CN110090606A - 一种适用于废气处理设备的顶盖降温装置 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种适用于废气处理设备的顶盖降温装置，涉及半导体行业废气处理设备技术领域，包括反应腔顶盖，所述反应腔顶盖下端设有连接槽，本发明结构简单，制造简单，实用性高，通过在反应腔顶盖和反应腔腔体之间设计一个隔热棉，使得反应腔顶盖和反应腔腔体之间有一个夹层，达到初步隔热降温的目的，再通过给反应腔顶盖通压缩空气，压缩空气从夹层中间部位流入至反应腔腔体内，带走反应腔顶盖的热量，从而使反应腔顶盖温度降低，解决现有技术中高温度的反应腔腔体通过热传导造成反应腔顶盖因温度过高导致的设备器件损坏和对人员的烫伤等危害、存在较大安全隐患的缺陷。
Description
技术领域
本发明涉及半导体行业废气处理设备技术领域，具体涉及一种适用于废气处理设备的顶盖降温装置。
背景技术
半导体制程中产生的废气，半导体厂商会使用废气处理设备来处理废气，这些废气中有些需要高温反应，针对于高温反应的废气处理设备，高温度的反应腔腔体通过热传导造成顶盖温度升高，如果不作处理，容易造成设备器件损坏和对人员的烫伤等危害，存在较大的安全隐患，现有高温处理的废气设备中，有些反应腔顶盖通过粘贴防烫危险标志等处理方式，不能从根源上解决反应腔温度高的问题。
因此，需要一款适用于高温反应的废气处理设备顶盖降温装置，带走顶盖的热量。
发明内容
本发明的目的在于提供一种适用于废气处理设备的顶盖降温装置，以解决现有技术中高温度的反应腔腔体通过热传导造成顶盖温度升高，容易造成设备器件损坏和对人员的烫伤等危害、存在较大安全隐患的缺陷。
一种适用于废气处理设备的顶盖降温装置，包括反应腔顶盖，所述反应腔顶盖下端设有连接槽，所述连接槽上端开有数个螺钉孔用以螺钉连接废气处理设的反应腔腔体，所述反应腔顶盖下端还安装有能给反应腔顶盖降温的隔热装置以及设有安装隔热装置的安装槽。
优选的，所述隔热装置包括安装于安装槽下端的隔热棉固定环，所述隔热棉固定环底端安装隔热棉固定板，所述隔热棉固定环内放置隔热棉。
优选的，所述隔热装置还包括空冷系统，所述空冷系统包括设于反应腔顶盖上的压缩空气进入口，所述压缩空气进入口一端通过进气管连接车间压缩空气，另一端通至隔热棉固定环内，所述热棉固定板底端开有数个气孔。
优选的，所述隔热棉上设有数个通气孔洞。
优选的，所述隔热棉固定环外套接隔热环，所述隔热环的翻边部位位于连接槽与废气处理设备反应腔腔体之间。
优选的，所述进气管上连接有质量流量控制器，所述质量流量控制器另一端连接有连接管，所述连接管连接车间的压缩空气，所述反应腔顶盖上端连接热电偶。
本发明的优点在于：结构简单，制造简单，实用性高，通过在反应腔顶盖和反应腔腔体之间设计一个隔热棉，使得反应腔顶盖和反应腔腔体之间有一个夹层，达到初步隔热降温的目的，再通过给反应腔顶盖通压缩空气，压缩空气从夹层中间部位流入至反应腔腔体内，带走反应腔顶盖的热量，从而使反应腔顶盖温度降低，解决现有技术中高温度的反应腔腔体通过热传导造成反应腔顶盖因温度过高导致的设备器件损坏和对人员的烫伤等危害、存在较大安全隐患的缺陷。
附图说明
图1、2为本发明不同视角的结构示意图。
图3为本发明中隔热环的结构示意图。
图4为本发明反应腔顶盖与隔热棉固定环的连接示意图。
图5为图4中未安装隔热棉固定板的结构示意图。
图6为本发明中反应腔顶盖与隔热棉固定环的连接示意图。
图7为本发明中反应腔顶盖的结构示意图。
其中，1-反应腔顶盖，2-连接槽，3-隔热装置，4-安装槽，5-隔热棉固定环，6-隔热棉固定板，7-隔热棉，8-压缩空气进入口，9-进气管，10-气孔，11-隔热环，12-质量流量控制器，13-连接管，14-热电偶。
具体实施方式
为使本发明实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本发明。
如图1至图7所示，一种适用于废气处理设备的顶盖降温装置，包括反应腔顶盖1，所述反应腔顶盖1下端设有连接槽2，所述连接槽2上端开有数个螺钉孔用以螺钉连接废气处理的反应腔腔体，所述反应腔顶盖1下端还安装有能给反应腔顶盖1降温的隔热装置3以及设有安装隔热装置3的安装槽4。
在本实施例中，所述隔热装置3包括安装于安装槽4下端的隔热棉固定环5，所述隔热棉固定环5底端安装隔热棉固定板6，所述隔热棉固定环5内放置隔热棉7。所述隔热装置3还包括空冷系统，所述空冷系统包括设于反应腔顶盖1上的压缩空气进入口8，所述压缩空气进入口8一端通过进气管9连接车间压缩空气，另一端通至隔热棉固定环5内，所述热棉固定板6底端开有数个气孔10。
此外，所述隔热棉7上设有数个通气孔洞。所述隔热棉固定环5外套接隔热环11，所述隔热环11的翻边部位位于连接槽2与废气处理设备反应腔腔体之间。所述进气管9上连接有质量流量控制器12，所述质量流量控制器12另一端连接有连接管13，所述连接管13连接车间的压缩空气，所述反应腔顶盖1上端连接热电偶14。
工作过程及原理：安装本装置时，先将该装置置于废气处理设备的反应腔腔体上，将连接槽2对应隔热环11的翻边以及反应腔腔体上端并通过螺钉连接，本装置的隔热棉7起到初步隔热作用，再通过进气管9连接车间压缩空气，使得压缩空气从压缩空气进入口8进入隔热棉固定环5内，再通过隔热棉7的通气孔洞与隔热棉固定板6上的气孔10进入反应腔腔体中起到再次降温的作用，由于气体的流动性从而将反应腔顶盖1的热量带入反应腔腔体中，由于反应腔腔体内发生的是废气高温处理，因此通入的压缩空气又可以做为废气的氧化还原剂，且由于压缩空气经过反应腔顶盖1时，反应腔顶盖1会对压缩空气进行预热，因此对反应腔腔体内温度影响较小，从而减少了热能和压缩空气的消耗，隔热环11的设计减少废气从隔热棉固定环5的侧面与反应腔腔体的间隙热传导给反应腔顶盖1，热电偶14与质量流量控制器12电性连接，根据热电偶14通过采集的温度与需求的反应腔顶盖1温度设定值差值，由质量流量控制器12对通入的压缩空气气量进行自动调节，从而实现通过监测反应腔顶盖1温度使用空气质量流量控制器12对压缩空气进行调节，可以控制反应腔顶盖1温度达到安全范围内，通过对压缩空气进行流量控制，避免定量通入压缩空气不能控制反应腔顶盖1温度和通入气体过多或过少的问题。
基于上述，本发明结构简单，操作便捷，通过在反应腔顶盖1和反应腔腔体之间设计一个隔热棉7，使得反应腔顶盖1和反应腔腔体之间有一个夹层，达到初步隔热降温的目的，再通过给反应腔顶盖1通压缩空气，压缩空气从夹层中间部位流入至反应腔腔体内，带走反应腔顶盖1的热量，从而使反应腔顶盖1温度降低，解决现有技术中高温度的反应腔腔体通过热传导造成反应腔顶盖1因温度过高导致的设备器件损坏和对人员的烫伤等危害、存在较大安全隐患的缺陷。
由技术常识可知，本发明可以通过其它的不脱离其精神实质或必要特征的实施方案来实现。因此，上述公开的实施方案，就各方面而言，都只是举例说明，并不是仅有的。所有在本发明范围内或在等同于本发明的范围内的改变均被本发明包含。
Claims (6)
1.一种适用于废气处理设备的顶盖降温装置，其特征在于，包括反应腔顶盖(1)，所述反应腔顶盖(1)下端设有连接槽(2)，所述连接槽(2)上端开有数个螺钉孔用以螺钉连接废气处理的反应腔腔体，所述反应腔顶盖(1)下端还安装有能给反应腔顶盖(1)降温的隔热装置(3)以及设有安装隔热装置(3)的安装槽(4)。
2.根据权利要求1所述的一种适用于废气处理设备的顶盖降温装置，其特征在于：所述隔热装置(3)包括安装于安装槽(4)下端的隔热棉固定环(5)，所述隔热棉固定环(5)底端安装隔热棉固定板(6)，所述隔热棉固定环(5)内放置隔热棉(7)。
3.根据权利要求2所述的一种适用于废气处理设备的顶盖降温装置，其特征在于：所述隔热装置(3)还包括空冷系统，所述空冷系统包括设于反应腔顶盖(1)上的压缩空气进入口(8)，所述压缩空气进入口(8)一端通过进气管(9)连接车间压缩空气，另一端通至隔热棉固定环(5)内，所述热棉固定板(6)底端开有数个气孔(10)。
4.根据权利要求3所述的一种适用于废气处理设备的顶盖降温装置，其特征在于：所述隔热棉(7)上设有数个通气孔洞。
5.根据权利要求4所述的一种适用于废气处理设备的顶盖降温装置，其特征在于：所述隔热棉固定环(5)外套接隔热环(11)，所述隔热环(11)的翻边部位位于连接槽(2)与废气处理设备反应腔腔体之间。
6.根据权利要求5所述的一种适用于废气处理设备的顶盖降温装置，其特征在于：所述进气管(9)上连接有质量流量控制器(12)，所述质量流量控制器(12)另一端连接有连接管(13)，所述连接管(13)连接车间的压缩空气，所述反应腔顶盖(1)上端连接热电偶(14)。
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