CN109825865A - 一种薄壁内衬的阳极上挂工艺 - Google Patents
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Abstract
本发明是一种薄壁内衬的阳极上挂工艺，选择零件平面作为阳极挂点进行导电，增加了导电点的接触面积。工装包括方形凸起挂具、“L”型钛杆，所述方形凸起挂具的两端带有方形凸起，中间设有“L”型钛杆固定通孔；所述“L”型钛杆上设有方形凸起挂具固定通孔，及挂具固定腰型通孔；上挂时，首先分别使用螺丝及螺母将凸起挂具的方形凸起与模拟零件挂点通孔锁紧；然后将“L”型钛杆的通孔与方形凸起挂具处方形凸起上的通孔紧固，伸出的“L”型钛杆处的挂具固定腰型通孔与带有弯头的钛杆紧固即可。本发明针对薄壁工件，选择其平面与挂具之间的接触平面为导电点进行导电。本发明有效避免了导电不良造成的薄壁工件的烧伤问题。
Description
技术领域
本发明属于表面处理加工领域，特别是涉及一种壁厚较薄的铝合金内衬零件。
背景技术
目前，IC装备制造行业中，铝合金薄壁内衬主要用于反应腔室中，它需要具备较强的耐腐蚀性以及绝缘性，因此，大多数工件进行硬质阳极化表面处理工艺。对于薄壁工件而言，在阳极化时，由于厚度较薄、螺纹较短，作为导电点时极易造成零件烧伤。鉴于上述情况，有必要开发一种薄壁内衬专用的上挂工艺。
发明内容
针对上述存在的技术问题，本发明的目的是提供一种薄壁内衬的阳极氧化上挂工艺，以提升挂具与工件的导电接触面积，增强导电性，解决阳极过程中的烧伤问题。
本发明的目的是通过如下技术方案实现的：
一种薄壁内衬的阳极上挂工艺，选择零件平面作为阳极挂点进行导电，增加了导电点的接触面积。
与零件平面接触的挂具两端有凸起的方形，且凸起位置的平面度<0.1mm。
所述挂具的凸起位置中心开有与工件接触位置匹配的通孔，非凸起表面开有与“L”型钛杆相配合的通孔。
所示“L”型钛杆的非通孔端面设有与普通钛杆连接的腰型通孔。
本发明的有益效果是：
1.本发明能有效解决薄壁内衬在阳极过程中的导电不良及烧伤问题。其中带有方形凸起的挂具凸起面与工件表面贴合作为导电点，增加了导电面积，使工件具有良好的导电性。
2.本发明既拆卸简便且易固定，在解决薄壁内城导电不良及烧伤问题的同时，进一步提升了阳极化效率能。本发明尤其适用于薄壁类工件的阳极化。
附图说明
图1为本发明组合使用结构示意图。
图2为方形凸起挂具结构示意图。
图3为“L”型钛杆结构示意图。
图4为模拟零件结构示意图。
具体实施方式
下面结合实施例对本发明进行详细描述。
实施例：如图1、2、3所示，一种薄壁内衬的阳极上挂工艺，选择零件平面作为阳极挂点进行导电，增加了导电点的接触面积。
与零件平面接触的挂具两端有凸起的方形，且凸起位置的平面度<0.1mm。
所述挂具的凸起位置中心开有与工件接触位置匹配的通孔，非凸起表面开有与“L”型钛杆相配合的通孔。
所示“L”型钛杆的非通孔端面设有与普通钛杆连接的腰型通孔。
工装包括方形凸起挂具1、“L”型钛杆2，所述方形凸起挂具1的两端带有方形凸起21，中间设有“L”型钛杆固定通孔22；
所述“L”型钛杆2上设有方形凸起挂具固定通孔31，及挂具固定腰型通孔32；
上挂前，将裸铝位置遮蔽，与凸起放形的接触位置裸漏作为挂点使用；上挂时，首先分别使用螺丝及螺母将凸起挂具1的方形凸起21与模拟零件挂点通孔11锁紧；然后将“L”型钛杆3的通孔31与方形凸起挂具1处方形凸起上的通孔21紧固，伸出的“L”型钛杆3处的挂具固定腰型通孔32与带有弯头的钛杆紧固即可。完成上述步骤后，即可将模拟零件及其挂具弯头固定到飞靶上，进行阳极化即可。
Claims (4)
1.一种薄壁内衬的阳极上挂工艺，其特征在于：选择零件平面作为阳极挂点进行导电，增加了导电点的接触面积。
与零件平面接触的挂具两端有凸起的方形，且凸起位置的平面度<0.1mm。
2.按照权利要求1所述薄壁内衬的阳极上挂工艺，其特征在于：所述挂具的凸起位置中心开有与工件接触位置匹配的通孔，非凸起表面开有与“L”型钛杆相配合的通孔。
3.按照权利要求1所述薄壁内衬的阳极上挂工艺，其特征在于：所示“L”型钛杆的非通孔端面设有与普通钛杆连接的腰型通孔。
4.按照权利要求1所述薄壁内衬的阳极上挂工艺，其特征在于：
工装包括方形凸起挂具、“L”型钛杆，所述方形凸起挂具的两端带有方形凸起，中间设有“L”型钛杆固定通孔；
所述“L”型钛杆上设有方形凸起挂具固定通孔，及挂具固定腰型通孔；
上挂前，将裸铝位置遮蔽，与凸起放形的接触位置裸漏作为挂点使用；上挂时，首先分别使用螺丝及螺母将凸起挂具的方形凸起与模拟零件挂点通孔锁紧；然后将“L”型钛杆的通孔与方形凸起挂具处方形凸起上的通孔紧固，伸出的“L”型钛杆处的挂具固定腰型通孔与带有弯头的钛杆紧固即可。
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