CN110005954A - 一种工作介质供应系统 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种工作介质供应系统，包括工作介质输入管路、工作介质输出管路，挤压气体输入管路，挤压气体输出管路和储存罐，工作介质输入管路的输出端伸入储存罐液面上方，储存罐顶端分别设置有挤压气体输入口和挤压气体输出口，工作介质输出管路的输入端伸入储存罐底部，挤压气体输入管路上依次设置有第三阀体，第四阀体，第五阀体，第一过滤器和第一压力传感器，挤压气体输入管路的输出端连接挤压气体输入口，挤压气体输出管路的输入端连接挤压气体输出口，挤压气体输出管路上设置有第七阀体；本发明工作介质供应系统实现工作介质较大流量的稳定输送，可以供应12‑18台机器的同时使用。
Description
技术领域
本发明涉及工作介质供应技术领域，尤其涉及一种工作介质供应系统。
背景技术
在半导体领域，为了输送和储存的方便，有些工作介质以凝固状态存在于钢瓶中，但是需要在气态或液态下使用。这种工作介质的供应方式如下：将装有凝固态工作介质的钢瓶外侧包裹加热管，通过加热管将钢瓶加热到35℃，钢瓶内的凝固态工作介质气化变为气体，在压力传感器的监控下，依次通过过滤器、调压阀，输送到工作管道内。在整个输送过程中，不仅需要对钢瓶进行加热，还需要对压力传感器、过滤器和调压阀进行加热，保证气体的供应通畅。
由于气化后的气体在输送过程中，吸收的热量有限，气化后的气体受温度影响会转化为液相与气相的混合相，混合相流通速度比较慢，输送的流量小，一般只能满足2-3台机器的使用，当需要满足10台机器的使用时，不得不采购更多的同类设备来实现，输送成本高，占用空间大。
发明内容
为了解决以凝固状态存在的工作介质通过加热的模式输送，流量小，无法满足多台机器同时使用的问题，本发明的目的是提供一种工作介质供应系统。
为了实现上述目的，本发明采用如下技术方案：一种工作介质供应系统，包括工作介质输入管路、工作介质输出管路，挤压气体输入管路，挤压气体输出管路和储存罐，所述工作介质输入管路的输入端连接钢瓶，所述钢瓶内储存有凝固状态的工作介质，所述钢瓶外侧缠绕有加热管，用于将钢瓶内凝固状态的工作介质转化为非凝固状态，所述工作介质输入管路上设置有第一阀体，用于控制工作介质输入管路的开与关，所述工作介质输入管路的输出端伸入储存罐液面上方，所述储存罐外侧缠绕有加热管，用于将储存罐内半凝固状态的工作介质完全转化为液态，所述储存罐顶端分别设置有挤压气体输入口和挤压气体输出口，所述工作介质输出管路的输入端伸入储存罐底部，所述工作介质输出管路上设置有第二阀体，用于控制工作介质输出管路的开与关，所述工作介质输出管路的输出端连接工作管路，所述挤压气体输入管路的输入端连接挤压气体的罐体，所述挤压气体输入管路上依次设置有第三阀体，第四阀体，第五阀体，第一过滤器和第一压力传感器，所述挤压气体输入管路的输出端连接挤压气体输入口，所述挤压气体输出管路的输入端连接挤压气体输出口，所述挤压气体输出管路上设置有第七阀体。
钢瓶外侧缠绕的加热管对钢瓶进行加热，使得钢瓶内凝固状态的工作介质转化为固态与液态混合的半凝固状态，通过工作介质输入管路进入储存罐，受重力作用，半凝固状态的工作介质沉于储存罐底部，储存罐外侧缠绕的加热管对储存罐进行加热，使得半凝固态的工作介质完全转化为液态，在无外界压力的作用下，液态工作介质无法进入工作介质输出管路中；挤压气体输入管路内通入挤压气体，挤压气体进入储存罐，将液态工作介质挤压至工作介质输出管路中。
采用上述方案，将凝固态的工作介质分两步进行加热，第一步将凝固状态转化为半凝固状态，输送至储存罐；第二步将半凝固状态完全转化为液态，位于储存罐中的液态工作介质通过挤压气体挤压的方式进入工作介质输出管路中。第一步为速度控制步骤，通过提高第一步的流动速度提高整个系统中工作介质的供应速度。工作介质的供应速度大大提高，可以供应12-18台机器的同时使用。
其中，所述工作介质供应系统还包括吹扫气体输入管路和吹扫气体输出管路，所述吹扫气体输入管路的输入端连接吹扫气体的罐体，所述吹扫气体输入管路上设置有第八阀体、第九阀体、第二过滤器、第十阀体，所述吹扫气体输入管路分别与工作介质输入管路和工作介质输出管路相连通，所述工作介质输入管路与吹扫气体输入管路的连接处设置有第十一阀体，所述第十一阀体外侧设置第十二阀体，吹扫气体自第十一阀体进入、第十二阀体流出，所述工作介质输出管路与吹扫气体输入管路的连接处设置有第十三阀体，所述第十三阀体的外侧设置有第十四阀体，吹扫气体自第十三阀体进入、第十四阀体流出。
吹扫气体输入管路中的吹扫气体分别进入工作介质输入管路和工作介质输出管路，对工作介质输入管路和工作介质输出管路进行吹扫，避免工作介质钢瓶在更换时空气、灰尘的进入影响正常使用。
其中，所述工作介质输入管路上设置有第二压力传感器，所述第二压力传感器位于第一阀体与储存罐之间，所述挤压气体输出管路上设置有第十五阀体，所述第十五阀体为电磁阀，所述第二压力传感器和第十五阀体分别连接控制器，第二压力传感器感应流入工作介质输入管路的气体压力大小，并将感应的压力大小传递给控制器，控制器控制第十五阀体的开通与闭合。
挤压气体输入管路中挤压气体的输入压力控制在30psi-40psi，当第二压力传感器感应到体系中气体的压力大于40psi时，第二压力传感器将感应的压力传递给控制器，控制器控制第十五阀体打开，经挤压气体输入管路进入的挤压气体通过第十五阀体从挤压气体输出管路流出；当第二压力传感器感应到体系中气体的压力小于40psi时，第二压力传感器将感应的压力传递给控制器，控制器控制第十五阀体关闭，使得储存罐内的气体不会超过40psi，确保储存罐的安全使用。
其中，所述第一阀体为隔膜阀，控制工作介质输入管路的开通与关断。
其中，所述第二阀体为隔膜阀，控制工作介质输出管路的开通与关断。
其中，所述第三阀体为隔膜阀，控制挤压气体输入管路的开通与关断，所述第四阀体为调压阀，所述第五阀体为单向阀。
其中，所述第七阀体为单向阀。
其中，所述第八阀体为隔膜阀，控制吹扫气体输入管路的开通与关断，所述第九阀体为调压阀，所述第十阀体为单向阀。
其中，所述第十一阀体，第十二阀体，第十三阀体，第十四阀体均为三通阀。
与现有技术相比，本发明实现的有益效果：本发明工作介质供应系统实现液态工作介质较大流量的稳定输送，可以供应12-18台机器的同时使用；本发明工作介质供应系统仅需对钢瓶和储存罐进行加热，不需要对工作介质输入管路和工作介质输出管路中的各个部件进行加热，降低了能耗和加热辅助设备，节省了生产成本。
附图说明
以下结合附图和具体实施方式来进一步详细说明本发明：
图1是本发明工作介质供应系统的结构示意图。
其中：工作介质输入管路1、工作介质输出管路2，挤压气体输入管路3，挤压气体输出管路4，储存罐5，第一阀体6，挤压气体输入口7，挤压气体输出口8，第二阀体9，第三阀体10，第四阀体11，第五阀体12，第一过滤器13，第一压力传感器14，第七阀体16，吹扫气体输入管路17，吹扫气体输出管路18，第八阀体19、第九阀体20、第二过滤器21、第十阀体22，第十一阀体23，第十二阀体24，第十三阀体25，第十四阀体27，第二压力传感器28，第十五阀体29。
具体实施方式
如图1，一种工作介质供应系统，包括工作介质输入管路1、工作介质输出管路2，挤压气体输入管路3，挤压气体输出管路4，储存罐5，吹扫气体输入管路17，吹扫气体输出管路18，工作介质输入管路1的输入端连接钢瓶，钢瓶内储存有凝固状态的工作介质，钢瓶外侧缠绕有加热管，用于将钢瓶内凝固状态的工作介质转化为非凝固状态，工作介质输入管路1上设置有第一阀体6，用于控制工作介质输入管路1的开与关，工作介质输入管路1的输出端伸入储存罐5液面上方，储存罐5外侧缠绕有加热管，用于将储存罐5内半凝固状态的工作介质完全转化为液态，储存罐5顶端分别设置有挤压气体输入口7和挤压气体输出口8，工作介质输出管路2的输入端伸入储存罐5底部，工作介质输出管路2上设置有第二阀体9，用于控制工作介质输出管路2的开与关，工作介质输出管路2的输出端连接工作管路，挤压气体输入管路3的输入端连接挤压气体的罐体，挤压气体输入管路3上依次设置有第三阀体10，第四阀体11，第五阀体12，第一过滤器13和第一压力传感器14，挤压气体输入管路3的输出端连接挤压气体输入口7，挤压气体输出管路4的输入端连接挤压气体输出口8，挤压气体输出管路4上设置有第七阀体16。吹扫气体输入管路17的输入端连接吹扫气体的罐体，吹扫气体输入管路17上设置有第八阀体19、第九阀体20、第二过滤器21、第十阀体22，吹扫气体输入管路17分别与工作介质输入管路1和工作介质输出管路2相连通，工作介质输入管路1与吹扫气体输入管路17的连接处设置有第十一阀体23，第十一阀体23外侧设置第十二阀体24，吹扫气体自第十一阀体23进入、第十二阀体24流出，工作介质输出管路2与吹扫气体输入管路17的连接处设置有第十三阀体25，第十三阀体25的外侧设置有第十四阀体27，吹扫气体自第十三阀体25进入、第十四阀体27流出。工作介质输入管路1上设置有第二压力传感器28，第二压力传感器28位于第一阀体6与储存罐5之间，挤压气体输出管路4上设置有第十五阀体29，第十五阀体29为电磁阀，第二压力传感器28和第十五阀体29分别连接控制器，第二压力传感器28感应流入工作介质输入管路1的气体压力大小，并将感应的压力大小传递给控制器，控制器控制第十五阀体29的开关与闭合。
其中，第一阀体6为隔膜阀，控制工作介质输入管路1的开通与关断。
其中，第二阀体9为隔膜阀，控制工作介质输出管路2的开通与关断。
其中，第三阀体10为隔膜阀，控制挤压气体输入管路3的开通与关断，第四阀体11为调压阀，第五阀体12为单向阀。
其中，所述第七阀体16为单向阀。
其中，第八阀体19为隔膜阀，控制吹扫气体输入管路17的开通与关断，第九阀体20为调压阀，第十阀体22为单向阀。
其中，第十一阀体23，第十二阀体24，第十三阀体25，第十四阀体27均为三通阀。
工作过程：
1、吹扫过程
关闭第一阀体6、第二阀体9、第三阀体10、第四阀体11、第五阀体12、第七阀体16、第十二阀体24、第十四阀体27、第十五阀体29，打开第八阀体19、第九阀体20、第十阀体22、第十一阀体23、第十三阀体25，吹扫气体经吹扫气体输入管路17分别进入工作介质输入管路1和工作介质输出管路2，至充满工作介质输入管路1和工作介质输出管路2时，关闭第八阀体19、第九阀体20、第十阀体22、第十一阀体23、第十三阀体25，打开第十二阀体24和第十四阀体27，进入工作介质输入管路1的吹扫气体自第十一阀体23流入，第十二阀体24流出，进入工作介质输出管路2的吹扫气体自第十三阀体25流入，第十四阀体27流出；重复上述过程多次，完成对工作介质输入管路1和工作介质输出管路2的吹扫。
2、供应工作介质
打开第一阀体6，处于半凝固态的工作介质经工作介质输入管路1进入储存罐5，对储存罐5进行加热，位于储存罐5内工作介质由半凝固状态完全转化为液态；打开第二阀体9、第三阀体10、第四阀体11、第五阀体12、第十三阀体25、第十四阀体27，挤压气体进入储存罐5，将位于储存罐5内工作介质挤压至工作介质输出管路2。当第二压力传感器28感应到工作介质输入管路1中的气体压力大于40psi时，第二压力传感器28将感应的压力传递给控制器，控制器控制第十五阀体29打开，挤压气体经储存罐5进入挤压气体输出管路4；当第二压力传感器28感应到工作介质输入管路1中的气体压力小于40psi时，控制器控制第十五阀体29关闭，使得储存罐5内气体压力不高于40psi，保证储存罐5的正常使用。
上述的具体实施方式只是示例性的，是为了更好地使本领域技术人员能够理解本专利，不能理解为是对本专利包括范围的限制；只要是根据本专利所揭示精神的所作的任何等同变更或修饰，均落入本专利包括的范围。
Claims (9)
1.一种工作介质供应系统，其特征在于，包括工作介质输入管路（1）、工作介质输出管路（2），挤压气体输入管路（3），挤压气体输出管路（4）和储存罐（5），所述工作介质输入管路（1）的输入端连接钢瓶，所述钢瓶内储存有凝固状态的工作介质，所述钢瓶外侧缠绕有加热管，用于将钢瓶内凝固状态的工作介质转化为非凝固状态，所述工作介质输入管路（1）上设置有第一阀体（6），用于控制工作介质输入管路（1）的开与关，所述工作介质输入管路（1）的输出端伸入储存罐（5）液面上方，所述储存罐（5）外侧缠绕有加热管，用于将储存罐（5）内半凝固状态的工作介质完全转化为液态，所述储存罐（5）顶端分别设置有挤压气体输入口（7）和挤压气体输出口（8），所述工作介质输出管路（2）的输入端伸入储存罐（5）底部，所述工作介质输出管路（2）上设置有第二阀体（9），用于控制工作介质输出管路（2）的开与关，所述工作介质输出管路（2）的输出端连接工作管路，所述挤压气体输入管路（3）的输入端连接挤压气体的罐体，所述挤压气体输入管路（3）上依次设置有第三阀体（10），第四阀体（11），第五阀体（12），第一过滤器（13）和第一压力传感器（14），所述挤压气体输入管路（3）的输出端连接挤压气体输入口（7），所述挤压气体输出管路（4）的输入端连接挤压气体输出口（8），所述挤压气体输出管路（4）上设置有第七阀体（16）。
2.如权利要求1所述的工作介质供应系统，其特征在于，所述工作介质供应系统还包括吹扫气体输入管路（17）和吹扫气体输出管路（18），所述吹扫气体输入管路（17）的输入端连接吹扫气体的罐体，所述吹扫气体输入管路（17）上设置有第八阀体（19）、第九阀体（20）、第二过滤器（21）、第十阀体（22），所述吹扫气体输入管路（17）分别与工作介质输入管路（1）和工作介质输出管路（2）相连通，所述工作介质输入管路（1）与吹扫气体输入管路（17）的连接处设置有第十一阀体（23），所述第十一阀体（23）外侧设置第十二阀体（24），吹扫气体自第十一阀体（23）进入、第十二阀体（24）流出，所述工作介质输出管路（2）与吹扫气体输入管路（17）的连接处设置有第十三阀体（25），所述第十三阀体（25）的外侧设置有第十四阀体（27），吹扫气体自第十三阀体（25）进入、第十四阀体（27）流出。
3.如权利要求1或2所述的工作介质供应系统，其特征在于，所述工作介质输入管路（1）上设置有第二压力传感器（28），所述第二压力传感器（28）位于第一阀体（6）与储存罐（5）之间，所述挤压气体输出管路（4）上设置有第十五阀体（29），所述第十五阀体（29）为电磁阀，所述第二压力传感器（28）和第十五阀体（29）分别连接控制器，第二压力传感器（28）感应流入工作介质输入管路（1）的气体压力大小，并将感应的压力大小传递给控制器，控制器控制第十五阀体（29）的开关与闭合。
4.如权利要求1或2所述的工作介质供应系统，其特征在于，所述第一阀体（6）为隔膜阀，控制工作介质输入管路（1）的开通与关断。
5.如权利要求1或2所述的工作介质供应系统，其特征在于，所述第二阀体（9）为隔膜阀，控制工作介质输出管路（2）的开通与关断。
6.如权利要求1或2所述的工作介质供应系统，其特征在于，所述第三阀体（10）为隔膜阀，控制挤压气体输入管路（3）的开通与关断，所述第四阀体（11）为调压阀，所述第五阀体（12）为单向阀。
7.如权利要求1或2所述的工作介质供应系统，其特征在于，所述第七阀体（16）为单向阀。
8.如权利要求2所述的工作介质供应系统，其特征在于，所述第八阀体（19）为隔膜阀，控制吹扫气体输入管路（17）的开通与关断，所述第九阀体（20）为调压阀，所述第十阀体（22）为单向阀。
9.如权利要求2所述的工作介质供应系统，其特征在于，所述第十一阀体（23），第十二阀体（24），第十三阀体（25），第十四阀体（27）均为三通阀。
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