CN109888609B - 一种温漂自补偿的光学腔 - Google Patents

Abstract

本发明涉及光学技术领域，具体为一种温漂自补偿的光学腔。目的是为了解决现在大部分装置都采用主动的温度控制技术或者热膨胀系数极低的腔体材料所导致的系统操作复杂性和系统失效的风险，以及光学腔系统的成本过高等问题。本发明包括一个主腔体部件、两个副腔体部件和两个镜片。本发明利用不同材料热膨胀系数的差异，通过设计部件的长度和结构，在能够保证有效光学腔腔长的同时极大减小或者抵消其对外界温度变化引起的漂移，从而获得稳定的光学频率参考。

Description

一种温漂自补偿的光学腔

技术领域

本发明涉及光学技术领域，具体为一种温漂自补偿的光学腔。

背景技术

光学腔是现代激光频率稳定、模式过滤和利用激光吸收检测特定气体浓度装置中的通用器件，然而一般的光学腔受到腔体材料的热膨胀影响，其腔长随外界环境温度起伏而变化，导致光学腔的共振频率也随外界温度的起伏而漂移，严重影响光学腔在各种实验和检测中的应用。为了抑制这种光学腔的温漂，现在大部分装置都采用主动的温度控制技术或者热膨胀系数极低的腔体材料，如ULE玻璃、Zerodur微晶玻璃等材料。主动温度控制技术增加了系统操作复杂性的同时也引人的系统失效的风险，同时也增加了光学腔的成本。热膨胀系数极低玻璃材料在室温下的热膨胀系数都在10^-8/K的量级，利用其制作的光学腔的温漂极低。然而，这些玻璃材料价格昂贵、不易加工，并且加工出的腔体脆弱容易破碎，不利于极端环境下的应用。

发明内容

本发明的目的在于提供一种温漂自补偿的光学腔，以解决上述背景技术中提出的现在大部分装置都采用主动的温度控制技术或者热膨胀系数极低的腔体材料所导致的系统操作复杂性和系统失效的风险，以及光学腔系统的成本过高等问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

一种温漂自补偿的光学腔，包括一个主腔体部件、两个副腔体部件和两个镜片，所述主腔体部件中部为贯穿的圆柱形空腔，所述两个副腔体部件分别插装在圆柱形空腔的两端，所述两个副腔体部件面向圆柱形空腔的内侧延伸设置有凸块，所述凸块设置有贯穿的阶梯孔，所述凸块的外壁和圆柱形空腔的内壁之间留有空隙，阶梯孔朝向圆柱形空腔内侧的为小孔，外侧的为大孔，所述两个镜片分别安装在两个阶梯孔的大孔中，所述两个镜片(3)和两个阶梯孔(201)的大孔之间留有间隙。

所述两个副腔体部件外侧设有圆柱形凹槽，使装配更加方便，所述圆柱形凹槽与凸块上设置的贯穿的阶梯孔相通，所述圆柱形凹槽的直径大于阶梯孔大孔的直径，这样设置镜片可以通过相应的辅助器件固定于凸块上设置的贯穿阶梯孔的大孔中，也可通过相应的辅助器件调节镜片的位置。

所述主腔体部件1由热膨胀系数在0-10×10^-6/K量级的材料制成，在外界温度变化时，此主腔体部件的长度随着温度起伏发生相应的伸长或者缩短。较低的热膨胀系数确保主腔体部件的长度起伏量能够被下述的较短的副腔体部件的热膨胀补偿。

所述两个副腔体部件2由热膨胀系数在15×10^-6/K-50×10^-6/K量级的材料制成，在外界温度变化时，此副腔体腔体部件的长度随着温度起伏发生相应的伸长或者缩短。较高的热膨胀系数确保能够用较短的副腔体部件补偿前述的热膨胀系数低的较长的主腔体部件的热膨胀，从而使所述光学腔的腔长在温度起伏时保持稳定。

所述主腔体部件的长度为l₀，所述主腔体部件的两端面到两个镜片靠近圆柱形空腔内侧端面之间的距离分别为l₁和l₂，所述主腔体部件热膨胀系数为α₁，所述两个副腔体部件的热膨胀系数分别为α_21、α_22，其中l₀、l₁、l₂、α₁、α₂₁和α₂₂之间满足如下关系：

l₀×α₁＝l₁×α₂₁+l₂×α₂₂，且α₁＜(α₂₁，α₂₂)。

设计满足上述关系式的光学腔在外界温度变化ΔT时主腔体部件热膨胀引起的长度变化量(l₀×α₁)×ΔT正好被两个副腔体部件热膨胀引起的长度变化量(l₁×α₂₁+l₂×α₂₂)×ΔT补偿，从而整体的腔长(两个镜片之间的距离)不随外界温度的起伏而变化，确保光学腔的共振频率的温度稳定性。

一种温漂自补偿的光学腔，包括一个主腔体部件、两个副腔体部件、两个镜片和压电陶瓷，所述主腔体部件中部为贯穿的圆柱形空腔，所述两个副腔体部件分别插装在圆柱形空腔的两端，所述两个副腔体部件面向圆柱形空腔的内侧延伸设置有凸块，所述凸块设置有贯穿的阶梯孔，所述凸块的外壁和圆柱形空腔的内壁之间留有空隙，阶梯孔朝向圆柱形空腔内侧的为小孔，外侧的为大孔，在其中一个或者两个所述凸块的阶梯孔的大孔中安装有压电陶瓷，所述压电陶瓷的侧面和阶梯孔的大孔之间留有空隙，当在其中一个所述凸块的阶梯孔的大孔中安装压电陶瓷时，所述压电陶瓷的一个端面和阶梯孔的小孔直接接触，另一个端面上粘接有一个镜片，另一个镜片安装在另一个所述凸块的阶梯孔的大孔中，所述镜片和阶梯孔的大孔之间留有间隙；当在两个所述凸块的阶梯孔的大孔中安装压电陶瓷时，压电陶瓷安装在每个所述凸块的阶梯孔的大孔中，所述每个压电陶瓷的一个端面和阶梯孔的小孔直接接触，另一个端面上粘接有镜片。

所述两个副腔体部件外侧设有圆柱形凹槽，使装配更加方便，所述圆柱形凹槽与凸块上设置的贯穿的阶梯孔相通，所述圆柱形凹槽的直径大于阶梯孔大孔的直径，这样设置镜片可以通过相应的辅助器件固定于凸块上设置的贯穿阶梯孔的大孔中，也可通过相应的辅助器件调节镜片的位置。

所述主腔体部件1由热膨胀系数在0-10×10^-6/K量级的材料制成，在外界温度变化时，此主腔体部件的长度随着温度起伏发生相应的伸长或者缩短。较低的热膨胀系数确保主腔体部件的长度起伏量能够被下述的较短的副腔体部件的热膨胀补偿。

所述两个副腔体部件2由热膨胀系数在15×10^-6/K-50×10^-6/K量级的材料制成，在外界温度变化时，此副腔体腔体部件的长度随着温度起伏发生相应的伸长或者缩短。较高的热膨胀系数确保能够用较短的副腔体部件补偿前述的热膨胀系数低的较长的主腔体部件的热膨胀，从而使所述光学腔的腔长在温度起伏时保持稳定。

所述主腔体部件的长度为l₀，所述主腔体部件的两端面到镜片或压电陶瓷靠近圆柱形空腔内侧端面之间的距离分别为l₁和l₂，所述主腔体部件热膨胀系数为α₁，所述两个副腔体部件的热膨胀系数分别为α_21、α_22，所述压电陶瓷的热膨胀系数为α₃，所述压电陶瓷的厚度为d，其中l₀、l₁、l₂、α₁、α₂₁、α₂₂、α₃和d之间满足如下关系：

l₀×α₁＝l₁×α₂₁+l₂×α₂₂-d×α₃，且α₁＜(α₂₁，α₂₂)。

设计满足上述关系式的光学腔在外界温度变化ΔT时主腔体部件热膨胀引起的长度变化量(l₀×α₁)×ΔT正好被两个副腔体部件热膨胀引起的长度变化量(l₁×α₂₁+l₂×α₂₂)×ΔT和压电陶瓷引起的长度变化量(d×α₃)×ΔT补偿，从而整体的腔长(两个镜片之间的距离)不随外界温度的起伏而变化，确保光学腔的共振频率的温度稳定性。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：

1.相比常用的用单一的普通材料制作的光学腔较大的温度漂移，本发明利用不同材料热膨胀系数的差异，通过设计部件的长度和结构，在能够保证有效光学腔腔长的同时极大减小或者抵消其对外界温度变化引起的漂移，从而获得稳定的光学频率参考。

2.本发明可采用普通低值的普通材料——如石英、殷钢、硬质铜合金或者铝合金等——构成，能够获得可以和昂贵的超低膨胀材料——如ULE玻璃、Zerodur微晶玻璃等——制作的光学参考腔相比的热稳定性。同时普通材料的易加工性、对极端环境的耐受性，使得本发明在极大降低了加工成本的同时能够适用于更广泛的应用环境。

附图说明

图1为本发明的整体外观图；

图2为本发明实施例1的断面图；

图3为本发明实施例2的断面图；

图4为本发明实施例3的断面图；

图5为本发明副腔体部件的断面结构示意图；

图6为本发明实施例1标注尺寸的断面图；

图7为本发明实施例2标注尺寸的断面图；

图8为本发明实施例3标注尺寸的断面图；

图中：1-主腔体部件、11-圆柱形空腔、2-副腔体部件、21-凸块、22-圆柱形凹槽、201-阶梯孔、3-镜片、4-压电陶瓷。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

实施例1

请参阅图1-2、图5-6，一种温漂自补偿的光学腔，包括一个主腔体部件1、两个副腔体部件2和两个镜片3，所述主腔体部件1中部为贯穿的圆柱形空腔11，所述两个副腔体部件2分别插装在圆柱形空腔11的两端，所述两个副腔体部件2面向圆柱形空腔11的内侧延伸设置有凸块21，所述凸块21设置有贯穿的阶梯孔201，所述凸块21和圆柱形空腔11留有空隙，阶梯孔201朝向圆柱形空腔11内侧的为小孔，外侧的为大孔，所述两个镜片3分别安装在两个阶梯孔201的大孔中，所述两个镜片3和两个阶梯孔201的大孔之间留有间隙。

所述两个副腔体部件2外侧设有圆柱形凹槽22，使装配更加方便，所述圆柱形凹槽22与凸块21上设置的贯穿的阶梯孔201相通。

所述主腔体部件1由热膨胀系数在0-10×10^-6/K量级的石英玻璃制成。

所述两个副腔体部件2由热膨胀系数在15×10^-6/K-50×10^-6/K量级的硬质的铜合金制成。

所述主腔体部件1的长度为l₀，所述主腔体部件1的两端面到两个镜片3靠近圆柱形空腔11内侧端面之间的距离分别为l₁和l₂，所述主腔体部件1热膨胀系数为α₁，所述两个副腔体部件2的热膨胀系数分别为α_21、α_22，其中l₀、l₁、l₂、α₁、α₂₁和α₂₂之间满足如下关系：

l₀×α₁＝l₁×α₂₁+l₂×α₂₂，且α₁＜(α₂₁，α₂₂)。

工作原理：本发明采用热膨胀系数在0-10×10^-6/K量级的材料制成长度较长的主腔体部件1，采用热膨胀系数在15×10^-6/K-50×10^-6/K量级的材料制成长度较短的副腔体部件2。首先把两个副腔体部件2分别插装在圆柱形空腔11的两端，然后将镜片3通过相应的辅助器件固定在阶梯孔201的大孔中，接着根据所采用材料的热膨胀系数设置相应部分的长度，当外界温度发生变化时，主腔体部件1的热膨胀能够被副腔体部件2上的凸块21的有效长度抵消，从而获得稳定的腔长(即两个镜片3之间的距离不随温度的起伏而变化)。使用时将激光光束通过任意一个在阶梯孔201的大孔中设置的镜片3注入，当激光频率和光学腔共振时激光在两个镜片3之间来回振荡，形成共振，最终从两端镜片3透射出去，用于探测。基于本发明当外界温度发生变化时光学腔的腔长由于各部件之间的热膨胀补偿不发生变化，入射激光的共振位置不会发生变化，从而提高光学腔在各种应用中的稳定性。

实施例2

请参阅图1、图3、图5和图7，一种温漂自补偿的光学腔，其特征在于：包括一个主腔体部件1、两个副腔体部件2、两个镜片3和压电陶瓷4，所述主腔体部件1中部为贯穿的圆柱形空腔11，所述两个副腔体部件2分别插装在圆柱形空腔11的两端，所述两个副腔体部件2面向圆柱形空腔11的内侧延伸设置有凸块21，所述凸块21设置有贯穿的阶梯孔201，所述凸块21的外壁和圆柱形空腔11的内壁之间留有空隙，阶梯孔201朝向圆柱形空腔11内侧的为小孔，外侧的为大孔，在其中一个或者两个所述凸块21的阶梯孔201的大孔中安装有压电陶瓷4，所述压电陶瓷4的侧面和阶梯孔201的大孔之间留有空隙，当在其中一个所述凸块21的阶梯孔201的大孔中安装压电陶瓷4时，所述压电陶瓷4的一个端面和阶梯孔201的小孔直接接触，另一个端面上粘接有一个镜片3，另一个镜片3安装在另一个所述凸块21的阶梯孔201的大孔中，所述镜片3和阶梯孔201的大孔之间留有间隙；当在两个所述凸块21的阶梯孔201的大孔中安装压电陶瓷4时，压电陶瓷4安装在每个所述凸块21的阶梯孔201的大孔中，所述每个压电陶瓷4的一个端面和阶梯孔201的小孔直接接触，另一个端面上粘接有镜片3。

所述两个副腔体部件2外侧设有圆柱形凹槽22，使装配更加方便，所述圆柱形凹槽22与凸块21上设置的贯穿的阶梯孔201相通。

所述主腔体部件1由热膨胀系数在0-10×10^-6/K量级的殷刚制成。

所述两个副腔体部件2由热膨胀系数在15×10^-6/K-50×10^-6/K量级的硬质的铝合金制成。

所述主腔体部件1的长度为l₀，所述主腔体部件1的两端面到镜片3或压电陶瓷4靠近圆柱形空腔11内侧端面之间的距离分别为l₁和l₂，所述主腔体部件1热膨胀系数为α₁，所述两个副腔体部件2的热膨胀系数分别为α_21、α_22，所述压电陶瓷4的热膨胀系数为α₃，所述压电陶瓷4的厚度为d，其中l₀、l₁、l₂、α₁、α₂₁、α₂₂、α₃和d之间满足如下关系：

l₀×α₁＝l₁×α₂₁+l₂×α₂₂-d×α₃，且α₁＜(α₂₁，α₂₂)。

工作原理：本发明采用热膨胀系数在0-10×10^-6/K量级的材料制成长度较长的主腔体部件1，采用热膨胀系数在15×10^-6/K-50×10^-6/K量级的材料制成长度较短的副腔体部件2。首先把两个副腔体部件2分别插装在圆柱形空腔11的两端，然后将压电陶瓷4通过相应的辅助器件固定在阶梯孔201的大孔中，接着把镜片3粘接于压电陶瓷4上，根据所采用材料的热膨胀系数设置相应部分的长度，当外界温度发生变化时，主腔体部件1的热膨胀能够被副腔体部件2上的凸块21的有效长度和压电陶瓷4的热膨胀所抵消，从而获得稳定的腔长(即两个镜片3之间的距离不随温度的起伏而变化)。使用时将激光光束通过任意一个在阶梯孔201的大孔中设置的镜片3注入，激光束通过镜片3穿过压电陶瓷4(设置压电陶瓷4可人为的通过电压来控制腔长)当激光频率和光学腔共振时激光在两个镜片3之间来回振荡，形成共振，最终从两端镜片3透射出去，用于探测。基于本发明当外界温度发生变化时光学腔的腔长由于各部件之间的热膨胀补偿不发生变化，入射激光的共振位置不会发生变化，从而提高光学腔在各种应用中的稳定性。

实施例3

请参阅图1、图4、图5、和图8，一种温漂自补偿的光学腔，其特征在于：包括一个主腔体部件1、两个副腔体部件2、两个镜片3和压电陶瓷4，所述主腔体部件1中部为贯穿的圆柱形空腔11，所述两个副腔体部件2分别插装在圆柱形空腔11的两端，所述两个副腔体部件2面向圆柱形空腔11的内侧延伸设置有凸块21，所述凸块21设置有贯穿的阶梯孔201，所述凸块21的外壁和圆柱形空腔11的内壁之间留有空隙，阶梯孔201朝向圆柱形空腔11内侧的为小孔，外侧的为大孔，在其中一个或者两个所述凸块21的阶梯孔201的大孔中安装有压电陶瓷4，所述压电陶瓷4的侧面和阶梯孔201的大孔之间留有空隙，当在其中一个所述凸块21的阶梯孔201的大孔中安装压电陶瓷4时，所述压电陶瓷4的一个端面和阶梯孔201的小孔直接接触，另一个端面上粘接有一个镜片3，另一个镜片3安装在另一个所述凸块21的阶梯孔201的大孔中，所述镜片3和阶梯孔201的大孔之间留有间隙；当在两个所述凸块21的阶梯孔201的大孔中安装压电陶瓷4时，压电陶瓷4安装在每个所述凸块21的阶梯孔201的大孔中，所述每个压电陶瓷4的一个端面和阶梯孔201的小孔直接接触，另一个端面上粘接有镜片3。

所述两个副腔体部件2外侧设有圆柱形凹槽22，使装配更加方便，所述圆柱形凹槽22与凸块21上设置的贯穿的阶梯孔201相通。

所述主腔体部件1由热膨胀系数在0-10×10^-6/K量级的花岗岩制成。

所述两个副腔体部件2由热膨胀系数在15×10^-6/K-50×10^-6/K量级的不锈钢制成。

所述主腔体部件1的长度为l₀，所述主腔体部件1的两端面到镜片3或压电陶瓷4靠近圆柱形空腔11内侧端面之间的距离分别为l₁和l₂，所述主腔体部件1热膨胀系数为α₁，所述两个副腔体部件2的热膨胀系数分别为α_21、α_22，所述压电陶瓷4的热膨胀系数为α₃，所述压电陶瓷4的厚度为d，其中l₀、l₁、l₂、α₁、α₂₁、α₂₂、α₃和d之间满足如下关系：

l₀×α₁＝l₁×α₂₁+l₂×α₂₂-2×d×α₃，且α₁＜(α₂₁，α₂₂)。

工作原理：本发明采用热膨胀系数在0-10×10^-6/K量级的材料制成长度较长的主腔体部件1，采用热膨胀系数在15×10^-6/K-50×10^-6/K量级的材料制成长度较短的副腔体部件2。首先把两个副腔体部件2分别插装在圆柱形空腔11的两端，然后将压电陶瓷4通过相应的辅助器件固定在阶梯孔201的大孔中，接着把镜片3粘接于压电陶瓷4上，根据所采用材料的热膨胀系数设置相应部分的长度，当外界温度发生变化时，主腔体部件1的热膨胀能够被副腔体部件2上的凸块21的有效长度和压电陶瓷4的热膨胀所抵消，从而获得稳定的腔长(即两个镜片3之间的距离不随温度的起伏而变化)。使用时将激光光束通过任意一个在阶梯孔201的大孔中设置的镜片3注入，激光束通过镜片3穿过压电陶瓷4(设置压电陶瓷4可人为的通过电压来控制腔长)当激光频率和光学腔共振时激光在两个镜片3之间来回振荡，形成共振，最终从两端镜片3透射出去，用于探测。基于本发明当外界温度发生变化时光学腔的腔长由于各部件之间的热膨胀补偿不发生变化，入射激光的共振位置不会发生变化，从而提高光学腔在各种应用中的稳定性。

尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (8)

1.一种温漂自补偿的光学腔，其特征在于：包括一个主腔体部件(1)、两个副腔体部件(2)和两个镜片(3)，所述主腔体部件(1)中部为贯穿的圆柱形空腔(11)，所述两个副腔体部件(2)分别插装在圆柱形空腔(11)的两端，所述两个副腔体部件(2)面向圆柱形空腔(11)的内侧延伸设置有凸块(21)，所述凸块(21)设置有贯穿的阶梯孔(201)，所述凸块(21)的外壁和圆柱形空腔(11)内壁之间留有空隙，阶梯孔(201)朝向圆柱形空腔(11)内侧的为小孔，外侧的为大孔，所述两个镜片(3)分别安装在两个阶梯孔(201)的大孔中，所述两个镜片(3)和两个阶梯孔(201)的大孔之间留有间隙，所述主腔体部件(1)的长度为l₀，所述主腔体部件(1)的两端面到两个镜片(3)靠近圆柱形空腔(11)内侧端面之间的距离分别为l₁和l₂，所述主腔体部件(1)热膨胀系数为α₁，所述两个副腔体部件(2)的热膨胀系数分别为α₂₁、α₂₂，其中l₀、l₁、l₂、α₁、α₂₁和α₂₂之间满足如下关系：

l₀×α₁＝l₁×α₂₁+l₂×α₂₂，且α₁＜(α₂₁，α₂₂)。

2.根据权利要求1所述的一种温漂自补偿的光学腔，其特征在于：所述两个副腔体部件(2)外侧设有圆柱形凹槽(22)，使装配更加方便，所述圆柱形凹槽(22)与凸块(21)上设置的贯穿的阶梯孔(201)相通，所述圆柱形凹槽(22)的直径大于阶梯孔(201)大孔的直径。

3.根据权利要求2所述的一种温漂自补偿的光学腔，其特征在于：所述主腔体部件(1)由热膨胀系数在0-10×10^-6/K量级的材料制成。

4.根据权利要求3所述的一种温漂自补偿的光学腔，其特征在于：所述两个副腔体部件(2)由热膨胀系数在15×10^-6/K-50×10^-6/K量级的材料制成。

5.一种温漂自补偿的光学腔，其特征在于：包括一个主腔体部件(1)、两个副腔体部件(2)、两个镜片(3)和压电陶瓷(4)，所述主腔体部件(1)中部为贯穿的圆柱形空腔(11)，所述两个副腔体部件(2)分别插装在圆柱形空腔(11)的两端，所述两个副腔体部件(2)面向圆柱形空腔(11)的内侧延伸设置有凸块(21)，所述凸块(21)设置有贯穿的阶梯孔(201)，所述凸块(21)的外壁和圆柱形空腔(11)的内壁之间留有空隙，阶梯孔(201)朝向圆柱形空腔(11)内侧的为小孔，外侧的为大孔，在其中一个或者两个所述凸块(21)的阶梯孔(201)的大孔中安装有压电陶瓷(4)，所述压电陶瓷(4)的侧面和阶梯孔(201)的大孔之间留有空隙，当在其中一个所述凸块(21)的阶梯孔(201)的大孔中安装压电陶瓷(4)时，所述压电陶瓷(4)的一个端面和阶梯孔(201)的小孔直接接触，另一个端面上粘接有一个镜片(3)，另一个镜片(3)安装在另一个所述凸块(21)的阶梯孔(201)的大孔中，所述镜片(3)和阶梯孔(201)的大孔之间留有间隙；当在两个所述凸块(21)的阶梯孔(201)的大孔中安装压电陶瓷(4)时，压电陶瓷(4)安装在每个所述凸块(21)的阶梯孔(201)的大孔中，所述每个压电陶瓷(4)的一个端面和阶梯孔(201)的小孔直接接触，另一个端面上粘接有镜片(3)，所述当在其中一个所述凸块(21)的阶梯孔(201)的大孔中安装压电陶瓷(4)时，满足关系式l₀×α₁＝l₁×α₂₁+l₂×α₂₂-d×α₃，且α₁＜(α₂₁，α₂₂)；所述当在两个所述凸块(21)的阶梯孔(201)的大孔中安装压电陶瓷(4)时，满足关系式l₀×α₁＝l₁×α₂₁+l₂×α₂₂-2×d×α₃，且α₁＜(α₂₁，α₂₂)，其中所述主腔体部件(1)的长度为l₀，所述主腔体部件(1)的两端面到镜片(3)或压电陶瓷(4)靠近圆柱形空腔(11)内侧端面之间的距离分别为l₁和l₂，所述主腔体部件(1)热膨胀系数为α₁，所述两个副腔体部件(2)的热膨胀系数分别为α₂₁、α₂₂，所述压电陶瓷(4)的热膨胀系数为α₃，所述压电陶瓷(4)的厚度为d。

6.根据权利要求5所述的一种温漂自补偿的光学腔，其特征在于：所述两个副腔体部件(2)外侧设有圆柱形凹槽(22)，使装配更加方便，所述圆柱形凹槽(22)与凸块(21)上设置的贯穿的阶梯孔(201)相通。

7.根据权利要求6所述的一种温漂自补偿的光学腔，其特征在于：所述主腔体部件(1)由热膨胀系数在0-10×10^-6/K量级的材料制成。

8.根据权利要求7所述的一种温漂自补偿的光学腔，其特征在于：所述两个副腔体部件(2)由热膨胀系数在15×10^-6/K-50×10^-6/K量级的材料制成。

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