CN110073270B - 用于对激光辐射进行转向和/或调制的装置 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种用于对激光辐射、尤其是多个激光束(2)进行转向和/或调制的装置，所述装置包括多个例如构造成镜面元件(1)或透明的部件的转向机构以及移动机构，所述移动机构可以使所述多个转向机构单独地或成组地运动，所述移动机构包括多个致动器、尤其是压电致动器(5)，所述致动器可以执行平移运动，所述转向机构设置在第一组和第二组中，在每个组中，多个转向机构沿垂直于激光辐射(31)的传播方向的方向间隔开地并排设置，其中，第一组和第二组在激光辐射(31)的传播方向上彼此错开设置，其中，在第一组的转向机构之间的自由空间与第二组的转向机构相对设置并且在第二组的转向机构之间的自由空间与第一组的转向机构相对设置。

Description

用于对激光辐射进行转向和/或调制的装置
技术领域
本发明涉及一种用于对多个激光束进行转向和/或调制的装置。
背景技术
定义：特别是如果激光辐射不是平面波或至少部分地发散，“沿激光辐射的传播方向”是指激光辐射的平均传播方向。除非明确地另行说明，激光束、光束、部分射束或射束不是指几何光学的理想化射束，而是实际的光束，例如是指这样的激光束，所述激光束不具有无穷小的射束横截面，而是具有有延展的射束横截面。
前面所述类型的装置是已知的。例如使用基于电流计的转向镜。在这些系统中缺点通常在于，只能使用较小的激光功率。但特别是在3D打印系统中必须快速地调制高功率。
发明内容
本发明要解决的问题是，提供一种前面所述类型的装置，所述装置可在激光功率较大情况下使用。此外还应给出一种用于对激光二极管阵列进行Smile补偿的方法。
根据本发明，这通过按照本发明所述的装置以及通过按照本发明所述的方法来实现。
本发明涉及一种用于对激光辐射进行转向和/或调制的装置，所述装置包括：
多个转向机构，
移动机构，所述移动机构能够使所述多个转向机构单独地或成组地运动，
其特征在于，所述移动机构包括至少一个致动器，所述至少一个致动器能够执行平移运动，其中，所述转向机构设置在第一组和第二组中，其中，在每个组中，多个转向机构沿垂直于激光辐射的传播方向的方向间隔开地并排设置，其中，第一组和第二组在激光辐射的传播方向上彼此错开设置，其中，在第一组的转向机构之间的自由空间与第二组的转向机构相对设置并且在第二组的转向机构之间的自由空间与第一组的转向机构相对设置。
本发明涉及一种用于对激光辐射进行转向和/或调制的装置，所述装置包括：
多个转向机构，
移动机构，所述移动机构能够使所述多个转向机构单独地或成组地运动，
其特征在于，所述移动机构包括至少一个致动器，所述至少一个致动器能够执行平移运动，其中，所述装置包括部分反射的分配机构，在所述分配机构中，分别镜反射的表面并排地与间隙交替设置，通过镜反射的表面能将激光辐射的分射束反射，激光辐射的分射束不受阻碍地穿过所述间隙，由转向机构能对两组分射束适当地进行转向或调制。
根据本发明设定，移动机构包括至少一个致动器，优选包括多个致动器，尤其是包括至少一个压电致动器，所述致动器能够执行平移运动。由此能够将快速运动传递给转向机构，所述转向机构就可以适当地调制激光辐射。根据所选择的驱动原理，可以适当地设计转向机构，以对高激光功率进行转向或调制，如例如在3D打印装置中所需要的那样。
可以设定的是，给每个所述转向机构配设一个致动器，所述致动器可以使与其相配的转向机构运动。尤其是可以使转向机构移动和/或绕轴线摆动。
所述转向机构例如构造成镜面元件。能够由压电致动器摆动的镜面元件可以构造成，使得也可以对具有非常高功率的激光束进行转向，而不会破坏镜面元件。
附加地或备选地，所述转向机构可以构造成透明的部件，要转向的激光辐射、尤其是要转向的激光束能够穿过所述部件。
所述透明的部件例如可以是平面平行的板件。所述板件可以进行摆动，从而由此实现可变的射束偏移。
备选地，所述透明的部件可以是透镜或透镜部段。通过透镜或透镜部段的移动同样可以有效地实现射束转向。
存在这样的可能性，即，每个所述转向机构都包括两个彼此相对的透明的部件，要转向的激光辐射、尤其是要转向的激光束能够穿过所述部件，所述两个部件能够相对于彼此运动，尤其是沿垂直于激光辐射、尤其是激光束的传播方向的方向运动。所述部件优选可以具有彼此对应的轮廓，所述轮廓尤其是设置在部件彼此相对的侧面上。通过部件相对的移动也可以有效地实现射束转向。
可以设定，所述转向机构并排设置，特别是沿垂直于激光辐射、尤其是激光束传播方向的方向并排设置。此外存在这样的可能性，即，激光辐射、尤其是激光束可以从激光二极管阵列射出，尤其是激光二极管阵列的每个发射器都发出一个激光束。通过例如沿慢轴方向上并排设置转向机构，可以同时对激光二极管阵列并排设置的激光束进行转向或调制。
可以设定，所述装置可以用于对激光二极管阵列进行Smile补偿。
所述转向机构可以包括两个镜面元件，所述镜面元件设置成，使得在所述装置的运行中在所述两个镜面元件中的每个镜面元件上分别反射激光束的一部分，由致动器能使第二个镜面元件相对于第一个镜面元件运动，从而在镜面元件的相应位置中激光束在工作平面中的强度通过相消干涉减小。就是说，可以由镜面元件有针对性地在工作平面明显直至完全减小各激光束的强度，从而总体上可以适当地调制由多个激光束组成的激光辐射。因此根据本发明的装置的这个实施形式也适于例如在3D打印装置中使用。
根据本发明设定，通过移动机构使多个转向机构单个或成组地转移到这样的位置和/或姿态，使得由此校正激光二极管阵列的Smile失真。例如，根据本发明的装置可用于实施这个方法。
可以设定，在转移到Smile补偿的位置和/或姿态之后固定所述多个转向机构，从而不再需要移动机构。以这种方式，可以利用根据本发明的装置对多个激光二极管阵列进行Smile补偿。
附图说明
根据下面参考附图对优选实施例的说明，本发明的其它特征和优点变得显而易见。
其中：
图1是根据本发明的装置的第一实施形式的示意性侧视图；
图2是具有激光装置的根据图1的实施形式的透视图；
图3是根据图1的实施形式的与图2相对应的视图，其中三个激光束发生转向；
图4是根据图1的实施形式的与图2和图3相对应的视图，其中两个激光束发生转向；
图5是根据图1的实施形式的与图2相对应的视图，这里所述装置用于Smile补偿；
图6是对应于图5的视图，其中在完成Smile补偿之后移除了移动机构；
图7是根据本发明的装置的第二实施形式的透视图；
图8是根据图7的实施形式的示意性侧视图；
图9是根据本发明的装置的第三实施形式的示意性侧视图；
图10是根据本发明的装置的第四实施形式的示意性侧视图；
图11是根据本发明的装置的第五实施形式的示意性侧视图；
图12是绘制了关于入射角利用所述装置的第五实施形式实现的转向的图表；
图13是绘制了关于入射角变化利用所述装置的第五实施形式实现的转向的图表；
图14是具有激光装置的根据图11的实施形式的透视图；
图15a是根据本发明的装置的第六实施形式在转向机构的一个位置中的示意性俯视图，其中激光束没有转向；
图15b是根据图15a的装置在转向机构一个位置中的示意性俯视图，其中激光束发生转向；
图16是根据本发明的装置的第七实施形式的示意性俯视图；
图17是根据本发明的装置的第八实施形式的示意性俯视图；
图18是根据本发明的装置的第九实施形式的示意性俯视图；
图19是根据本发明的装置的第十实施形式的示意性俯视图；
图20是根据本发明的装置的第十一实施形式的示意性俯视图；
图21是根据本发明的装置的第十二实施形式的细节的透视图；
图22是根据图21的实施形式的示意性侧视图；
图23是根据本发明的装置的第十三实施形式的透视图；
图24a是在执行Smile补偿之前根据图23的实施形式的示意性侧视图；
图24b是在执行Smile补偿之后根据图23的实施形式的示意性侧视图；
图25是在执行Smile补偿和移除移动机构之后根据图23的实施形式的透视图；
图26是根据本发明的装置的第十四实施形式在转向机构的第一姿态中的示意性俯视图；
图27是根据图26的装置在转向机构的第二姿态中的示意性俯视图。
具体实施方式
在图中，相同的或功能相同的部件具有相同的附图标记。
从图1中可以看到这样的装置，该装置具有多个构造成镜面元件1的转向机构。来自图1中的左面的激光束2以角度α命中镜面元件1的反射表面3并由该反射表面反射。镜面元件1能绕轴4摆动。
压电致动器5与轴4隔开间距地作用在与反射表面3相对置的表面6上。通过压电致动器5的长度变化，例如在1μm至3μm范围内的小距离上的变化，镜面元件1绕轴4摆动。图1示出，此时，在激光束2和表面6之间的角度发生角度Δα的变化会导致角度2*Δα的转向。
图2示出从激光二极管阵列8的发射器7发出的激光束2如何在多个镜面元件1上反射。这里，给每个发射器7或或每个由一个发射器7发出的激光束2恰好分配一个用作转向机构的镜面元件1。在图2中的位置中，所有激光束2都沿相同的方向被反射。在一些图中示出了激光二极管阵列8的慢轴和快轴。
在图3中的状态下，三个激光束2'沿一个方向被反射，该方向偏离于其它激光束2被反射的方向。这三个激光束2'例如可以被导入束流捕集器(Strahlfalle)中，使得它们不参与要执行的过程。例如以这种方式配备有这种装置的3D打印机以这种方式可以不用激光辐射加载原材料不应发生固化的位置。
在图4中，两个激光束2'沿一个方向反射，该方向偏离于从其它激光束2反射的方向。与图3相反，在图4中，不参与过程的激光束2'向右转向，然而在图3中，它们向左转向。
图5示出根据本发明的装置用于Smile失真补偿的应用，其经常发生在激光二极管阵列8中。分配给各发射器7的镜面元件1处于这样的角度位置，使得Smile失真得到最佳补偿。这可以例如这样来实现，即，检测从镜面元件1发出的激光束2，并且根据该检测有针对性地操控压电致动器5，使得所有激光束2由镜面元件1反射到相同的方向。
在图5中示出杆形式的固定元件9。在设置镜面元件1的适于Smile补偿的倾斜度之后，通过例如通过粘接与固定元件9连接来固定所述镜面元件。此后，可以移除压电致动器5(参见图6)。
在图7中，在激光二极管阵列8的后面设置快轴准直透镜10。在所述快轴准直透镜的后面设置构造成透镜段11、12的转向机构。尤其是设有多个沿慢轴方向并排设置的第一透镜段11和多个沿慢轴方向并排设置的第二透镜段12。这里，第一和第二透镜段11、12沿激光束2的传播方向地彼此间隔开，使得形成一种望远镜布置系统。
第一和第二透镜段11、12的形状分别对应于快轴准直透镜10的形状。所述透镜段尤其是和快轴准直透镜10一样构造成圆柱透镜，其圆柱轴线沿慢轴方向延伸。
每个第二透镜段12都配设一个压电致动器5，所述压电致动器可以使相应的透镜段12在图8中或向上和/或向下或者说沿快轴方向运动。这里，从根据图8上部图示的未转向位置到在图8下部图示中所示的转向位置的非常微小的位移也可能足以使激光束2'这样转向，使得所述激光束例如由在图8中所示的光阑43的边界截获。例如1μm至3μm的移动就完全能够足以实现在图8的下部图示中所示的转向。
在根据图9的实施例中，快轴准直透镜10被分为单独的区段，同样可以分别通过一个压电致动器5使快轴准直透镜10的各个区段在图9中向上和向下运动。以这种方式，通过有针对性地对快速轴准直透镜10的各区段进行定位，可以实现Smile补偿，而通过第二透镜段12有针对性的定位可以实现各个激光束2'有针对性的转向或实现对激光辐射的调制。
在根据图10的实施例中，快轴准直透镜10没有分成单个区段。在该实施例中，每个第一透镜段11与一个压电致动器5的连接用于Smile补偿，所述压电致动器可以有针对性地对每个第一透镜段11进行定位。如图9中那样，通过对第二透镜段12有针对性的定位，可以实现各激光束2'有针对性的转向或对激光辐射的调制。
图11示出具有多个构造成透明的部件13的转向机构的装置。部件13尤其是平面平行的板件。在图11中来自左面的激光束2通过部件13的第一表面14以角度α下进入所述部件，并从相对的第二表面15再次从部件13出来。此时，激光束2发生射束偏移ΔX。
部件13能绕轴4摆动。压电致动器5与轴4隔开间距地作用在第一表面14上。通过压电致动器5例如在1μm至3μm范围内的小距离的长度变化，部件13绕轴4摆动。图12示出，此时，射束偏移ΔX与激光束2和第一表面14之间的角度α基本上是线性相关的。图13示出，在激光束2和第一表面14之间的角度α的变化Δα导致射束偏移ΔX的变化。
图14示出激光束2如何穿过多个部件13。这里，给每个激光束2配设恰好一个用作转向机构的部件13。在图14中的状态下，三个激光束2'与其它激光束2不同地偏移。这三个不同移位的激光束2'例如可以被引导到束流捕集器中，使得它们不参与待执行的过程。例如以这种方式配备有这种装置的3D打印机以这种方式可以不用激光辐射加载原材料不应发生固化的位置。
图15a和15b示出具有多个构造成透明的部件16、17的转向机构的装置。这里，每个转向机构都包括两个相对置的透明的部件16、17，要转向的激光束2可以穿过这两个部件16、17。部件16、17具有彼此相对应的轮廓18、19，所述轮廓特别是设置在部件16、17彼此相对的侧面上。在所示实施例中，所述轮廓例如是正弦形的轮廓18，19。
两个部件16、17能相对于彼此运动，特别是沿垂直于激光束2传播方向的方向运动。这可以分别通过例如作用在第一部件16在图15a和15b中的左侧上的压电致动器来实现。压电致动器的长度变化例如同样在1μm至10μm之间，特别是在1μm至3μm之间。
图15a示出部件16、17没有相对于彼此移动的状态。在这个状态下，第一部件16的轮廓18的波峰正好与第二部件的轮廓19的波谷相对。因此确保了，激光束2无转向地穿过两个部件16、17，并且例如穿过设置在下游的光阑43。
图15b示出部件16、17相对于彼此移动的状态。在这个状态下，第一部件16的轮廓18的波峰正好与第二部件的轮廓19的波峰相对。由此实现了，激光束2有转向地穿过两个部件16、17并且例如不穿过设置在下游的光阑43。
这尤其是可以通过部件16、17用作衍射光栅的事实来解释。在部件16、17相对于彼此没有移动时，衍射几乎仅以零阶发生，从而激光束2不受阻碍地穿过这个布置结构。在部件16、17相对于彼此移动时，衍射几乎仅以较高阶发生，从而多个转向的激光束2'从布置结构中射出。
图16示出根据图15a和15b的装置的应用示例，其中部件16、17设置在壳体20中。壳体20具有用于激光束2的入口21和出口22，光阑43设置在出口22的前面。在图16所示的状态中，第二部件17已通过压电致动器5相对于第一部件16运动，使得多个转向的激光束2'离开部件16、17，同时却没有激光束2穿过光阑43。
此时，转向的激光束2'被导入在图16中用虚线示出的束流捕集器23，使得这些激光束不参与要执行的过程。例如以这种方式配备有这种装置的3D打印机以这种方式可以不用激光辐射加载原材料不应发生固化的位置。
图17示出构造成透明的部件13的转向机构错开的布置结构。这里，分别使沿慢轴方向相邻的部件13以其纵向方向相互错开大于部件13的一个长度的尺寸，使得这些部件错开地前后相继设置。由此，从图17中的左面进入的激光束2可以彼此更紧密地设置。
部件13在其纵向侧24上设有高反射涂层，并且在其用作入射面和射出面的端侧14、15上设有降低反射的涂层。
图18示出构造成镜面元件25、26的转向机构错开的布置结构。与在图1中所示的镜面元件1一样，镜面元件25、26绕轴摆动或能摆动，使得从图18中的左侧入射的激光束2偏转离开图18的图平面。这里，分别使沿慢轴方向相邻的镜面元件25、26以其纵向方向彼此错开大于镜面元件25、26的一个长度的尺寸，使得这些部件错开地前后相继设置。由此，从图18中的左面进入的激光束2可以彼此更紧密地设置。
在图18中设置在左侧的镜面元件25在其在图18中的上部和下部的纵向侧24上至少部分地设有高反射涂层。在图18中设置在左侧的镜面元件25在其左侧上具有入射面27，该入射面设有降低反射的涂层。镜面元件25在图18中的右侧上设有高反射涂层28。相应的激光束2由该涂层反射离开图18的图平面。
在图18中设置在右侧的镜面元件26在其在图18中的左侧上具有高反射涂层29，相应的激光束2由该涂层从图18的图平面中反射出来。通过镜面元件25、26的不同设计方案确保了，由不同镜面元件25、26从图18中的图平面中反射出的激光束2大致在相同区域中被反射(见在图18中标注的点划线30)。
图19示出本发明的一个实施形式，其中在入射侧不存在多个激光束，而是存在一个具有线性强度分布的激光辐射31，其中线性强度分布的线沿图19的垂直方向延伸。该装置包括透镜阵列32，激光辐射31由透镜阵列32分成单独的分射束34并将其供应给相应数量的转向机构33。这些转向机构33可以例如构造成镜面元件或透明的部件。
就是说，通过转向机构33可以有针对性地使各个分射束34彼此不同地转向，从而可以总体上对激光辐射31进行适当的调制。因此，根据本发明的装置的该实施形式也适于例如在3D打印装置中使用。
图20也示出本发明的一个实施形式，其中入射侧不存在多个激光束，而是存在具有线性强度分布的激光辐射31，其中线形强度分布的线沿图20的垂直方向延伸。但这里透镜阵列不是用于分配激光辐射31。相反，转向机构33如在根据图17和图18的实施形式中那样错开地设置。通过在图20中设置在左侧的转向机构33将激光辐射31分为多个分射束34。这是由于激光辐射的一部分穿过转向机构33，而另一部分在转向机构33旁经过。
图21和22示出一个实施形式，其中设有部分反射的分配机构35。在分配机构35中，分别镜反射的表面36并排地与间隙37交替设置，通过所述表面可以将激光辐射31的分射束34在图21中向上反射，通过激光辐射31的分射束34'不受阻碍地穿过所述间隙。然后可以通过仅示意性示出的、例如构造成透明的部件的转向机构38对不受阻碍地穿过的分射束34'适当地进行转向或调制。
图22示出，由必要时构造成透明的部件的其它的转向机构39对由镜反射的表面36向上转向的分射束34进行转向或调制，并且由镜面44使其在图22中向右转向。同时，由同样构造成透明的部件的转向机构38对无阻碍地穿过的分射束34'进行转向或调制，并且通过另一个镜面45使其在图22中向上转向。通过对应于分配机构35的具有交替设置的镜反射表面和间隙(未示出)的合并机构40，所有分射束34，34'向右转向或透射。
通过各个转向机构38、39有针对性的运动，可以总体上适当地调制激光辐射31。因此根据本发明的装置的该实施形式也适于例如在3D打印装置中使用。
图23至25示出一个实施例，其中，如在图9所示的那样，将激光二极管阵列7后面的快轴准直透镜10分成单独的区段。在图23以及图24a和24b中，快轴准直透镜10的各区段分别与一个压电致动器5连接，通过所述压电致动器可以使这些区段在图23至24b中向上和向下运动。以这种方式，通过对快轴准直透镜10的各个区段进行有针对性的定位，可以实现Smile补偿。在所示的实施例中，多个压电致动器5设置在共同的支座41上。
图24a示出，激光束2穿过快轴准直透镜10的一个区段的通过情况，其中，从相应的发射器7发出的激光束2明显参与导致了Smile失真。图24b示出，在通过压电致动器5的运动进行相应校正之后，激光束2穿过在图24a中已经示出的区段的通过情况。在图24b中所示的校正位置中，可以施加和/或激活位于快轴准直透镜10的区段和例如构造成玻璃棒的固定元件9之间的例如光敏的粘合剂42。
在调整并粘合固定快轴准直透镜10的区段的所有适于Smile补偿的位置之后，可以与支座41一起移除压电致动器5(对此见图25)。
图26示出具有两个构造成镜面元件46、47的转向机构的装置。在两个镜面元件46、47之间仅设置非常窄的间隙。这里，在图26中左边的第一镜面元件46不能运动或没有设置压电致动器5，相反在图26中右边的第二镜面元件47设有压电致动器5并且因此能相对于第一镜面元件46运动。例如可以通过将一面镜子锯切或切割成两部分来制作镜面元件46、47。
来自图26中左侧的激光束2以例如45°的角度命中镜面元件46、47的第一和第二反射表面48、49上并由所述表面在图26中向上反射。如在图26所示的那样，激光束2例如具有高斯分布50。向上反射的激光束2由透镜51会聚并且在焦平面中具有高斯强度分布52，所述强度分布具有中心最大值53。
图27示出相同的装置，但是其中第二镜面元件47相对于第一镜面元件46移动了距离D，其中
Figure GDA0003201853910000121
这里，λ是激光束2的波长。以这种方式，第二镜面元件47的第二反射表面49相对于第一镜面元件46的第一表面48回缩偏移了距离D。激光束2在第二表面49上反射的部分因此相对于激光束2在第一表面48上反射的部分发生相移π。也就是说，激光束2的在第二表面49上反射的部分行进的光程比激光束2在第一表面48上反射的部分行进的光程大λ/2。
在激光束2存在相应的空间相干性时，这会导致，由于相消干涉在强度分布52中出现中心最小值54。这样，通过构造成镜面元件46、47的转向机构可以有针对性地使各激光束2在工作面中的强度明显直至完全地减小，从而可以总体上适当调制由多个激光束2组成的激光辐射。因此根据本发明的装置的这个实施形式也适于例如在3D打印装置中使用。在激光束2的入射角不等于45°的情况下，可以适当地调整距离D，使得出现π相移或λ/2的光程差。

Claims (18)

1.用于对激光辐射(31)进行转向和/或调制的装置，所述装置包括：
多个转向机构(33、38、39)，
移动机构，所述移动机构能够使所述多个转向机构(33、38、39)单独地或成组地运动，
其特征在于，所述移动机构包括至少一个致动器，所述至少一个致动器能够执行平移运动，其中，所述转向机构设置在第一组和第二组中，其中，在每个组中，多个转向机构沿垂直于激光辐射(31)的传播方向的方向间隔开地并排设置，其中，第一组和第二组在激光辐射(31)的传播方向上彼此错开设置，其中，在第一组的转向机构之间的自由空间与第二组的转向机构相对设置并且在第二组的转向机构之间的自由空间与第一组的转向机构相对设置。
2.用于对激光辐射(31)进行转向和/或调制的装置，所述装置包括：
多个转向机构(33、38、39)，
移动机构，所述移动机构能够使所述多个转向机构(33、38、39)单独地或成组地运动，
其特征在于，所述移动机构包括至少一个致动器，所述至少一个致动器能够执行平移运动，其中，所述装置包括部分反射的分配机构(35)，在所述分配机构中，分别镜反射的表面(36)并排地与间隙(37)交替设置，通过镜反射的表面能将激光辐射(31)的分射束反射，激光辐射(31)的分射束不受阻碍地穿过所述间隙，由转向机构能对两组分射束(34、34')适当地进行转向或调制。
3.根据权利要求1或2所述的装置，其特征在于，给每个所述转向机构(33、38、39)配设一个致动器，所述致动器能够使与其相配的转向机构(33、38、39)运动。
4.根据权利要求1或2所述的装置，其特征在于，所述转向机构(33、38、39)能够移动和/或绕轴线(4)摆动。
5.根据权利要求1或2所述的装置，其特征在于，所述转向机构构造成镜面元件。
6.根据权利要求1或2所述的装置，其特征在于，所述转向机构构造成透明的部件，要转向的激光辐射(31)能够穿过所述透明的部件。
7.根据权利要求6所述的装置，其特征在于，所述部件是平面平行的板件。
8.根据权利要求6所述的装置，其特征在于，所述部件是透镜(10)或透镜区段(11、12)。
9.根据权利要求1或2所述的装置，其特征在于，每个所述转向机构都包括彼此相对的透明的两个部件(16、17)，要转向的激光辐射(31)能够穿过所述两个部件(16、17)，这两个部件(16、17)能够相对于彼此运动。
10.根据权利要求9所述的装置，其特征在于，所述两个部件(16、17)具有彼此相对应的轮廓(18、19)。
11.根据权利要求1或2所述的装置，其特征在于，所述激光辐射(31)从激光二极管阵列(8)中射出。
12.根据权利要求11所述的装置，其特征在于，所述装置能够用于对激光二极管阵列(8)进行Smile补偿。
13.根据权利要求1或2所述的装置，其特征在于，所述移动机构包括多个致动器。
14.根据权利要求1或2所述的装置，其特征在于，所述致动器是压电致动器。
15.根据权利要求9所述的装置，其特征在于，这两个部件(16、17)能够沿垂直于激光辐射(31)的传播方向的方向运动。
16.根据权利要求10所述的装置，其特征在于，所述轮廓设置在所述两个部件(16、17)彼此相对的侧面上。
17.根据权利要求11所述的装置，其特征在于，激光二极管阵列(8)的每个发射器都发出一个激光束。
18.用于对激光二极管阵列(8)进行Smile补偿的方法，其特征在于，通过移动机构使多个转向机构(33、38、39)单独地或成组地被转移到这样的位置和/或姿态，使得激光二极管阵列(8)的Smile失真由此得到校正，所述移动机构包括多个设置在共同的支座(41)上的压电致动器(5)，其中，在转移到Smile补偿的位置和/或姿态之后固定所述多个转向机构(33、38、39)，使得此后能移除压电致动器(5)，其中，为了执行所述方法，使用根据权利要求1至17之一所述的装置。
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