CN109916596B - 光路校准方法及校准装置 - Google Patents
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Abstract
本申请公开一种光路校准方法及校准装置，所述光路校准装置包括采集单元、固定装置与探针，所述探针包括第一探针，所述采集单元包括第一采集单元，所述固定装置包括自由端，所述光路校准方法包括：调整所述第一探针位置，对所述第一采集单元进行校准；当所述第一采集单元校准完成时，根据所述第一探针的位置，确定所述自由端的第一测试位置；将所述固定装置移动至所述第一测试位置，将所述固定装置与待测产品固定连接；对所述待测产品进行光路校准。本申请提供一种光路校准方法及校准装置，旨在解决现有技术中光学测量系统受制于标准样品，测量精度不高的问题。
Description
技术领域
本申请涉及光学测量技术领域，尤其涉及一种光路校准方法及校准装置。
背景技术
在对高精度的光学产品进行光学测量时，通常是采用采集单元拍摄产品的目标图像，并对图像进行计算后得到检测结果，由于光学测量对光学系统的精度要求较高，因此光学系统的光路校准精度是保证光学测量精度的前提。现有的光学系统校准，通常是采用标准样品，对采集单元的光轴中心和标准样品的投影图像中心对准的方式对光路进行校准，但是这种校准方式会受制于标准样品的加工精度影响，当标准样品的加工精度低，无法满足光学测量系统的测量精度要求时，光学系统测量即无法达到要求的测量精度。
发明内容
本申请提供一种光路校准方法及校准装置，旨在解决现有技术中光学测量系统受制于标准样品，测量精度不高的问题。
为实现上述目的，本申请提出了一种光路校准方法，所述光路校准方法应用于光路校准装置，所述光路校准装置包括采集单元、固定装置与探针，所述探针包括第一探针，所述采集单元包括第一采集单元，所述固定装置包括自由端，所述光路校准方法包括：
调整所述第一探针位置，对所述第一采集单元进行校准；
当所述第一采集单元校准完成时，根据所述第一探针的位置，确定所述自由端的第一测试位置；
将所述固定装置移动至所述第一测试位置，将所述固定装置与待测产品固定连接；
对所述待测产品进行光路校准。
可选地，所述调整所述第一探针位置，对所述第一采集单元进行校准，包括：
沿所述第一采集单元的信号采集方向调整所述第一探针的位置；
根据所述第一探针的位置调整所述第一采集单元的位置或角度，完成所述第一采集单元的校准。
可选地，所述根据所述第一探针的位置调整所述第一采集单元的位置或角度，完成所述第一采集单元的校准，包括：
移动所述第一探针至第一校准位置，调整所述第一采集单元，使所述第一采集单元接收到清晰的像；
调整所述第一采集单元，使所述第一探针的针尖与所述第一采集单元成像显示的第一目标位置重合；
调整所述第一探针至第二校准位置，调整所述第一采集单元，使所述第一采集单元接收到清晰的像；其中，所述第二校准位置与所述第一校准位置不重合，并且所述第一校准位置、所述第二校准位置以及所述第一采集单元位于同一直线；
获取所述第一探针的针尖在所述第一采集单元中显示的位置；
当所述第一探针的针尖与第一目标位置重合时，完成所述第一采集单元位置的校准。
可选地，所述获取所述第一探针的针尖在所述第一采集单元中显示的位置，之后还包括：
当所述第一探针的针尖与第一目标位置不重合时，执行所述移动所述第一探针位于第一校准位置，调整所述第一采集单元，使所述第一采集单元接收到清晰的像的步骤。
可选地，所述探针还包括第二探针，所述固定装置的所述自由端与所述第二探针连接，所述当所述第一采集单元校准完成时，根据所述第一探针的位置，确定所述自由端的第一测试位置，包括：
当所述第一采集单元校准完成时，将所述第一探针移动至第三校准位置；
移动所述第二探针，使所述第二探针的针尖与所述第一探针的针尖抵接；
根据所述第二探针的位置，确定所述自由端的第一测试位置。
可选地，所述根据所述第二探针的位置，确定所述自由端的第一测试位置，之后还包括：
移除所述第一探针与所述第二探针。
可选地，所述固定装置与待测产品固定连接时，所述待测产品的出瞳中心与所述第二探针的针尖位置重合。
可选地，所述采集单元还包括第二采集单元，所述第二采集单元与所述第一采集单元的信息采集方向相同；所述当所述第一采集单元校准完成时，根据所述第一探针的位置，确定所述自由端的第一测试位置，之后还包括：
控制所述第一探针，对所述第二采集单元进行校准；
当所述第二采集单元校准完成时，根据所述第一探针，确定所述固定装置的第二测试位置；
将所述固定装置移动至所述第二测试位置，将所述固定装置与待测产品固定连接。
为实现上述目的，本申请提出一种光路校准装置，所述光路校准装置包括采集单元、固定装置、探针以及控制器，所述探针包括第一探针，所述采集单元包括第一采集单元，所述固定装置包括自由端，其中，
所述第一探针用于对所述第一采集单元进行校准，并在所述第一采集单元完成校准时，用于确定所述固定装置的所述自由端的第一测试位置；
所述固定装置的所述自由端与待测产品连接，用于调整所述待测产品的位置进行光路校准；
所述控制器与所述第一采集单元、所述固定装置以及所述探针通信连接，并执行权利要求1-8所述的光路校准方法，进行光路校准。
可选地，所述采集单元还包括第二采集单元，所述控制器与所述第二采集单元通信连接，所述第二采集单元与所述第一采集单元的信号采集方向相同。
可选地，所述第一探针的针尖高度与所述第一采集单元以及所述第二采集单元的中心高度相同。
可选地，所述探针还包括第二探针，所述固定装置的所述自由端与所述第二探针连接，所述第一探针与所述第二探针相对设置。
可选地，所述光路校准装置还包括调整台，所述调整台与所述采集单元连接，所述调整台用于调整所述采集单元的位置与角度。
可选地，所述光路校准装置还包括操作平台，其中，所述探针、所述调整台均设于所述操作平台上，所述固定装置还包括固定端，所述固定端与所述操作平台固定连接。
本申请提出的技术方案中，所述光路校准方法应用于光路校准装置，其中，所述光路校准装置包括采集单元、固定装置与探针，所述探针包括第一探针，所述采集单元包括第一采集单元，所述固定装置包括自由端。在光路校准过程中，首先通过调整所述第一探针的位置对所述第一采集单元进行校准，当所述第一采集单元完成校准时，根据所述第一探针的位置，确定所述自由端的第一测试位置，然后将待测产品与所述自由端固定连接，将所述自由端移动至所述第一测试位置，并对所述待测产品进行光路校准。通过采用探针与固定装置结合的方式代替标准样品进行光路校准，从而避免了现有技术中光学测量系统受制于标准样品，测量精度不高的问题。
附图说明
为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图示出的结构获得其他的附图。
图1是本申请光路校准方法一实施例的流程示意图；
图2是本申请光路校准方法又一实施例的流程示意图；
图3为本申请光路校准方法又一实施例的流程示意图；
图4是本申请光路校准方法又一实施例的流程示意图；
图5是本申请光路校准装置的俯视图；
图6是本申请光路校准装置固定装置与探针的侧视图。
附图标号说明：
| 标号 | 名称 | 标号 | 名称 |
| 10 | 采集单元 | 40 | 固定装置 |
| 11 | 第一采集单元 | 41 | 自由端 |
| 12 | 第二采集单元 | 42 | 固定端 |
| 20 | 探针 | 50 | 操作平台 |
| 21 | 第一探针 | 22 | 第二探针 |
本申请目的的实现、功能特点及优点将结合实施例，参照附图做进一步说明。
具体实施方式
下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。
需要说明，本申请实施例中所有方向性指示（诸如上、下、左、右、前、后……）仅用于解释在某一特定姿态（如附图所示）下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。
另外，在本申请中如涉及“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本申请的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。
在本申请中，除非另有明确的规定和限定，术语“连接”、“固定”等应做广义理解，例如，“固定”可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。
另外，本申请各个实施例之间的技术方案可以相互结合，但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础，当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在，也不在本申请要求的保护范围之内。
本申请提供一种光路校准方法及校准装置。
请参照图1与图5，所述光路校准方法应用于光路校准装置，所述光路校准装置包括采集单元10、固定装置40与探针20，所述探针20包括第一探针21，所述采集单元10包括第一采集单元11，所述固定装置40包括自由端41，所述光路校准方法包括：
S100，调整所述第一探针21位置，对所述第一采集单元11进行校准；
S200，当所述第一采集单元11校准完成时，根据所述第一探针21的位置，确定所述自由端41的第一测试位置；
S300，将所述固定装置40移动至所述第一测试位置，将所述固定装置40与待测产品固定连接；
S400，对所述待测产品进行光路校准。
本申请提出的技术方案中，所述光路校准方法应用于光路校准装置，其中，所述光路校准装置包括采集单元、固定装置与探针，所述探针包括第一探针，所述采集单元包括第一采集单元，所述固定装置包括自由端。在光路校准过程中，首先通过调整所述第一探针的位置对所述第一采集单元进行校准，当所述第一采集单元完成校准时，根据所述第一探针的位置，确定所述自由端的第一测试位置，然后将待测产品与所述自由端固定连接，将所述自由端移动至所述第一测试位置，并对所述待测产品进行光路校准。通过采用探针与固定装置结合的方式代替标准样品进行光路校准，从而避免了现有技术中光学测量系统受制于标准样品，测量精度不高的问题。
请参照图2，在一些可选的实施方式中，所述步骤S100，包括：
S110，沿所述第一采集单元11的信号采集方向调整所述第一探针21的位置；
其中，所述第一采集单元11的信号采集方向是指所述第一采集单元11能够接收到的准确信号的信号接收方向，优选实施方式中，所述第一探针21位于所述第一采集单元11的信息采集面的正前方，提高所述第一采集单元11的信息采集准确率。
S120，根据所述第一探针21的位置调整所述第一采集单元11的位置或角度，完成所述第一采集单元11的校准。
在一些可选的实施方式中，通过多次调整所述第一探针21的位置，使所述第一探针21在同一条直线上进行移动，在实际校准过程中，由于第一采集单元11的信息采集方向与所述第一探针21的移动方向不完全共线，因此在所述第一探针21在调整方向后，需要对所述第一采集单元11的位置或角度进行多次调整，从而减小所述第一探针21的移动方向与所述第一采集单元11的信息采集方向的偏差，直至所述第一探针21的移动方向与所述第一采集单元11的信息采集方向共线，完成所述第一采集单元11的校准。
请参照图3，在一些可选的实施方式中，所述步骤S120，包括：
S121，移动所述第一探针21至第一校准位置，调整所述第一采集单元11，使所述第一采集单元11接收到清晰的像；
其中，所述第一校准位置位于所述第一采集单元11的信息采集方向的延伸方向，优选实施例中，所述第一校准位置与所述第一采集单元11相距50厘米。
S122，调整所述第一采集单元11，使所述第一探针21的针尖与所述第一采集单元11成像显示的第一目标位置重合。
其中，所述第一探针21的针尖可以为三角形针尖或圆形针尖。
其中，所述第一目标位置为所述第一采集单元11获取到的图像中的特定位置或预设位置。
S123，调整所述第一探针21至第二校准位置，调整所述第一采集单元11，使所述第一采集单元11接收到清晰的像；其中，所述第二校准位置与所述第一校准位置不重合，并且所述第一校准位置、所述第二校准位置以及所述调整台位于同一直线；
其中，所述第二校准位置可以为所述第一采集单元11的最小成像距离处，优选实施例中，所述第一校准位置与所述第一采集单元11相距20厘米。
S124，获取所述第一探针21的针尖在所述第一采集单元11中显示的位置；
S125，当所述第一探针21的针尖与第一目标位置重合时，完成所述第一采集单元11位置的校准。
在一些可选的实施方式中，在每次调整所述第一探针21的校准位置后，首先对所述第一采集单元11的焦距进行调节，是所述第一采集单元11能够接受到所述第一探针21的清晰的像，然后再通过调整所述第一采集单元11，使所述第一探针21在所述第一采集单元11所成的像至所述第一目标位置。通过将所述第一探针21调整到不同的校准位置，通过多次对所述第一采集单元11进行位置调整与角度调整，逐渐减小所述第一采集单元11的信息采集方向与所述第一探针21移动方向的偏差。当所述第一探针21在所述第一位置与所述第二位置之间多次切换，所述第一探针21的针尖在所述第一采集单元11的成像中位置不变时，表示所述第一采集单元11的中心法线与所述第一探针21的移动方向相互平行，从而完成对所述第一采集单元11的校准。优选实施方式中，所述第一目标位置为所述第一采集单元11的中心。
在一些可选的实施方式中，所述步骤S124，之后还包括：
当所述第一探针21的针尖与第一目标位置不重合时，执行所述移动所述第一探针21位于第一校准位置，调整所述第一采集单元11，使所述第一采集单元11接收到清晰的像的步骤。
在一些可选的实施方式中，在所述第一探针21移动至所述第二位置后所述第一探针21的针尖与所述第一采集单元11中的所述第一目标位置不重合时，将所述第一探针21移动到所述第一校准位置，重新对所述第一采集单元11进行调整，使所述第一探针21的针尖重新位于所述第一采集单元11的所述第一目标位置。通过多次将所述第一探针21在所述第一校准位置与所述第二校准位置之间进行移动，不断调整所述第一采集单元11，使所述第一采集单元11的中心法线与所述第一探针21的针尖共线，从而完成对所述第一采集单元11的校准。
请参照图4，在一些可选的实施方式中，所述探针还包括第二探针22，所述固定装置40的所述自由端41的一端与所述第二探针22连接，所述步骤S200，包括：
S210，当所述第一采集单元11校准完成时，将所述第一探针21移动至第三校准位置；
S220，移动所述第二探针22，使所述第二探针22的针尖与所述第一探针21的针尖抵接；
S230，根据所述第二探针22的位置，确定所述自由端41的第一测试位置；
在一些可选的实施方式中，当所述第一采集单元11完成校准时，控制所述固定装置40，使与所述自由端41连接的所述第二探针22的针尖与所述第一探针21的针尖抵接，在优选实施例中，所述第一探针21的针尖与所述第二探针22的针尖为三角形针尖，所述第一探针21与所述第二探针22相对设置，从而提高所述第一探针21针尖与所述第二探针22针尖抵接的精准程度。于另一优选实施方式中，所述固定装置40为机械悬臂，所述固定装置40具有预设的三维直角坐标系，所述第一测试位置包括所述三维直角坐标系中的坐标信息。优选实施方式中，所述第三校准位置为所述第一采集单元11的入瞳位置。
在一些可选的实施方式中，所述步骤S230，之后还包括：移除所述第一探针21与所述第二探针22，具体的，为了避免所述第二探针22与所述待测产品发生干涉，在对所述待测产品与所述固定装置40进行固定连接前，移除所述第一探针21与所述第二探针22，从而方便所述待测产品进行校准。
在一些可选的实施方式中，所述待测产品与所述固定装置40连接时，所述待测产品的出瞳中心与所述第二探针22的针尖位置重合。具体实施方式中，所述待测产品安装于所述固定装置40时，为了保证通过所述第二探针22进行校准的结果与所述待测产品的实际校准结果相同，使所述待测产品的出瞳中心与所述第二探针22的针尖位置重合。
在一些可选的实施方式中，当采集单元10应用于虚拟现实设备或其他需要人眼配合使用的设备时，为了方便用户通过双眼进行观察，所述采集单元10还包括第二采集单元12，所述第二采集单元12与所述第一采集单元11的信息采集方向相同；所述步骤S200，之后还包括：
控制所述第一探针21，对所述第二采集单元12进行校准；
当所述第二采集单元12校准完成时，根据所述第一探针21，确定所述固定装置40的第二测试位置；
将所述固定装置40移动至所述第二测试位置，将所述固定装置40与待测产品固定连接；
在一些可选的实施方式中，当所述采集单元10应用于虚拟现设备时，所述第一采集单元11与所述第二采集单元12的信息采集方向相同，并且所述第一采集单元11与所述第二采集单元12的距离与瞳孔间距相同。具体的，所述第二采集单元12的校准方式与所述第一采集单元11的校准方式相同。
请参照图5与图6，本发明还提出一种光路校准装置，所述光路校准装置包括采集单元10、调整台、固定装置40、探针20以及控制器（未图示），所述探针20包括第一探针21，所述采集单元10包括第一采集单元11，所述固定装置40包括自由端41，其中，
所述探针20用于对所述第一采集单元11进行校准，并在所述第一采集单元11完成校准时，用于确定所述固定装置40的所述自由端41的第一测试位置。
所述固定装置40的所述自由端41与待测产品连接，用于调整所述待测产品的位置进行光路校准。
所述调整台用于调整所述第一采集单元11的位置与角度，对所述第一采集单元11进行校准。
所述控制器与所述第一采集单元11、所述固定装置40，所述探针20以及所述调整台通信连接，并执行权利要求任一项实施方式所述的光路校准方法，进行光路校准。
在一些可选的实施方式中，所述采集单元10还包括第二采集单元12，其中，所述控制器与所述第二采集单元12通信连接，所述第二采集单元12与所述第一采集单元11并排设置，所述第二采集单元12与所述第一采集单元11的距离与瞳孔间距相等。
在一些可选的实施方式中，所述第一探针21的针尖高度与所述第一采集单元11以及所述第二采集单元12的中心高度相同，具体实施方式中，为了方便用户对所述第一采集单元11与所述第二采集单元12进行校准，使所述第一探针21的针尖高度与所述第一采集单元11以及所述第二采集单元12的中心高度相同，从而使所述第一探针21的针尖位于所述第一采集单元11以及所述第二采集单元12所成的像的中间，方便用户对所述调整台进行调节，调整所述第一采集单元11以及所述第二采集单元12的位置与角度。
在一些可选的实施方式中，所述第一探针21与所述第二探针22相对设置，具体实施方式中，所述第一探针21与所述第二探针22相对设置时，能够提高所述第一探针21的针尖与所述第二探针22的针尖抵接时的位置精度，方便用户对所述第二探针22的位置进行调节，从而提高所述固定装置40的位置精度。
在一些可选的实施方式中，所述光路校准装置还包括调整台，所述调整台与所述采集单元连接，所述调整台用于调整所述采集单元的位置与角度。具体的，所述调整台与所述第一采集单元11固定连接，通过调节所述调整台调节所述第一采集单元11的位置与角度，优选实施例中，所述调整台为六自由度调整台，能够沿互相垂直的三个方向调整所述第一采集单元11的位置与转动角度。
在一些可选的实施方式中，所述光路校准装置还包括操作平台50，其中，所述探针20、所述调整台均设于所述操作平台50上，所述固定装置40还包括固定端42，所述固定端42与所述操作平台50固定连接，具体实施方式中，所述探针20与所述调整台均设于所述操作平台50上，能够方便用户对所述探针20位置进行调节时，始终保持所述探针20的针尖与所述采集单元10维持在相同的高度，从而提高光路校准的便捷性。
在一些可选的实施方式中，所述控制器可以是中央处理单元(CentralProcessing Unit，CPU)，还可以是其它通用处理器、数字信号处理器(Digital SignalProcessor，DSP)、专用集成电路(Application Specific Integrated Circuit，ASIC)、现场可编程门阵列(Field-Programmable Gate Array，FPGA)或者其它可编程逻辑器件、分立门或者晶体管逻辑器件、分立硬件组件等。通用处理器可以是微处理器或者该处理器也可以是任何常规的处理器等。
所属领域的技术人员可以清楚地了解到，为了描述的方便和简洁，仅以上述各功能单元、模块的划分进行举例说明，实际应用中，可以根据需要而将上述功能分配由不同的功能单元、模块完成，即将所述装置的内部结构划分成不同的功能单元或模块，以完成以上描述的全部或者部分功能。实施例中的各功能单元、模块可以集成在一个处理单元中，也可以是各个单元单独物理存在，也可以两个或两个以上单元集成在一个单元中，上述集成的单元既可以采用硬件的形式实现，也可以采用软件功能单元的形式实现。另外，各功能单元、模块的具体名称也只是为了便于相互区分，并不用于限制本申请的保护范围。上述系统中单元、模块的具体工作过程，可以参考前述方法实施例中的对应过程，在此不再赘述。
以上所述仅为本申请的优选实施例，并非因此限制本申请的专利范围，凡是在本申请的发明构思下，利用本申请说明书及附图内容所作的等效结构变换，或直接/间接运用在其他相关的技术领域均包括在本申请的专利保护范围内。
Claims (12)
1.一种光路校准方法，其特征在于，所述光路校准方法应用于光路校准装置，所述光路校准装置包括采集单元、固定装置与探针，所述探针包括第一探针，所述采集单元包括第一采集单元，所述固定装置包括自由端，所述光路校准方法包括：
沿所述第一采集单元的信号采集方向调整所述第一探针的位置；
移动所述第一探针至第一校准位置，调整所述第一采集单元，使所述第一采集单元接收到清晰的像；
调整所述第一采集单元，使所述第一探针的针尖与所述第一采集单元成像显示的第一目标位置重合；
调整所述第一探针至第二校准位置，调整所述第一采集单元，使所述第一采集单元接收到清晰的像；其中，所述第二校准位置与所述第一校准位置不重合，并且所述第一校准位置、所述第二校准位置以及所述第一采集单元位于同一直线；
获取所述第一探针的针尖在所述第一采集单元中显示的位置；
当所述第一探针的针尖与所述第一目标位置重合时，完成所述第一采集单元位置的校准；
当所述第一采集单元校准完成时，根据所述第一探针的位置，确定所述自由端的第一测试位置；
将所述固定装置移动至所述第一测试位置，将所述固定装置与待测产品固定连接；
对所述待测产品进行光路校准。
2.如权利要求1所述的光路校准方法，其特征在于，获取所述第一探针的针尖在所述第一采集单元中显示的位置，之后还包括：
当所述第一探针的针尖与所述第一目标位置不重合时，执行所述移动所述第一探针位于第一校准位置，调整所述第一采集单元，使所述第一采集单元接收到清晰的像的步骤。
3.如权利要求1所述的光路校准方法，其特征在于，所述探针还包括第二探针，所述固定装置的所述自由端与所述第二探针连接，所述当所述第一采集单元校准完成时，根据所述第一探针的位置，确定所述自由端的第一测试位置，包括：
当所述第一采集单元校准完成时，将所述第一探针移动至第三校准位置；
移动所述第二探针，使所述第二探针的针尖与所述第一探针的针尖抵接；
根据所述第二探针的位置，确定所述自由端的第一测试位置。
4.如权利要求3所述的光路校准方法，其特征在于，所述根据所述第二探针的位置，确定所述自由端的第一测试位置，之后还包括：
移除所述第一探针与所述第二探针。
5.如权利要求3所述的光路校准方法，其特征在于，所述固定装置与待测产品固定连接时，所述待测产品的出瞳中心与所述第二探针的针尖位置重合。
6.如权利要求1所述的光路校准方法，其特征在于，所述采集单元还包括第二采集单元，所述第二采集单元与所述第一采集单元的信息采集方向相同；所述当所述第一采集单元校准完成时，根据所述第一探针的位置，确定所述自由端的第一测试位置，之后还包括：
控制所述第一探针，对所述第二采集单元进行校准；
当所述第二采集单元校准完成时，根据所述第一探针，确定所述固定装置的第二测试位置；
将所述固定装置移动至所述第二测试位置，将所述固定装置与待测产品固定连接。
7.一种光路校准装置，其特征在于，所述光路校准装置包括采集单元、固定装置、探针以及控制器，所述探针包括第一探针，所述采集单元包括第一采集单元，所述固定装置包括自由端，其中，
所述第一探针用于对所述第一采集单元进行校准，并在所述第一采集单元完成校准时，用于确定所述固定装置的所述自由端的第一测试位置；
所述固定装置的所述自由端与待测产品连接，用于调整所述待测产品的位置进行光路校准；
所述控制器与所述第一采集单元、所述固定装置以及所述探针通信连接，并执行权利要求1-6所述的光路校准方法，进行光路校准。
8.如权利要求7所述的光路校准装置，其特征在于，所述采集单元还包括第二采集单元，所述控制器与所述第二采集单元通信连接，所述第二采集单元与所述第一采集单元的信号采集方向相同。
9.如权利要求8所述的光路校准装置，其特征在于，所述第一探针的针尖高度与所述第一采集单元以及所述第二采集单元的中心高度相同。
10.如权利要求7所述的光路校准装置，其特征在于，所述探针还包括第二探针，所述固定装置的所述自由端与所述第二探针连接，所述第一探针与所述第二探针相对设置。
11.如权利要求7所述的光路校准装置，其特征在于，所述光路校准装置还包括调整台，所述调整台与所述采集单元连接，所述调整台用于调整所述采集单元的位置与角度。
12.如权利要求11所述的光路校准装置，其特征在于，所述光路校准装置还包括操作平台，其中，所述探针、所述调整台均设于所述操作平台上，所述固定装置还包括固定端，所述固定端与所述操作平台固定连接。
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