CN109967294B - 一种异物检测定位装置及涂布装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供的一种异物检测定位装置及涂布装置，其中异物检测定位装置包括：激光灯条，其上设有多个激光灯，所述激光灯条用以与电源的一端电连接；第一检测片，所述第一检测片上并排设有多个第一导电体；第二导电体，设有一个以上，每一所述第二导电体至少对应一个所述第一导电体设置，所述第一导电体与所述第二导电体之间设有间隙，每一所述第一导电体或所述第二导电体对应连接一个激光灯；所述第一检测片受到异物碰撞发生形变时，相应位置的第一导电体碰触到相应的所述第二导电体，使电源、第一导电体、第二导电体、以及相应的所述激光灯连通形成闭合回路，能更加精确的定位异物所在位置。

Description

一种异物检测定位装置及涂布装置

技术领域

本发明涉及涂布工艺技术领域，具体涉及一种异物检测定位装置及涂布装置。

背景技术

液晶面板制造过程中很重要的一道工序是涂布光刻胶，而在涂布光刻胶时，采用的是金属制涂布喷嘴，其在喷出光刻胶的同时在玻璃基板上运动，达到光刻胶均匀涂布的效果，金属涂布喷嘴是很精密的设备，在被玻璃碎屑等异物划伤后会导致涂布光刻胶时不均匀，而修复涂布喷嘴费用昂贵，且会因干涉Bar黏附Particle运动导致底层膜层及图形划伤。因此需要在涂布喷嘴的前方设置异物检测装置。

现有的异物检测装置是通过在涂布喷嘴的运动方向的前方设置干涉Bar，当干涉Bar碰撞到异物时，传感器将信号传递给喷嘴的驱动控制系统，使喷嘴停止运行。但是由于干涉Bar的长度较大，只能满足单一方向的定位异物所在位置，无法对异物的具体位置进行精确定位，清洁时需要对整个干涉Bar进行清洁，大大增加了人工处理时间，影响了生产效率。

发明内容

因此，本发明要解决的技术问题在于克服现有技术中的异物检测装置不能精确定位异物所在位置的缺陷，从而提供一种能精确定位异物所在位置的异物检测定位装置及涂布装置。

为解决上述技术问题，本发明提供的一种异物检测定位装置，包括：

激光灯条，其上设有多个激光灯，所述激光灯条用以与电源的一端电连接；

第一检测片，所述第一检测片上并排设有多个第一导电体；

第二导电体，设有一个以上，每一所述第二导电体至少对应一个所述第一导电体设置，所述第一导电体与所述第二导电体之间设有间隙，每一所述第一导电体或所述第二导电体对应连接一个激光灯；

所述第一检测片受到异物碰撞发生形变时，相应位置的第一导电体碰触到相应的所述第二导电体，使电源、第一导电体、第二导电体、以及相应的所述激光灯连通形成闭合回路。

还包括第二检测片，所述第二导电体设置在所述第二检测片上。

所述第一检测片和所述第二检测片相对应的一端设置有连接部，所述第一检测片和所述第二检测片通过所述连接部连接，且所述连接部采用绝缘材质制成。

所述第一导电体为撞针，所述第二导电体为感应片。

所述感应片的数量与所述撞针的数量相同，且每一所述感应片对应一个所述撞针。

所述第一检测片采用导电材料制成，所述第二检测片采用绝缘材料制成。

所述激光灯设置在所述第一检测片与所述第二检测片的上方位置，且所述激光灯朝向下方照射。

本发明还提供一种涂布装置，包括安装架、喷嘴，控制所述安装架运动的驱动控制系统，以及所述的一种异物检测定位装置，所述异物检测定位装置与所述喷嘴均安装在所述安装架上，所述异物检测定位装置与所述驱动控制系统电连接，所述异物检测定位装置检测到异物信号时，所述异物检测定位装置向所述驱动控制系统传递信号，使所述驱动控制系统控制所述安装架停止运动。

所述撞针连接有传感器，所述传感器与所述驱动控制系统电连接，所述传感器感应到所述撞针位置变化时，向所述驱动控制系统传送信号，使所述驱动控制系统控制所述安装架停止运动。

还包括与所述驱动控制系统电连接的清洁单元，所述清洁单元用于将所述第一检测片粘附的异物清除。

本发明技术方案，具有如下优点：

1.本发明提供的一种异物检测定位装置，在进行检测时，当第一检测片在碰撞到异物时，第一检测片的局部位置受到碰撞发生局部形变，相应位置处的第一导电体随第一检测片发生微小移动，第一导电体会碰撞到相应的第二导电体上，使电源、第一导电体、第二导电体以及相应的激光灯连接形成闭合回路，相应的激光灯被点亮，相比现有技术中的只能满足单一方向的定位异物所在位置，该异物检测定位装置能更加精确的定位异物所在位置。

2.本发明提供的一种异物检测定位装置，还包括第二检测片，所述第二导电体设置在所述第二检测片上，将第二导电体设置在第二检测片上，有利于对第二导电体的位置进行固定。

3.本发明提供的一种异物检测定位装置，所述第一检测片和所述第二检测片相对应的一端设置有连接部，所述第一检测片和所述第二检测片通过所述连接部连接，且所述连接部采用绝缘材质制成，方便对第一检测片与第二检测片的位置进行固定，且能够保证第一检测片与第二检测片之间保持一定间距。

4.本发明提供的一种异物检测定位装置，所述第一导电体为撞针，所述第二导电体为感应片，撞针的体积较小，因此能尽可能多的设置撞针，保证该异物检测定位装置对异物的定位精度。

5.本发明提供的一种异物检测定位装置，所述感应片的数量与所述撞针的数量相同，且每一所述感应片对应一个所述撞针，感应片与撞针之间一一对应，能更加精确的定位异物所在位置。

6.本发明提供的一种异物检测定位装置，所述第一检测片采用导电材料制成，所述第二检测片采用绝缘材料制成，由于第一检测片采用导电材料制成，只需一根导线连接第一检测片与电源，无需采用多根导线连接撞针与电源，结构更加简单，连接方便，同时节约了成本，第二检测片采用绝缘材料制成，可避免撞针碰撞到第二检测片上没有设置感应片的位置时发生漏电，使用更加安全。

7.本发明提供的一种异物检测定位装置，设置在所述第一检测片与所述第二检测片的上方位置，且所述激光灯朝向下方照射，激光灯可照亮有异物的位置处，方便进行清洁。

8.本发明提供的一种涂布装置，包括安装架、喷嘴，控制所述安装架运动的驱动控制系统，以及所述的一种异物检测定位装置，所述异物检测定位装置与所述喷嘴均安装在所述安装架上，所述异物检测定位装置与所述驱动控制系统电连接，所述异物检测定位装置检测到异物信号时，所述异物检测定位装置向所述驱动控制系统传递信号，使所述驱动控制系统控制所述安装架停止运动，该涂布装置能精确定位异物所在位置，避免对喷嘴造成损坏。

9.本发明提供的一种涂布装置，所述撞针连接有传感器，所述传感器与所述驱动控制系统电连接，所述传感器感应到所述撞针位置变化时，向所述驱动控制系统传送信号，使所述驱动控制系统控制所述安装架停止运动，在撞针受到碰撞发生移动时，传感器就能向驱动控制系统传送信号，能及时的控制安装架停止运动。

10.本发明提供的一种涂布装置，还包括与所述驱动控制系统电连接的清洁单元，所述清洁单元用于将所述第一检测片粘附的异物清除，能够进行自动清洁，减少了人工处理时间，提高了生产效率。

附图说明

为了更清楚地说明本发明具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明的第一种实施方式中提供的一种异物检测定位装置的侧视图示意图；

图2为图1所示的一种异物检测定位装置的主视图；

图3为图1所示的一种异物检测定位装置的俯视图示意图；

附图标记说明：

1－喷嘴；2－激光灯条；3－第一检测片；4－第二检测片；5－撞针；6－导线；7－连接部；8－感应片；21－激光灯。

具体实施方式

下面将结合附图对本发明的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

此外，下面所描述的本发明不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。

实施例1

本实施例提供一种异物检测定位装置，如图1至图3所示，包括电源、激光灯条2、第一检测片3、第二检测片4。

其中，激光灯条2上设有多个激光灯21，激光灯条2的负极与电源的阴极通过导线6电连接，这样可使激光灯条2上的每一个激光灯21的负极均与电源的阴极电连接。

为使第一检测片3能更加精确的检测定位异物所在位置，第一检测片3的下端需尽可能的靠近待测基板设置，当然，为了保证不对待测基板的表面造成损坏，第一检测片3的下端仍需与待测基板之间保持微小的距离，在第一检测片3的背面并排设有多个第一导电体，第一导电体具体为撞针5，每一撞针5均与电源的阳极电连接，在这里，第一检测片3的正面指的是能够被异物碰撞的一面，第一检测片3的背面指的是与正面相反的一面。第二检测片4与第一检测片3的位置相对，且第二检测片4与第一检测片3相对的面上并排设置多个第二导电体，具体为感应片8。

优选感应片8的数量与撞针5的数量相同，且每一感应片8对应一个撞针5设置，撞针5与感应片8之间设有间隙，每一感应片8均通过导线6与一个激光灯21的正极连接。

第一检测片3的长度至少需等于待检测基板的宽度，在进行检测时，该异物检测定位装置沿着待检测基板的长度方向运动，当待检测基板上出现异物，异物碰撞到第一检测片3使其相应位置处发生形变，相应位置的撞针5碰触到相应的感应片8，使电源、撞针5、感应片8、以及相应的激光灯21形成闭合回路，相应的激光灯21被点亮，因此可根据被点亮的激光灯21来确定异物的具体位置，能更加精确的定位异物所在位置。

本实施例中的第一检测片3为一个整体的片状结构，当然也可以采用由多个小片结构并排连接形成，将撞针5分别设置在每个小片结构上。

其中第一检测片3采用导电材料制成，优选采用镉铜合金制成，第一检测片3采用导电材料制成，在进行连接第一检测片3时，只需要一根导线6将第一检测片3与电源的阳极连接，即可实现第一检测片3上的每个撞针5均与电源的阳极之间实现电连接，既可方便连接，又可节省成本。

第二检测片4采用绝缘材料制成，优选采用绝缘陶瓷制成，可避免撞针5碰撞到第二检测片4上没有设置感应片8的位置时发生漏电，使用更加安全。

第一检测片3与第二检测片4的上端设置有连接部7，也即第一检测片3与第二检测片4的上端通过连接部7连接，连接部7采用绝缘材料制成，这里的绝缘材料优选采用硬质材料，这样能很好保证将第一检测片3与第二检测片4平行的连接在连接部7的两端，并且只需固定连接部7的位置就能同时固定安装第一检测片3与第二检测片4，更加方便安装。

激光灯21设置在第一检测片3与第二检测片4的上方位置，且激光灯21朝向下方照射，激光灯21可照亮有异物的位置处，方便进行清洁。

在进行检测时，通常是将该异物检测装置安装到一个安装架上，该安装架在待测基板上方沿待测基板的长度方向运行，当第一检测片3在碰撞到异物时，

第一检测片3的局部位置受到碰撞发生局部形变，相应位置处的撞针5随第一检测片3发生微小移动，撞针5会碰撞到相应的感应片8上，使电源、撞针5、感应片8以及相应的激光灯21连接形成闭合回路，相应的激光灯21被点亮，此时控制安装架停止运行，对第一检测片3上粘附的异物进行清除。

作为实施例1的第一个可替换实施方式，感应片8的数量为1个以上，且少于撞针5的数量，使其中一个感应片8对应两个或三个或四个撞针5等等，这样设置虽没有实施例1中对异物的位置的定位精确，但相比现有技术中只能满足单一方向的定位异物所在位置，这种设置方式同样能提高对异物的定位精确性。

作为实施例1的第二个可替换实施方式，将激光灯条2的正极与电源的阳极通过导线6电连接，这样使每一个激光灯21的正极均与电源的阳极电连接，同时，使每一激光灯21的负极均通过导线6与第一检测片3上的撞针5电连接，

第二检测片4上的每一个感应片8均通过导线6与电源的阴极电连接。

作为实施例1的第三个可替换实施方式，将激光灯条2的正极与电源的阳极通过导线6电连接，这样使每一个激光灯21的正极均与电源的阳极电连接，同时，使每一激光灯21的负极均通过导线6与第一检测片3上的撞针5电连接，第二检测片4可以采用导电材料制成，通过一根导线6将第二检测片4与电源的阴极电连接。

作为实施例1的第四个可替换实施方式，可在第一检测片3上设置作为第一导电体的多个感应片8，在第二检测片4上设置作为第二导电体的撞针5，第二检测片4上的每一撞针5均通过导线6与一个激光灯21的正极电连接，在进行检测时，待测基板上出现异物时，异物碰撞到第一检测片3，使第一检测片3上的相应位置处的感应片8移动，从而使感应片8接触到第二检测片4上的撞针5，使电源、撞针5、感应片8、以及相应的激光灯21形成闭合回路，相应的激光灯21被点亮，从而能精确定位异物所在位置。

作为实施例1的第五个可替换实施方式，在进行检测时，可使第二检测片4位于前侧，第一检测片3位于后侧，待测基板上出现异物时，异物碰撞到第二检测片4，使第二检测片4上的相应位置处的感应片8移动，从而使感应片8接触到第一检测片3上的撞针5，使电源、撞针5、感应片8、以及相应的激光灯21形成闭合回路，相应的激光灯21被点亮，从而能精确定位异物所在位置。

作为实施例1的第六个可替换实施方式，不设置第二检测片4，将多个感应片8通过细绳并排吊装在连接部7上。

实施例2

本实施例提供一种涂布装置，包括安装架、喷嘴1、驱动控制系统、以及上述实施例中提供的异物检测定位装置。

其中，异物检测定位装置与喷嘴1均安装在安装架上，异物检测定位装置与驱动控制系统电连接，异物检测定位装置检测到异物信号时，异物检测定位装置向驱动控制系统传递信号，使驱动控制系统控制安装架停止运动。

在每一个撞针5上均连接传感器，每一个传感器均与驱动控制系统电连接，传感器感应到撞针5位置变化时，向驱动控制系统传送信号，使所述驱动控制系统控制安装架停止运动。

驱动控制系统还连接有清洁单元，清洁单元用于将第一检测片3上粘附的异物清除。

该涂布装置在进行工作时，异物检测装置设置在喷嘴1的前侧，并且第一检测片3与待测基板之间的距离小于喷嘴1与待测基板之间的距离，异物检测装置与喷嘴1在驱动控制系统的控制下，随安装架在待测基板上运动，喷嘴1边移动边喷出光刻胶，能够达到光刻胶均匀涂布的效果。当第一检测片3在碰撞到异物时，第一检测片3的局部位置受到碰撞发生局部形变，相应位置处的撞针5随第一检测片3发生微小移动，撞针5会碰撞到相应的感应片8上，使电源、撞针5、感应片8以及相应的激光灯21连接形成闭合回路，相应的激光灯21被点亮，安装在撞针5上的传感器感应到撞针5的位置发生移动，向驱动控制系统传递信号，驱动控制系统控制安装架停止运动，喷嘴1停止喷胶，避免了异物碰撞到喷嘴1上，对喷嘴1造成损坏，同时，驱动控制系统控制清洁单元将第一检测片3上粘附的异物清除。由于异物检测装置能精确定位异物所在位置，清洁单元只需针对异物所在位置进行清洁，减少了人工处理时间，提高了生产效率。

作为实施例2的第一个可替换的实施方式，可将传感器安装在第一检测片3上，传感器检测到第一检测片3发生形变时，向驱动控制系统传递信号，驱动控制系统控制安装架停止运动，喷嘴1停止喷胶。

作为实施例2的第二个可替换的实施方式，将传感器安装在感应片8上，传感器感应到有撞针5碰撞时，向驱动控制系统传递信号，驱动控制系统控制安装架停止运动，喷嘴1停止喷胶。

作为实施例2的第三个可替换的实施方式，将传感器安装在激光灯条2上，当传感器感应到有激光灯21亮时，向驱动控制系统传递信号，驱动控制系统控制安装架停止运动，喷嘴1停止喷胶。

显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本发明创造的保护范围之中。

Claims (10)

1.一种异物检测定位装置，其特征在于，包括：

激光灯条(2)，其上设有多个激光灯(21)，所述激光灯条(2)用以与电源的一端电连接；

第一检测片(3)，所述第一检测片(3)上并排设有多个第一导电体；

第二导电体，设有一个以上，每一所述第二导电体至少对应一个所述第一导电体设置，所述第一导电体与所述第二导电体之间设有间隙，每一所述第一导电体或所述第二导电体对应连接一个激光灯(21)；

所述第一检测片(3)受到异物碰撞发生形变时，相应位置的第一导电体碰触到相应的所述第二导电体，使电源、第一导电体、第二导电体、以及相应的所述激光灯(21)连通形成闭合回路。

2.根据权利要求1所述的一种异物检测定位装置，其特征在于，还包括第二检测片(4)，所述第二导电体设置在所述第二检测片(4)上。

3.根据权利要求2所述的一种异物检测定位装置，其特征在于，所述第一检测片(3)和所述第二检测片(4)相对应的一端设置有连接部(7)，所述第一检测片(3)和所述第二检测片(4)通过所述连接部(7)连接，且所述连接部(7)采用绝缘材质制成。

4.根据权利要求1－3任一所述的一种异物检测定位装置，其特征在于，所述第一导电体为撞针(5)，所述第二导电体为感应片(8)。

5.根据权利要求4所述的一种异物检测定位装置，其特征在于，所述感应片(8)的数量与所述撞针(5)的数量相同，且每一所述感应片(8)对应一个所述撞针(5)。

6.根据权利要求2所述的一种异物检测定位装置，其特征在于，所述第一检测片(3)采用导电材料制成，所述第二检测片(4)采用绝缘材料制成。

7.根据权利要求2所述的一种异物检测定位装置，其特征在于，所述激光灯(21)设置在所述第一检测片(3)与所述第二检测片(4)的上方位置，且所述激光灯(21)朝向下方照射。

8.一种涂布装置，其特征在于，包括安装架、喷嘴(1)，控制所述安装架运动的驱动控制系统，以及权利要求1－7中任一项所述的一种异物检测定位装置，所述异物检测定位装置与所述喷嘴(1)均安装在所述安装架上，所述异物检测定位装置与所述驱动控制系统电连接，所述异物检测定位装置检测到异物信号时，所述异物检测定位装置向所述驱动控制系统传递信号，使所述驱动控制系统控制所述安装架停止运动。

9.根据权利要求8所述的一种涂布装置，其特征在于，所述第一导电体连接有传感器，所述传感器与所述驱动控制系统电连接，所述传感器感应到所述第一导电体位置变化时，向所述驱动控制系统传送信号，使所述驱动控制系统控制所述安装架停止运动。

10.根据权利要求8或9所述的一种涂布装置，其特征在于，还包括与所述驱动控制系统电连接的清洁单元，所述清洁单元用于将所述第一检测片(3)粘附的异物清除。

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