CN110095841B - 一种基于亚波长光栅波导的模式选择性衰减器 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种基于亚波长光栅波导的模式选择性衰减器。该器件包含一个多模总线波导，用于信号输入，输出与总线传输功能，且其中传输的模式均为横磁场模。根据所需衰减的模式数量，分别设置相同数目的占空比和宽度不同的亚波长光栅波导组，与多模总线波导通过倏逝场耦合，它们均支持单一模式布洛赫波的传输。通过调谐每组亚波长光栅波导的占空比和宽度来达到与多模波导中需衰减的横磁场模式的相位匹配条件，以实现高耦合效率。该结构用于模分复用网络中，可以在不改动多模总线波导设计或断开原有链路连接的情况下，通过在多模总线波导周围设置亚波长光栅波导，以达到灵活衰减总线波导中模式成分的目的。

Description

一种基于亚波长光栅波导的模式选择性衰减器
技术领域
本发明涉及片上光互联与集成光学技术领域，具体涉及一种基于亚波长光栅波导的模式选择性衰减器。
背景技术
片上模式复用技术作为近年来新兴起的技术，受到广泛的关注。一方面，其利用了波导中的多个正交的模式来传输多个信道，不需要多个波长，因此可减少多波长激光器的需求，从而降低系统的复杂性。另一方面，作为与波长平行的另外一个自由度，将波分复用与模分复用结合，可以极大的提升器件的数据吞吐量。在系统应用中，多模总线波导中承载了多个模式信道数据的传输。因为不同模式的场分布不同，传输相同距离时损耗也相应存在不同，同时，在模式复用器与解复用器的设计上，不同模式通道的耦合效率也存在差别。上述特点使得一个多模复用系统对于不同模式的信号其损耗存在差别。在多模信号传输时，相同信号摆幅的输入光在经过不同模式通道的传输到达接收端时，其摆幅存在不同，从而很大程度上增加了接收端信号判决的难度。一个处理方法是将不同模式的信号进行不同比例的衰减，从而使它们在接收端具有相接近的摆幅。此外，在信号处理中，有时需要压制来自某个模式通道的串扰，因此需要尽量将对应模式的信号选择性的进行过滤和衰减。现有的技术一般处理方式为采用模式解复用器将多模总线波导中的各个模式通道分离，然后单独的对每个通道进行过滤或者衰减，然后在通过模式复用器上传回原有的多模总线波导中，其实施方法较为复杂且需要截断或者重新设计原有的系统结构。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是为了克服上述现有技术的不足，本发明提出了一种基于亚波长光栅波导的模式选择性衰减器。
为解决本发明的技术问题采用如下技术方案：
一种基于亚波长光栅波导的模式选择性衰减器，包括：
支持多个横磁场模的多模总线波导（100）、N组宽度与占空比不同的亚波长光栅波导耦合器（101）-（10N）和用于包覆的下包层（120）和上包层（121），多模总线波导（100）用于多模信号的输入、输出与总线传输功能，亚波长光栅波导耦合器用于和多模总线波导（100）通过倏逝场耦合进行模式选择性能量衰减；多模总线波导（100）和亚波长光栅波导耦合器位于下包层（120）的上方，上包层（121）用于填充和包覆多模总线波导（100）和亚波长光栅波导耦合器，下包层（120）的材料与上包层（121）的材料折射率不同，但均低于波导硅的折射率3.47；
其中：
多模总线波导（100）其宽度根据多模系统中传输信号的模式数量确定，第一组亚波长光栅波导耦合器（101）用于和多模总线波导（100）耦合，衰减其中的第一种需衰减模式的载波能量，其中第一组亚波长光栅波导耦合器（101）分为亚波长光栅波导区域（1011）、亚波长光栅波导到普通条形波导的转换器（1012）和渐变锥形波导区域（1013）；
第二组亚波长光栅波导耦合器（102），用于和多模总线波导（100）耦合，衰减其中的第二种需衰减模式的载波，其中第二组亚波长光栅波导耦合器（102）分为亚波长光栅波导区域（1021）、亚波长光栅波导到普通条形波导的转换器（1022）和渐变锥形波导区域（1023）；
……
第N组亚波长光栅波导耦合器（10N）分为亚波长光栅波导区域（10 N1）、亚波长光栅波导到普通条形波导的转换器（10 N2）和渐变锥形波导区域（10 N3），与第一组亚波长光栅波导耦合器（101）的分类相同。
所述衰减器构建在绝缘体上的硅平台上，多模总线波导和亚波长光栅波导耦合器的材料均为硅构成；所述下包层（120）材料为埋氧层二氧化硅，所述上包层（121）材料为空气或聚合物材料SU-8，PMMA或Si3N4，SiON。
所述多模总线波导（100）中传输的多模式信号其载模为M个复用的模式，均为横磁场模，M为正整数。
N组亚波长光栅波导耦合器中N为所需要衰减的模式的数量，且有N≤M，N为正整数。
多模总线波导（100）中传输的复用信号组中，N种所需衰减的横磁场模式，每种模式与亚波长光栅波导耦合器组其中的一组结构中的亚波长光栅波导部分支持的布洛赫模式达到相位匹配。
实现相位匹配的方法为通过调谐亚波长光栅波导耦合器的亚波长光栅波导部分的占空比与波导的宽度，使其承载的布洛赫模式的有效折射率与多模总线波导（100）中相应的横磁场模式的有效折射率相同，而多模总线波导（100）的宽度保持不变。
通过上包层与下包层形成的非对称折射率分布和相位匹配条件，使得多模总线波导（100）中的横磁场模式耦合到亚波长光栅波导的亚波长光栅波导区域的布洛赫模式，再通过亚波长光栅波导到普通条形波导的转换器转换为普通条形波导中的横电场模，最后通过渐变锥形波导的区域将能量无反射的耗散至包层中。
其每组亚波长光栅波导中亚波长光栅波导区域的长度需根据对应模式的所需的能量衰减比例来设计，通过耦合模理论和时域有限差分算法来计算其耦合长度，因耦合过程中能量存在周期性交换，一般设计均在一个周期之内，以在最短的长度内实现所需能量比例衰减。
从上述技术方案可以看出，本发明至少具有以下有益效果之一：
（1）本发明中的模式选择性衰减器不需要截断系统中原有多模总线波导或变动多模传输系统中原有的多模总线波导布局，只需在设计中的原有的多模总线波导位置周围设置需衰减模式数量的亚波长光栅波导耦合器组件即可，且在多模总线波导范围内组件可插入的位置具有高度灵活性；
（2）本发明中的模式选择性衰减器其模式选择性通过改变亚波长光栅波导的占空比和宽度来实现，多模总线波导的尺寸不需要任何改变，从而简化了系统的设计。
（3）本发明中的模式选择性衰减器基于亚波长光栅波导结构，其每个模式对应的耦合器组件在几微米到十几微米量级，可以达到高密度集成的效果。
附图说明
图1为本发明基于亚波长光栅波导的模式选择性衰减器的平面俯视图。
图2为本发明基于亚波长光栅波导的模式选择性衰减器的斜视图。
图3为亚波长光栅波导的折射率等效的原理图。
图4为具体实施例中多模波导中的横磁场模TM1模式与亚波长光栅波导中的布洛赫波的相位匹配设计方法图。
附图标记说明：多模总线波导100；第一组亚波长光栅波导耦合器101；
亚波长光栅波导区域1011；亚波长光栅波导到普通条形波导的转换器1012；
渐变锥形波导区域1013；第二组亚波长光栅波导耦合器102；第N组亚波长光栅波导耦合器10N；下包层120；上包层 121。
具体实施方式
本发明某些实施例于后方将参照所附附图做更全面性地描述，其中一些但并非全部的实施例将被示出。实际上，本发明的各种实施例可以许多不同形式实现，而不应被解释为限于此数所阐述的实施例；相对地，提供这些实施例使得本发明满足适用的法律要求。
为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚明白，以下结合具体实施例，并参照附图，对本发明进一步详细说明。
本发明提供一种基于亚波长光栅波导的模式选择性衰减器，通过相位匹配原理和波导的有效折射率理论设计的亚波长光栅波导组耦合结构，可以实现一种模式数量可扩展的模式选择性衰减器。
图1为本发明一实施例基于亚波长光栅波导的模式选择性衰减器的结构示意图，其结构上包括：多模总线波导100，用于多模信号的输入，输出与传输，传输的信号包含M个正交的模式，M为正整数，其中需要衰减的模式数为N，N≤M，定义为第一个到第N个；
第一组亚波长光栅波导耦合器101，用于和多模总线波导中的第一个模式耦合，衰减相应模式的载波能量。其中101可分为亚波长光栅波导区域1011，其波导的宽度为w1，光栅周期为a1, 占空比为Λ1，它与多模总线波导的间距一般在百纳米量级，由于倏逝波的作用，使得在多模总线波导与亚微米光栅波导耦合器的亚微米光栅波导区域存在周期性的能量交换；亚波长光栅波导到普通条形波导的转换器1012，其中间倒锥形过渡区域长度满足绝热渐变过程即可，用于将耦合进亚波长光栅波导的光过渡转换为普通条形波导的横电场模式；和渐变锥形波导区域1013，渐变波导的一端与普通条形波导连接，另外一端为尖端区域，宽度由具体工艺水平决定，越小越好，常见在50-100 nm，以便将能量耗散，避免反射回亚微米光栅波导耦合器中；
第二组亚波长光栅波导耦合器102，用于和多模总线波导耦合，衰减其中的第二种需衰减的模式载波，其中102可具体细分为亚波长光栅波导区域，亚波长光栅波导到普通条形波导的转换器，和渐变锥形波导区域，与第一组的分类与作用相同；
如上类推，第N组亚波长光栅波导耦合器10N，用于和多模总线波导耦合，衰减其中的第N种需衰减的模式载波，其中10N可分为亚波长光栅波导区域，亚波长光栅波导到普通条形波导的转换器，和渐变锥形波导区域，与第一组的分类相同。
在具体实施中，该器件的斜视图如图2所示，所述下包层120材料为埋氧层二氧化硅，所述上包层121材料为空气或聚合物材料SU-8，PMMA或Si3N4，SiON，以满足上下包层的折射率不同，在横向形成不对称的折射率分布。多模总线波导100和亚波长光栅波导耦合器的材料为硅。
亚波长光栅波导区域其结构与普通的条形或脊形波导不同，是由波导多模总线波导和亚波长光栅波导耦合器的材料与上包层的材料两种材料周期性排列构成，即光栅材料为波导材料，间隙的材料为上包层的材料所填充，在本实施例中由硅和空气周期性排列组成，其光栅周期为a，占空比为
Figure 380200DEST_PATH_IMAGE002
，其侧视图如图3所示，每段硅材料的长度为
Figure DEST_PATH_IMAGE003
，每段空气的长度为
Figure 235023DEST_PATH_IMAGE004
。高折射率n1 为硅的折射率，低折射率n2为上包层的折射率，当它们的周期远小于器件的工作波长时，这种结构可以被等效为一块均一材料结构，这种等效材料的折射率为nb。在一阶近似下，它们之间的关系满足：
Figure DEST_PATH_IMAGE005
当
Figure 218023DEST_PATH_IMAGE006
时，即硅和上包层各占一半周期时，在该实施例中上包层为空气，可计算出此时等效材料的折射率
Figure 114697DEST_PATH_IMAGE007
。
在多模总线波导的宽度确定的情况下，其支持的各个横磁场模式的有效折射率也相应确定。为了达到相位匹配条件，可通过有限元方法等计算算法来计算不同宽度，不同占空比的亚波长光栅波导的有效折射率，选择合适的参数使得两者的有效折射率相等。如图4中给出了不同宽度的多模总线波导中的横磁场模式TM1与占空比为50%的亚波长光栅波导中的布洛赫模式的有效折射率随着宽度的关系图。在总线波导的宽度给定为w0的时候，即可确定满足相位匹配条件的亚波长光栅波导的宽度为w1。同样的方法，可以逐次确定其他组亚波长光栅波导所需的占空比
Figure DEST_PATH_IMAGE008
与宽度。在这个基础上，通过耦合模理论可以算出其一个周期所需的耦合长度，再根据模式展开方法，或者时域有限差分方法等传播算法，即可根据所需要的衰减比例精确确定其每一组亚波长光栅波导的长度。
以上所述的具体实施例，对本发明的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，应理解的是，以上所述仅为本发明的具体实施例而已，并不用于限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
需要说明的是，在附图或说明书正文中，未绘示或描述的实现方式，均为所属技术领域中普通技术人员所知的形式，并未进行详细说明。此外，上述对各元件和方法的定义并不仅限于实施例中提到的各种具体结构、形状或方式，本领域普通技术人员可对其进行简单地更改或替换。

Claims (7)

1.一种基于亚波长光栅波导的模式选择性衰减器，其特征在于包括：
支持多个横磁场模的多模总线波导（100）、N组宽度与占空比不同的亚波长光栅波导耦合器（101）-（10N）和用于包覆的下包层（120）和上包层（121），多模总线波导（100）用于多模信号的输入、输出与总线传输功能，亚波长光栅波导耦合器用于和多模总线波导（100）通过倏逝场耦合进行模式选择性能量衰减；多模总线波导（100）和亚波长光栅波导耦合器组位于下包层（120）的上方，上包层（121）用于填充和包覆多模总线波导（100）和亚波长光栅波导耦合器，下包层（120）的材料与上包层（121）的材料折射率不同，均低于波导硅的折射率3.47；
其中：
多模总线波导（100）其宽度根据多模系统中传输信号的模式数量确定，第一组亚波长光栅波导耦合器（101）用于和多模总线波导（100）耦合，衰减其中的第一种需衰减模式的载波能量，其中第一组亚波长光栅波导耦合器（101）分为亚波长光栅波导区域（1011）、亚波长光栅波导到普通条形波导的转换器（1012）和渐变锥形波导区域（1013）；
第二组亚波长光栅波导耦合器（102），用于和多模总线波导（100）耦合，衰减其中的第二种需衰减模式的载波能量，其中第二组亚波长光栅波导耦合器（102）分为亚波长光栅波导区域（1021）、亚波长光栅波导到普通条形波导的转换器（1022）和渐变锥形波导区域（1023）；
……
第N组亚波长光栅波导耦合器（10N），用于和多模总线波导（100）耦合，衰减其中的第N种需衰减模式的载波能量，其中第N组亚波长光栅波导耦合器（10N）分为亚波长光栅波导区域（10 N1）、亚波长光栅波导到普通条形波导的转换器（10 N2）和渐变锥形波导区域（10N3）。
2.根据权利要求1所述的一种基于亚波长光栅波导的模式选择性衰减器，其特征在于：所述多模总线波导和亚波长光栅波导耦合器的材料均为硅；
所述下包层（120）材料为埋氧层二氧化硅，所述上包层（121）材料为空气、聚合物材料SU-8、PMMA、Si3N4或SiON。
3.根据权利要求1所述的一种基于亚波长光栅波导的模式选择性衰减器，其特征在于：所述多模总线波导（100）中传输的多模式信号其载模为M个复用的模式，均为横磁场模，M为正整数。
4.根据权利要求3所述的一种基于亚波长光栅波导的模式选择性衰减器，其特征在于：N组亚波长光栅波导耦合器中N为所需要衰减的模式的数量，且有N≤M，N为正整数。
5.根据权利要求4所述的一种基于亚波长光栅波导的模式选择性衰减器，其特征在于：多模总线波导（100）中传输的复用信号组中，N种所需衰减的横磁场模式，每种模式与亚波长光栅波导耦合器组其中的一组结构中的亚波长光栅波导部分支持的布洛赫模式达到相位匹配。
6.根据权利要求5所述的一种基于亚波长光栅波导的模式选择性衰减器，其特征在于：实现相位匹配的方法为通过调谐亚波长光栅波导耦合器的亚波长光栅波导部分的占空比与波导的宽度，使其承载的布洛赫模式的有效折射率与多模总线波导（100）中相应的横磁场模式的有效折射率相同，而多模总线波导（100）的宽度保持不变。
7.根据权利要求1或6所述的一种基于亚波长光栅波导的模式选择性衰减器，其特征在于：通过上包层与下包层形成的非对称折射率分布和相位匹配条件，使得多模总线波导（100）中的横磁场模式耦合到亚波长光栅波导的亚波长光栅波导区域的布洛赫模式，再通过亚波长光栅波导到普通条形波导的转换器转换为普通条形波导中的横电场模。
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Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110554458B (zh) * 2019-09-09 2020-12-11 东南大学 一种基于亚波长结构的对称三波导型偏振分束器
CN115308846A (zh) * 2022-08-23 2022-11-08 中国地质大学（武汉） 一种基于亚波长光栅的双模硅基微环谐振器
CN117420680B (zh) * 2023-12-18 2024-02-23 华中科技大学 一种具有模式相关损耗均衡功能的光子灯笼设计方法

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN202419252U (zh) * 2012-01-10 2012-09-05 曹文虎 一种触摸式压力灯
CN102721431A (zh) * 2012-06-28 2012-10-10 上海大学 锥型波导辅助的级联长周期波导光栅传感器及其制备方法
CN109270627A (zh) * 2018-11-29 2019-01-25 东南大学 一种基于多模亚波长光栅的偏振不敏感定向耦合器

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102097745B (zh) * 2011-01-14 2012-05-30 浙江大学 对称刻蚀槽反射形成布拉格光栅的波长可调谐激光器
US9971091B2 (en) * 2016-03-18 2018-05-15 Singapore University Of Technology And Design Optical devices and methods for fabricating an optical device
JP6379245B1 (ja) * 2017-03-16 2018-08-22 沖電気工業株式会社 光導波路素子及び受信回路

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN202419252U (zh) * 2012-01-10 2012-09-05 曹文虎 一种触摸式压力灯
CN102721431A (zh) * 2012-06-28 2012-10-10 上海大学 锥型波导辅助的级联长周期波导光栅传感器及其制备方法
CN109270627A (zh) * 2018-11-29 2019-01-25 东南大学 一种基于多模亚波长光栅的偏振不敏感定向耦合器

Non-Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
On-chip silicon mode blocking filter employing subwavelength-grating based contra-directional coupler;YU HE, YONG ZHANG, HONGWEI WANG, AND YIKAI SU;《Optics EXPRESS》;20181110;全文 *
硅基光学耦合器件及三维光子集成的研究;邹俊;《中国优秀硕士学位论文全文数据库 基础科学辑》;20180615;第24页第1段 *

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