CN109759157A - 一种用于微气泡分离的微流控芯片 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种用于微气泡分离的微流控芯片。所述芯片主要由聚二甲基硅氧烷(PDMS)和C切铌酸锂制作的两块芯片键合而成,上芯片包括:注液孔,注气孔,微通道,出液口。下芯片材料为C切铌酸锂晶片。该微流控芯片利用激光照射C切铌酸锂晶片产生的电场实现微通道中微气泡的分离。该芯片制作方法简单,微气泡分离部位、分离时间可控。可用于医学、环境分析过程中对气相载体的分离。在微流体操控领域中完善了微气泡分离技术,对微流控芯片功能的完善具有重要意义。
Description
技术领域
本发明涉及微流控芯片的操控领域,具体涉及一种用于微通道内微气泡分离的微流控芯片。
背景技术
微流控芯片技术是将生物、化学样品的制备,混合,反应,检测等基本操作集成在一块微小的芯片上。其在生物、化学、医学领域具有很大的研究价值。随着微流控技术的不断发展,针对不同对象的操控技术越来越多样。气泡作为一种重要载体,涉及药物检测,空气质量检测等诸多应用。其操控技术的开发对于微流控芯片功能的完善十分关键。
2015年Micheal Esseling(Optofluidic droplet router)等人以铌酸锂晶片为基底,利用其光折变效应所产生的表面电场,实现了对微气泡的移动。但该方法只能使微气泡移动,并不能对微气泡进行分离操作。
发明内容
本发明的目的是为了研制一种用于微气泡分离的微流控芯片。
本发明所采用的具体技术方案如下:
一种用于微气泡分离的微流控芯片,主要结构是由两片芯片键合而成,所述芯片上的结构包括注液孔1,注气孔2,微通道3,出液口4。
两片芯片的制作材料是聚二甲基硅氧烷(PDMS)和C切铌酸锂晶片。在实验室里使用光刻技术在硅片上制作注液孔1,注气孔2,微通道3,出液口4的模具。在使用光刻技术时所用的掩膜版是由我们独立绘制图纸,并交给微流控设备厂家制作的。在模具上浇筑聚二甲基硅氧烷(PDMS)并升温成型制作成上芯片5。上芯片5制作完成后,将上芯片5与下芯片6进行键合,就可以保证微通道3内空间的密闭性,保证微通道3内的液体与气泡流动不会受到实验时环境中的灰尘、操作时引起的震动的影响。
由于聚二甲基硅氧烷(PDMS)材料表面能低,缺少活性基团,其粘结性较差,因此我们使用等离子清洗机对其进行氧等离子体清洗,在其表面引入活性基团,提高其粘结性。最后将两片芯片键合在一起。全部的芯片制作工作由我们独立地在实验室中完成。
绝缘油由注液孔1,通过蠕动泵将绝缘油注入微通道3中;气体由注气孔2,通过蠕动泵将气体注入微通道3中。在注气孔2和微通道3的汇合处形成微气泡。产生的微气泡会移动至微通道3的右侧。使用CCD相机捕获微通道3内清晰的微气泡物像,打开激光器并调节功率,使激光进入物镜聚焦在微气泡待分离的部位,完成分离部位、分离所用时间均可控的微气泡分离。
与现有技术相比,本发明的优点在于:微流控芯片制作简单,成本较低。弥补了微流控芯片技术中缺少对气泡分离手段的不足,微气泡分离部位、分离时间可控,整个分离过程可以实时观测。
附图说明
图1为本发明用于微气泡分离的微流控芯片所采用的装置结构示意图。
图2是本发明装置的上、下芯片之间键合的示意图。
图3用于微气泡分离的微流控芯片的一种实施例(实施例1)的分离过程图。
图4用于微气泡分离的微流控芯片的一种实施例(实施例2)的分离过程图。
图5用于微气泡分离的微流控芯片的一种实施例(实施例3)的分离过程图。
具体实施方式
下面结合实施例和附图对本发明做进一步说明
一种用于微气泡分离的微流控芯片的结构如图1所示,所述芯片的结构包括:注液孔1,注气孔2,微通道3,出液口4。整体的芯片结构包括上芯片5与下芯片6,如图2所示。
我们使用光刻技术,利用光刻胶,掩膜版和紫外曝光箱进行上芯片5的制作。光刻由旋涂,曝光和显影三个工序组成。为获得良好的光刻效果,需要对硅片进行清洗,具体方法是先使用无水乙醇超声清洗15分钟,然后使用去离子水超声清洗15分钟,并用氮气吹干。根据制作芯片的要求,我们使用的是N244负胶。使用旋涂机在硅片表面均匀旋涂一层光刻胶。通过曝光将掩膜版上的微流控芯片设计图形转移到光刻胶涂层上。我们使用Auto CAD软件设计掩膜版图形,然后交给昆山凯盛电子有限公司制作成实物。掩膜版的功能是在使用紫外曝光箱进行光刻时,在图形区和非图形区对紫外光产生不同的透过能力,从而转移掩膜版上的图形信息。曝光完成后,用负胶对应的显影液将光刻胶涂层上非图形区未曝光的光刻胶洗去。这样我们就把掩膜版上的图形成功转印到了硅片上,制作成上芯片5的模具。我们将聚二甲基硅氧烷(PDMS)的预聚物与固化剂按照10∶1的质量比混合,使用玻璃棒充分搅拌均匀,将装有聚二甲基硅氧烷(PDMS)混合物的容器放入真空烘箱中,将搅拌时产生的气泡抽取出来。使用铝箔将模具包成盒状,将其放入真空烘箱中并滴入二甲基二氯硅烷然后抽取真空,使少量的二甲基二氯硅烷附着在硅片表面,使得固化后的聚二甲基硅氧烷(PDMS)能够完整脱离模具。向模具内倒入聚二甲基硅氧烷(PDMS)混合物,在真空烘箱内以100摄氏度恒温加热60分钟,待自然冷却后即可剥离已固化的聚二甲基硅氧烷(PDMS)。使用打孔器在注液孔1,注气孔2的位置打孔。最后使用无水乙醇,去离子水分别对芯片超声清洗15分钟,用氮气吹干除去表面杂质。键合时使用等离子清洗机对上芯片5和下芯片6分别进行3分钟的清洗,清洗气氛为氧气。将上芯片5与下芯片6C切铌酸锂晶片的正C面贴合,在烘箱内60摄氏度恒温加热60分钟,完成我们所需的芯片制作。
芯片的制作是完成本发明的工具,仪器的使用也是完成本发明所必须的操作。
绝缘油由注液孔1通过蠕动泵注入,设置蠕动泵的液相流体流率为0.076μl/min;氮气由注气孔2通过蠕动泵注入,设置蠕动泵的气相流体流率为0.076μl/min。在注液孔1与蠕动泵之间使用毛细钢管,软管和医用针管将二者连接起来,再把医用针管固定在蠕动泵上即可。注气孔2和蠕动泵的连接亦然。
在微通道3内生成独立的微气泡,将微流控芯片放置在透明三维平移台上,使用CCD相机捕获清晰的微气泡物像,打开激光器,适当调节激光器功率,使激光进入物镜聚焦在微流控芯片上。通过计算机程序控制透明三维平移台运动,使聚焦激光光斑照射到微气泡待分离的部位,完成分离部位,分离所用时间均可控的微气泡分离。
本发明方案的工作原理:绝缘油在进入微通道后会附着在微通道壁上,芯片中生成的气泡实际上被绝缘油包裹着。激光照射C切铌酸锂晶片时,会产生沿铌酸锂晶体极化轴C轴定向移动的光激载流子(电子),由于光激载流子沿晶体的+C方向移动,故C切铌酸锂晶片的+C面带有大量负电荷。因此当激光聚焦在微流控芯片上时,光斑处会产生非均匀电场,位于光斑附近的绝缘油会受到介电泳力,从而向光班运动,附着在微通道3上下壁的绝缘油连接在一起,从而实现微气泡的分离。
下面给出本发明用于分离微气泡方案的具体实施例,具体实施例仅用于详细说明本发明,并不限制本申请权利要求的保护范围。
实施例1
使用405nm激光器,激光功率为24.77mW,物镜放大倍数为25倍,将生成的体积为10.00pL的微气泡导入微通道中,使聚焦光斑打到微气泡中心部位,分离得到的小气泡体积分别为6.40pL和3.60pL。
实施例2
使用473nm激光器,激光功率为27.90mW,物镜放大倍数为25倍,将生成的体积为10.56pL的微气泡导入微通道中,使聚焦光斑打到微气泡中心部位,分离得到的小气泡体积为5.90pL和4.66pL。
实施例3
使用532nm激光器,激光功率为37.44mW,物镜放大倍数为25倍,将生成的体积为9.88pL的微气泡导入微通道中,使聚焦光斑打到微气泡中心部位,分离得到的小气泡体积为5.32pL和4.56pL。
以上所述具体实例对本发明的技术方案、实施办法做了进一步的详细说明,应理解的是,以上实例并不仅用于本发明,凡是在本发明的精神和原则之内进行的同等修改、等效替换、改进等均应该在本发明的保护范围之内。
Claims (3)
1.一种用于微气泡分离的微流控芯片,其特征在于:由两片芯片键合而成,所述微流控芯片的上芯片5结构包括注液孔1,注气孔2,微通道3,出液口4。下芯片6用于封装微通道和提供电场,封装的作用是将微通道3制作成密闭的空间,避免实验时环境中的灰尘,操作时引起的震动对微通道3内的液体与气泡流动产生影响。
2.一种用于微气泡分离的微流控芯片,其特征在于:以聚二甲基硅氧烷(PDMS)和C切铌酸锂晶片组成的微流控芯片,利用聚焦激光照射C切铌酸锂晶片产生的电场用于微通道中微气泡的分离。
3.一种用于微气泡分离的微流控芯片,其特征在于:微气泡的分离部位可通过调节聚焦激光光斑与微通道3内微气泡的相对位置进行控制,分离所用时间可通过调节激光功率进行控制。
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN110152748A (zh) * | 2019-06-12 | 2019-08-23 | 河北工业大学 | 一种用于微流控芯片中微液滴切割的方法 |
CN111298853A (zh) * | 2020-02-27 | 2020-06-19 | 西人马联合测控(泉州)科技有限公司 | 芯片的切割成型方法以及晶圆 |
CN112403543A (zh) * | 2020-11-10 | 2021-02-26 | 中国计量大学 | 一种用于微气泡分离的声微流控芯片 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106824318A (zh) * | 2017-03-29 | 2017-06-13 | 哈尔滨工业大学 | 一种基于诱导电荷电渗和介电泳的微尺度颗粒分离芯片及其制备方法与应用 |
CN108654710A (zh) * | 2018-05-11 | 2018-10-16 | 中国计量大学 | 一种用于溶液流速测量及微气泡计数的微流控芯片 |
CN108872084A (zh) * | 2018-04-24 | 2018-11-23 | 河北工业大学 | 一种基于非对称铌酸锂夹层结构的全光微液滴分离方法 |
ES2694172A1 (es) * | 2017-06-16 | 2018-12-18 | Universidad De Zaragoza | Dispositivo de encapsulado apto para aplicaciones microfluídicas |
-
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Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106824318A (zh) * | 2017-03-29 | 2017-06-13 | 哈尔滨工业大学 | 一种基于诱导电荷电渗和介电泳的微尺度颗粒分离芯片及其制备方法与应用 |
ES2694172A1 (es) * | 2017-06-16 | 2018-12-18 | Universidad De Zaragoza | Dispositivo de encapsulado apto para aplicaciones microfluídicas |
CN108872084A (zh) * | 2018-04-24 | 2018-11-23 | 河北工业大学 | 一种基于非对称铌酸锂夹层结构的全光微液滴分离方法 |
CN108654710A (zh) * | 2018-05-11 | 2018-10-16 | 中国计量大学 | 一种用于溶液流速测量及微气泡计数的微流控芯片 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN110152748A (zh) * | 2019-06-12 | 2019-08-23 | 河北工业大学 | 一种用于微流控芯片中微液滴切割的方法 |
CN110152748B (zh) * | 2019-06-12 | 2022-03-15 | 河北工业大学 | 一种用于微流控芯片中微液滴切割的方法 |
CN111298853A (zh) * | 2020-02-27 | 2020-06-19 | 西人马联合测控(泉州)科技有限公司 | 芯片的切割成型方法以及晶圆 |
CN111298853B (zh) * | 2020-02-27 | 2021-08-10 | 西人马联合测控(泉州)科技有限公司 | 芯片的切割成型方法以及晶圆 |
CN112403543A (zh) * | 2020-11-10 | 2021-02-26 | 中国计量大学 | 一种用于微气泡分离的声微流控芯片 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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PB01 | Publication | ||
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SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
CB03 | Change of inventor or designer information |
Inventor after: Yan Wenbo Inventor after: Zan Zhitao Inventor after: Gao Zuoxuan Inventor before: Zan Zhitao Inventor before: Yan Wenbo Inventor before: Gao Zuoxuan |
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CB03 | Change of inventor or designer information | ||
GR01 | Patent grant | ||
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CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20220913 |
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