CN109813418A - 一种一维光纤矢量传声器探头 - Google Patents
一种一维光纤矢量传声器探头 Download PDFInfo
- Publication number
- CN109813418A CN109813418A CN201910200968.1A CN201910200968A CN109813418A CN 109813418 A CN109813418 A CN 109813418A CN 201910200968 A CN201910200968 A CN 201910200968A CN 109813418 A CN109813418 A CN 109813418A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- bragg grating
- fiber
- optical
- tandem type
- fiber bragg
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 title claims abstract description 72
- 239000000523 sample Substances 0.000 title claims abstract description 26
- 239000002121 nanofiber Substances 0.000 claims abstract description 57
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 33
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims abstract description 22
- 230000008054 signal transmission Effects 0.000 claims abstract description 22
- 238000004806 packaging method and process Methods 0.000 claims abstract description 13
- 238000012512 characterization method Methods 0.000 claims abstract description 6
- 230000007423 decrease Effects 0.000 claims abstract description 3
- 239000000835 fiber Substances 0.000 claims description 22
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 10
- 239000004677 Nylon Substances 0.000 claims description 10
- 239000003292 glue Substances 0.000 claims description 10
- 229920001778 nylon Polymers 0.000 claims description 10
- 238000003466 welding Methods 0.000 claims description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 claims description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 5
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 claims description 4
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 claims description 4
- 238000005538 encapsulation Methods 0.000 claims description 4
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 4
- 238000003672 processing method Methods 0.000 claims description 4
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 3
- 238000001459 lithography Methods 0.000 claims description 3
- 230000006698 induction Effects 0.000 claims 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 abstract description 8
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 abstract description 6
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 abstract description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 9
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 7
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 4
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 4
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 3
- 238000000985 reflectance spectrum Methods 0.000 description 3
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 2
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 230000000747 cardiac effect Effects 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 230000007812 deficiency Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 1
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 1
- 238000007380 fibre production Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000012805 post-processing Methods 0.000 description 1
- 230000010411 postconditioning Effects 0.000 description 1
- 238000005086 pumping Methods 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
Abstract
本发明公开了一种一维光纤矢量传声器探头，其特征在于包括：用于感应表征声信号矢量物理量质点振速的级联式微纳光纤布拉格光栅、光信号传输单模光纤、承载体和封装体；所述级联式微纳光纤布拉格光栅是由两个微纳光纤布拉格光栅级联构成；所述的光信号传输单模光纤一共有两段，分别与级联式微纳光纤布拉格光栅的两端熔接在一起；所述承载体是用于承载级联式微纳光纤布拉格光栅的结构体；所述的封装体用于保护级联式微纳光纤布拉格光栅的封装结构。本发明一种一维光纤矢量传声器探头，是一种全光纤结构，用于直接测量空气声质点振速，具有抗电磁干扰能力强、灵敏度高、信噪比高、易于组成阵列，尤其具有“8”字指向性的综合声学性能特点，而且结构简单、体积小、重量轻、成本低、易实现。
Description
技术领域
本发明公开了一种一维光纤矢量传声器探头，特别涉及采用全光纤结构，用于直接测量空气声质点振速，具有抗电磁干扰能力强、灵敏度高、信噪比高、易于组成阵列，尤其具有“8”字指向性的综合声学性能特点，而且结构简单、体积小、重量轻、成本低、易实现。
背景技术
随着光纤传感技术的快速发展，其应用范围越来越广泛。与传统的各类电传声器相比，光纤传声器具有独特的光纤性优点，如抗电磁干扰、灵敏度高、信噪比高、易于组成阵列、传输距离远、抗恶劣环境等。光纤传声器可以利用各种光原理和合理结构，实现声波对光的调制，通过对光信号的解调来获得相应的声信号。在各种原理的光纤传声器中，基于相位调制的光纤法布里-珀罗传声器的结构更为简单易实现，且各项声学性能指标非常优良。但目前的光纤传声器与传统的电传声器一样，是拾取表征声信号的标量物理量声压。
声信号的表征分别有标量物理量声压和矢量物理量质点振速。声压是一个标量物理量，其表现为无指向性的全向指向性。而质点振速作为一个矢量物理量，其具有方向性。之前对质点振速的测量是基于相位匹配的两只声压传声器的声压梯度计算得到，如声强计。作为一种间接获得质点振速的方法，表现出了技术局限性，尤其是相位匹配要求高和工作频带窄。因此，一种能够测量声信号质点振速的光纤传声器的研究更加受到青睐。
基于硅微结构的质点振速传感器也是一种直接测量空气声质点振速的传声器，可参考本人之前的发明专利：一种测量空气声质点振速的传感器及其制造方法。采用硅微工艺结构，一种热源丝-敏感丝一体的结构形式，由热阻效应产生的电阻差，通过解调该电阻差来得到相应的质点振速。该传声器的主要缺陷是灵敏度较低且电阻式导致本底噪声高，通过电路放大后，虽然可提高灵敏度，但是同时本低噪声也随之提升，故信噪比不高。因热源丝-敏感丝的极大长宽比，其成型难度大且硅微工艺流程复杂。另外，其成本较高，如铂金材料费和各种工艺设备加工费等。
发明内容
（一）要解决的技术问题
为了克服现有传声器技术的不足，特别针对上述技术的不足，本发明公开了一种一维光纤矢量传声器探头，它是一种全光纤结构，用于直接测量空气声质点振速，具有抗电磁干扰能力强、灵敏度高、信噪比高、易于组成阵列，尤其具有“8”字指向性的综合声学性能特点，而且结构简单、体积小、重量轻、成本低、易实现。
（二）技术方案
本发明一种一维光纤矢量传声器探头，包括：
用于直接感应表征声信号矢量物理量质点振速的级联式微纳光纤布拉格光栅；
光信号传输单模光纤；
承载体；
封装体。
所述级联式微纳光纤布拉格光栅是由2个布拉格光栅级联构成；是掺杂C0 2+离子的特种光纤，在传输波长1480nm泵浦光时具有光热效应，且2个布拉格光栅的栅区结构及其光学参数完全相同；
所述级联式微纳光纤布拉格光栅的整体可分成各含一个栅区的两段，且栅区位于各段的中心，以及连接两段的中间连接段；含栅区的两段栅区段可选长度为大于1mm；
所述级联式微纳光纤布拉格光栅以中间连接段的中点为中点弯成半U形跑道形状，使两段栅区段对称分列两侧，且可选间距100-200μm；
中间连接段长度包括半圆长度和两侧的直道长度，其中半圆长度由两段栅区段的间距确定，而两直道可选长度任意。
所述光信号传输单模光纤一共两段，为康宁普通单模光纤，分别与级联式微纳光纤布拉格光栅的两端熔接在一起。
所述级联式微纳光纤布拉格光栅的加工方法，大多采用氢氟酸腐蚀直接腐蚀已刻有布拉格光栅的特种光纤，或者使用微纳光纤制作平台将特种光纤拉锥后再掩膜光刻布拉格光栅；
在加工所述级联式微纳光纤布拉格光栅前，先将两段光信号传输单模光纤分别与级联式微纳光纤布拉格光栅的两端熔接在一起；在采用氢氟酸腐蚀的时，只需要腐蚀级联式光纤布拉格光栅部位，使其直径达到微纳尺寸；或者在采用微纳光纤制作平台只对特种光纤段进行加热拉锥；这样可避免先制作级联式微纳光纤布拉格光栅，造成后期因与光信号传输单模光纤直径不同导致的难熔接甚至无法熔接的难题；最终加工出级联式微纳光纤布拉格光栅的直径大于800nm。
所述承载体选择不扰动光传输的材料，其结构为具有一个空气流道通槽的长方体，用于搭承微纳光纤布拉格光栅形成桥式结构；空气流道通槽的可选深度大于200μm，长度等于栅区段的长度；
承载体的上表面开有承载微纳光纤布拉格光栅的沟槽，其形状与所述微纳光纤布拉格光栅的半U形跑道形状相同，其沟槽宽度和深度均为125μm。
在封装之前先将两段光信号传输单模光纤用尼龙胶水粘固在承载体U形沟槽内。
所述封装体与承载体结构完全相同，除了没有半U形跑道形状的沟槽。所述封装体用尼龙胶水恰好对齐倒扣粘接在承载体的正上面，形成一个对扣式的封装结构，且两个流道槽构成一个流道孔；用来保护全光纤体，并且在声学性能上获得一定的增益。
（三）有益效果
从上述技术方案可知，本发明一种一维光纤矢量传声器探头具有如下有益效果：
（1）针对现有光纤传声器的只能测量声压物理量的无指向性特点，本发明是一种一维光纤矢量传声器探头，具有“8”字指向性。
（2）针对现有基于硅微结构的质点振速传感器，其灵敏度较低、本底噪声高、信噪比低、成型难度大、工艺流程复杂且成本较高等弱点，本发明将硅微工艺成型的薄丝结构替换成级联式微纳光纤布拉格光栅结构，利用光纤性的优势特点，全面推翻基于硅微结构的质点振速传感器的综合性能弱点。
（3）本发明一种一维光纤矢量传声器探头，它是一种全光纤结构，用于直接测量空气声质点振速，具有抗电磁干扰能力强、灵敏度高、信噪比高、易于组成阵列，尤其具有“8”字指向性的综合声学性能特点，而且结构简单、体积小、重量轻、成本低、易实现。
附图说明
图1为根据本发明第一实施例一种一维光纤矢量传声器探头结构示意图；
图2为根据本发明第一实施例一种一维光纤矢量传声器探头采用的级联式微纳光纤布拉格光栅结构示意图；
图3为根据本发明第一实施例一种一维光纤矢量传声器探头采用的承载体结构示意图；
图4为根据本发明第一实施例一种一维光纤矢量传声器探头采用的封装体结构示意图；
图5为根据本发明第一实施例一种一维光纤矢量传声器探头的传感器原理图。
【本发明主要元件符号说明】
101-级联式微纳光纤布拉格光栅；
102-栅区段；
103-中间连接段；
104-光信号传输单模光纤；
105-承载体；
106-承载体的U形沟槽弯道区（在流道通槽一侧）；
107-承载体的U形沟槽直道区（在流道通槽另一侧）；
108-尼龙胶水粘固区；
109-封装体。
具体实施方式
为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚明白，以下结合具体实施例，并参照附图，对本发明作进一步详细说明。
【第一实施例】
在本发明的第一个示范性实施例中，提供了一种一维光纤矢量传声器探头。第一实施例一种一维光纤矢量传声器探头结构示意图，如图1所示，本实施例一种一维光纤矢量传声器探头包括：用于直接感应表征声信号矢量物理量质点振速的级联式微纳光纤布拉格光栅101、光信号传输单模光纤104、承载体105和装载体109；所述级联式微纳光纤布拉格光栅101是由2个布拉格光栅级联构成，是掺杂C0 2+离子的特种光纤，在传输波长1480nm泵浦光时具有光热效应，且2个布拉格光栅的栅区结构及其光学参数完全相同；所述级联式微纳光纤布拉格光栅的整体可分成各含1个栅区的两段栅区段102，且栅区位于各段的中心，以及连接两段的中间连接段103；栅区段102的可选长度L1要大于1mm；以中间连接段103的中点为中点弯成半U形跑道形状，使两段栅区段102对称分列两侧，且两者间距可选2*R为100-200μm；中间连接段103的长度包括半圆长度和两侧的两段直道长度，其中半圆长度由两段栅区段的间距确定为pi*R，而两直道可选长度L2任意。故级联式微纳光纤布拉格光栅的总长度为2*L1+pi*R+2*L2，如图2所示，级联式微纳光纤布拉格光栅结构示意图。所述光信号传输单模光纤104一共两段，为康宁普通单模光纤，分别与级联式微纳光纤布拉格光栅101的两端熔接在一起，其可选长度任意；这样，级联式微纳光纤布拉格光栅101和光信号传输单模光纤104构成一个全光纤体，形成一个完整的半U形跑道形状；两端分别接入和传输探测光和泵浦光，并将感应质点振速的布拉格光栅谐振光谱传输给光探测器。
所述级联式微纳光纤布拉格光栅101的加工方法，大多采用氢氟酸腐蚀直接腐蚀已具有布拉格光栅的特种光纤，或者使用微纳光纤制作平台将特种光纤拉锥后再掩膜光刻布拉格光栅；在加工所述级联式微纳光纤布拉格光栅前，先将两段光信号传输单模光纤104分别与级联式微纳光纤布拉格光栅101的两端熔接在一起；在采用氢氟酸腐蚀的时，只需要腐蚀级联式光纤布拉格光栅101部位，使其直径达到微纳尺寸；或者在采用微纳光纤制作平台只对特种光纤段进行加热拉锥；这样可避免后期先制作级联式微纳光纤布拉格光栅101，后熔光信号传输单模光纤因直径不同导致的难熔接甚至无法熔接的难题。
所述承载体105选择光传输无扰动的材料，其整体结构具有一个空气流道通槽的长方体，用于搭承微纳光纤布拉格光栅101形成简支梁桥式结构；空气流道通槽的可选深度大于200μm，长度等于栅区段102的长度L1，即栅区段102完全悬空作为桥梁，且栅区在桥梁中间位置；承载体105的上表面开有承载微纳光纤布拉格光栅的U形沟槽，其形状与级联式微纳光纤布拉格光栅101和光信号传输单模光纤104构成的全光纤体完全一致，除了流道通槽部分无相应沟槽，如图3所示，承载体结构示意图，包括流道通槽一侧的U形沟槽弯道区106和另一侧的U形沟槽弯道区107，其沟槽宽度和深度均为125μm，与康宁普通光纤/特种光纤的裸光纤直径相等。
在封装之前先将两段光信号传输单模光纤104用尼龙胶水粘固在承载体U形沟槽直道区107内，形成尼龙胶水粘固区108。
所述封装体109与承载体105结构完全相同，除了没有半U形跑道形状的沟槽。所述封装体109用尼龙胶水恰好对齐倒扣粘接在承载体105的正上表面，形成一个对扣式的封装结构，且两个流道槽构成一个流道孔；用来保护全光纤体，并且在声学性能上获得一定的增益。如图4所示，封装体结构示意图。
本发明的工作原理是级联式微纳光纤布拉格光栅在一定功率泵浦光传输下，两段栅区段因光热效应达到一定的工作温度后，在没有声信号激励的情况下，承载体的流道孔内温度场达到了一个动态平衡状态，两栅区段的温度相同，则两个布拉格光栅的反射谱中心波长相同；而有声信号激励的情况下，质点振速对动态平衡温度场产生了扰动，从而使得两个栅区段的温度产生了差异△T，该温度差使两个布拉格光栅的反射谱中心波长相对发生漂移，而布拉格光栅的反射中心波长随温度的提高发生红移，即温度高则中心波长大，通过解调这个漂移量来得到质点振速。如图5所示，一维光纤矢量传声器探头的传感器原理图。
【第二实施例】
本发明第二实施例为一优选实施例，级联式微纳光纤布拉格光栅采用掺杂C0 2+离子的特种光纤，在最大500mW功率下，泵浦光传输波长1480nm时，特种光纤的最高温度可达到约570℃。常温状态下的两个布拉格光栅的反射光谱中心波长均为1550nm，栅区段长度L1为1.5mm。栅区段的间距2*R为100μm，则半圆长度pi*R为157μm，直道长度L2为1mm，故级联式微纳光纤布拉格光栅的总长度2*L1+pi*R+2*L2为5.157mm。购买已具有上述参数的两个布拉格光栅级联的掺杂C0 2+离子的特种光纤。借助显微镜表示出5.157mm级联式微纳光纤布拉格光栅两侧位置，并准确切割后与光信号传输单模光纤熔接在一起。注意一端切割熔接完成后再处理另一端，为了便于拾取操作将两段光信号传输单模光纤的长度均选择为10cm，以便于与跳线熔接后连接到相应光学元器件。级联式微纳光纤布拉格光栅的加工方法采用HF腐蚀及表面光滑后处理，得到的直径约为5μm，腐蚀及表面光滑后处理区域尽量只加工上述总长度5.157mm对应区域，这样承载体的U形沟槽直道区可以承载一定长度的光信号传输单模光纤，这样整体强度更优。承载体的材料选择为硅片，整体结构尺寸长×宽×厚为4.5mm×1.5mm×1mm，激光微纳加工出流道通槽的长×深为1.5mm×350μm，表面上的U形沟槽宽×深为125×125μm，然后用划片机切割出整体结构尺寸的小片。在显微镜下将级联式微纳光纤布拉格光栅标记处栅区位置和中间连接段中心位置，然后弯折拉动拖进承载体表面上的U性沟槽内，并按照说明书用尼龙胶水固定住。最后用尼龙胶水将封装体恰好对齐倒扣粘接在承载体的正上面，形成一个对扣式的封装结构，且两个流道槽构成一个流道孔。
上述具体实施例，对本发明的目的、技术方案和有益效果进行了进一步说明，所应理解的是，以上所述仅为本发明的具体实施例而已，并不用于限制本发明，凡在本发明的原则之内所做的任何修改、等效变化及修饰，皆应包含在本发明的保护范围之内。
综上所述，本发明一种一维矢量传声器探头，具有结构简单、易于制作、成本低的优点，有良好的应用前景。
Claims (10)
1.一种一维光纤矢量传声器探头，其特征在于包括：用于直接感应表征声信号矢量物理量质点振速的级联式微纳光纤布拉格光栅、光信号传输单模光纤、承载体和封装体；
所述级联式微纳光纤布拉格光栅是由2个布拉格光栅级联构成；
所述光信号传输单模光纤一共两段，分别与级联式微纳光纤布拉格光栅的两端熔接在一起；
所述承载体是用于承载级联式微纳光纤布拉格光栅的结构体；
所述封装体是用于保护级联式微纳光纤布拉格光栅的结构体。
2.根据权利要求1所述的一维光纤矢量传声器探头，其特征在于，所述级联式微纳光纤布拉格光栅，是一种特种光纤，在传输一定波长的泵浦光时具有光热效应，且2个布拉格光栅的栅区结构及其光学参数完全相同。
3.根据权利要求1或2所述的一维光纤矢量传声器探头，其特征在于，所述级联式微纳光纤布拉格光栅的整体可分成各含一个栅区的栅区段，且栅区位于各段的中心，以及连接两段的中间连接段。
4.根据权利要求1或3所述的一维光纤矢量传声器探头，其特征在于，所述级联式微纳光纤布拉格光栅以中间连接段的中点为中点弯成半U形跑道形状，使两段栅区段对称分列两侧；所述的中间连接段长度包括半圆长度和两侧的直道长度，其中半圆长度由两段栅区段的间距确定，而两直道可选长度任意。
5.根据权利要求1所述的一维光纤矢量传声器探头，其特征在于，所述光信号传输单模光纤一共两段，为康宁普通单模光纤，分别与级联式微纳光纤布拉格光栅的两端熔接在一起。
6.根据权利要求1或5所述的一维光纤矢量传声器探头，其特征在于，所述级联式微纳光纤布拉格光栅的加工方法，大多采用氢氟酸腐蚀直接腐蚀已刻有布拉格光栅的特种光纤，或者使用微纳光纤制作平台将特种光纤拉锥后再掩膜光刻布拉格光栅。
7.根据权利要求1或6所述的一维光纤矢量传声器探头，其特征在于，在加工所述级联式微纳光纤布拉格光栅前，先将两段光信号传输单模光纤分别与级联式微纳光纤布拉格光栅的两端熔接在一起。
8.根据权利要求1所述的一维光纤矢量传声器探头，其特征在于，所述承载体选择不扰动光传输的材料，其结构为有一个空气流道通槽的长方体，用于搭承微纳光纤布拉格光栅形成桥式结构；空气流道通槽的长度等于栅区段的长度。
9.根据权利要求1所述的一维光纤矢量传声器探头，其特征在于，承载体的上表面开有承载微纳光纤布拉格光栅的沟槽，其形状与所述微纳光纤布拉格光栅的半U形跑道形状完全相同；在封装之前先将两段光信号传输单模光纤用尼龙胶水粘固在承载体U形沟槽内。
10.根据权利要求1所述的一维光纤矢量传声器探头，其特征在于，所述封装体与承载体结构完全相同，除了没有半U形跑道形状的沟槽；所述封装体用尼龙胶水恰好对齐倒扣粘接在承载体的正上面，形成一个对扣式的封装结构，且两个流道槽构成一个流道孔；用来保护全光纤体，并且在声学性能上获得一定的增益。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201910200968.1A CN109813418A (zh) | 2019-03-18 | 2019-03-18 | 一种一维光纤矢量传声器探头 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201910200968.1A CN109813418A (zh) | 2019-03-18 | 2019-03-18 | 一种一维光纤矢量传声器探头 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN109813418A true CN109813418A (zh) | 2019-05-28 |
Family
ID=66609146
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201910200968.1A Pending CN109813418A (zh) | 2019-03-18 | 2019-03-18 | 一种一维光纤矢量传声器探头 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN109813418A (zh) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111879395A (zh) * | 2020-08-10 | 2020-11-03 | 北京理工大学 | 一种自发热质点声振速微光纤声定位装置及方法 |
| CN112212964A (zh) * | 2019-07-12 | 2021-01-12 | 清华大学 | 光声传感器、光声探测系统、方法、装置及存储介质 |
| CN112816054A (zh) * | 2020-12-30 | 2021-05-18 | 北京航天控制仪器研究所 | 一种异形弹簧式增敏结构的光纤激光传声器 |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6314056B1 (en) * | 1998-01-23 | 2001-11-06 | Petroleum Geo-Services | Fiber optic sensor system and method |
| CN1865876A (zh) * | 2005-11-21 | 2006-11-22 | 天津爱天光电子科技有限公司 | 光纤光栅传感器及具有该传感器的光纤光栅检测装置 |
| CN101210832A (zh) * | 2006-12-28 | 2008-07-02 | 中国科学院半导体研究所 | 光纤光栅水听器 |
| CN103674219A (zh) * | 2013-12-20 | 2014-03-26 | 中国船舶重工集团公司第七一五研究所 | 一种基于光纤光栅的干涉型三维矢量水听器 |
| CN109827653A (zh) * | 2019-02-28 | 2019-05-31 | 曲阜师范大学 | 一种完备光纤矢量传声器探头 |
-
2019
- 2019-03-18 CN CN201910200968.1A patent/CN109813418A/zh active Pending
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6314056B1 (en) * | 1998-01-23 | 2001-11-06 | Petroleum Geo-Services | Fiber optic sensor system and method |
| CN1865876A (zh) * | 2005-11-21 | 2006-11-22 | 天津爱天光电子科技有限公司 | 光纤光栅传感器及具有该传感器的光纤光栅检测装置 |
| CN101210832A (zh) * | 2006-12-28 | 2008-07-02 | 中国科学院半导体研究所 | 光纤光栅水听器 |
| CN103674219A (zh) * | 2013-12-20 | 2014-03-26 | 中国船舶重工集团公司第七一五研究所 | 一种基于光纤光栅的干涉型三维矢量水听器 |
| CN109827653A (zh) * | 2019-02-28 | 2019-05-31 | 曲阜师范大学 | 一种完备光纤矢量传声器探头 |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112212964A (zh) * | 2019-07-12 | 2021-01-12 | 清华大学 | 光声传感器、光声探测系统、方法、装置及存储介质 |
| CN112212964B (zh) * | 2019-07-12 | 2021-10-01 | 清华大学 | 光声传感器、光声探测系统、方法、装置及存储介质 |
| CN111879395A (zh) * | 2020-08-10 | 2020-11-03 | 北京理工大学 | 一种自发热质点声振速微光纤声定位装置及方法 |
| CN112816054A (zh) * | 2020-12-30 | 2021-05-18 | 北京航天控制仪器研究所 | 一种异形弹簧式增敏结构的光纤激光传声器 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN109813418A (zh) | 一种一维光纤矢量传声器探头 | |
| Guan et al. | Polarimetric heterodyning fiber grating laser sensors | |
| US4442350A (en) | Fiber optic sensor with enhanced immunity to random environmental perturbations | |
| CN100367016C (zh) | 光纤温度测量仪及其测量方法 | |
| Tan et al. | Temperature-insensitive humidity sensor based on a silica fiber taper interferometer | |
| US4758087A (en) | Fiber optic transducer | |
| JP2014500497A (ja) | Ｄｆｂファイバレーザ曲げセンサ、および光ヘテロダインマイクロフォン | |
| CN111322966B (zh) | 用于电杆的两个等强度双臂梁的光纤Bragg光栅倾角传感器 | |
| CN205483383U (zh) | 一种反射式fp腔光纤气压传感器 | |
| CN101424547A (zh) | 谐振式光纤珐珀传感器及其制造方法 | |
| CN101586967B (zh) | 光纤波导光栅传感器及其制造方法 | |
| CN108844919B (zh) | 包层反射式倾斜光纤光栅折射率传感器及制作、测量方法 | |
| CN109827653A (zh) | 一种完备光纤矢量传声器探头 | |
| CN106353219B (zh) | 基于差压法的新型光纤光栅密度传感器 | |
| CN103852092B (zh) | 模式干涉环形腔光纤激光传感器 | |
| Wu et al. | MOEMS accelerometer based on microfiber knot resonator | |
| CN102809388A (zh) | 光纤探针传感器 | |
| CN109945965A (zh) | 光纤efpi超声波传感器用支撑梁臂式敏感膜片 | |
| CN108139284A (zh) | 光纤压力传感器及方法 | |
| CN109916499A (zh) | 一种“8”字指向性正交的二维光纤矢量传声器探头 | |
| CN112888918B (zh) | 用于声学感测的聚合物涂布的高折射率波导 | |
| CN104776954B (zh) | 一种光激励光纤光栅悬臂梁谐振子真空度传感器 | |
| CN114167084A (zh) | 一种单光纤三维加速度传感探头及传感器 | |
| CN110849464A (zh) | 一种基于轮毂形振膜的光纤法珀声音传感器 | |
| CN205981114U (zh) | 基于光纤光栅和振弦式传感器的复合式位移测量装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| CB03 | Change of inventor or designer information |
Inventor after: Tan Cheng Inventor after: Zhao Longjiang Inventor after: Cheng Jin Inventor after: Qi Wenhai Inventor before: Zhao Longjiang Inventor before: Cheng Jin Inventor before: Qi Wenhai |
|
| CB03 | Change of inventor or designer information | ||
| WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication |
Application publication date: 20190528 |
|
| WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication |