CN110098299A - 一种led金属电极制作中的电极剥离方法 - Google Patents
一种led金属电极制作中的电极剥离方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN110098299A CN110098299A CN201810088185.4A CN201810088185A CN110098299A CN 110098299 A CN110098299 A CN 110098299A CN 201810088185 A CN201810088185 A CN 201810088185A CN 110098299 A CN110098299 A CN 110098299A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- electrode
- metal
- stripping
- photoresist
- led
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 78
- 239000002184 metal Substances 0.000 title claims abstract description 78
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 45
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 38
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 claims abstract description 59
- KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N Isopropanol Chemical compound CC(C)O KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 50
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims abstract description 16
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 claims abstract description 7
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 claims abstract description 7
- 238000002604 ultrasonography Methods 0.000 claims abstract description 6
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 20
- 239000003292 glue Substances 0.000 claims description 15
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 claims description 10
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 claims description 9
- 239000002313 adhesive film Substances 0.000 claims description 4
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 claims description 4
- 238000005566 electron beam evaporation Methods 0.000 claims description 3
- 238000007654 immersion Methods 0.000 claims description 3
- 238000004090 dissolution Methods 0.000 abstract description 11
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 16
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 9
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 6
- 125000001449 isopropyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])(*)C([H])([H])[H] 0.000 description 5
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 4
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000001476 alcoholic effect Effects 0.000 description 3
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 3
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 3
- BDERNNFJNOPAEC-UHFFFAOYSA-N propan-1-ol Chemical compound CCCO BDERNNFJNOPAEC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 2
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 2
- MVPPADPHJFYWMZ-UHFFFAOYSA-N chlorobenzene Chemical compound ClC1=CC=CC=C1 MVPPADPHJFYWMZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 2
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 2
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 2
- 235000019441 ethanol Nutrition 0.000 description 2
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 2
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 2
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 2
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 2
- OLGONLPBKFPQNS-UHFFFAOYSA-M sodium 2-(4-phenylphenyl)butanoate Chemical compound [Na+].CCC(C([O-])=O)c1ccc(cc1)-c1ccccc1 OLGONLPBKFPQNS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N AsGa Chemical compound [As]#[Ga] JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001218 Gallium arsenide Inorganic materials 0.000 description 1
- 108010010803 Gelatin Proteins 0.000 description 1
- 206010054949 Metaplasia Diseases 0.000 description 1
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 230000003139 buffering effect Effects 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 238000005034 decoration Methods 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- 229920000159 gelatin Polymers 0.000 description 1
- 239000008273 gelatin Substances 0.000 description 1
- 235000019322 gelatine Nutrition 0.000 description 1
- 235000011852 gelatine desserts Nutrition 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000002488 metal-organic chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 230000015689 metaplastic ossification Effects 0.000 description 1
- 238000000386 microscopy Methods 0.000 description 1
- 229910052754 neon Inorganic materials 0.000 description 1
- GKAOGPIIYCISHV-UHFFFAOYSA-N neon atom Chemical compound [Ne] GKAOGPIIYCISHV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000003672 processing method Methods 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 1
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 1
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 1
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L33/00—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L33/36—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the electrodes
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2933/00—Details relating to devices covered by the group H01L33/00 but not provided for in its subgroups
- H01L2933/0008—Processes
- H01L2933/0016—Processes relating to electrodes
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Led Devices (AREA)
- Electrodes Of Semiconductors (AREA)
Abstract
本发明涉及一种LED金属电极制作中的电极剥离方法,包括:(1)制作金属层:在生长有外延层的晶片表面制作电极掩膜图形,在电极掩膜图形表面蒸镀金属膜层;(2)剥离电极:将步骤(1)生成的晶片放置在异丙醇溶液中进行超声,异丙醇溶液的加热温度为60‑70℃,超声时间为3‑10min,超声频率为5‑10KHz;(3)干燥并撕掉表面金属:对步骤(2)生成的晶片表面进行干燥,并撕掉表面金属;(4)电极去胶:去除步骤(3)生成的晶片表面残留的光刻胶,并进行干燥。本发明既能够将表面金属很容易的剥离下来,又不不会过度溶解光刻胶而造成的整个金属膜层错位形成剥离印痕。
Description
技术领域
本发明涉及一种LED金属电极制作中的电极剥离方法,属于半导体加工技术领域。
背景技术
LED(Light Emitting Diode),发光二极管,和普通二极管一样,均是由P-N节组成,它能够将电能转换为光能,从而进行发光。与白炽灯和氖灯相比较,发光二极管抗冲击性和抗震性优越,可靠性强,寿命较长,可调节性强,工作电压低,工作电流小,节能环保的诸多优良性能,被称为第四代光源。发光二极管被广泛应用于LED显示屏制作,交通信号灯,汽车用灯,液晶屏背光源,灯饰,照明光源等。
发光二极管,制作流程可以分为两个大部分,一部分是外延部分的外延层的生长;另外一部分是管芯结构的制作。外延层的生长主要是在金属有机化学气相沉积外延片炉(MOCVD)中完成的,现在使用的衬底主要有蓝宝石衬底、碳化硅衬底、硅衬底、砷化镓衬底、氧化锌衬底等。管芯的制作,主要包括外延片表面清洁、透明电极制作、金属电极制作、保护层制作、衬底减薄、管芯切割、测试入库等工步。
LED金属电极的制作,最常用的工艺方法主要有两种。一种是湿法腐蚀制作出金属电极图形,该方法首先在晶片表面制作出整个构成电极的金属膜层,然后在金属膜层表面将电极区域使用光刻胶进行保护,将没有保护区域的金属通过腐蚀性溶液腐蚀掉,从而得到完整的金属电极图形。另一种常用方法,首先使用光刻胶制作出电极掩膜图形,然后在其上制作出整个金属膜层,金属膜层完成后,使用膜剥离方法,剥离制得需要的金属图形,然后使用去胶液或者有机溶剂去掉残留光刻胶,得到表面洁净的晶片。传统的剥离方法,一般使用有机溶剂或者去胶液将金属下层的光刻胶完全或部分溶解掉,这样金属与光刻胶之间粘附性降低(部分光刻胶溶解)或者金属膜层成悬空状态(所有光刻胶全部溶解),利用粘附膜覆盖在晶片表面,将电极区域外的金属撕掉,完成剥离过程,而得到需要的金属电极图形。然而,在制作过程中,对于使用有机溶剂或者去胶液溶解光刻胶进行剥离时,金属下方光刻胶的溶解程度很难控制,光刻胶溶解的太少,金属膜层与光刻胶/晶片之间的粘附过于牢固,粘性膜很难将电极之外的金属膜层完整的剥离下来,如果使用较大的外力将该部分金属剥离下来,电极侧面会比较粗糙,平整度会很差,电极侧面会吸收较多的光,整个管芯出光效率较低;如果光刻胶溶解的太多,晶片表面的整个金属膜层很容易发生整体移动(金属层移位,如图1所示,显微镜放大倍数为100倍),因为电极区域会高于发光区,这样整个金属膜层通过较小的压力就会在电极区域上形成规则的金属印痕,并且该种金属印痕一旦形成(金属与金属之间接触会比较牢固),后续无法在将其去掉,对产品良率影响较大。对于传统的剥离方法,首先使用专门用于去胶的去胶液进行加热浸泡,然后使用有机溶剂去掉表面去胶液,最后使用乙醇或者清水超洗掉表面的有机溶剂和残留去胶液。通过去胶能力较强的去胶液和有机溶剂以及适当的时间和加热温度的配合来完成整个剥离过程,传统方法有较大几率在电极表面存在剥离印痕问题,如图2所示,显微镜放大倍数为100倍,在实际生产中,由于温度或时间的波动,甚至去胶液浓度的影响等都会对剥离效果产生较大的影响,实际上使用传统方法进行剥离,电极表面印痕经常存在,对LED产品良率的整体提升是一个较大的问题。
中国专利文献CN1397986A提出了一种金属剥离方法,该方法是用光刻胶做掩膜,在常规曝光以后,用氯苯浸泡几分钟,在显影之前做坚膜处理,再略加过显影,使光刻胶图形呈倒角悬垂。再根据需要进行衬底腐蚀。在此基础上沉积金属膜,用丙酮浸泡去掉光刻胶和多余的金属,完成金属剥离,此项发明使腐蚀衬底和金属剥离完全实现自对准和实现等平面工艺,具有工艺简化,成本较低,提高质量的优点。但是,在本发明中使用丙酮浸泡法去掉多余金属完成剥离过程,丙酮对大多数光刻胶具有很强的溶解性,溶解程度很难控制,这样如果溶解能力过大(浸泡丙酮时间过长或者温度较高),就会很容易造成整张金属膜移位,造成金属剥离压痕。
中国专利文献CN 101231948A公开了一种进行电极剥离的方法,利用氮化硅与二氧化硅在缓冲二氧化硅腐蚀液(BOE)中腐蚀选择比高的特点,形成钻蚀(undercut)结构,可以进行金属的溅射剥离,进行电极的制作。本专利同样需要酸性腐蚀液(BOE)进行腐蚀操作,具有较大危险隐患。
因此,针对现有发光二极管金属电极制作过程中剥离工艺存在的弊端,有必要研究一种,制作过程简便,能够有效剥离而又能够完全不产生金属剥离印痕的剥离工艺方法。
发明内容
针对现有发光二极管管芯制程的金属电极制作过程中剥离工艺存在的剥离印痕问题,本发明提供了一种LED金属电极制作中的电极剥离方法;
术语解释:
1、金属层移位:本发明中金属层移位指的是位于光刻胶上方的整个金属膜层因为光刻胶部分或全部溶解,整片金属层移动的现象,该种现象极易造成剥离印痕。
2、剥离印痕:金属层移位使金属层压到电极表面和发光区上后形成的金属痕迹,尤其在电极表面容易形成。
本发明的技术方案为:
一种LED金属电极制作中的电极剥离方法,包括:
(1)制作金属层:在生长有外延层的晶片表面制作电极掩膜图形,在所述电极掩膜图形表面蒸镀金属膜层;
(2)剥离电极:将步骤(1)生成的晶片放置在异丙醇溶液中进行超声,异丙醇溶液的加热温度为60-70℃,超声时间为3-10min,超声频率为5-10KHz;
(3)干燥并撕掉表面金属:对步骤(2)生成的晶片表面进行干燥,并撕掉表面金属;
(4)电极去胶:去除步骤(3)生成的晶片表面残留的光刻胶,并进行干燥。
根据相似相溶原理,不同物质之间具有不同的相容程度,大多数有机溶剂或者专用去胶液对光刻胶溶胶能力太强,较难控制,而本发明通过研究发现异丙醇对现有大多数光刻胶溶解能力通过合适的温度与时间能够较易控制,实验发现,使用异丙醇在5-10KHz频率的超声环境中,并加热异丙醇到60-70℃,经3-10min的加热处理,晶片表面光刻胶溶解程度恰好合适。既能够将表面金属很容易的剥离下来,又不不会过度溶解光刻胶而造成的整个金属膜层错位形成剥离印痕。
根据本发明优选的,所述步骤(2)中,异丙醇溶液的加热温度为65℃,超声时间为5min,超声频率为7KHz。
根据本发明优选的,所述异丙醇溶液的相对密度为0.784-0.786,异丙醇溶液中异丙醇质量百分比不低于99.7%。含量99.7%以上的异丙醇溶胶能力适当,含量过低溶胶能力不足。
根据本发明优选的,所述步骤(1)中,在生长有外延层的晶片表面使用负性光刻胶制作电极掩膜图形,所述负性光刻胶的厚度为20000—40000埃,所述负性光刻胶的倒角为30—75°,所述金属膜层的厚度为所述负性光刻胶厚度的1/2—2/3。
上述负性光刻胶厚度、倒角及金属膜层厚度的选择,与异丙醇的加热温度和时间配合能够较好的实现剥离。负性光刻胶无钻蚀,蒸镀金属膜层过程中最高温度不影响负性光刻胶形状。负性光刻胶厚度最大厚度差值控制在10%以内。
根据本发明优选的,所述步骤(3)、(4)中,使用加热氮气或者旋干机进行干燥。
根据本发明优选的,所述步骤(3)、(4)中,所述加热氮气的温度为40-80℃,施加氮气的时间为2-10min。
根据本发明优选的,所述步骤(4)中,步骤(3)生成的晶片使用去胶液或者有机溶剂进行加热浸泡,加热温度为60-90℃,去除表面残留光刻胶。
根据本发明优选的,所述步骤(3)中,使用粘性膜撕掉表面金属。
根据本发明优选的,所述步骤(1)中,使用电子束蒸发台或溅射台在所述电极掩膜图形表面蒸镀金属膜层。
本发明的有益效果为:
1、本发明中,选用异丙醇溶液进行光刻胶恰当程度的溶解是关键,研究发现,大多数去胶液溶胶能力太强极度不容易控制,而除异丙醇之外的其它有机溶剂溶胶能力不足,整个金属膜层较难剥离。本发明中,使用异丙醇在5-10KHz频率的超声环境中,并加热异丙醇到60-70℃,经过3-10min的加热处理,晶片表面光刻胶溶解程度恰好合适。既能够将表面金属很容易的剥离下来,又不不会过度溶解光刻胶而造成的整个金属膜层错位形成剥离印痕。本发明中使用异丙醇,配合超声方法以及恰当的参数配合解决了晶片表面剥离印痕的问题。
2、本发明中使用的剥离方法,避免传统工艺方法中的使用去胶液溶胶和有机溶解去除多余去胶液等繁琐步骤,整个剥离过程只需要使用一种溶液进行加热,且该溶液安全性较高,对人体影响较小。
3.本发明工艺方法简单,整个过程易操作、实现简便、制程时间较短,大大提升了金属剥离效率,且使用的原材料成本较低,大大降低了整个制程生产成本,能够完全解决晶片表面剥离印痕问题,适用于大规模量化生产,通用于所有晶片的剥离工艺。
附图说明
图1为本发明中金属层移位显微实物图;
图2为本发明中剥离印痕显微实物图;
图3为实施例1中制作完成负性光刻胶图形的示意图;
图4为实施例1中制作完成金属膜层的示意图;
图5为实施例1中完成剥离并去胶后的示意图;
图6为实施例1中完成剥离去胶后的显微实物图;
1、生长有外延层和ITO电流扩展层的晶片,2、负性光刻胶,3、金属膜层。
具体实施方式
下面结合说明书附图和实施例对本发明作进一步限定,但不限于此。
实施例1
一种LED金属电极制作中的电极剥离方法,包括:
(1)制作金属层:在生长有外延层和ITO电流扩展层的晶片1表面,使用负性光刻胶2制作电极掩膜图形,负性光刻胶2的厚度为20000埃,负性光刻胶2的倒角为60°,如图3所示,使用电子束蒸发台或溅射台在电极掩膜图形表面蒸镀金属膜层2 10000埃;如图4所示;
(2)剥离电极:将步骤(1)生成的晶片放置在异丙醇溶液中进行超声,异丙醇溶液的加热温度为65℃,超声时间为5min,超声频率为7KHz;异丙醇溶液的相对密度为0.786,异丙醇溶液中异丙醇含量不低于99.7%;
(3)干燥并撕掉表面金属:使用加热氮气对步骤(2)生成的晶片表面进行干燥,并使用粘性膜撕掉表面金属;加热氮气的温度为70℃,施加氮气的时间为10min。
(4)电极去胶:使用去胶液浸泡,去胶液加热60℃,去除步骤(3)生成的晶片表面残留的光刻胶,如图5所示,并使用加热氮气进行干燥。
通过上述实施例制作完成的电极图形,进行显微镜下镜检发现,效果图如图6所示,电极表面光滑,无任何剥离印痕出现,通过本发明中介绍的方法制作完成的电极表面光滑,良率较高。
实施例2
根据实施例1所述的一种LED金属电极制作中的电极剥离方法,其区别在于,异丙醇溶液的加热温度为65℃,超声时间为3min。
实施例3
根据实施例1所述的一种LED金属电极制作中的电极剥离方法,其区别在于,异丙醇溶液的加热温度为60℃,超声时间为10min。
实施例4
根据实施例1所述的一种LED金属电极制作中的电极剥离方法,其区别在于,异丙醇溶液的加热温度为70℃,超声时间为3min。
实施例5
根据实施例1所述的一种LED金属电极制作中的电极剥离方法,其区别在于,金属膜层2的厚度为10000埃。
实施例6
根据实施例1所述的一种LED金属电极制作中的电极剥离方法,其区别在于,负性光刻胶2的厚度为40000埃,金属膜层2的厚度为20000埃。
实施例7
根据实施例1所述的一种LED金属电极制作中的电极剥离方法,其区别在于,负性光刻胶2的厚度为40000埃,金属膜层2的厚度为26000埃。
Claims (10)
1.一种LED金属电极制作中的电极剥离方法,其特征在于,包括:
(1)制作金属层:在生长有外延层的晶片表面制作电极掩膜图形,在所述电极掩膜图形表面蒸镀金属膜层;
(2)剥离电极:将步骤(1)生成的晶片放置在异丙醇溶液中进行超声,异丙醇溶液的加热温度为60-70℃,超声时间为3-10min,超声频率为5-10KHz;
(3)干燥并撕掉表面金属:对步骤(2)生成的晶片表面进行干燥,并撕掉表面金属;
(4)电极去胶:去除步骤(3)生成的晶片表面残留的光刻胶,并进行干燥。
2.根据权利要求1所述的一种LED金属电极制作中的电极剥离方法,其特征在于,所述步骤(2)中,异丙醇溶液的加热温度为65℃,超声时间为5min,超声频率为7KHz。
3.根据权利要求1所述的一种LED金属电极制作中的电极剥离方法,其特征在于,所述异丙醇溶液的相对密度为0.784-0.786,异丙醇溶液中异丙醇质量百分比不低于99.7%。
4.根据权利要求1所述的一种LED金属电极制作中的电极剥离方法,其特征在于,所述步骤(1)中,在生长有外延层的晶片表面使用负性光刻胶制作电极掩膜图形,所述负性光刻胶的厚度为20000—40000埃,所述负性光刻胶的倒角为30—75°。
5.根据权利要求4所述的一种LED金属电极制作中的电极剥离方法,其特征在于,所述步骤(1)中,所述金属膜层的厚度为所述负性光刻胶厚度的1/2—2/3。
6.根据权利要求1所述的一种LED金属电极制作中的电极剥离方法,其特征在于,所述步骤(3)、(4)中,使用加热氮气或者旋干机进行干燥。
7.根据权利要求6所述的一种LED金属电极制作中的电极剥离方法,其特征在于,所述步骤(3)、(4)中,所述加热氮气的温度为40-80℃,施加氮气的时间为2-10min。
8.根据权利要求1所述的一种LED金属电极制作中的电极剥离方法,其特征在于,所述步骤(4)中,步骤(3)生成的晶片使用去胶液或者有机溶剂进行加热浸泡,加热温度为60-90℃,去除表面残留光刻胶。
9.根据权利要求1所述的一种LED金属电极制作中的电极剥离方法,其特征在于,所述步骤(3)中,使用粘性膜撕掉表面金属。
10.根据权利要求1-9任一所述的一种LED金属电极制作中的电极剥离方法,其特征在于,所述步骤(1)中,使用电子束蒸发台或溅射台在所述电极掩膜图形表面蒸镀金属膜层。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201810088185.4A CN110098299B (zh) | 2018-01-30 | 2018-01-30 | 一种led金属电极制作中的电极剥离方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201810088185.4A CN110098299B (zh) | 2018-01-30 | 2018-01-30 | 一种led金属电极制作中的电极剥离方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN110098299A true CN110098299A (zh) | 2019-08-06 |
CN110098299B CN110098299B (zh) | 2020-08-14 |
Family
ID=67442543
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201810088185.4A Active CN110098299B (zh) | 2018-01-30 | 2018-01-30 | 一种led金属电极制作中的电极剥离方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN110098299B (zh) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN112510068A (zh) * | 2020-10-19 | 2021-03-16 | 南京昀光科技有限公司 | 一种硅基有机电致发光微显示器及其制备方法 |
CN114050211A (zh) * | 2021-11-10 | 2022-02-15 | 福建兆元光电有限公司 | 一种led芯片的电极制作方法 |
CN114068767A (zh) * | 2020-07-30 | 2022-02-18 | 山东浪潮华光光电子股份有限公司 | 一种砷化镓基led管芯的制作方法 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103904180A (zh) * | 2012-12-25 | 2014-07-02 | 比亚迪股份有限公司 | 一种led芯片结构及其制备方法 |
CN105006507A (zh) * | 2015-07-03 | 2015-10-28 | 山东浪潮华光光电子股份有限公司 | GaAs基发光二极管芯片上P电极的制备方法 |
CN105789403A (zh) * | 2016-05-17 | 2016-07-20 | 湘能华磊光电股份有限公司 | 提升发光二极管芯片亮度的透明导电层制作方法 |
CN106025002A (zh) * | 2016-06-13 | 2016-10-12 | 湘能华磊光电股份有限公司 | Led芯片制作方法 |
-
2018
- 2018-01-30 CN CN201810088185.4A patent/CN110098299B/zh active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103904180A (zh) * | 2012-12-25 | 2014-07-02 | 比亚迪股份有限公司 | 一种led芯片结构及其制备方法 |
CN105006507A (zh) * | 2015-07-03 | 2015-10-28 | 山东浪潮华光光电子股份有限公司 | GaAs基发光二极管芯片上P电极的制备方法 |
CN105789403A (zh) * | 2016-05-17 | 2016-07-20 | 湘能华磊光电股份有限公司 | 提升发光二极管芯片亮度的透明导电层制作方法 |
CN106025002A (zh) * | 2016-06-13 | 2016-10-12 | 湘能华磊光电股份有限公司 | Led芯片制作方法 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN114068767A (zh) * | 2020-07-30 | 2022-02-18 | 山东浪潮华光光电子股份有限公司 | 一种砷化镓基led管芯的制作方法 |
CN112510068A (zh) * | 2020-10-19 | 2021-03-16 | 南京昀光科技有限公司 | 一种硅基有机电致发光微显示器及其制备方法 |
CN114050211A (zh) * | 2021-11-10 | 2022-02-15 | 福建兆元光电有限公司 | 一种led芯片的电极制作方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN110098299B (zh) | 2020-08-14 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN102593285B (zh) | 一种回收图形化蓝宝石衬底的方法 | |
CN110098299A (zh) | 一种led金属电极制作中的电极剥离方法 | |
CN101863452B (zh) | 一种改善绝缘衬底上纳米阵列结构器件制作的方法 | |
CN102867890B (zh) | 一种蓝宝石图形衬底的制备方法 | |
CN104733569B (zh) | 纳米尺寸图形化衬底的制备方法 | |
US8367446B2 (en) | Method for preparing patterned substrate by using nano- or micro- particles | |
CN102157642A (zh) | 一种基于纳米压印的高出光效率led的制备方法 | |
CN103235482A (zh) | 基于pdms的功能性高分子图案化方法 | |
CN103117339A (zh) | 基于复合软模板纳米压印技术制备图案化蓝宝石衬底的方法 | |
CN105719955A (zh) | 一种GaN基发光二极管芯片的制备方法 | |
CN1776523A (zh) | 一种低成本简易制作光刻掩膜的方法 | |
CN103337575A (zh) | 高效率、低成本、大面积图形化蓝宝石衬底的制备方法 | |
CN102978567A (zh) | 一种制备蒸镀电极用的免光刻高精度掩模版的方法 | |
CN103715324A (zh) | 一种新型结构的发光二极管及其制造方法 | |
CN102931298B (zh) | 一种GaN基LED制造工艺中ITO图形的制作方法 | |
CN102436140A (zh) | 一种纳米压印模板的制备方法 | |
CN104659165B (zh) | 一种GaN基发光二极管芯片的制备方法 | |
CN105576498A (zh) | 一种窄条脊形GaAs 基激光器的制备方法及GaAs 基激光器 | |
US11664235B2 (en) | Photoresist removal | |
CN104733302B (zh) | 一种非光刻技术制备倒金字塔结构硅表面的方法 | |
TWI476942B (zh) | 太陽能電池用類單晶矽片的刻紋方法 | |
CN103035788A (zh) | 一种纳米级图形化衬底的制造方法 | |
KR20130060999A (ko) | 패턴 형성 방법 | |
TW200607044A (en) | Method of segmenting a wafer | |
CN105514228A (zh) | 一种基于纳米压印技术制备图形化蓝宝石衬底的方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PB01 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant |