CN110031027B - 一种具有振动隔离嵌套结构的检测装置 - Google Patents

一种具有振动隔离嵌套结构的检测装置 Download PDF

Info

Publication number
CN110031027B
CN110031027B CN201910224154.1A CN201910224154A CN110031027B CN 110031027 B CN110031027 B CN 110031027B CN 201910224154 A CN201910224154 A CN 201910224154A CN 110031027 B CN110031027 B CN 110031027B
Authority
CN
China
Prior art keywords
bath unit
gas bath
control module
layer gas
upper layer
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201910224154.1A
Other languages
English (en)
Other versions
CN110031027A (zh
Inventor
齐威
孟璐璐
宗明成
齐月静
李璟
王宇
卢增雄
杨光华
张清洋
苏佳妮
陈进新
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Institute of Microelectronics of CAS
Original Assignee
Institute of Microelectronics of CAS
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Institute of Microelectronics of CAS filed Critical Institute of Microelectronics of CAS
Priority to CN201910224154.1A priority Critical patent/CN110031027B/zh
Publication of CN110031027A publication Critical patent/CN110031027A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN110031027B publication Critical patent/CN110031027B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D11/00—Component parts of measuring arrangements not specially adapted for a specific variable
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Vibration Prevention Devices (AREA)

Abstract

本发明公开了一种具有振动隔离嵌套结构的检测装置，涉及光学性能参数检测技术领域，所述装置包括：微环境控制模块，所述微环境控制模块包括上层气浴单元和下层气浴单元，其中，所述上层气浴单元位于所述检测装置的上层，所述下层气浴单元位于所述上层气浴单元下方；带有隔振器的光学检测台架，所述带有隔振器的光学检测台架设置在所述上层气浴单元和所述下层气浴单元之间；位移台模块，所述位移台模块位于所述微环境控制模块下方，与所述微环境控制模块和所述带有隔振器的光学检测台架相互独立。达到了阻断微环境控制模块所产生的振动，实现检测环境的绝对安静，提高检测精度的技术效果。

Description

一种具有振动隔离嵌套结构的检测装置
技术领域
本发明涉及光学性能参数检测技术领域，尤其涉及一种具有振动隔离嵌套结构的检测装置。
背景技术
随着计算机技术的迅速发展、以及CCD、CMOS等半导体光电转换传感器和图像采集器件的广泛应用，精密光学测量步入基于图像分析和图像处理的阶段。预达到光学检测的高精度，检测系统除了必须工作于恒温、恒湿、恒压的环境外，还需要对振动进行隔离与控制，使检测环境达到一个绝对安静的等级。尤其对于有微环境控制模块的光学检测系统，会多出若干管道、线缆以及气浴单元，使系统更趋于复杂化，这些都会引入一定的振动。
但现有技术至少存在如下技术问题：
现有技术中的光学检测系统通常为振动敏感部件加装隔振器，但对管道和线缆并不做单独隔离，从而造成对检测精度带来很大影响的技术问题。
发明内容
本发明实施例提供了一种具有振动隔离嵌套结构的检测装置，用以解决现有技术中的光学检测系统通常为振动敏感部件加装隔振器，但对管道和线缆并不做单独隔离，从而造成对检测精度带来很大影响的技术问题。达到了阻断微环境控制模块所产生的振动，实现检测环境的绝对安静，提高检测精度的技术效果。
为了解决上述问题，本发明实施例提供了一种具有振动隔离嵌套结构的检测装置，所述装置包括：微环境控制模块，所述微环境控制模块包括上层气浴单元和下层气浴单元，其中，所述上层气浴单元位于所述检测装置的上层，所述下层气浴单元位于所述上层气浴单元下方；带有隔振器的光学检测台架，所述带有隔振器的光学检测台架设置在所述上层气浴单元和所述下层气浴单元之间；位移台模块，所述位移台模块位于所述微环境控制模块下方，与所述微环境控制模块和所述带有隔振器的光学检测台架相互独立。
优选的，所述带有隔振器的光学检测台架包括：基板；隔振器单元，所述隔振器单元包括四个隔振器，分别位于所述基板下表面的四角处，隔离地面传到光学检测台架上的振动；光学部件，所述光学部件设置在所述基板的中心位置。
优选的，所述带有隔振器的光学检测台架还包括：法兰，所述法兰设置在所述基板与所述光学部件之间，将所述光学部件安装在所述基板上。
优选的，所述微环境控制模块还包括：分流单元，所述分流单元位于所述上层气浴单元之上；下层托架，所述下层托架通过钢管与所述分流单元连接并导通气流，连通所述分流单元与所述下层气浴单元，所述下层托架位于所述下层气浴单元之下，对所述下层气浴单元进行承托。
优选的，所述下层气浴单元的中心位置具有一通孔，且所述光学部件能够置于所述通孔中。
优选的，所述微环境控制模块还包括：微环境控制模块框架，所述微环境控制模块框架的一端与所述上层气浴单元两侧连接，对所述微环境控制模块进行支撑，架设于所述光学检测台架和所述位移台模块之上。
优选的，所述位移台模块设置在四个所述隔振器之间。
本发明实施例中的上述一个或多个技术方案，至少具有如下一种或多种技术效果：
本发明实施例提供了一种具有振动隔离嵌套结构的检测装置，所述装置包括：微环境控制模块，所述微环境控制模块包括上层气浴单元和下层气浴单元，其中，所述上层气浴单元位于所述检测装置的上层，所述下层气浴单元位于所述上层气浴单元下方；带有隔振器的光学检测台架，所述带有隔振器的光学检测台架设置在所述上层气浴单元和所述下层气浴单元之间；位移台模块，所述位移台模块位于所述微环境控制模块下方，与所述微环境控制模块和所述带有隔振器的光学检测台架相互独立。通过所述微环境控制模块与所述带有隔振器的光学检验台架两者采用互相穿插与包络的方式组合，且两者相对独立，进而解决了现有技术中的光学检测系统通常为振动敏感部件加装隔振器，但对管道和线缆并不做单独隔离，从而造成对检测精度带来很大影响的技术问题，达到了阻断微环境控制模块所产生的振动，实现检测环境的绝对安静，提高检测精度的技术效果。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本发明实施例中提供的一种具有振动隔离嵌套结构的检测装置的结构示意图；
图2为本发明实施例中微环境控制模块的结构示意图；
图3为本发明实施例中带有隔振器的光学检测台架的结构示意图；
图4为本发明实施例中上层气浴单元的底部示意图；
图5为本发明实施例中上层气浴单元的顶部示意图；
图6为本发明实施例中下层气浴单元的底部示意图；
图7为本发明实施例中微环境控制模块的钢管示意图。
附图标记：微环境控制模块框架1，分流单元2，上层气浴单元3，钢管4，下层气浴单元5，下层托架6，基板7，法兰8，光学部件9，隔振器10，位移台模块11，通孔12。
具体实施方式
本发明实施例提供了一种具有振动隔离嵌套结构的检测装置，用以解决现有技术中的光学检测系统通常为振动敏感部件加装隔振器，但对管道和线缆并不做单独隔离，从而造成对检测精度带来很大影响的技术问题。
本发明实施例中的技术方案，总体结构如下：微环境控制模块，所述微环境控制模块包括上层气浴单元和下层气浴单元，其中，所述上层气浴单元位于所述检测装置的上层，所述下层气浴单元位于所述上层气浴单元下方；带有隔振器的光学检测台架，所述带有隔振器的光学检测台架设置在所述上层气浴单元和所述下层气浴单元之间；位移台模块，所述位移台模块位于所述微环境控制模块下方，与所述微环境控制模块和所述带有隔振器的光学检测台架相互独立。通过所述微环境控制模块与所述带有隔振器的光学检验台架两者采用互相穿插与包络的方式组合，且两者相对独立，进而达到了阻断微环境控制模块所产生的振动，实现检测环境的绝对安静，提高检测精度的技术效果。
为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
实施例一
图1为本发明实施中一种具有振动隔离嵌套结构的检测装置的结构示意图，本发明实施例提供了一种具有振动隔离嵌套结构的检测装置，所述装置包括：
微环境控制模块，所述微环境控制模块包括上层气浴单元3和下层气浴单元5，其中，所述上层气浴单元3位于所述检测装置的上层，所述下层气浴单元5位于所述上层气浴单元3下方；
带有隔振器10的光学检测台架，所述带有隔振器10的光学检测台架设置在所述上层气浴单元3和所述下层气浴单元5之间；
位移台模块11，所述位移台模块11位于所述微环境控制模块下方，与所述微环境控制模块和所述带有隔振器10的光学检测台架相互独立。
具体而言，如图1所示，本发明实施例中的一种具有振动隔离嵌套结构的检测装置适用于带有微环境控制系统的检测台架系统构建，但也不局限于精密光学检测系统，同样也适用于其他有振动隔离要求的系统或设备，所述装置包括微环境控制模块、带有隔振器10的光学检测台架和位移台模块11。其中，所述微环境控制模块位于所述装置的最外层，如图2所示，所述微环境控制模块包括上层气浴单元3和下层气浴单元5，如图4和图5所示，所述上层气浴单元3包括四块相同大小的气浴块，位于所述检测装置的上层，用来为所述检测装置的上部空间进行送气；所述下层气浴单元5同样也包括四块相同大小的气浴块，位于所述上层气浴单元3下方，用于为所述检测装置的下部空间进行送气；所述带有隔振器10的光学检测台架位于所述装置的最内层，是所述装置的主要功能结构，位于所述上层气浴单元3和所述下层气浴单元5之间，也就是说，位于最外层的所述微环境控制模块与所述带有隔振器10的光学检测台架通过相互穿插和包络的方式组合在一起，且两者又相对独立，从而阻断了所述微环境控制模块在运行时所产生的振动，即就是对所述微环境控制模块所带来的振动加以隔离控制，实现了检测环境的绝对安静，大大降低了振动对检测精度造成的影响，进而达到了提高检测精度的技术效果。同时，所述微环境控制模块与所述带有隔振器10的光学检测台架的穿插与包络的组合方式，使得所述检测装置在结构上更紧凑，也节省了空间。另外，所述位移台模块11位于所述检测装置的最下层，即设置在所述微环境控制模块的下方，与所述微环境控制模块和所述带有隔振器10的光学检测台架相互独立，自成一体。通过所述位移台模块11可实现水平方向上的移动，从而实现不同视场的光学检测。
进一步的，所述带有隔振器10的光学检测台架包括：基板7；隔振器10单元，所述隔振器10单元包括四个隔振器10，分别位于所述基板7下表面的四角处，隔离地面传到光学检测台架上的振动；光学部件9，所述光学部件9设置在所述基板7的中心位置。
进一步的，所述带有隔振器10的光学检测台架还包括：法兰8，所述法兰8设置在所述基板7与所述光学部件9之间，将所述光学部件9安装在所述基板7上。
进一步的，所述位移台模块11设置在四个所述隔振器10之间。
具体而言，如图3所示，所述基板7位于所述带有隔振器10的光学检测台架的顶部，在所述基板7下表面的四角处分别设置有四个所述隔振器10，即四个所述隔振器10设置在地面与所述基板7之间，支撑起所述基板7，进而达到隔离地面传递到所述带有隔振器10的光学检测台架上的振动。在所述基板7的中心装置安装有所述法兰8，在所述法兰8上安装有所述光学部件9，其中，所述法兰8起到转换接口的作用，以适应不同规格的光学部件9。另外，所述位移台模块11设置在四个所述隔振器10之间，且所述位移台模块11与四个所述隔振器10不相接触，从而保证了所述位移台模块11与所述微环境控制模块和所述带有隔振器10的光学检测台架也互不相连，自成一体，进而实现水平方向的移动，实现不同视场的光学检测。
进一步的，所述微环境控制模块还包括：分流单元2，所述分流单元2位于所述上层气浴单元3之上；下层托架6，所述下层托架6通过钢管4与所述分流单元2连接并导通气流，连通所述分流单元2与所述下层气浴单元5，所述下层托架6位于所述下层气浴单元5之下，对所述下层气浴单元5进行承托。
具体而言，所述分流单元2位于所述微环境控制模块的最顶层，在所述分流单元2的下方紧连有所述上层气浴单元3，且在所述分流单元2的四角处连接有四根钢管4，通过所述四根钢管4吊装所述下层托架6，其中，所述下层气浴单元5设置在所述下层托架6内侧，即所述下层托架6位于所述下层气浴单元5下方，对所述下层气浴单元5进行承托。如图7所示，所述四根钢管4为中空钢管，通过所述四根钢管4使得所述分流单元2与所述下层气浴单元5连通，并导通气流，既达到了输送新风的目的，也实现了结构上的吊装承重，通风管道与结构承载二者融合为一，除去了管道盘绕的复杂性，同时也节省了用材，使得所述检测装置在结构上更为简洁。
进一步的，所述下层气浴单元5的中心位置具有一通孔12，且所述光学部件9能够置于所述通孔12中。
具体而言，如图6所示，所述下层气浴单元5中心位置的通孔12与所述基板7中心处的所述法兰8相匹配，以便安装在所述法兰8上的所述光学部件9能够置于所述通孔12中，从而进行光学检测。
进一步的，所述微环境控制模块还包括：微环境控制模块框架1，所述微环境控制模块框架1的一端与所述上层气浴单元3两侧连接，对所述微环境控制模块进行支撑，架设于所述光学检测台架和所述位移台模块11之上。
具体而言，所述微环境控制模块框架1与所述上层气浴单元3两侧连接在一起，为所述微环境控制模块的支撑结构，包络在所述带有隔振器10的光学检测台架和所述位移台模块11的外面。
本发明实施例中提供的技术方案，至少具有如下技术效果或优点：
本发明实施例提供了一种具有振动隔离嵌套结构的检测装置，所述装置包括：微环境控制模块，所述微环境控制模块包括上层气浴单元和下层气浴单元，其中，所述上层气浴单元位于所述检测装置的上层，所述下层气浴单元位于所述上层气浴单元下方；带有隔振器的光学检测台架，所述带有隔振器的光学检测台架设置在所述上层气浴单元和所述下层气浴单元之间；位移台模块，所述位移台模块位于所述微环境控制模块下方，与所述微环境控制模块和所述带有隔振器的光学检测台架相互独立。通过所述微环境控制模块与所述带有隔振器的光学检验台架两者采用互相穿插与包络的方式组合，且两者相对独立，进而解决了现有技术中的光学检测系统通常为振动敏感部件加装隔振器，但对管道和线缆并不做单独隔离，从而造成对检测精度带来很大影响的技术问题，达到了阻断微环境控制模块所产生的振动，实现检测环境的绝对安静，提高检测精度的技术效果。
尽管已描述了本发明的优选实施例，但本领域内的技术人员一旦得知了基本创造性概念，则可对这些实施例做出另外的变更和修改。所以，所附权利要求意欲解释为包括优选实施例以及落入本发明范围的所有变更和修改。
显然，本领域的技术人员可以对本发明实施例进行各种改动和变型而不脱离本发明实施例的精神和范围。这样，倘若本发明实施例的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。

Claims (6)

1.一种具有振动隔离嵌套结构的检测装置，其特征在于，所述检测装置包括：
微环境控制模块，所述微环境控制模块包括上层气浴单元和下层气浴单元，其中，所述上层气浴单元位于所述检测装置的上层，用于为所述检测装置的上部空间送气，所述下层气浴单元位于所述上层气浴单元下方，用于为所述检测装置的下部空间送气；
带有隔振器的光学检测台架，所述带有隔振器的光学检测台架设置在所述上层气浴单元和所述下层气浴单元之间；
位移台模块，所述位移台模块位于所述微环境控制模块下方，与所述微环境控制模块和所述带有隔振器的光学检测台架相互独立；
其中，所述带有隔振器的光学检测台架包括：
基板；
隔振器单元，所述隔振器单元包括四个隔振器，分别位于所述基板下表面的四角处，隔离地面传到光学检测台架上的振动；
光学部件，所述光学部件设置在所述基板的中心位置。
2.如权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述带有隔振器的光学检测台架还包括：
法兰，所述法兰设置在所述基板与所述光学部件之间，将所述光学部件安装在所述基板上。
3.如权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述微环境控制模块还包括：
分流单元，所述分流单元位于所述上层气浴单元之上；
下层托架，所述下层托架通过钢管与所述分流单元连接并导通气流，连通所述分流单元与所述下层气浴单元，所述下层托架位于所述下层气浴单元之下，对所述下层气浴单元进行承托。
4.如权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述下层气浴单元的中心位置具有一通孔，且所述光学部件能够置于所述通孔中。
5.如权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述微环境控制模块还包括：
微环境控制模块框架，所述微环境控制模块框架的一端与所述上层气浴单元两侧连接，对所述微环境控制模块进行支撑，架设于所述光学检测台架和所述位移台模块之上。
6.如权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述位移台模块设置在四个所述隔振器之间。
CN201910224154.1A 2019-03-22 2019-03-22 一种具有振动隔离嵌套结构的检测装置 Active CN110031027B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201910224154.1A CN110031027B (zh) 2019-03-22 2019-03-22 一种具有振动隔离嵌套结构的检测装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201910224154.1A CN110031027B (zh) 2019-03-22 2019-03-22 一种具有振动隔离嵌套结构的检测装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN110031027A CN110031027A (zh) 2019-07-19
CN110031027B true CN110031027B (zh) 2021-07-13

Family

ID=67236498

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201910224154.1A Active CN110031027B (zh) 2019-03-22 2019-03-22 一种具有振动隔离嵌套结构的检测装置

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN110031027B (zh)

Citations (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4750405A (en) * 1983-08-30 1988-06-14 The Perkin-Elmer Corporation Vibration and shock isolation apparatus
CN101679019A (zh) * 2007-06-15 2010-03-24 罗伯特·博世有限公司 集成有振动隔离装置的预成型壳体
CN102490020A (zh) * 2011-11-18 2012-06-13 江苏大学 一种简易精密位移台
CN102621064A (zh) * 2012-03-16 2012-08-01 无锡正慈机电科技有限公司 一种减振平台及基于该减振平台的光学检测系统
CN102943839A (zh) * 2012-10-24 2013-02-27 华中科技大学 一种精密定位隔振平台
JP2013057670A (ja) * 2005-03-30 2013-03-28 Nikon Corp 位置検出方法、及び位置検出装置
CN103940589A (zh) * 2014-03-25 2014-07-23 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种真空容器内光学检测架的隔振机构
CN104267756A (zh) * 2014-09-19 2015-01-07 中国电子工程设计院 一种水平超长精密装备微振动控制系统
CN107014589A (zh) * 2017-03-01 2017-08-04 中国科学院光电研究院 一种光学测量台架装置
CN107664263A (zh) * 2016-07-29 2018-02-06 上海微电子装备（集团）股份有限公司 一种气浴装置及控制方法和应用
CN207894592U (zh) * 2018-01-19 2018-09-21 中国科学院光电研究院 用于光学元件性能检测的试验台

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB2394411B (en) * 2002-10-25 2004-12-15 Melles Griot Ltd Optical tables

Patent Citations (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4750405A (en) * 1983-08-30 1988-06-14 The Perkin-Elmer Corporation Vibration and shock isolation apparatus
JP2013057670A (ja) * 2005-03-30 2013-03-28 Nikon Corp 位置検出方法、及び位置検出装置
CN101679019A (zh) * 2007-06-15 2010-03-24 罗伯特·博世有限公司 集成有振动隔离装置的预成型壳体
CN102490020A (zh) * 2011-11-18 2012-06-13 江苏大学 一种简易精密位移台
CN102621064A (zh) * 2012-03-16 2012-08-01 无锡正慈机电科技有限公司 一种减振平台及基于该减振平台的光学检测系统
CN102943839A (zh) * 2012-10-24 2013-02-27 华中科技大学 一种精密定位隔振平台
CN103940589A (zh) * 2014-03-25 2014-07-23 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种真空容器内光学检测架的隔振机构
CN104267756A (zh) * 2014-09-19 2015-01-07 中国电子工程设计院 一种水平超长精密装备微振动控制系统
CN107664263A (zh) * 2016-07-29 2018-02-06 上海微电子装备（集团）股份有限公司 一种气浴装置及控制方法和应用
CN107014589A (zh) * 2017-03-01 2017-08-04 中国科学院光电研究院 一种光学测量台架装置
CN207894592U (zh) * 2018-01-19 2018-09-21 中国科学院光电研究院 用于光学元件性能检测的试验台

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
应用于光学测量仪器的高精度气浴恒温箱设计;王喆等;《河南科技学院学报（自然科学版）》;20180630;第46卷(第3期);第72-78页 *

Also Published As

Publication number Publication date
CN110031027A (zh) 2019-07-19

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2019175195A3 (de) Vorrichtungen und anlagen zum automatisierten lagern und kommissionieren von gütern und verfahren zum betrieb solcher vorrichtungen und anlagen
KR20110107274A (ko) 피처리체의 지지기구, 지지 방법 및 그것을 구비하는 반송 시스템
JPH07228345A (ja) トンネル搬送装置
CN110031027B (zh) 一种具有振动隔离嵌套结构的检测装置
US11631603B2 (en) Storage shelf, and method for installing storage shelf
TW202111835A (zh) 多級、多區域基板定位系統
US20070186699A1 (en) System for inspecting a disk-shaped object
US6665996B2 (en) Raised floor system equipped with view panels
KR102589653B1 (ko) 진공 펌핑 및/또는 저감 시스템을 위한 모듈
US20070207016A1 (en) Stocker and floor system
US20070082588A1 (en) Methods and apparatus for coupling semiconductor device manufacturing equipment to the facilities of a manufacturing location
WO2023063745A1 (ko) 단적재 리프트 장치
KR100869921B1 (ko) 스테이지용 반력처리장치
JP2008120500A (ja) 基板組立装置の搬送治具と搬送方法
JP2011168406A (ja) エレベータ装置
CN102110631B (zh) 精密工件台及其管线设施驱动装置
CN207593344U (zh) 一种数控机床电机用安装结构
KR100706870B1 (ko) 반도체, 엘시디 공장 등의 미진동 제어에 유리한, 현수식복층 클린룸 구조
TW201215474A (en) Positioning stage apparatus with planar motion
KR20030038474A (ko) 가변압력챔버 내에 반도체 웨이퍼의 움직임 억제 시스템및 방법
JPH05166917A (ja) バッファ・カセット
JP3166724U (ja) 水平調整及び検知並びに荷重表示する輸送設備
WO2024117283A1 (ko) Zt 스테이지
US6349513B1 (en) Raised floor system formed of octagonal panels
CN216520268U (zh) 一种多管道固定用的门型抗震支吊架

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant