CN109926714A - 激光打标机自动清洁控制系统 - Google Patents
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Abstract
激光打标机自动清洁控制系统,包括:传感器、继电器、控制面板、电磁阀、真空泵,所述传感器安装于基板打印位置的侧面,所述传感器与控制面板连接,所述控制面板输出引脚与继电器连接,所述继电器的输出端接电磁阀,电磁阀通过气路管道与真空泵连接,真空泵通过管道与真空吸嘴连接,本发明通过在基板打印位置后方增加传感器,检测到该位置有基板时将信息传给控制面板,控制面板发送控制指令给继电器,通过继电器得电吸合控制电磁阀的工作,用于控制真空泵进行清洗工作,减少了基板的污染。
Description
技术领域
本发明涉及半导体领域,特别涉及激光打标机自动清洁控制系统。
背景技术
在激光打标机上,打印完成时会出现大量的灰尘残留在设备内部, 因此在作业时灰尘会污染需要打标的基板,由于没有自动清洁系统,导致基板被污染后出现不良,鉴于此,需要对基板自动清洁系统进行研发和设计。
发明内容
本发明提供一种激光打标机自动清洁控制系统,实现激光打标机的自动清洁,避免基板污染,为了实现上述目的,采用以下技术方案:包括:传感器、继电器、控制面板、电磁阀、真空泵,所述传感器安装于基板打印位置的后方,用于检测基板打印位置是否存在有基板;所述传感器与控制面板的I/O脚电连接,用于将检测信号发送给控制面板;所述控制面板的输出端还与继电器电连接,用于控制继电器的得失电状态;所述继电器的输出端与电磁阀连接,用于控制电磁阀的通断电;所述电磁阀通过气路管道与真空泵连接,控制真空泵的工作。
优选的,还包括24v的电源,电源通过电源线与传感器连接,用于对其供电;电源还与继电器电连接,用于提供继电器的工作电压。
优选的,还包括有传感器放大器,传感器与传感器放大器电连接,传感器放大器的输出端连接控制面板。
优选的,所述传感器为光纤传感器,可选型号FU-83系列。
优选的,所述传感器放大器采用基恩士光纤传感器放大器。
优选的,还包括有电离单元,所述电离单元通过气路管道与电磁阀连接,所述电离单元还通过导线与继电器的输出端连接。
优选的,真空泵通过气路管道与真空吸嘴连接,真空吸嘴安装于基板打印位置处。
优选的,还包括有手动开关(M/C START),安装于电磁阀与继电器之间的连接线路上。
本发明的有益效果:本发明通过在基板打印位置后方增加传感器,检测到该位置有基板时将信息传给控制面板,控制面板发送控制指令给继电器,通过继电器得电吸合控制电磁阀的工作,用于控制真空泵进行清洗工作,减少了基板的污染。
附图说明
图1为本发明关于本专利申请的控制原理图;
图2为本专利申请的部分结构示意图;
图3为图1所示的逻辑时序图;
1、传感器;2、继电器;3、传感器放大器;4、电源;5、控制面板; 7、电离单元;8、电磁阀;9、真空泵;10、手动开关;11、真空吸嘴。
具体实施方式
由图1所示可知,本专利提供一种激光打标机自动清洁控制系统,包括:传感器1、继电器2、控制面板5、电磁阀8、真空泵9,所述传感器1安装于基板打印位置的后方,用于检测基板打印位置是否存在有基板;所述传感器1与控制面板5的I/O脚电连接,用于将检测信号发送给控制面板5;所述控制面板5的输出端还与继电器2 电连接,用于控制继电器2的得失电状态;所述继电器2的输出端与电磁阀8连接,用于控制电磁阀8的通断电;所述电磁阀8通过气路管道与真空泵9连接,控制真空泵9的工作。
优选的,还包括24v的电源4,电源4通过电源线与传感器1连接,用于对其供电;电源4还与继电器2电连接,用于提供继电器2 的工作电压。
优选的,还包括有传感器放大器3,传感器1与传感器放大器3 电连接,传感器放大器3的输出端连接控制面板5。
优选的,所述传感器1为光纤传感器,可选型号FU-83系列。
优选的,所述传感器放大器3采用基恩士光纤传感器放大器。
优选的,还包括有电离单元7,所述电离单元7通过气路管道与电磁阀8连接,所述电离单元7还通过导线与继电器2的输出端连接。
优选的,真空泵9通过气路管道与真空吸嘴连接,真空吸嘴安装于基板打印位置处。
优选的,还包括有手动开关(M/C START),安装于电磁阀8与继电器2之间的连接线路上。
优选的,所述真空泵(9)与电磁阀(8)之间的气路管道上还连接有三通阀,三通阀采用一进两出式,即进口连接电磁阀(8),一个出口连接真空泵(9)、另一个出口通过管道连接压力传感器,压力传感器通过电源线连接24v电源(4),压力传感器还与控制面板(5) 连接,利用压力传感器检测真空泵的工作压力并传给控制面板(5)。
图2所示,当手动开关(M/C START)闭合,传感器1检测到基板信息时,将信息发送给控制面板5,控制面板5发出指令给继电器 2,继电器2得电吸合,电磁阀8开启,控制真空泵9以及电离单元 7工作,对基板进行清洁。
上述实施例仅例示性说明本专利申请的原理及其功效,而非用于限制本专利申请。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本专利申请的精神及范畴下,对上述实施例进行修饰或改变。因此,举凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本专利申请所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变,仍应由本专利请的权利要求所涵盖。
Claims (7)
1.激光打标机自动清洁控制系统,包括:传感器(1)、继电器(2)、控制面板(5)、电磁阀(8)、真空泵(9),其特征在于:所述传感器(1)安装于基板打印位置的侧面,所述传感器(1)与控制面板(5)连接,所述控制面板(5)输出引脚与继电器(2)连接,所述继电器(2)的输出端接电磁阀(8),电磁阀(8)通过气路管道与真空泵(9)连接,真空泵(9)通过管道与真空吸嘴连接。
2.根据权利要求1所述的激光打标机自动清洁控制系统,其特征在于:还包括电离单元(7),所述电离单元(7)通过气路管道与电磁阀(8)连接,所述电离单元(7)还通过导线与继电器(2)的输出端连接。
3.根据权利要求1所述的激光打标机自动清洁控制系统,其特征在于:还包括24v的电源(4),所述电源(4)通过电源线与传感器(1)、继电器(2)连接。
4.根据权利要求1所述的激光打标机自动清洁控制系统,其特征在于:还包括有手动开关,所述手动开关安装在继电器(2)与电磁阀(8)之间的连接线路上。
5.根据权利要求1所述的激光打标机自动清洁控制系统,其特征在于:还包括有传感器放大器(3),所述传感器放大器(3)连接在传感器(1)与控制面板(5)之间。
6.根据权利要求1所述的激光打标机自动清洁控制系统,其特征在于:所述传感器(1)为光纤传感器,可选型号FU-83系列。
7.根据权利要求1所述的激光打标机自动清洁控制系统,其特征在于:所述真空吸嘴安装于基板打印位置处。
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