CN110057755A - 一种复合光学检测仪 - Google Patents
一种复合光学检测仪 Download PDFInfo
- Publication number
- CN110057755A CN110057755A CN201910439546.XA CN201910439546A CN110057755A CN 110057755 A CN110057755 A CN 110057755A CN 201910439546 A CN201910439546 A CN 201910439546A CN 110057755 A CN110057755 A CN 110057755A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- detection device
- white light
- structure optical
- motion platform
- optical detection
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 137
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 claims abstract description 59
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 51
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 3
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 14
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 7
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 3
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000004377 microelectronic Methods 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 238000012372 quality testing Methods 0.000 description 1
- 238000013519 translation Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/01—Arrangements or apparatus for facilitating the optical investigation
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Geophysics And Detection Of Objects (AREA)
Abstract
本发明公开了一种复合光学检测仪，包括用以装卡待测物的运动平台，运动平台的上方设有白光检测装置和结构光检测装置，运动平台能够带动待测物在白光检测装置和结构光检测装置间移动。使用过程中，运动平台先将待测物移动至结构光检测装置下方，通过结构光检测装置对其进行初步检测，确定待测物需要高精度检测的区域，检测后运动平台移动至结构光检测装置下方，再通过白光检测装置对需要高精度检测的区域进行局部检测，从而减小了白光检测装置所需检测的范围，提高了检测速度。同时检测过程中仅需对待测物进行一次装卡，保证两次检测过程是基于同一坐标系进行的，从而提高了检测精度。
Description
技术领域
本发明涉及检测设备技术领域，特别涉及一种复合光学检测仪。
背景技术
随着在微电子制造行业的不断发展，非接触式光学测量在微电子产品质量检测中的需求日益增大，传统的结构光检测设备的检测精度不足，白光检测设备又存在检测速度较慢的问题，无法适用于大批量的产品质量检测。
因此，如何在保证检测精度的前提下提高检测速度是本领域技术人员急需解决的技术问题。
发明内容
本发明的目的是提供一种复合光学检测仪，其能够通过结构光检测装置对待测物进行整体检测后通过白光检测装置进行小范围的局部检测，进而在保证检测精度的前提下提高检测速度。
为实现上述目的，本发明提供一种复合光学检测仪，包括用以装卡待测物的运动平台，所述运动平台的上方设有白光检测装置和结构光检测装置，所述运动平台能够带动待测物在所述白光检测装置和所述结构光检测装置间移动。
优选地，还包括位于所述运动平台上方的第一龙门架，所述第一龙门架与所述结构光检测装置通过第一移动装置相连，所述第一移动装置能够带动所述结构光检测装置沿所述第一龙门架的横梁移动。
优选地，还包括位于所述运动平台上方的第二龙门架，所述第二龙门架与所述白光检测装置通过第二移动装置相连，所述第二移动装置能够带动所述白光检测装置沿所述第二龙门架的横梁移动。
优选地，所述第一移动装置和第二移动装置均为线性电机。
优选地，所述第一龙门架和/或所述第二龙门架上部的横梁还设有辅助待测物成像的光源装置。
优选地，还包括控制装置，所述控制装置与所述运动平台、所述白光检测装置以及所述结构光检测装置均相连，以控制所述白光检测装置和所述结构光检测装置对所述运动平台上的待测物进行检测。
优选地，所述控制装置包括分别与所述结构光检测装置和所述白光检测装置相连的第一执行部和第二执行部。
优选地，所述控制装置还包括与所述第一执行部和所述第二执行部均相连的控制总机，所述控制总机能够在所述第一执行部和所述第二执行部间进行数据传输。
本发明所提供的复合光学检测仪，包括用以装卡待测物的运动平台，运动平台的上方设有白光检测装置和结构光检测装置，运动平台能够带动待测物在白光检测装置和结构光检测装置间移动。
使用过程中，运动平台先将待测物移动至结构光检测装置下方，通过结构光检测装置对其进行初步检测，确定待测物需要高精度检测的区域，检测后运动平台移动至结构光检测装置下方，再通过白光检测装置对需要高精度检测的区域进行局部检测，从而减小了白光检测装置所需检测的范围，提高了检测速度。同时检测过程中仅需对待测物进行一次装卡，保证两次检测过程是基于同一坐标系进行的，从而提高了检测精度。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图获得其他的附图。
图1为本发明所提供的复合光学检测仪的结构示意图；
图2为复合光学检测仪检测过程的流程图。
其中，图1中的附图标记为：
底座1、运动平台2、第一龙门架3、第二龙门架4、结构光检测装置5、白光检测装置6。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
为了使本技术领域的技术人员更好地理解本发明方案，下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步的详细说明。
请参考图1，图1为本发明所提供的复合光学检测仪的结构示意图；图2为复合光学检测仪检测过程的流程图。
本发明所提供的复合光学检测仪，如图1所示，包括运动平台2、白光检测装置6和结构光检测装置5，运动平台2位于白光检测装置6和结构光检测装置5下方，并能够在二者间移动，对待测物进行结构光检测和白光检测。
具体的，运动平台2为三轴宏微运动平台，其能够对待测物进行装卡，并带动待测物进行两个方向的平动和一个方向的转动。三轴宏微运动平台2的结构可参考现有技术，在此不再赘述。如图1所示，复合光学检测仪下部具有底座1，运动平台2设置在底座1的上端面上，白光检测装置6和结构光检测装置5可通过支撑架等结构安装在运动平台2的上方。
本实施例中，复合光学检测仪设有白光检测装置6和结构光检测装置5，运动平台2能够带动待测物在白光检测装置6之间移动。检测过程中先通过结构光检测装置5确定白光检测装置6所需检测的区域，再通过白光检测装置6对这些区域进行检测，从而减小了白光检测装置6的检测范围，提高了检测速度。
可选的，结构光检测装置5和白光检测装置6分别通过第一龙门架3和第二龙门架4进行固定，第一龙门架3和第二龙门架4均跨设于运动平台2的两侧，第一龙门架3和第二龙门架4上部的横梁垂直运动平台2的两个平动方向。第一龙门架3和第二龙门架4的横梁分别设有第一移动装置和第二移动装置，二者分别用于带动结构光检测装置5和白光检测装置6沿其所在的横梁移动。
可选的，第一移动装置和第二移动装置可具体为线性电机，结构光检测装置5和白光检测装置6均固定在安装座上，镜头竖直向下，安装座与线性电机相连，并在线性电机的带动下沿横梁移动，横梁朝向安装座的侧面还设有导轨，安装座上设置有导轨槽，安装座在移动过程中，导轨能够对其进行支撑。当然用户也可采用丝杠等机构作为移动装置，在此不做限定。
另外，为防止检测过程中光强不足，第一龙门架3和/或第二龙门架4上部的横梁还设有辅助待测物成像的光源装置。具体的，光源装置也固定于安装座上，其头部朝向运动平台2上待测物的移动路径。
本实施例中，第一移动装置和第二移动装置能够分别带动结构光检测装置5和白光检测装置6沿垂直横梁移动，从而使待测物相对于结构光检测装置5和白光检测装置6能够进行三个维度的移动，提高了复合光学检测仪的检测范围。另外，横梁上还设有光源装置，能够辅助待测物成像，保证复合光学检测仪在较暗的环境中也能正常工作。
可选的，复合光学检测仪还包括控制装置，运动平台2、白光检测装置6以及结构光检测装置5均与控制装置相连，控制装置控制运动平台2移动和转动待测物，同时控制白光检测装置6和结构光检测装置5对运动平台2上的待测物进行检测，使检测过程能够自动完成。
具体的，控制装置包括分别与结构光检测装置5和白光检测装置6相连的第一执行部和第二执行部。第一执行部用于控制结构光检测装置5的运行，第二执行部用于控制白光检测装置6的运行，从而使结构光检测装置5和白光检测装置6可独立的运行。当检测任务数量较多时，结构光检测装置5和白光检测装置6可同时运行，对待测物进行检测，从而提高检测速度。
可选的，控制装置还包括控制总机，控制总机与第一执行部和第二执行部均相连，控制总机能够在第一执行部和第二执行部间进行数据传输，当结构光检测装置5完成检测后，第一执行部将检测结果传输给控制总机，控制总机对检测结果进行处理后传输给第二执行部，第二执行部根据结构光的检测结果引导白光的检测，从而对待测物进行快速的高精度检测。第一执行部、第二执行部可参考现有技术中结构光检测装置5和白光检测装置6的控制设备，控制总机可具体为PLC控制器或单片机等。
本实施例中，复合光学检测仪包括控制装置，控制装置中包括通过第一执行部和第二执行部分别控制结构光检测装置5和白光检测装置6，从而使二者可相对独立的运转，保证控制结构光检测装置5和白光检测装置6既可串行工作，也可并行工作。
复合光学检测仪检测的步骤如图2所示。首先，运动平台2带动待测物向第一龙门架3运动，直至待测物移动至结构光检测装置5的检测范围内。随后运动平台2停止，并调整待测物至合适的高度和角度，然后通过结构光检测装置5对待测物进行快速检测，并保存检测信息。检测完成后，运动平台2带动待测物向第二龙门架4运动，直至待测物移动至白光检测装置6的检测范围内。随后运动平台2停止，并调整待测物至合适的高度和角度，然后白光检测装置6根据结构光检测装置5的检测信息对待测物的待检区域进行定位，然后对待检区域进行精确检测，并保存检测信息。
需要说明的是，在本说明书中，诸如第一和第二之类的关系术语仅仅用来将一个实体与另外几个实体区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体之间存在任何这种实际的关系或者顺序。
以上对本发明所提供的复合光学检测仪进行了详细介绍。本文中应用了具体个例对本发明的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本发明的方法及其核心思想。应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以对本发明进行若干改进和修饰，这些改进和修饰也落入本发明权利要求的保护范围内。
Claims (8)
1.一种复合光学检测仪，其特征在于，包括用以装卡待测物的运动平台(2)，所述运动平台(2)的上方设有白光检测装置(6)和结构光检测装置(5)，所述运动平台(2)能够带动待测物在所述白光检测装置(6)和所述结构光检测装置(5)间移动。
2.根据权利要求1所述的复合光学检测仪，其特征在于，还包括位于所述运动平台(2)上方的第一龙门架(3)，所述第一龙门架(3)与所述结构光检测装置(5)通过第一移动装置相连，所述第一移动装置能够带动所述结构光检测装置(5)沿所述第一龙门架(3)的横梁移动。
3.根据权利要求2所述的复合光学检测仪，其特征在于，还包括位于所述运动平台(2)上方的第二龙门架(4)，所述第二龙门架(4)与所述白光检测装置(6)通过第二移动装置相连，所述第二移动装置能够带动所述白光检测装置(6)沿所述第二龙门架(4)的横梁移动。
4.根据权利要求3所述的复合光学检测仪，其特征在于，所述第一移动装置和第二移动装置均为线性电机。
5.根据权利要求4所述的复合光学检测仪，其特征在于，所述第一龙门架(3)和/或所述第二龙门架(4)上部的横梁还设有辅助待测物成像的光源装置。
6.根据权利要求1至5任意一项所述的复合光学检测仪，其特征在于，还包括控制装置，所述控制装置与所述运动平台(2)、所述白光检测装置(6)以及所述结构光检测装置(5)均相连，以控制所述白光检测装置(6)和所述结构光检测装置(5)对所述运动平台(2)上的待测物进行检测。
7.根据权利要求6所述的复合光学检测仪，其特征在于，所述控制装置包括分别与所述结构光检测装置(5)和所述白光检测装置(6)相连的第一执行部和第二执行部。
8.根据权利要求7所述的复合光学检测仪，其特征在于，所述控制装置还包括与所述第一执行部和所述第二执行部均相连的控制总机，所述控制总机能够在所述第一执行部和所述第二执行部间进行数据传输。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201910439546.XA CN110057755A (zh) | 2019-05-24 | 2019-05-24 | 一种复合光学检测仪 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201910439546.XA CN110057755A (zh) | 2019-05-24 | 2019-05-24 | 一种复合光学检测仪 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN110057755A true CN110057755A (zh) | 2019-07-26 |
Family
ID=67324413
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201910439546.XA Pending CN110057755A (zh) | 2019-05-24 | 2019-05-24 | 一种复合光学检测仪 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN110057755A (zh) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111562262A (zh) * | 2020-05-27 | 2020-08-21 | 江苏金恒信息科技股份有限公司 | 一种合金分析系统及其复检方法 |
| CN113341873A (zh) * | 2021-08-06 | 2021-09-03 | 武汉中导光电设备有限公司 | 一种光学检测设备的运动平台控制系统及控制方法 |
Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1508535A (zh) * | 2002-12-20 | 2004-06-30 | 宝山钢铁股份有限公司 | 扫描式带钢表面检测方法和装置 |
| CN101004389A (zh) * | 2006-01-18 | 2007-07-25 | 宝山钢铁股份有限公司 | 带材表面三维缺陷的检测方法 |
| CN205262988U (zh) * | 2015-12-16 | 2016-05-25 | 常熟宝升精冲材料有限公司 | 一种生产精冲材的平整机带钢表面检测仪 |
| CN108226171A (zh) * | 2018-02-02 | 2018-06-29 | 成都科锐志科技有限公司 | 一种光学检测设备 |
| CN108662992A (zh) * | 2017-03-31 | 2018-10-16 | 均豪精密工业股份有限公司 | 表面量测方法及表面量测系统 |
| CN109557098A (zh) * | 2017-09-27 | 2019-04-02 | 南京敏光视觉智能科技有限公司 | 基于机器视觉的金属表面检测系统 |
| CN109632809A (zh) * | 2018-12-19 | 2019-04-16 | 歌尔股份有限公司 | 产品质量检测方法及装置 |
-
2019
- 2019-05-24 CN CN201910439546.XA patent/CN110057755A/zh active Pending
Patent Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1508535A (zh) * | 2002-12-20 | 2004-06-30 | 宝山钢铁股份有限公司 | 扫描式带钢表面检测方法和装置 |
| CN101004389A (zh) * | 2006-01-18 | 2007-07-25 | 宝山钢铁股份有限公司 | 带材表面三维缺陷的检测方法 |
| CN205262988U (zh) * | 2015-12-16 | 2016-05-25 | 常熟宝升精冲材料有限公司 | 一种生产精冲材的平整机带钢表面检测仪 |
| CN108662992A (zh) * | 2017-03-31 | 2018-10-16 | 均豪精密工业股份有限公司 | 表面量测方法及表面量测系统 |
| CN109557098A (zh) * | 2017-09-27 | 2019-04-02 | 南京敏光视觉智能科技有限公司 | 基于机器视觉的金属表面检测系统 |
| CN108226171A (zh) * | 2018-02-02 | 2018-06-29 | 成都科锐志科技有限公司 | 一种光学检测设备 |
| CN109632809A (zh) * | 2018-12-19 | 2019-04-16 | 歌尔股份有限公司 | 产品质量检测方法及装置 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111562262A (zh) * | 2020-05-27 | 2020-08-21 | 江苏金恒信息科技股份有限公司 | 一种合金分析系统及其复检方法 |
| CN113341873A (zh) * | 2021-08-06 | 2021-09-03 | 武汉中导光电设备有限公司 | 一种光学检测设备的运动平台控制系统及控制方法 |
| CN113341873B (zh) * | 2021-08-06 | 2021-11-12 | 武汉中导光电设备有限公司 | 一种光学检测设备的运动平台控制系统及控制方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN102565080B (zh) | 一种视觉检测装置及系统 | |
| CN203657755U (zh) | 非接触式间隙、断差光学测量设备 | |
| CN104534995B (zh) | 光学测量设备 | |
| CN103846529B (zh) | 用于集装箱前墙板的自动焊接装置及焊接系统 | |
| KR101373001B1 (ko) | 기판 상면 검출 방법 및 스크라이브 장치 | |
| CN107941820B (zh) | 一种面板缺陷检查装置 | |
| CN104677912B (zh) | 产品外观检测系统及检测方法 | |
| CN103091521A (zh) | 一种探针和引脚自动对准的方法及其探针台测试系统 | |
| CN110057755A (zh) | 一种复合光学检测仪 | |
| US20170003113A1 (en) | Coordinate measuring machine having a camera | |
| CN110581096B (zh) | 一种led芯片光电性与外观一体化检测设备 | |
| CN108871234A (zh) | 非接触式三维自动化扫描测试系统 | |
| CN108534994A (zh) | 一种大口径均匀光源的均匀性测试装置及方法 | |
| CN110836641A (zh) | 一种零件异形表面微结构三维尺寸的检测方法及检测设备 | |
| CN115493523B (zh) | 一种晶圆表面三维形貌高速测量方法及装置 | |
| CN105698679A (zh) | 适用于超精密机床加工零件的非接触在位检测装置及方法 | |
| CN209085558U (zh) | 检测设备 | |
| CN108278972A (zh) | 一种回转件测量装置以及其后台控制方法 | |
| CN106292197B (zh) | 一种基于图像处理技术的调焦调平装置及方法 | |
| CN105652187B (zh) | 一种主板测试机 | |
| CN211402190U (zh) | 一种自动化缺陷检测设备 | |
| CN117110290A (zh) | 一种明暗场和白光干涉的缺陷检测系统和检测方法 | |
| CN208012837U (zh) | 一种大口径均匀光源的均匀性测试装置 | |
| CN110849910A (zh) | 一种自动化缺陷检测设备 | |
| CN113960074B (zh) | 检测定位结构、方法及汽车零部件x射线检测设备、方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination |