CN110052134A - 一种废气处理设备系统负压的调节系统 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种废气处理设备系统负压的调节系统，涉及半导体行业废气处理技术领域，包括螺钉连接的顶盖和外壳，所述顶盖上开有通孔并于顶盖上端安装电机，所述电机的输出轴穿过通孔并于末端套接扇身,本发明结构简单，操作便捷，通过在洗涤塔与厂务负压系统之间连接本装置，解决了厂务系统提供的系统负压压力不够导致气体流动性差的缺陷，为废气处理设备提供了系统负压调节的功能，同时，通过在该装置中设置清洁装置，实现了对扇叶的清洁，满足了维护方便的需求，实用性高，且能监测废气处理设备的系统负压值，使用变频器对负压调节装置的电机进行变频调节控制，满足处理系统对系统负压的压力要求，减轻厂务负压风机的工作压力。

Description

一种废气处理设备系统负压的调节系统
技术领域
本发明涉及半导体行业废气处理技术领域，具体涉及一种废气处理设备系统负压的调节系统。
背景技术
半导体废气处理设备主要由制程废气反应装置和洗涤塔系统组成，制程废气从废气处理设备的进气口流入，经过处理后的气体从洗涤塔流出到厂务中心处理系统，目前半导体废气处理设备的系统负压全部由厂务提供，如果厂务系统提供的系统负压压力不够，会造成处理设备内的气体流动不畅通甚至系统会形成正压，阻止制程废气流入设备腔体内部，影响设备的正常运行和生产进度,如果厂务系统提供的系统负压过大，会造成气体流动过快，影响设备的处理效率。
因此，如何调节系统负压成为急需要解决的问题，同时由于废气处理设备需要定期维护，因此需要一款既能对废气处理设备系统负压进行调节与监测，又能满足维护方便、减轻厂务系统工作压力的系统。
发明内容
本发明的目的在于提供一种废气处理设备系统负压的调节系统，以解决现有技术中缺少废气处理设备系统负压调节和监测的缺陷，同时能满足维护方便、减轻厂务系统工作压力的需求。
一种废气处理设备系统负压的调节系统，包括水箱、洗涤塔、负压调节装置，所述水箱上端通过法兰连接洗涤塔，所述洗涤塔上端通过法兰连接负压调节装置，所述负压调节装置通过法兰连接厂务中心处理系统的排风管，所述负压调节装置包括螺钉连接的顶盖和外壳，所述顶盖上开有通孔并于顶盖上端安装电机，所述电机的输出轴穿过通孔并于末端套接扇身，所述扇身上设有数个沿其轴线呈环形排列的扇叶，所述外壳底端设有安装管道且其侧面设有排气管道，所述外壳内还设有方便清洁扇叶的清洁装置。
优选的，所述外壳侧面开有滑槽，所述外壳的内侧设有限位环，所述清洁装置包括沿限位环内转动且与其同轴设置的圆环，所述圆环与外壳内侧间隙配合，所述圆环外侧安装有沿滑槽内滑动的滑块，所述圆环内侧铰接三个结构相同且沿其轴线呈环形排列的弧形杆，所述弧形杆上开有弧形槽，所述弧形槽内设有限位杆，所述限位杆的另一端安装于顶盖下端，所述弧形杆下端设有数组软毛刷。
优选的，所述滑块外侧安装手柄。
优选的，所述安装管道外设有密封垫。
优选的，所述扇身下方还设有防护网，所述防护网安装于外壳侧壁上。
优选的，所述洗涤塔内还安装有负压传感器。
优选的，所述扇身下方还设有防护网，所述防护网安装于外壳侧壁上。
本发明的优点在于：本发明结构简单，操作便捷，通过在洗涤塔与厂务负压系统之间连接本装置，解决了厂务系统提供的系统负压压力不够导致气体流动性差的缺陷，为废气处理设备提供了系统负压调节的功能，同时，通过在该装置中设置清洁装置，实现了对扇叶的清洁，满足了维护方便的需求，实用性高，且能监测废气处理设备的系统负压值，使用变频器对负压调节装置的电机进行变频调节控制，满足处理系统对系统负压的压力要求，减轻厂务负压风机的工作压力。
附图说明
图1为本发明的示意图。
图2、图3为本发明中负压调节装置不同视角的结构示意图。
图4为本发明中负压调节装置的内部结构示意图。
图5为本发明中清洁装置的结构示意图。
图6为本发明中防护网的结构示意图。
图7为本发明中涉及控制元件的的控制流程示意图。
其中，1-顶盖，2-外壳，3-电机，4-扇身，5-扇叶，6-安装管道，7-排气管道，8-清洁装置，9-滑槽，10-限位环，11-圆环，12-滑块，13-弧形杆，14-弧形槽，15-限位杆，16-软毛刷，17-手柄，18-密封垫，19-防护网，20-水箱，21-洗涤塔，22-负压调节装置，23-负压传感器。
具体实施方式
为使本发明实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本发明。
如图1至图7所示，一种废气处理设备系统负压的调节系统，包括水箱20、洗涤塔21、负压调节装置22，所述水箱20上端通过法兰连接洗涤塔21，所述洗涤塔21上端通过法兰连接负压调节装置22，所述负压调节装置22通过法兰连接厂务中心处理系统的排风管，所述负压调节装置22包括螺钉连接的顶盖1和外壳2，所述顶盖1上开有通孔并于顶盖1上端安装电机3，所述电机3的输出轴穿过通孔并于末端套接扇身4，所述扇身4上设有数个沿其轴线呈环形排列的扇叶5，所述外壳2底端设有安装管道6且其侧面设有排气管道7，所述外壳2内还设有方便清洁扇叶5的清洁装置8。
在本实施例中，所述外壳2侧面开有滑槽9，所述外壳2的内侧设有限位环10，所述清洁装置8包括沿限位环10内转动且与其同轴设置的圆环11，所述圆环11与外壳2内侧间隙配合，所述圆环11外侧安装有沿滑槽9内滑动的滑块12，所述圆环11内侧铰接三个结构相同且沿其轴线呈环形排列的弧形杆13，所述弧形杆13上开有弧形槽14，所述弧形槽14内设有限位杆15，所述限位杆15的另一端安装于顶盖1下端，所述弧形杆12下端设有数组软毛刷16。所述滑块12外侧安装手柄17。
此外，所述安装管道6外设有密封垫18。所述扇身4下方还设有防护网19，所述防护网19安装于外壳2侧壁上。所述洗涤塔21内还安装有负压传感器23，所述负压传感器23电性连接车间安装的控制器，车间内还安装有变频器，变频器电性连接控制器和电机3，控制器通过负压传感器23采集的负压信号对变频器进行控制调节，从而调节电机3的转速，调节扇身4的转速，对系统负压进行精准控制，达到废气处理系统所需要的负压环境。
工作过程及原理：使用本发明时，将本装置的安装管道6安装在洗涤塔顶端并通过法兰连接，排气管道7通过法兰连接厂务中心处理系统的排风口，密封垫18加强密封，电机3电性连接车间电源，启动电机3，扇身4转动，相当于是在洗涤塔与厂务负压系统之间连接一个负压风机，使得系统内部处于负压状态，保证气体的流动性，每次对洗涤塔进行维护时，顺便对本装置进行维护，主要是清洁扇叶5上的粉尘，维护人员不需要打开顶盖1和外壳2，直接用手抓住手柄17，推动手柄17，使得滑块12沿滑槽9内运动，同时带动圆环11在限位环10内转动，且弧形杆13由于限位杆15的限位作用，使得弧形杆13发生转动同时软毛刷16刷扫扇叶5的上下两面，实现清洁扇叶5的目的。
如果厂务系统提供的系统负压压力不够，控制器通过负压传感器23采集的负压信号对变频器进行控制调节，从而调节电机3的转速，对系统负压进行精准控制，达到废气处理系统所需要的负压环境。
基于上述，本发明结构简单，操作便捷，通过在洗涤塔21与厂务负压系统之间连接本装置，解决了厂务系统提供的系统负压压力不够导致气体流动性差的缺陷，为废气处理设备提供了系统负压调节的功能，同时，通过在该装置中设置清洁装置8，实现了对扇叶5的清洁，满足了维护方便的需求，实用性高，且能监测废气处理设备的系统负压值，使用变频器对负压调节装置22的电机3进行变频调节控制，满足处理系统对系统负压的压力要求，减轻厂务负压风机的工作压力。
由技术常识可知，本发明可以通过其它的不脱离其精神实质或必要特征的实施方案来实现。因此，上述公开的实施方案，就各方面而言，都只是举例说明，并不是仅有的。所有在本发明范围内或在等同于本发明的范围内的改变均被本发明包含。

Claims (6)

1.一种废气处理设备系统负压的调节系统，其特征在于，包括水箱(20)、洗涤塔(21)、负压调节装置(22)，所述水箱(20)上端通过法兰连接洗涤塔(21)，所述洗涤塔(21)上端通过法兰连接负压调节装置(22)，所述负压调节装置(22)通过法兰连接厂务中心处理系统的排风管，所述负压调节装置(22)包括螺钉连接的顶盖(1)和外壳(2)，所述顶盖(1)上开有通孔并于顶盖(1)上端安装电机(3)，所述电机(3)的输出轴穿过通孔并于末端套接扇身(4)，所述扇身(4)上设有数个沿其轴线呈环形排列的扇叶(5)，所述外壳(2)底端设有安装管道(6)且其侧面设有排气管道(7)，所述外壳(2)内还设有方便清洁扇叶(5)的清洁装置(8)。
2.根据权利要求1所述的一种废气处理设备系统负压的调节系统，其特征在于：所述外壳(2)侧面开有滑槽(9)，所述外壳(2)的内侧设有限位环(10)，所述清洁装置(8)包括沿限位环(10)内转动且与其同轴设置的圆环(11)，所述圆环(11)与外壳(2)内侧间隙配合，所述圆环(11)外侧安装有沿滑槽(9)内滑动的滑块(12)，所述圆环(11)内侧铰接三个结构相同且沿其轴线呈环形排列的弧形杆(13)，所述弧形杆(13)上开有弧形槽(14)，所述弧形槽(14)内设有限位杆(15)，所述限位杆(15)的另一端安装于顶盖(1)下端，所述弧形杆(12)下端设有数组软毛刷(16)。
3.根据权利要求2所述的一种废气处理设备系统负压的调节系统，其特征在于：所述滑块(12)外侧安装手柄(17)。
4.根据权利要求3所述的一种废气处理设备系统负压的调节系统，其特征在于：所述安装管道(6)外设有密封垫(18)。
5.根据权利要求4所述的一种废气处理设备系统负压的调节系统，其特征在于：所述扇身(4)下方还设有防护网(19)，所述防护网(19)安装于外壳(2)侧壁上。
6.根据权利要求5所述的一种废气处理设备系统负压的调节系统，其特征在于：所述洗涤塔(21)内还安装有负压传感器(23)。
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