CN110014385A - 真空吸附方法以及真空吸附装置 - Google Patents
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Abstract
一种真空吸附方法以及真空吸附装置，在台(10)内设置中空部(12a)，朝向上表面形成多个贯穿孔(14)。在中空部经由电磁阀(23)对真空泵(24)和加压泵(25)进行连接。而且，将柔性片材(31)输送到台(10)，使真空泵(24)进行动作而变为负压。然后，暂时使用加压泵(25)使中空部内的压力上升，如果达到即将成为大气压之前的规定值，则再次抽吸而使柔性片材(31)吸附于台(10)上。据此，在真空吸附装置中当吸附柔性片材时不会产生褶皱。
Description
技术领域
本发明涉及一种用于划线装置或断开装置等加工柔性片材的装置的、将柔性片材吸附在台上的真空吸附方法以及真空吸附装置。
背景技术
在将脆性材料基板裁剪成规定的形状时使用真空吸附装置。例如在专利文献1中示出了如下装置：在对基板进行划线的划线装置以及断开装置中，将基板吸附在台上，并且在将基板固定在台上之后，使划线轮滚动放进行划线或按压断开杆进行断开。
现有技术文献
专利文献1：WO2004/073946公报
发明内容
发明要解决的技术问题
在使用上述真空吸附装置来加工柔性片材的情况下，当载置于台上并从台以真空的方式吸附柔性片材时，有时由于柔性片材较薄且柔软而会变形。在例如图1的(a)所示那样将柔性片材102载置于台101上的情况下，如果其中央部分与台之间含有空气，则一旦从设于台的多个贯穿孔以负压的方式抽吸，就会存在以下问题：如图1的(b)所示那样有时在柔性片材102的局部产生线状或圆形状的褶皱103。
本发明是着眼于上述现有的真空吸附装置的问题而做出的，其目的在于，即使当加工柔性片材时吸附柔性片材也能够不产生褶皱等，并在台上以真空吸附的方式保持。
解决技术问题的技术方案
为了解决该技术问题，本发明的真空吸附装置具备：台，其具有在内部沿着面而成的中空部，并朝向上表面形成多个贯穿孔，用于载置柔性片材；真空泵，其抽吸空气；加压泵，其加压输送空气；管道，其将所述台内的中空部与所述真空泵以及所述加压泵进行连结；电磁阀，其将所述真空泵以及所述加压泵中的任一方与所述管道进行连结；压力传感器，其检测所述台的中空部内的压力；以及控制器，当所述台上载置有所述柔性片材时，控制器控制为基于所述压力传感器的压力来开闭所述电磁阀并将所述真空泵以及所述加压泵中的任一方与所述中空部连结。
为了解决该技术问题，本发明的真空吸附方法是采用了所述真空吸附装置的真空吸附方法，所述真空吸附方法包括以下步骤：当所述台上载置了柔性片材时将所述管道切换到真空泵一侧，通过驱动真空泵来使所述台的中空部的压力降低；当所述中空部内的压力达到了第一负压时将所述管道切换到所述加压泵一侧来使所述中空部内的压力上升；当所述中空部内的压力达到了第二负压时将所述管道切换到所述真空泵一侧来使所述中空部内的压力降低；以及当所述中空部内的压力达到了第三负压时以维持该第三负压的方式进行控制。
发明效果
根据具有上述技术特征的本发明，能够得到如下效果：输送来柔性片材之后，暂时进行抽吸，再恢复至接近大气压的值之后，再次进行抽吸，因此能够在台上平坦地维持柔性片材，保持没有褶皱。
附图说明
图1的(a)和(b)是示出在现有的真空吸附装置中空气进入柔性片材与台之间的状态以及褶皱产生的状态的图。
图2是示出本实施方式的真空吸附装置的概略图。
图3是示出柔性片材被输送到本实施方式的真空吸附装置的状态的图。
图4的(a)和(b)是示出在本实施方式的真空吸附装置中当输送来柔性片材之后，中空部内的压力的变化的曲线图。
附图标记说明：
10-台；11-第一子台；12-第二子台；12a-中空部；13-贯穿孔；14-图像传感器；21-管道；22-压力传感器；23-电磁阀；24-真空泵；25-加压泵；26-控制器；27-输送机构；31-柔性片材。
具体实施方式
关于本发明实施方式中的柔性片材的真空吸附装置，参照图2进行说明。图2是示出本实施方式中的真空吸附装置与其加工用的台的示意图。在该图中示出台10的截面构造。台10构成为包括第一子台11以及第二子台12。柔性片材是具有柔软性的片材，并且是当载置于台上时可能产生褶皱的片材。作为柔性片材，能够举例示出例如，聚酰亚胺树脂、聚酰胺树脂、PET等聚酯树脂；聚乙烯、聚丙烯等聚烯烃树脂；聚苯乙烯、聚氯乙烯等聚乙烯树脂等的树脂片材，并且还包括层叠有多个树脂片材的层叠片材。
第一子台11是固定于未图示的加工装置上的工作台的呈平板状的构件，并且相对于工作台装卸自如。第二子台12设为与第一子台相同形状地叠置在该第一子台之上。在第二子台12的下表面具有除了周边以外大部分的板厚较薄的凹部，通过叠加在第一子台11上而形成中空部12a。
从中空部12a朝向第二子台12的上表面形成多个贯穿孔13。贯穿孔13是用于吸附后述的柔性片材，并且是在柔性片材的载置范围内位于第二子台12的呈格子状的位置在垂直方向上贯穿的孔。需要说明的是，也可以用在第一子台11的上表面设置凹部作为中空部来代替在第二子台12的下表面设置凹部作为中空部12a。
另外，在真空吸附装置的上部设有用于对输送到台上来的柔性片材进行识别的图像传感器14。
在该台的中空部12a连结有如图所示那样的管道21，在管道21设有压力传感器22。压力传感器22是检测将大气压作为0的相对负压的压力传感器，并且在0.0kPa～-100kPa的范围能够测量压力。进一步地在该管道21的另一端如图所示那样设有电磁阀23，在电磁阀23设有真空泵24以及加压泵25。真空泵24降低中空部12a的压力，加压泵25使中空部12a的压力上升。另外，在控制器26上连接着图像传感器14、压力传感器22、电磁阀23以及输送机构27。电磁阀23基于来自控制器26的指示在真空泵24与加压泵25之间择一地进行切换。控制器26基于来自图像传感器14、压力传感器22的输出来控制电磁阀23、真空泵24以及加压泵25的动作，并将载置于台10上的柔性片材的褶皱去除而吸附于台10上。
接着说明有关将输送到台10的柔性片材进行吸附时的动作。如果在向台输送来柔性片材之前的期间使真空泵24动作，则虽然空气从贯穿孔13抽吸，但由于上部开放，所以台10的中空部12a成为接近大气压(0Pa)的状态。那么如果如图3所示那样柔性片材31被搬入到台10上，则图像传感器1检测到这一情况。然后由于如图4所示那样由真空泵24经由管道21抽吸空气，因此中空部12a变为负压，通过压力传感器22检测出的压力如图所示那样逐渐降低。然后达到规定的第一负压例如-30kPa时可以使用图像传感器14来确认褶皱的有无。此时如果没有褶皱的话，则能够直接进行加工。另一方面在产生褶皱的情况下，将电磁阀23切换至加压泵25一侧，使加压泵25进行动作。如此一来，空气从加压泵25被送入到台内的中空部12a，从而如图4所示那样中空部12a内的压力逐渐上升。
而且，如果压力上升而成为即将变为大气压之前的第二负压例如-1kPa，则由于抽吸柔性片材31的力几乎未残留，而且柔性片材31与台10之间未残留有空气，因此没有了褶皱。在此再次将电磁阀23切换到真空泵24一侧。如此一来，通过压力传感器22检测出的压力再次逐渐降低，但在此期间并不会发生褶皱。而且，如果达到能够将柔性片材31可靠地保持在台10上的第三负压例如-30kPa，则停止真空泵24，并维持该压力。然后维持该状态并对保持在台10上的柔性片材31进行激光加工等必要的处理。
需要说明的是，在该实施方式中，虽然柔性片材31被输送到台10之前已经使真空泵24进行动作，但也可以控制成：在柔性片材31被载置在台10上之后使真空泵24进行动作，使中空部12a变为负压。
另外，在该实施方式中，第一负压与第三负压为相同的值(-30kPa)，但它们未必需要为相同的值。例如第三负压可以为-50kPa。
工业上的可利用性
本发明的真空吸附装置能够应用于对柔性片材等的基板进行激光加工或进行划线、或者沿着划线进行切断加工的断开装置。
Claims (2)
1.一种真空吸附装置，具备：
台，其在内部具有沿着面而成的中空部，并朝向上表面形成多个贯穿孔，该台用于载置柔性片材；
真空泵，其抽吸空气；
加压泵，其加压输送空气；
管道，其将所述台内的中空部与所述真空泵以及所述加压泵进行连结；
电磁阀，其将所述真空泵以及所述加压泵中的任一方与所述管道进行连结；
压力传感器，其检测所述台的中空部内的压力；以及
控制器，当所述台上载置有所述柔性片材时，该控制器控制为基于所述压力传感器的压力来开闭所述电磁阀并将所述真空泵以及所述加压泵中的任一方与所述中空部连结。
2.一种真空吸附方法，其采用了权利要求1所述的真空吸附装置，
所述真空吸附方法包括以下步骤：
当所述台上载置了柔性片材时将所述管道切换到真空泵一侧，通过驱动所述真空泵来使所述台的中空部的压力降低；
当所述中空部内的压力达到了第一负压时将所述管道切换到所述加压泵一侧来使所述中空部内的压力上升；
当所述中空部内的压力达到了第二负压时将所述管道切换到所述真空泵一侧来使所述中空部内的压力降低；以及
当所述中空部内的压力达到了第三负压时以维持该第三负压的方式进行控制。
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