CN109814333A - 一种高性能的防污染颗粒的光罩膜 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及光罩膜技术领域，尤其涉及一种高性能的防污染颗粒的光罩膜，解决现有技术中存在安装繁琐、清理不方便的缺点，包括膜体和安装板，所述膜体的外侧设置有塑料架，所述塑料架的外侧包裹有绝缘密封垫，且塑料架的四角分别固定设置有安装脚，所述膜体、塑料架与安装脚之间相对设置形成有清理槽，且清理槽位于膜体的两侧，所述安装脚的底部通过设置有卡块，通过清理槽、第一清理通道、第二清理通道等结构的设置，光罩膜在安装之后，可在清理通道的内部塞入吸尘管道，配合清理槽来对膜体的两面进行清理，不需要拆下，并且设备与膜体直接不接触，膜体不会损坏，有效地延长了光罩膜的使用寿命。
Description
技术领域
本发明涉及光罩膜技术领域，尤其涉及一种高性能的防污染颗粒的光罩膜。
背景技术
光罩膜的主要成份是塑料，化学成份为：100％氟化聚合物，形态是超薄膜，为了防止在集成电路芯片表面沾附颗粒灰尘，同时又要保证集成电路芯片的高度透光而产生的一种新型的高科技的超薄产品，光罩膜的主要作用是保护掩膜板，防止灰尘进入掩膜板，影响光刻成形的图案，从而达到提高线条的精确度。
目前市场上的光罩膜存在以下缺陷，一方面，光罩膜的安装方式繁琐；另一方面，光罩膜自身清理时需要拆卸下来进行清理，耗费工序和人力，并且清理时设备与膜体直接接触，容易损坏薄型的光罩膜。
发明内容
本发明的目的是为了解决现有技术中存在安装繁琐、清理不方便的缺点，而提出的一种高性能的防污染颗粒的光罩膜。
为了实现上述目的，本发明采用了如下技术方案：
一种高性能的防污染颗粒的光罩膜，包括膜体和安装板，所述膜体的外侧设置有塑料架，所述塑料架的外侧包裹有绝缘密封垫，且塑料架的四角分别固定设置有安装脚，所述膜体、塑料架与安装脚之间相对设置形成有清理槽，且清理槽位于膜体的两侧，所述安装脚的底部通过设置有卡块，且安装脚的内部开设有第一清理通道，所述第一清理通道与清理槽的内部相通，所述安装板的内部开设有安装槽，所述安装槽的内部分别设置了对称布置的卡槽、挡板以及第二清理通道。
优选的，所述绝缘密封垫上开设有通孔，所述安装脚穿过通孔的内部。
优选的，所述安装槽的内壁两侧均开设有第一凹槽，第一凹槽的内壁一侧通过卡扣固定连接有第二弹簧，所述第二弹簧的另一端通过卡扣与挡板的一端连接。
优选的，所述安装板的两侧均通过螺丝固定有密封罩，且密封罩位于所述第二清理通道的一侧。
优选的，所述安装脚的底部开设有第二凹槽，第二凹槽的内部通过卡扣固定连接有第一弹簧，第一弹簧的另一端通过卡扣与卡块的顶部固定连接，且卡块与卡槽的横截面积大小相等。
优选的，所述安装槽的内部设置有集成电路芯片。
本发明的有益效果是：
1、本发明中通过安装脚、卡块、卡槽、挡板、第一凹槽、第二凹槽等结构的设置，安装时卡块和卡槽配合固定，之后由两个弹簧和挡板配合压紧，安装方便快捷。
2、本发明中通过清理槽、第一清理通道、第二清理通道等结构的设置，光罩膜在安装之后，可在清理通道的内部塞入吸尘管道，配合清理槽来对膜体的两面进行清理，不需要拆下，并且设备与膜体直接不接触，膜体不会损坏，有效地延长了光罩膜的使用寿命。
附图说明
图1为本发明提出的一种高性能的防污染颗粒的光罩膜的正面结构示意图；
图2为本发明提出的一种高性能的防污染颗粒的光罩膜的标号A处放大图；
图3为本发明提出的一种高性能的防污染颗粒的光罩膜的安装时的侧视图。
图中：1膜体、2塑料架、3安装脚、4第一清理通道、5绝缘密封垫、6清理槽、7第一凹槽、8卡块、9卡槽、10安装板、11集成电路芯片、12安装槽、13第一弹簧、14第二凹槽、15挡板、16密封罩、17第二清理通道、18第二弹簧。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。
参照图1-3，一种高性能的防污染颗粒的光罩膜，包括膜体1和安装板10，所述膜体1的外侧设置有塑料架2，塑料架2的外侧包裹有绝缘密封垫5，绝缘密封垫5上开设有通孔，安装脚3穿过通孔的内部，且塑料架2的四角分别固定设置有安装脚3，通过安装脚3、卡块8、卡槽9、挡板15、第一凹槽7、第二凹槽14等结构的设置，安装时卡块8和卡槽9配合固定，之后由两个弹簧和挡板15配合压紧，安装方便快捷，安装脚3的底部开设有第二凹槽14，第二凹槽14的内部通过卡扣固定连接有第一弹簧13，第一弹簧13的另一端通过卡扣与卡块8的顶部固定连接，且卡块8与卡槽9的横截面积大小相等，膜体1、塑料架2与安装脚3之间相对设置形成有清理槽6，且清理槽6位于膜体1的两侧，安装脚3的底部通过设置有卡块8，且安装脚3的内部开设有第一清理通道4，第一清理通道4与清理槽6的内部相通，安装板10的内部开设有安装槽12，安装板10的两侧均通过螺丝固定有密封罩16，且密封罩16位于第二清理通道17的一侧，通过清理槽6、第一清理通道7、第二清理通道17等结构的设置，光罩膜在安装之后，可在清理通道的内部塞入吸尘管道，配合清理槽6来对膜体的两面进行清理，不需要拆下，并且设备与膜体直接不接触，膜体不会损坏，有效地延长了光罩膜的使用寿命，安装槽12的内壁两侧均开设有第一凹槽7，安装槽12的内部设置有集成电路芯片11，第一凹槽7的内壁一侧通过卡扣固定连接有第二弹簧18，第二弹簧18的另一端通过卡扣与挡板15的一端连接，安装槽12的内部分别设置了对称布置的卡槽9、挡板15以及第二清理通道17。
实施例一，光罩膜在安装时，安装板10两侧的挡板15收缩在第一凹槽7的内部，人员将卡块8卡入卡槽9的内部，随后压紧膜体1，松开挡板15之后，挡板15将安装脚3挡住，使膜体1固定在安装槽12的内部，安装完成之后第一清理通道4与第二清理通道17对准，高度在同一水平面上，外侧的绝缘密封垫5确保膜体1与外部设备绝缘。
实施例二，光罩膜用于防止在集成电路芯片11表面沾附颗粒灰尘，同时保证集成电路芯片11的高度透光，长期放置后，膜体1的两面若产生灰尘，使用者可拆卸掉密封罩16，将用于清理的吸尘管道(图中未表示出)通入第一清理通道4和第二清理通道17的内部，由于第一清理通道4与清理槽6相通，吸尘装置在作用后可将膜体1两面的颗粒物吸净，不需要将膜体1拆下，也不用与膜体1进行直接接触，清理的效果好，清理完成后将密封罩16装上。
以上所述，仅为本发明较佳的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，根据本发明的技术方案及其发明构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本发明的保护范围之内。
Claims (6)
1.一种高性能的防污染颗粒的光罩膜，包括膜体(1)和安装板(10)，其特征在于，所述膜体(1)的外侧设置有塑料架(2)，所述塑料架(2)的外侧包裹有绝缘密封垫(5)，且塑料架(2)的四角分别固定设置有安装脚(3)，所述膜体(1)、塑料架(2)与安装脚(3)之间相对设置形成有清理槽(6)，且清理槽(6)位于膜体(1)的两侧，所述安装脚(3)的底部通过设置有卡块(8)，且安装脚(3)的内部开设有第一清理通道(4)，所述第一清理通道(4)与清理槽(6)的内部相通，所述安装板(10)的内部开设有安装槽(12)，所述安装槽(12)的内部分别设置了对称布置的卡槽(9)、挡板(15)以及第二清理通道(17)。
2.根据权利要求1所述的一种高性能的防污染颗粒的光罩膜，其特征在于，所述绝缘密封垫(5)上开设有通孔，所述安装脚(3)穿过通孔的内部。
3.根据权利要求1所述的一种高性能的防污染颗粒的光罩膜，其特征在于，所述安装槽(12)的内壁两侧均开设有第一凹槽(7)，第一凹槽(7)的内壁一侧通过卡扣固定连接有第二弹簧(18)，所述第二弹簧(18)的另一端通过卡扣与挡板(15)的一端连接。
4.根据权利要求1所述的一种高性能的防污染颗粒的光罩膜，其特征在于，所述安装板(10)的两侧均通过螺丝固定有密封罩(16)，且密封罩(16)位于所述第二清理通道(17)的一侧。
5.根据权利要求1所述的一种高性能的防污染颗粒的光罩膜，其特征在于，所述安装脚(3)的底部开设有第二凹槽(14)，第二凹槽(14)的内部通过卡扣固定连接有第一弹簧(13)，第一弹簧(13)的另一端通过卡扣与卡块(8)的顶部固定连接，且卡块(8)与卡槽(9)的横截面积大小相等。
6.根据权利要求1所述的一种高性能的防污染颗粒的光罩膜，其特征在于,所述安装槽(12)的内部设置有集成电路芯片(11)。
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| US6083577A (en) * | 1996-07-17 | 2000-07-04 | Mitsui Chemicals, Inc. | Mask protective device |
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