连接的齿轮和设于内侧壁相邻旋转轴之间的齿轮，旋转轴一端的齿轮与相邻的设于内侧壁的齿轮相互啮合。

可选的，所述传动机构包括：传动带以及与所述挡板至少一端的旋转轴连接的丝杆，所述传动带环套所述若干挡板一端的丝杆。

本发明技术方案还提供一种槽式清洗机，包括：槽体；以及上述的整流板。

可选的，所述槽体还具有相对的且连接所述第一内侧壁和第二内侧壁的第三内侧壁和第四内侧壁，所述槽式清洗机还包括旋转机构，设于所述第三内侧壁和/或第四内侧壁，所述旋转机构控制与其邻接的挡板旋转。

可选的，所述的槽式清洗机还包括固定框架，所述固定框架设于所述第一内侧壁和第二内侧壁，所述若干挡板可旋转地设于所述固定框架上。

与现有技术相比，本发明技术方案具有以下有益效果：

将整流板设计成若干个可旋转的挡板，所述挡板上设有通孔，且所述挡板可旋转至与槽体的底部平行或非平行的位置，若将挡板旋转至与槽体的底部平行的位置，可以达到整流的目的；若将挡板旋转至与槽体的底部不平行(倾斜或垂直)的位置，便可将槽体底部大面积显露出来，方便清洗槽体底部，整个清洗过程无需拆除整流板，便可方便地清洗槽体底部，节省了维护保养时间，提高了机台利用率。

所述若干挡板旋转至与槽体底部平行的位置时，形成带有通孔的板状结构以起到整流的作用，将相邻两所述挡板之间设计成互锁结构，可以防止挡板在整流过程中发生旋转而导致清洗或蚀刻效果不佳。所述挡板也可以通过互锁结构联动，以暴露出槽体底部，由此在不拆除整流板的情况下就能清洗槽体，大幅度提高了清洗效率。

所述挡板通过旋转轴带动旋转，所述旋转轴可旋转地设于所述第一内侧壁和所述第二内侧壁之间，因此具有结构简单，操作方便的优点。

所述若干挡板之间还可通过传动机构联动，清洗槽体时，仅需使其中一个挡板发生旋转，其余挡板在传动机构的作用下联动并发生旋转，以暴露出槽体底部，由此在不拆除整流板的情况下就能清洗槽体，大幅度提高了清洗效率。

附图说明

图1为一种槽式清洗机的内槽和外槽的结构示意图；

图2为一种槽式清洗机的安装有整流板的内槽的结构示意图；

图3A为本发明实施例的整流板的俯视示意图；

图3B至图3D为本发明实施例的整流板位于槽体内的截面示意图；

图4A至图4C为本发明实施例的整流板的挡板互锁的结构示意图；

图5A和图5B为本发明实施例的整流板通过旋转轴设置于槽体内的结构示意图；

图6A至图6C为本发明实施例的包括传动机构的整流板的俯视示意图；

图7和图8为本发明实施例的安装有整流板的槽式清洗机的槽体的俯视示意图。

具体实施方式

如图1所示，在传统的槽式清洗机中，一般通过泵10使清洗液在外槽11和内槽12之间进行循环。但是，清洗液在内槽流动时，很容易发生流向不均的问题，从而导致对晶圆W1的刻蚀清洗的均匀性不佳。

目前，解决上述清洗液流向不均的方式是在内槽12内设置带有通孔的板状结构，晶圆W1置于板状结构上方。如图2所示，在内槽12内设置整流板13，整流板13上设有若干通孔14，通孔14使通过整流板13的液体被分流成更多股，更多股的液体对整流板13上部存放的液体具有推动、搅拌的作用，使内槽12中的各种离子分布均匀。

上述方式虽然可以解决内槽12的液体分布不均的问题，但是在后期的机台保养维护时，需要对内槽12进行清洗。在使用高压水枪进行冲洗时，位于整流板13上方的内壁可以顺利的被冲洗干净，但是高压水枪喷出的冲洗液无法直接触及整流板13下方的内壁，只能通过通孔14进入整流板13的下方，大大减弱了冲洗力度，进入整流板13下方的冲洗液也很难排出内槽12，整流板13的残留杂质颗粒也无法被冲洗去除，因此要达到好的冲洗效果，只能将整流板13拆卸，而整流板的拆卸和安装过程费时费力，这样不仅增加了维护保护时间，而且还降低了机台的使用效率。

为解决上述技术问题，本发明技术方案提供了一种应用于槽式清洗机槽体内的整流板，所述槽体具有相对的第一内侧壁和第二内侧壁，所述整流板包括设于所述第一内侧壁和所述第二内侧壁之间且依次排列的若干挡板，所述挡板上设有通孔，且所述挡板可旋转至与所述槽体的底部平行的位置。由于挡板可以旋转，若要实现分流的效果，只需让挡板保持水平状态，若进行清洗维护，只需将挡板旋转至与槽体的底部非平行的位置，暴露出槽体底部，采用高压水枪喷洗即可。整个清洗过程省去了拆除整流板的操作，节省了维护保养时间，提高了机台利用率。

下面结合实施例和附图对本发明技术方案进行详细说明。

请参考图3A所示的本发明实施例的整流板22的俯视结构示意图，所述整流板22可以由若干挡板221排列而成，其可以应用于槽式清洗机的槽体内，通常可以安装在内槽中。槽体(图中未标示)具有相对的第一内侧壁211和第二内侧壁212，整流板22包括若干挡板221，挡板221上设有允许清洗液通过的通孔23。挡板221的数量和尺寸根据槽体内部的尺寸进行设计，挡板221在槽体21内的位置根据实际需求确定，通孔23的数量、大小和分布根据分流的效果进行设计，在此不作限定。

请参考图3A至图3D，若干挡板221设于第一内侧壁211和第二内侧壁212之间且依次排列，挡板221可旋转至与槽体21的底部平行的位置，挡板221也可旋转至与槽体21的底部非平行的位置，如与槽体21的底部垂直的位置，或者相对于槽体21的底部倾斜的位置。

具体地，请结合参考图3A和图3B，当挡板221均旋转至与槽体21的底部平行的位置，所有的挡板221相互连接以构成带通孔23的板状结构，该板状结构将槽体21分隔成上槽体21a和下槽体21b，水流在泵的作用下从下槽体21b经过通孔23进入上槽体21a，通孔23将液体分流成多股，多股液体将上槽体21a内存放的液体进行推动、搅拌，促使槽体21内的各种离子分布均匀。

请结合参考图3A和图3C，当挡板221均旋转至与槽体21的底部垂直的位置，下槽体21b暴露出来，采用高压水枪进行清洗维护时，很容易对暴露出的下槽体21b的内壁进行冲洗，无需拆卸挡板221。需要说明的是，挡板221在清洗时的状态不仅仅限于挡板221与槽体21的底部垂直的位置，采用垂直的位置是因为当挡板221与槽体21的底部相垂直时，下槽体21b的内壁暴露面积最大，清洗效果最好。

如图3D所示，在清洗时，挡板221的位置还可相对于挡板221与槽体21的底部垂直的位置倾斜一定角度，倾斜的角度不作要求，可以暴露出下槽体21b的内壁即可。

挡板221可以顺时针方向旋转，也可以逆时针方向旋转，相邻两挡板221的旋转方向可以相同，也可以相反。进一步，当挡板221起分流作用时，相邻挡板221之间相互连接无间隙，以确保分流效果达到最佳状态。本实施例中，当挡板221起分流作用时，即若干挡板221旋转至与槽体212底部平行的位置，相邻两挡板221互锁。

请参照图4A，在一具体实例中，相邻两挡板221之间通过凹部和凸部相互咬合实现互锁，挡板221间相互咬合呈稳定的水平分布，有效的避免了挡板221在分流过程中的自发旋转。清洗槽体21时，可以让两侧挡板221中的一个发生旋转，依次带动其他挡板221均发生旋转。图4A中示例性的从右向左标示出8个互锁的挡板221，分别为挡板221A、挡板221B、挡板221C、挡板221D、挡板221E、挡板221F、挡板221G、挡板221H，相邻的挡板通过相对的凹部和凸部相接。使挡板221A逆时针旋转，挡板221A的凸部a作用于挡板221B的凸部b1，即挡板221A的凸部a施加向下的压力给挡板221B的凸部b1，挡板221B受到压力作用，以顺时针方向旋转；在旋转过程中，挡板221B的凸部b2施加向上的压力给挡板221C的凸部c1，挡板221C受力而逆时针方向旋转；挡板221C的凸部c2对挡板221D的凸部d1施加向下的压力，使挡板221D顺时针方向旋转；挡板221D的凸部d2对挡板221E的凸部e1施加向上的压力，使挡板221E逆时针方向旋转；挡板221E的凸部e2对挡板221F的凸部f1产生向下压力，使挡板221F顺时针方向旋转，挡板221F的凸部f2对挡板221G的凸部g1产生向上压力，使挡板221G逆时针方向旋转，同时挡板221G的凸部g2对挡板221H的凸部h产生向下压力，促使挡板221H顺时针方向旋转，即完成了所有挡板221的旋转动作，各挡板221旋转后的状态如图4B所示。

当然，除了上述的采用先旋转挡板221A来带动其他挡板旋转的方式，也可先旋转挡板221H，进而带动其他挡板进行旋转。若先旋转挡板221H时，应采用逆时针旋转，才能带动其他挡板旋转，其旋转原理与先旋转挡板221A时的情况类似，在此不赘述，各挡板221旋转后的状态如图4C所示。

需要说明的是，本实施例采用联动方式旋转挡板，相邻两挡板的旋转方向相反。本领域技术人员可以理解，在其它实施例中也可以不采用联动方式，也就是可以单独控制每一挡板顺时针或逆时针旋转。

进一步，为了实现挡板221的旋转，本发明实施例在挡板221内贯穿设有旋转轴24，旋转轴24可旋转地设于第一内侧壁211和第二内侧壁212之间。可以理解的是，旋转轴24可以为贯穿整个挡板221内部的一根，如图5A所示；旋转轴也可以是分别设于挡板221两端的两根，如图5B所示的旋转轴241和242。本发明实施例为了使挡板221在分流时的水流冲击下能够稳定的安装在槽体21内，因此选择一根旋转轴24贯穿整个挡板221。

要确定旋转轴24设置在挡板221内的位置，需要考虑的因素很多，如挡板的几何形状、挡板的旋转方式等。例如，图4A示出的挡板结构在旋转时，需要一侧的挡板221先旋转，比如挡板221A先旋转，再带动其余挡板旋转，要实现挡板221A旋转，需要给挡板221A旋转的动力，这个动力可以通过施加外力给予，也可以依靠挡板221A自身重力而自发进行。若挡板221A旋转的动力通过施加外力给予时，旋转轴24在挡板221A中的位置可在挡板221A的几何重心上，若需要自身重力为挡板221A提供旋转动力时，则此时的旋转轴24在挡板221A内的位置需偏离挡板221A的几何重心，偏离的方向需利于挡板221A的自发旋转，根据具体情况进行设计。

进一步，为了实现挡板221的旋转，除了将挡板之间设计为互锁模式外，还可设置传动机构，挡板221之间可通过传动机构联动。需要说明的是，在包括传动机构的情况下，挡板221之间也可以不用互锁。

请参考图6A，在一具体实施例中，传动机构可以包括：与挡板至少一端的旋转轴连接的齿轮，相邻两旋转轴一端的齿轮相互啮合。图中示例性的从右向左标示出8个挡板221，各挡板221内贯穿设有旋转轴24，分别为挡板221A及其旋转轴24A、挡板221B及其旋转轴24B、挡板221C及其旋转轴24C、挡板221D及其旋转轴24D、挡板221E及其旋转轴24E、挡板221F及其旋转轴24F、挡板221G及其旋转轴24G、挡板221H及其旋转轴24H。旋转轴24A两端分别连接一对齿轮25A，旋转轴24B两端分别连接一对齿轮25B，旋转轴24C两端分别连接一对齿轮25C，旋转轴24D两端分别连接一对齿轮25D，旋转轴24E两端分别连接一对齿轮25E，旋转轴24F两端分别连接一对齿轮25F，旋转轴24G两端分别连接一对齿轮25G，旋转轴24H两端分别连接一对齿轮25H。其中，位于同一端的齿轮25A、齿轮25B、齿轮25C、齿轮25D、齿轮25E、齿轮25F、齿轮25G以及齿轮25H中相邻的齿轮互相啮合。

请继续参考图6A，当任一挡板221按顺时针或逆时针旋转，与其相连的齿轮都将带动与该齿轮相啮合的齿轮向相反的方向旋转，由此带动相邻挡板旋转，以此类推，最终实现全部挡板221的旋转，相邻挡板221的旋转方向相反。具体地，以挡板221A按照逆时针方向旋转带动其他挡板221旋转为例进行说明，当挡板221A逆时针旋转，设于挡板221A中的旋转轴24A两端的齿轮25A逆时针旋转，齿轮25A带动与其啮合的齿轮25B顺时针旋转，齿轮25B带动与其啮合的齿轮25C逆时针旋转，齿轮25C带动与其啮合的齿轮25D顺时针旋转，齿轮25D带动与其啮合的齿轮25E逆时针旋转，齿轮25E带动与其啮合的齿轮25F顺时针旋转，齿轮25F带动与其啮合的齿轮25G逆时针旋转，齿轮25G带动与其啮合的齿轮25H顺时针旋转。相应的，挡板221B及其旋转轴24B顺时针旋转，挡板221C及其旋转轴24C逆时针旋转，挡板221D及其旋转轴24D顺时针旋转，挡板221E及其旋转轴24E逆时针旋转，挡板221F及其旋转轴24F顺时针旋转，挡板221G及其旋转轴24G逆时针旋转，挡板221H及其旋转轴24H顺时针旋转。

需要说明的是，为了使挡板221两端的运动尽可能一致，本实施例在旋转轴24两端均连接齿轮25，在其他实施例中，也可仅在旋转轴24的一端设置齿轮25，但是这种方式要求各旋转轴24上的齿轮25必须位于同一端，才可实现联动的作用。

请参照图6B，在另一具体实施例中，传动机构可以包括：与挡板至少一端的旋转轴连接的齿轮和设于内侧壁相邻旋转轴之间的齿轮，旋转轴一端连接的齿轮与相邻的设于内侧壁的齿轮相互啮合。

图6B示例性的从右向左标示出8个挡板221，各挡板221内贯穿设有旋转轴，分别为挡板221A及其旋转轴24A、挡板221B及其旋转轴24B、挡板221C及其旋转轴24C、挡板221D及其旋转轴24D、挡板221E及其旋转轴24E、挡板221F及其旋转轴24F、挡板221G及其旋转轴24G、挡板221H及其旋转轴24H。旋转轴24A两端分别连接一对齿轮25A，旋转轴24B两端分别连接一对齿轮25B，旋转轴24C两端分别连接一对齿轮25C，旋转轴24D两端分别连接一对齿轮25D，旋转轴24E两端分别连接一对齿轮25E，旋转轴24F两端分别连接一对齿轮25F，旋转轴24G两端分别连接一对齿轮25G，旋转轴24H两端分别连接一对齿轮25H。齿轮25A和齿轮25B之间设有齿轮26A，齿轮25B和齿轮25C之间设有齿轮26B，齿轮25C和齿轮25D之间设有齿轮26C，齿轮25D和齿轮25E之间设有齿轮26D，齿轮25E和齿轮25F之间设有齿轮26E，齿轮25F和齿轮25G之间设有齿轮26F，齿轮25G和齿轮25H之间设有齿轮26G，对应地，齿轮26A、齿轮26B、齿轮26C、齿轮26D、齿轮26E、齿轮26F以及齿轮26G各为一对，分别设于第一内侧壁211和第二内侧壁212上。

请继续参考图6B，任一挡板221按顺时针或逆时针旋转，设于其上的齿轮都将带动与该齿轮相啮合的齿轮向相反的方向旋转，进而带动其他齿轮旋转，最终实现全部挡板221的旋转，相邻挡板221的旋转方向相同。具体地，以挡板221A按照逆时针方向旋转带动其他挡板221旋转为例进行说明，当挡板221A逆时针旋转，设于挡板221A中的旋转轴24A两端的齿轮25A逆时针旋转，齿轮25A带动与其啮合的齿轮26A顺时针旋转，齿轮26A带动与其啮合的齿轮25B逆时针旋转，齿轮25B带动与其啮合的齿轮26B顺时针旋转，齿轮26B带动与其啮合的齿轮25C逆时针旋转，齿轮25C带动与其啮合的齿轮26C顺时针旋转，齿轮26C带动与其啮合的齿轮25D逆时针旋转，齿轮25D带动与其啮合的齿轮26D顺时针旋转，齿轮26D带动与其啮合的齿轮25E逆时针旋转，齿轮25E带动与其啮合的齿轮26E顺时针旋转，齿轮26E带动与其啮合的齿轮25F逆时针旋转，齿轮25F带动与其啮合的齿轮26F顺时针旋转，齿轮26F带动与其啮合的齿轮25G逆时针旋转，齿轮25G带动与其啮合的齿轮26G顺时针旋转，齿轮26G带动与其啮合的齿轮25H逆时针旋转。相应的，挡板221B及其旋转轴24B、挡板221C及其旋转轴24C、挡板221D及其旋转轴24D、挡板221E及其旋转轴24E、挡板221F及其旋转轴24F、挡板221G及其旋转轴24G、挡板221H及其旋转轴24H均逆时针旋转。

需要说明的是，为了使挡板221两端的运动尽可能一致，本实施例在旋转轴24两端均连接齿轮，在其他实施例中，也可仅在旋转轴24的一端设置齿轮和与该齿轮同一侧的、设于内侧壁相邻旋转轴24之间的齿轮，且各旋转轴24上的齿轮必须位于同一端，以实现联动的作用。

请参照图6C，在又一具体实施例中，传动机构可以包括：传动带27以及与挡板221至少一端的旋转轴24连接的丝杆，传动带27环套若干挡板221一端的丝杆。图中示例性的从右向左标示出8个挡板221，各挡板221内贯穿设有旋转轴24，分别为挡板221A及其旋转轴24A、挡板221B及其旋转轴24B、挡板221C及其旋转轴24C、挡板221D及其旋转轴24D、挡板221E及其旋转轴24E、挡板221F及其旋转轴24F、挡板221G及其旋转轴24G、挡板221H及其旋转轴24H。旋转轴24A两端连接丝杆28A，旋转轴24B两端连接丝杆28B，旋转轴24C两端连接丝杆28C，旋转轴24D两端连接丝杆28D，旋转轴24E两端连接丝杆28E，旋转轴24F两端连接丝杆28F，旋转轴24G两端连接丝杆28G，旋转轴24H两端连接丝杆28H。在同一端，传动带27环套各挡板221的与旋转轴24连接的丝杆28A、丝杆28B、丝杆28C、丝杆28D、丝杆28E、丝杆28F、丝杆28G及丝杆28H。

请继续参考图6C，任一挡板221按顺时针或逆时针旋转，带动传动带27运动，实现全部挡板221的旋转，且各挡板221的旋转方向相同。具体地，以挡板221A按照逆时针方向旋转带动其他挡板221旋转为例进行说明，当挡板221A逆时针旋转，设于挡板221A中的旋转轴24A两端的丝杆28A逆时针旋转，丝杆28A带动环套于其上的传动带27，同时传动带27带动丝杆28B、丝杆28C、丝杆28D、丝杆28E、丝杆28F、丝杆28G及丝杆28H逆时针运动。相应的，挡板221B及其旋转轴24B、挡板221C及其旋转轴24C、挡板221D及其旋转轴24D、挡板221E及其旋转轴24E、挡板221F及其旋转轴24F、挡板221G及其旋转轴24G、挡板221H及其旋转轴24H均逆时针旋转。

传动机构可设置在各挡板221的一端，也可在各挡板221的两端均设置。为了使各挡板221的两端部位运动较为一致，本发明实施例在各挡板221的两端均设置传动机构。

请参照图7，本发明实施例还提供一种槽式清洗机，包括槽体21和上述的整流板22，槽体21具有相对的第一内侧壁211和第二内侧壁212，还具有相对的且连接第一内侧壁211和第二内侧壁212的第三内侧壁213和第四内侧壁214，图7示出的槽式清洗机采用的是带互锁结构的整流板。

在实际操作时，最先旋转的挡板221需要靠自身重力进行旋转，从而带动其他挡板旋转，因此，设于最先旋转的挡板221内的旋转轴24在挡板221内的位置需偏离挡板221的几何重心，偏向有利于挡板221自发旋转的方向。基于上述挡板221与旋转轴24的相对位置，挡板221上还可以设置阻止其自发旋转的机构，防止挡板221在分流时发生旋转，导致分流效果差的现象。例如，可以在第三内侧壁213和第四内侧壁214上设置旋转机构29，也可以仅在第三内侧壁213或第四内侧壁214上设置旋转机构29，旋转机构29控制与其邻接的挡板221旋转，附图7示例性的在第三内侧壁213和第四内侧壁上均设有旋转机构29。当旋转机构29旋转至与挡板接触时可以限制挡板221发生旋转，当旋转机构29旋转至与挡板不接触时，挡板221可以依靠自身重力发生旋转。

挡板可以通过旋转轴直接安装于槽体内侧壁，也可以通过固定框架安装于槽体内侧壁。如图8所示，本发明实施例的槽式清洗机还可以包括固定框架30，固定框架30可以安装于或固定于第一内侧壁211和第二内侧壁212，若干挡板221可旋转地设于固定框架30上。如采用可拆卸式结构，挡板221可以先安装于固定框架30上，然后将固定框架30连带挡板221一起安装于槽体内，这样安装更方便，且先在固定框架30中安装挡板221，可以使各挡板221容易对齐和相接。

下面以附图8所示的槽式清洗机为例，对本发明技术方案的槽式清洗机作进一步说明。

当挡板221均旋转至与槽体21的底部平行的位置，相邻的挡板221相互连接构成一具有均匀分布的通孔23的板状结构，此时的挡板221起分流的作用，使液体流向均匀。

当对槽式清洗机进行清洗维护时，将旋转机构29进行旋转，以解除妨碍与旋转机构29邻接的挡板221自发旋转的力，挡板221在自身重力作用下旋转，借助互锁结构带动其余挡板221旋转，各挡板221旋转至与槽体21的底部垂直的位置，下槽体暴露出来，采用高压水枪对暴露出的下槽体212的内壁进行冲洗，直至彻底清洗干净即可。

综上所述，采用本发明技术方案的整流板，能够解决现有技术清洗槽体时需拆卸整流板的问题，省去了整流板的拆卸和安装步骤，减少了维护保养时间，提高了机台的使用效率。

本发明虽然已以较佳实施方式公开如上，但其并不是用来限定本发明，任何本领域技术人员在不脱离本发明的精神和范围内，都可以利用上述揭示的方法和技术内容对本发明技术方案做出可能的变动和修改，因此，凡是未脱离本发明技术方案的内容，依据本发明的技术实质对以上实施方式所作的任何简单修改、等同变化及修饰，均属于本发明技术方案的保护范围。

Claims (12)

1.一种整流板，应用于槽式清洗机的槽体内，所述槽体具有相对的第一内侧壁和第二内侧壁，其特征在于，包括：

设于所述第一内侧壁和所述第二内侧壁之间且依次排列的若干挡板，所述挡板上设有通孔，所述挡板可旋转至与所述槽体的底部平行的位置。

2.如权利要求1所述的整流板，其特征在于，所述挡板顺时针或逆时针旋转，相邻两所述挡板的旋转方向相反或相同。

3.如权利要求1所述的整流板，其特征在于，还包括：贯穿所述挡板的旋转轴或分别连接所述挡板两端的旋转轴，所述旋转轴可旋转地设于所述第一内侧壁和所述第二内侧壁之间。

4.如权利要求1或3所述的整流板，其特征在于，所述若干挡板旋转至与槽体底部平行的位置时，相邻两所述挡板互锁。

5.如权利要求4所述的整流板，其特征在于，相邻两所述挡板之间通过凹部和凸部互锁。

6.如权利要求3所述的整流板，其特征在于，所述若干挡板之间通过传动机构联动。

7.如权利要求6所述的整流板，其特征在于，所述传动机构包括：与所述挡板至少一端的旋转轴连接的齿轮，相邻两旋转轴一端的齿轮相互啮合。

8.如权利要求6所述的整流板，其特征在于，所述传动机构包括：与所述挡板至少一端的旋转轴连接的齿轮和设于内侧壁相邻旋转轴之间的齿轮，旋转轴一端的齿轮与相邻的设于内侧壁的齿轮相互啮合。

9.如权利要求6所述的整流板，其特征在于，所述传动机构包括：传动带以及与所述挡板至少一端的旋转轴连接的丝杆，所述传动带环套所述若干挡板一端的丝杆。

10.一种槽式清洗机，其特征在于，包括：槽体；以及权利要求1至9任一项所述的整流板。

11.如权利要求10所述的槽式清洗机，其特征在于，所述槽体还具有相对的且连接所述第一内侧壁和第二内侧壁的第三内侧壁和第四内侧壁，所述槽式清洗机还包括旋转机构，设于所述第三内侧壁和/或第四内侧壁，所述旋转机构控制与其邻接的挡板旋转。

12.如权利要求10所述的槽式清洗机，其特征在于，还包括固定框架，所述固定框架设于所述第一内侧壁和第二内侧壁，所述若干挡板可旋转地设于所述固定框架上。